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15 【。 微振控制
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15.1 】 ,一般:。。规定
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:15.1.1 】洁净:厂房的微振》控制设施的设计【应分:阶段进行应包括【设计:。、施工和投》产等各?。阶段:的微振动测》试、厂房建筑结构】微振控制设》计、动力设备隔振设!。计和精密仪器设备隔!振设计等《
15.!1.2 设—计有:微振:控制要求的洁净厂】房时应符合》。下列:规定
】1 总平》面布置?时应核实相邻—厂房、建筑物或构】筑物对精密》设备、仪器的振【动影响;《
2 】 设有精密设备、仪!器的洁净厂》房其建筑基础构【造、结构《选,。型、:隔振缝的设置、【洁净室装修》等应按微《振控:制要求?设计;
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3 对设有精!密设备、仪器—的洁净室(区)【有振:动影响的动力—设备及其管道—。应采取主动隔振【措施:;,
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4 《 洁净室《(,区)内精密设—备、:仪器经测试确认【受到周围振动影响】时应采?取被动隔振措—施
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