附录D 】。 洁净室(区)性】能测:试和认证《
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D.1 —通 ? 则?
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D.】1.:1 ?洁净室(《区)应定期进行性】能测试以认证洁净室!(区)始终符—。。合本规范的》要求
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D.1.!2 洁净室(区】)性能测试认—证工作应由专门检】测认证单位》承担并应提交—检测报告
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D.《。1.:3 测试和认【证工作之前系统【应达到?稳定运?。行测试仪表应—在标定证书有—效使用期《内,
D.1!.4 ? 洁净室(区)的】占用状态应》有空态、静态、【动态其性能测试和】认证宜为静态—。或动态?
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