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7 空—气净化和空》调通风?设计
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》。
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7.1 一般!规定
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7.1.1 洁!净厂房内各洁净室(!区)的空气洁—净度等级应》根据电子《产品生产工》艺特点和洁净室型】式确定?
—7.1.2 【气流流?型,应根据各《洁净室(区)空【气洁净?度等级?和电子产品工艺【特点的不《同要求选用
!
7.1.3 】 有下列情况之一者!净化空调系》统宜分开设置
【
1 运!行班次或使用时间不!。同;
》
2 生产】过程中散发的物质对!其他工序、》设备交叉污染对产】品质量或操作—人,员健康、安》全有:影响;
】
3: , 对温、湿》度控制要求差—别大;
》
4 洁】净室(区)内工艺】设备发热相》差悬殊;
—
5 净】化,空调系统与一般【空调系统;
!
,
6 系统风【量过大的净》化,空,调系统
!7.1.《4 : 洁净室(区)【内的温度、相—对湿度?。。应符合?本,规范第3.2.3】条的规定
【
7.1.5 ! 洁净室(区)内的!新鲜空气量》应符合现行》国,家标准洁净厂—房设计规范GB 5!007?3的有?关,规定
【
,7.:。1.6 洁净室】(区)与周围的【空间应保持一定的】静压差静压差应【符合下列规定
【
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1 《。 各洁净室》(区)与周围空【间的静压差应—按生产工艺》要求确定;》
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2 — 不同等《级的洁净《室(区)之间—的静压差应大—于等于5Pa;
】
3 】洁净:室(:区)与非《。洁,净室(区)之—间的静压差应大于】5Pa;
【
4 洁净】室(区)与室外【。的静压差《应大于10P—a
》
:7,.1.7 —洁净室(《区)维持静》压差值?所需的压差风量宜采!用缝隙法《或换气次数法确【定
7.!1.8 》。送风、回风和—排风系统的启闭【联锁、控制要求应】符合现行国家标【。准洁净厂《房设计规《范,GB 500—73的有关》规定
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7.【1.9 》非连续运行的洁【净室可根据》生产:工艺要求设置—。值班送风并》应,进行净化处理
】
7.—1.1?0 ?洁净室(区)的清】扫方:式,应根据洁净》厂房的规模、空气洁!净度等级等因素【确定洁净室》(区)宜采》用移动式《。高效真空吸尘器对于!。空气洁净度等级为1!~,5级的洁净室—宜设置集中式—。真空吸尘《系统洁净室内的吸尘!系统管道应暗敷【
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