安全验证
15  微!振控制? 【 1《5.1  一般规】定 《 《 15.1.—1  洁净厂房【。的微振控制设施的】。设计应分阶》段,进,。行应包?括,设计、施工和—投产等各阶段—的微振动测试、厂房!建筑结构微振—控制设?计、:动力设备隔振设【。。。计和:精密仪?器设备隔振设计【等 — 15.《1.:2  设计》有微振控制要求的】洁净厂房时应符【合下列规定 【。 1  总】平,面布置时《应核实相邻》厂房:、建筑物或构筑物】对精密设备、—仪器的?振动:影响; !2  ?设有精密设备—、,仪器的洁净厂房其】建筑基础构造、结构!选,型、隔?。振缝的设《置、洁净室装—修等应按微振控【制要求设《计; 《 ? 3  《对设有?精,密设备、仪》器的:洁净室(区)—有振动?影响:的动力设备及—。其管道应采取主【动隔振措施》; 《。。 ?4,  洁净室(区【)内精密设备、【。仪器经测试确认受到!周围振动影响—时应采取被》动隔振措施 【