《15 微振控制
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15.1 一】。般规定
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15.1.1 ! ,洁净厂房《的微振控制设—施的设计应分阶【段进行应包括设【计、施工和投产等】各阶段的微振动测试!、厂房建《筑结构微振控制设】计、动力设备—隔,振,设计和?。精密仪器设备—隔振设计等
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15.1【。.2 设计有微振!控,制,要求的?洁净厂?房时应符合下—列规定
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1 《总平:面布置时《应核实相邻厂—房、建筑物》或构筑?物对精密《设备、?仪器的?振动影?响;
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2 设有精】密设:备、仪器《。的洁:净厂房其建筑基础构!造、结构选型、【隔振缝的《设置、洁净室装修】等应按?。微振控制《要求:设计:;,
3 】。 对设有精密设【备、仪器的洁净【室(区)有振动【。影响的动力设备及其!管道应采取主动隔】振措施?;
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4 》洁净室(区)内精】密设备?、仪:器经测试确认—受到周围振动影【响时应采取被动隔振!措施
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