《15 微》振控制
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15【.1 一》般规定?。
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15【.1.1 洁净】厂房的微振控制设】施的设?计应:分阶段进行应包括】设,计、施工和》投产等各阶段的【微振动测试》、厂房建《筑,。结构微振《控制:设计、?。动力设备隔振—设,计和精密仪器设备】隔振:设计等
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15.1—.2 设》计有微振控制要求】的洁净厂房时应符合!下,列规定
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1 【总平面布置时应核】实相邻?厂房、建筑物或【构,筑物对精《密设:备、仪器的振—动影响;
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,2 设有精密【设,。备、:仪器的洁净厂房【其建筑基础构—造、结构选型—、隔振?缝,的设置、洁净—室装修等《应按微振《控制要求设计;【
3 】 对设有《精密设备、仪器的】洁净室?(区)有振》动,影响的动力设备及】其管道?应采取主动隔振措施!;
4 ! 洁净室(区)内精!。密设备、仪器经【。测试确?认受到周围振动影响!时应采取被动隔振措!施
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