1  【总   《 则 《 《。 本规范是电子工！业，洁净厂房设计的国】家标准适用》于各：种类型电子产品【生产用新建、—扩建和？改建的洁《净厂房设计由于各类！电子工业《洁净厂房内所生产】的电子产品及其生】产工艺各不相同它们！对生产环境包括空气！环境和直接与产品】生产过程接触的【各类介质都有一【定的要求近年来以】微电子产品为代表】的高新技术发—展迅速微电子产品】生产过程对生产环境！要求十？。分严格？对生产过程所需高】纯物质高《纯气：体，。、高纯水、各类化】学品的纯度及其杂】质含：量要求更为严—格对微？振控：制、噪声控》制和防静电控制【也有：严格的要求因—此本规范根据—。电子工？业洁净厂《房，的特点制定工程【设计中应该遵循【的相关规定确—保工：。程设计做到技术【先进、经济适—用、安全可靠—、节约资《。源，满足电子《产品生产《工艺的需求 【