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附录D》 洁净室》。。(区)?性能测试和认—证
【
D》.1 通》 则
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D.1.!1, 洁净室(区)】应定:期,进行性能测试以【认证洁?净室(?区)始终符合本规范!。。的要求
!D,.1.2 洁净室!(区)性能测试认证!工,作应由专门检—测认证单位承担【。并应提交检测报告
!
《
D.1.》3 测《试和认证工作—之前系统应达到稳】定运行测试仪表应】在标定证《。书有:效使用期《内
【D.1.《4 :。 洁净室(区)【的,占用状态应有—空,态、静态、动态【其性能测《试和认证宜为—静态:或动态
》