《7 空气净—化和空调通》。风设计?
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7.【1 一般规定
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7.1》.1 洁净厂【房内各洁净室—(区)?的空气?洁,净,度,等级应根据电子【产品生?产工艺特点和洁净室!型式确定
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7:.1.2 气【流,流型应?根据各?洁净室(区)—空气洁净度等级和电!子产品工艺特—点,。的,不同要求《选用
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7.1.—3 有下列情况之!。一者净?化空调系统宜—分开设置
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1 运!行班次或使用—时间不同《;,
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2 生产!。过程中散发的物质】对其他工序、设备交!叉污染对产品质量】。或操作人员健康【、安全?有影响?。。;
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3 ? 对温、《湿度控制要求差别】大;
》
,
4 《 洁:净室:(区)内工艺设【备发热相《差悬殊;
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5 【 净:化空调系统》。与一般空调系—统,;
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6 系】统风量过大》的净化空调系统
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7.?1.4 洁净室】。(区)内的温度【。、相:对湿度应符合本规】。范第3.2.—3条的规定》
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7.1.5 !洁净室(区)内的新!鲜,空气量应符合现【行国家标《准洁净厂房》设计规范GB 50!073的有关规定
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7.1.!6 : 洁净室(》区)与?周,围的空间应》保持一定的》静压差静压差应【符合下列规定—
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1 【 各:。洁,。净,。室(区)《与周围?空间的静《压差应按生产工艺要!求确定;《
—2 不同等级的】洁净室(区)之间的!静压差?应大于?等于5Pa;—
3 !洁净室(区)与非洁!净室(区)之间【的静压差应大于【5Pa;
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4 洁》净室(区)与室外的!静,压差应大于10【Pa
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7.1.7】 :洁净室(区》)维持静压》差,值所需的压差风量宜!采用缝隙法或换气次!数法确?定
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7.1.【8 送风、回风和!。排风系统的启闭【联锁、控制要求应符!合现:行国家标《准洁净厂房设计规范!GB 50》073的有关—规定
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7.?1.9 非连续】运行:的洁净室可根据生】产工艺要求设置【值班送风并应—进行净化《处理
7!.1.?10 《洁净:室(区)的清扫方式!应根据洁《净厂房的《规模、空气洁—净,度等级等因素确定洁!净室(?区):宜采用移动式高【效真空吸尘器对于】空气洁净度》等级为1~5级的】洁净室宜设置—集中式真空吸尘【系统洁净室内的吸尘!系统:管道应暗敷
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