安全验证
15  微!振控制 《 ? ? , 15.》1  一般规定 】 【1,5.1.1  【洁净厂?房的微振控制设施】的设:计应分?。阶,段进行应包》括设计、施工和投产!等各阶段的微振动测!试、厂?房建筑结构微振【控制设计、动—力设备隔《振设计和精密仪【器设备隔振设计等】 ? 15.1.】2,  :设计有微振控制要】。求的洁净厂房—时应符合《下列规定 — 1》  总?平面布置时应核【实相邻厂房》、建筑物或构筑【物对精?密设备、仪器—的振动影响;— , , ,。 , 2 《 设有精密》设备、仪器的洁净厂!房,。其建筑基础构造、结!构选型、隔振缝【的,设置、?洁净室装修等应按微!振控制要求设—计; 《 3  对】设有精密设备、【仪器的洁净室(【区)有振《动影:响的动力设备—及其管道应采取【主动隔?振措施; 》 4 【 洁净室(区)【内精密?设备、仪器经测试确!认,受到周围振动—影响时应采取—。被动隔振《措施: :