15 【 ,微振控制《
《
15】.1 一般规【定
!15.1.1 洁!。净厂房?。的微振控制设施的】设计应分《阶段进行应包括设计!、施工和投产等各】阶段的?微振动测《试、厂房建筑结【构微振控《制设计、动力—设备隔振设计—和精密仪器设—备隔振设计等
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《15.1.2— 设计有微振控】制要求的洁》净厂房时应符—合,下列规定
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1 —总平面布置》时应核实《相邻厂?。房、建筑物或—。构筑物?对精密设备、仪器】的振动?影响;
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《2 设有精—密设备、仪器的洁】净,厂房其建筑》基础构造、》结构:选型、隔振缝的设】置、洁净《室装修等应》按微振控制要求【设计;
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3 对设有精】密,设备、?仪器的洁净室(区)!有振动影响的动【力设备及其管道应采!取主:动隔:振措施;
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?4 洁净室(【区)内精密》设备、仪《。器经测试确认受到】周围:振动:。影响时应采取被动】。隔,振,。措施
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