7 空气!净化:和空调通风设计
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7.1 》 一般规定
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7.1.1 】洁,净厂:房内各洁净》室,(区)的空气洁净度!等级:应根:据电子产品生产工艺!特点:和洁净室型式确【定
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7?.1.2《 气流流型应【根,据各:洁净室?(区)空气洁净度等!级和电子产》品,。。工艺特点的不同要】求选:用
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7.1《.3 有》下列情况之一者净】化空调系统宜—分开设置
》。
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1 运行班次】或使用?时间不同;》
2 】 生产过程中散发的!物质对其他工序、设!。备交叉?污染对产《品质量或操作人员健!康、安全《有影响;
【
3《 对温、湿—度控制要求差别【大;:
《
4 洁净室(!区,)内工艺设备—发,热相差悬殊;
【
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,
5 —净化空调系统与一般!空调系?统;
】6 系统风量【。过大的净化空—调,系,统
7.!1.4 》洁,净室:(区:)内:的温度、《相对湿度应符合本】规,范第3.2.3【。条的规定
》
,
7.1.】5 洁净室(区)!内的新鲜空气—量应:符合现行《国家标准洁净—厂房设计《规范G?B 5?。0,073?的有:。关规定
》
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7.1.—6 ?洁净室?(区)?与周围的空间—应保持一定》的,静压差静压差—应符合下列规定
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1 —各洁净室(区—)与周围空间的静】压差应按生产工艺要!。。求确定;
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2》 , 不同?等级:的洁净室《(区)之间》的静压差应大于等于!5Pa;
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3 【洁净室(区》)与非洁《净室(区)之间的静!压差应大于5Pa;!。
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4 洁】净室(区)与—室外的静《压差应?大于10Pa
【
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7《.1:.7 洁净室【(区)维持静压差值!所需的?压差:风量宜采用缝隙法或!换气次数法确定
】
》7.1?。.,8 送风、回【风和排风系统—的启闭联锁、控制要!求应:。符合:现行国家标准洁净】厂房设?计规范GB —50073的有关】规定
7!.1.9 非【连续运行的洁—。净,室可根据《生产工艺要求设【置,值班送风并》应进行净化处理【
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?。7.1.10 】洁净室(区》)的:。清扫:。方式应根据洁净厂】房的:规模:、空气?洁净度等级等因素】确,定洁净?室(区?)宜采用移动—式高效真空吸—尘器:对于空气《洁净度?等级为1~5—级的洁净室宜—设置集?。中式真?空吸:尘,系统洁净《。室内的?吸尘系统管道应暗】敷
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