安全验证
:。。 7  空—气净化和空》调通风?设计 《 》。 , 7.1  一般!规定 ! 7.1.1  洁!净厂房内各洁净室(!区)的空气洁—净度等级应》根据电子《产品生产工》艺特点和洁净室型】式确定? —7.1.2  【气流流?型,应根据各《洁净室(区)空【气洁净?度等级?和电子产品工艺【特点的不《同要求选用 ! 7.1.3 】 有下列情况之一者!净化空调系》统宜分开设置 【 1  运!行班次或使用时间不!。同; 》 2  生产】过程中散发的物质对!其他工序、》设备交叉污染对产】品质量或操作—人,员健康、安》全有:影响; 】 3: , 对温、湿》度控制要求差—别大; 》 4  洁】净室(区)内工艺】设备发热相》差悬殊; — 5  净】化,空调系统与一般【空调系统; ! , 6  系统风【量过大的净》化,空,调系统 !7.1.《4 : 洁净室(区)【内的温度、相—对湿度?。。应符合?本,规范第3.2.3】条的规定 【 7.1.5 ! 洁净室(区)内的!新鲜空气量》应符合现行》国,家标准洁净厂—房设计规范GB 5!007?3的有?关,规定 【 ,7.:。1.6  洁净室】(区)与周围的【空间应保持一定的】静压差静压差应【符合下列规定 【 ? 1 《。 各洁净室》(区)与周围空【间的静压差应—按生产工艺》要求确定;》 : 2 — 不同等《级的洁净《室(区)之间—的静压差应大—于等于5Pa; 】 3  】洁净:室(:区)与非《。洁,净室(区)之—间的静压差应大于】5Pa; 【 4  洁净】室(区)与室外【。的静压差《应大于10P—a 》 :7,.1.7  —洁净室(《区)维持静》压差值?所需的压差风量宜采!用缝隙法《或换气次数法确【定 7.!1.8  》。送风、回风和—排风系统的启闭【联锁、控制要求应】符合现行国家标【。准洁净厂《房设计规《范,GB 500—73的有关》规定 ? 7.【1.9  》非连续运行的洁【净室可根据》生产:工艺要求设置—。值班送风并》应,进行净化处理 】 7.—1.1?0  ?洁净室(区)的清】扫方:式,应根据洁净》厂房的规模、空气洁!净度等级等因素【确定洁净室》(区)宜采》用移动式《。高效真空吸尘器对于!。空气洁净度等级为1!~,5级的洁净室—宜设置集中式—。真空吸尘《系统洁净室内的吸尘!系统管道应暗敷【 :