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附录D 】。 洁净室(》区)性能测试和【认证
》
D.!1 通 】则
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D.1.【1 洁净室—(区)应定期进行】性能测试以认证洁净!室(:区,)始终符合本规范】的要:。求,
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D.1.2 !洁净室(区)性能】。测试认证工》作应由专门》检,测认证单位承担并应!。提交检?测,报告
》
D.1—.3 测试和认】证工作之《前系统应达到稳【。定运行测试仪—表应在标《定证书?有效使用期内
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D.1【.4 ? 洁净室(区—。。)的占用状态—。。应有空态、静态【、动态其性能测试和!认,证宜:为静态或动态
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