？ 1  总    ！则 【 本规范是电【。子工业洁净》厂房设？计的国家标》准适用于各种类型】电子：产品生产用新建、扩！建和改？建的洁净厂房—设计由于各类电子】工业洁净厂房—内所生产的电—子，产品及？其生产工艺各不【相，同它们对生产环【境包括空气》环，境和直接与产品【生，产过程接触的—各，。类介质都有》一定的要《求近年来《以微：电子产品《为代表的高》新技术？发展迅？。速微电子产品生产】过程对生产》环境要求十分严格】对生产过程所需【高纯物质高纯—。气体、高纯》水、：各类：化学品的纯度及其杂！质含：量要求更为严格对】。微振控制、噪—声控制和防静电控制！也有：。严格的？要求因此本规范根】据电子工业洁净厂】房的特点制定工程设！计中应该遵循—的相关规《定确保工《程设计？。做到技？术先进、经济适用】、安全可靠、—节约资源满足电子产！品，生产工艺《的需：求 ？