15 微!振控制?
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1《5.1 一般规】定
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15.1.—1 洁净厂房【。的微振控制设施的】。设计应分阶》段,进,。行应包?括,设计、施工和—投产等各阶段—的微振动测试、厂房!建筑结构微振—控制设?计、:动力设备隔振设【。。。计和:精密仪?器设备隔振设计【等
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15.《1.:2 设计》有微振控制要求的】洁净厂房时应符【合下列规定
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1 总】平,面布置时《应核实相邻》厂房:、建筑物或构筑物】对精密设备、—仪器的?振动:影响;
!2 ?设有精密设备—、,仪器的洁净厂房其】建筑基础构造、结构!选,型、隔?。振缝的设《置、洁净室装—修等应按微振控【制要求设《计;
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3 《对设有?精,密设备、仪》器的:洁净室(区)—有振动?影响:的动力设备及—。其管道应采取主【动隔振措施》;
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?4, 洁净室(区【)内精密设备、【。仪器经测试确认受到!周围振动影响—时应采取被》动隔振措施
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