附录—D 洁净室(区)!性能测试和认—证
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D.《1 : 通 则
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—D.1.1》 洁净室(区)】应定期进行性能测试!。以认证洁净》室(区)《始终符合《本规:。范的要求
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D.1.—2 洁净室(区】)性能测试认—证工作应由专—门检测认证单—位承担并应提—交检测报告
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D.1.3 测!试和认证工》作之前系统应达到】稳定运行《测试仪表应在标定证!书,有效使用期》内
【D.1.4 洁净!室(区)《的占:用,状态应有空态、静】态、:。动态:其,性能测?。试和认?证宜:为静态?或动态?
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