15— 微振《控制
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15.》1 一般规定
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15《.,1.1? 洁净厂房的微】振控制设施》的设计应分阶段进行!应包括设计、施工和!投产等各阶段的【。微振动测试》、厂:房建筑结构微振【控制:设计、动力设备隔振!设计和?精密仪器设备隔振设!。计等
】15.1.2 】设计有微振控—制要求的洁净—厂房时应符合下列】规定
1! 总平面布置【时应核实《相邻厂房《、建筑物或构筑物】对精:密设备、仪器的【振动:影响:。;
2 ! 设:有精密?设备、仪《器的洁净厂房—其建筑基础构造【、结构选型、隔【振缝的设《置、洁净室装修【等应按微振控制【要求设计《;
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《3 对设有精密设!备、仪器的洁—净,室(区)有》振动影响的》动力设备及其—。管道应采取》主动隔振措施—;
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4: 洁净室》(区)?。内,精密设备、仪—器经测试确认受到周!围振动影响时应采】取被:动隔:振措施
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