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1 总 ! 则
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本规范【是电子工业洁—净厂房设计的国家标!准适:用于各种类型电子产!品生:产用新建《、扩建和改建的洁】净厂房?设计由于各类电【子工业洁《净厂房内所生产的】电子产品《及其生产工艺各【不相同它们对—生,产环境包括空—气环境和直》接与产品《生产过程接触—的各类介质》都有一定的要求近年!来,。以微电子产品为【代表的?高新技?术发展?迅速微电子产品生】产过程对生》产环境要求十分【严格对生产过程所需!高纯物质高纯气体】、高纯?水、各类化》学品的纯度及其杂】质含量要求更为【严格:对微振?控制、噪声》控制和?防静电?控制也?有,严,格的要求因此本规】范根据电子工业洁】净厂房?的特:点制:定工程?设计中应该遵—循的相关规定确【保工程?。设计做到技术先【进、经济适》用、安全可靠、节】约资源满《足电子产品》生产工艺的需求
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