15 微!振控制
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1》5,.1 一般规【。定,
】15.1.1 洁!净厂房的微振控【制,设施的设计应—分阶段进《行应包?括,设计:、施工和投产等各】。阶段的微振动测试】。、,厂房建筑结》构微振控制》设,计、动力《。设备:隔振设计和精—密仪器设备》隔振设计等
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1?5.1.《2 设计有微振】控制要求的洁—。。净厂房时应符合下列!规定
【
1 总》平面布置时应核实】相,邻厂房、建筑物或构!筑物对精密设备、仪!。。器的振动影》响;
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》2 设有精密【设,备、仪器的洁净【厂房其建《筑基础构造》、结:构选型、隔振缝【的设置、《洁净室装《修等应?按微振控制要求【设计;
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3 对【设有精密《设备、?。仪器的洁《净室(区)有振【动影响的动力设【备及其管道应采取】主动隔?振,措施;?。
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4 洁净室(区!)内精密设备、仪器!经测:试确认受到周—围振动影响》时,应采取被动隔振措】施
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