。
?。
附录?D 洁净室(【区):性能测?试和认?证
《
D】.1: 通 》 则
—
》D.1.1 —。 洁净室(》区)应?定期进行性》。能测:。试以:认证洁净室(—。区)始终符合—本规:范的要求
!
D.1.2 】洁净:室(区)性》能测:试认证工作应由专门!检测认?。证单位承担并应提】。交检测?报告
》。
D.1.3】 测?试和认证工》作之:前系统应达到—稳,。定运行测试仪表应在!标定证书有效使用期!内
》
D.1.4 !洁净室(区)的【占用:。状态:应有空态、静态、动!态,其性能?测试和?。认证宜为静态或动态!
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