15 微!振控制
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15.》1 一般规定
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【1,5.1.1 【洁净厂?房的微振控制设施】的设:计应分?。阶,段进行应包》括设计、施工和投产!等各阶段的微振动测!试、厂?房建筑结构微振【控制设计、动—力设备隔《振设计和精密仪【器设备隔振设计等】
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15.1.】2, :设计有微振控制要】。求的洁净厂房—时应符合《下列规定
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1》 总?平面布置时应核【实相邻厂房》、建筑物或构筑【物对精?密设备、仪器—的振动影响;—
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2 《 设有精密》设备、仪器的洁净厂!房,。其建筑基础构造、结!构选型、隔振缝【的,设置、?洁净室装修等应按微!振控制要求设—计;
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3 对】设有精密设备、【仪器的洁净室(【区)有振《动影:响的动力设备—及其管道应采取【主动隔?振措施;
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4 【 洁净室(区)【内精密?设备、仪器经测试确!认,受到周围振动—影响时应采取—。被动隔振《措施:
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