。 《1  总 》。   则 — 本规】范是电子工业洁【。净厂房设计的国家标！准适用于各种类【型电子产品生产用新！建、：扩建：和改建的洁》净厂房？设，计由于各《类电子？工业洁净厂房内所】生产的电子产品及】其生产工《艺，各不相同《。它们：对，生产环境包括空气环！。境和直接与》。产品生产过》。。程接触的《各类介质都有一定的！要，求近年来以微电【子产：品为代表的高新【技术发展迅速微电】子产品生产过程【。对生产环境》要求十分严格对生】产过程所需高纯物质！高纯气体、高纯【水、各类化学—品的纯？度及：其杂质含《量要求更为严—格对微？振控制、《噪声控制和防静电】。控制也有严格的要求！因此本规范根据电子！工业洁净《厂房的特点制定【工程设计《中应该遵循的相关规！定确保工程设计【做到技术《先进、经济适用、安！全可：靠、节约资源满足】电，子产品生产工艺【的需求 》