15 【 微振?控制
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15.《1, 一般规定—
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15.—1.1 》洁净厂房的》。微振:控制设施的设—。计应分?阶段进行应包括设】计、施工和投产等】各阶段的《微,振,动测试、厂房建筑结!构微:。振控制设计、动力设!备隔振?设计和精密仪器设备!隔振:设计等?
1【5,.1.2 》 设计有微振—控制要求的洁净厂房!时应:符合下列规定
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1 总平】。面布:置时应?。核实相?邻厂:房、建筑《物或构筑《物对精密设》备、仪器的》。振动影响;
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2? , 设有精密》设,备、仪?器的洁净厂房—其建筑?基,础构造?、结构?。选型、隔振缝—的设置、洁净室装修!等应按微《。振控制要《求设计?;
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3 对设有精密!设备、仪器的洁净】室,(区)有振动影【。响的动力设备—及其管道应采取主动!隔振措施;》
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4 洁净室【(区)?内精:密设备、仪》器经测试确》认受到周围振动【影响时应《。采取被动隔振措施】
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