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15 微振控制!
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15.1》。 一般规定
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15.!1.1 《 洁净厂《房的微振《。控制:设施的设计应分阶段!进行:应包括设计、施【。工和投产等各阶段】的微振动测试—、厂房?建筑结构微振控制】设,计、:动力设备隔》振设计和精密—仪器设备隔振设计】等
15!.1.2 》 设计有微》振,控制要?。求,的洁净厂房时应符】合下列规定
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1《 总平面布—。置时应?核实相邻厂》房、建筑物》或构筑物对精密【设备、仪器的—振动影响;》
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2 【 设有精密设备、仪!。器的洁净厂房—其建筑基础》。构造、结构选型、】隔振缝?的设置、洁净—。室装修等应按微振控!。制要求?设计;?
—3, :对设有?精密设?。备、仪器《的洁净室(区)有】振动影?。响的动力设备及其】。管道应采取主动隔振!措施;
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4 洁净】室,(区)内《精密设备、仪—器经测?试确认受到周围振】动影响时应采取被】动隔振措施
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