1 【总 则
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本规范【是电子工业洁—。净厂房设计的国家】标准适用于各—种类型电子产品生产!用新建?。、扩:建和改建的》。洁净厂房设计由于】各类电子工业洁净】厂房内所生产的【电子产品《及其生产工艺各不相!同它:们对生产环境包括】。空气环境《和直接与产》品生产过《程,接触的?各类介质都有一定】的要求近年来以【微电子产《品为代?表的高新技术发【展迅速微电子产【品生产过《程对生?产环境要求十分严格!对生产过程所需高纯!物质高?。。纯气体、《高纯水、各类—化学品的纯度及其杂!质含量要求更为严格!。对微振控《制、:噪声控制和防—静电控制也有严格的!要求因此《本规范?根据电?。子工业?洁,净厂房的特点—制定工程《设计中应该遵—循的:相关规定确》保工程设计做到【技术先进、经济适用!、安全可靠、节约资!源满足电子》产品生产工艺的需求!
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