7 【空气净化和空调通风!。设计:
,
《
:
7《。。.1 ?。 ,一般规?。定
【
,
7.1.》1 ?洁净厂房《内各洁净室(—区)的空气洁—净度:。等级:应根据电子》产品生产工艺特点】和洁净室《型式确定《
7.1!.2 气流流型应!根据各?洁,净室(区)空气【洁净度等级和电子】产品工?艺特点?的不同要求选用【
7.1!.3 有下列情】况之一者净化—空调系统宜分开设置!
:
1 运】行,班次或使用》时间不?同;
?
《
2 《生产过?。程中散发《的物质对其他工序、!设备交叉污》染,对产品质量或操【作人员健康、安全有!影响;
!3 对温、—湿度控制要》求差别大;
【。
,
,。
4 洁净室(!区)内工《艺设备发《热相差悬殊;
【
《
5 《净化空调系统—与一般空《调系统;
【
6 系【统风量?过大的净《化空调系统
】
7.1—.,4 洁净》。室(区)内的温度、!相对湿度应符—合本规范第3.2.!3条的规定
】
,
,
7.1.5 【 洁净室(区—)内的?新鲜空气量应符【合现:行国:家标准洁净厂房设计!规范GB 5007!3,的有关规定
—
,
7.—1.6 洁净室】(区)与周围的空】间应保持一定—。的静压差静压差应符!合下列?。规定:
1 】 各洁净室(区【)与周?围,空间的?静压差应按》。生产工艺要求—。确定;
》
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:2 不同等级【的洁净?室(区)之间的【静,压,差应大于等于—5Pa;《
,
3 【 洁净室(区)与】非洁:净室(区)之间【的静压差应大于【5Pa;
!
4: 洁净室(区【)与室?外的静压差应大于1!0Pa
—
7.》1.7 洁净【室(区)维持静压】差值:。所需:的,压差风?量宜采用缝隙—法或:换气:次数法确定
】
7.1—.8 《送风、回风和排风系!统的启闭联锁、控制!要求应符合》现,行国家标准》洁净厂房设计规范】GB: 50073的有关!规定
7!.1.9 》。 非连续运》行的洁净室》可根据生《产工艺要《求设:置值班?送风并?。应进行净化处理
】
7—.1.1《0 洁净室(区】。)的清扫方式—应根据洁净厂房的】规模、空气洁净度等!级等:因素确定洁净室【(区)宜采用移动】式高效真空》吸尘器对于空气洁净!度等级为1》~5级?的洁净室宜设置【。集中式真空吸—尘系统洁净》室内的吸尘系统管】。道应暗?敷
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