《15 微振—控制
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15】.1: 一般规定—
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15.!1.1 洁净厂】房的微振控制—设施的设计应分阶】段进行应包》括设计、施工和投】产等各阶段的—微振动测试、—厂房建筑结构—微振控制设》计,、,动力设备隔振设计和!精密仪器设》备隔振设计等
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15.1】.2: ,。 ,设计有微振》。。控制要求的洁净【厂房时应符合下【列规:。定
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1 —总平面布置时应核】实相邻厂房、建【筑物或?构筑物对精密设备】、仪:器的振动《影响;
!2 设有精—密设备?、仪器的洁净厂房其!建筑基础构造—、结构选型》、隔:振缝的设置、洁净室!装修等应《按微振控制》要求:设计;
!3 对设有精密】设备、仪器》的洁净室(区)有振!动影响的动力—设备:及其管道应》采取主动隔振—措施;
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4 洁净室(】区)内精密设备、仪!器,经测试?确认受到周围振【动影响时《应采取被《。动隔振措施
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