附》录D 洁净室【(区:)性能测试》和认证
《。
】
D.1 》 通: 《。则
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D【.1.1 》。 洁净室(区—)应:定期进行《性能测试以》认证洁净室(区)始!终符合本规》范的:要求
《
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D.1.2 洁!净室(区)性能测】试认证工作应由专】门检测认《证单位?承担并应提交—检测报?告
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D—.1:.3: 测试和》认证:工作之?前,系统应达到》稳定运行测试仪【表应在标定》证书有效使用期内】
》。
D.1.4 【 洁净室(区—)的占用状态—应有空态、》。静态、动态其性能测!试和:。认,证宜为静态》或动:态
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