15 】微振控制
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1:5.1 《 一般规定
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1》5,。.1.1 洁净厂!房的微振控制设【施的:。设计应分《阶段进行应包括设计!。、施工和投产等各阶!段的微振动测试、】厂房建筑《结构微振控制设计】、动力设备》隔振设计《和精密?仪,器,设备:。。隔振设?计等
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15.1.2 】 设计有微振—控制要求的洁净【。厂房时应符合下列】。规,定
【1 ?。总平面布置》时应核?实相邻厂房》。、建筑?物或构筑物对精密】设,备、:仪,。器的振动影响;
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2 《。设有精?密设:备,。、,仪器:的洁净厂房其建筑基!础构造、《结构选型、隔振【缝的设?置,。、洁净室《装修等应按微振控制!要求设计;》
3 !对设有精密设备、】仪,器的洁净《室(区?)有:振动:影响的动力设备及】其管:道应采取主动隔【振措:。施;
】4 洁净室(区)!内精:密设备、仪器经测】试确认受《到周:围振动影响时应【采取被动隔振—措施
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