附》。录D 洁净室(区!)性能测试》和认:证
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D.1 】通, 则
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:D,.1.1 —洁净室(《区,)应定期进行性能】测试以认证洁净室】(,区)始?。终符合本规范—的要:。求
D】。.1.2 洁净室!(区)性能测—。试认证工作应由专门!检,测认证单位》承担并应提交检【测报告
《。
D.【1.3 》测试:和认证工作之前系统!应达到稳定运行测试!。仪表应在标定证书】有效使用期内
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D.【1.:4 洁净》室(区)的》。占,用状态应有空—态,、静态、动态—其性能测试和认证】宜为:静态或动态
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