， ： 15  微振控制！ 】 1？5.1  一般【。。规定 — 15.1.！1  洁净》厂房的微振》控，制设施的设计—应分阶段进》。行应包括设》。计、施工和》投产等各阶段的微】。振动测试、》厂房：建筑结？构微振控制设计、动！力，设备隔振《设计和精密仪—器设备隔振设—计等： ？ 15.1.2！  设计有微振控】制要求的洁净厂房】时应符合下》列规：定 【1  总平面布【置时应？核实相邻厂》房、建筑《物或构筑物对精密设！备、仪器的振—。动影响？； 【2  设有精密设】备、仪？。。器，的洁净厂房其建筑基！础构造、《结构选型《、隔振？缝的设置、》。洁净室装修》等应按微振控制要】求设：计； ？ ？ 3 《 对设有《精密设备、》仪器的洁净室—(区)有振动—影响的？。动力：设备：及其管道应采取主】动隔振措施； 【 4  洁！净室(？区，)内精密设备、仪器！经，。测试：确认：。受到周围振动—影响时应采取—。被动隔？振措施 》