1》5 ?微振控制
!
15【.1 《一般规定
》。
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15.1.1【 洁净厂》房的微振控制设【施的设计应分阶【段进行?应包括?设计:。、施:工和投产《等各阶?段的微?振动测试、》。厂房建筑结》构微振控制设计、动!力设备隔振设计【和精密仪器设备隔】振设计等
》
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15.1.2【 设计有微振控】制要求的洁净厂房】时应符合《下列:规定
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1 《总平面布置时应核实!。相,。邻厂房、《。建筑物或构》。筑物对?精密设备、仪器【的振动影响;—
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,。
,2,。 设有精密设备】、仪:器的洁净《厂房其建筑基础【构造、结构选型、隔!。振缝的设置》、洁净室装修等应按!微振控制要求设【计;
?
3 对!设有精密设备—、仪器的洁净室(】区)有?。振动影响的动—力设备及其管道【。应,采取:主动:隔振措施;
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4 《 洁净室(》区)内精《密设备、仪》器经测试确认受到周!围振:动,影,响,时应采取被动—隔振措施
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