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,
7 《空气净化《和空调通风》设,。计
《
7.!1 一般规定
】
7】.1.1《 洁净厂房—内各洁净《室(区)的空—气,洁,。净度等级应根据电子!产,品生产工艺》特,。。点和洁净室》型式确定
】
:7.1.2》 气流流型—应根据各洁净室(区!)空气洁净度等级】和电子产品工艺【特点的不同要求选】用
》
7?.1.3《 , 有下列《情况之一者净化空】调系统宜分开设【置
《
1 运行班!次或使用时间—。不同;
《
2 生!产过程中《散发:的物质对其他工序】、设备交叉污染对】产品:质量或操作人员健】康、安全有影响【;,
》
,3, 对?温、湿度控制要求】差别大;
【
4 洁净室!(区)内《工艺设备发热相【差悬殊;
!
5 净化空调系!统,与一般空调系—统,;,
,。
6— :系,统风量过大的—净化空调系》统
》
7.1.4 !洁净室(区)—内的温度、》相对湿?度应符合本规范第3!.2.3条的规【定
【7.1.5 —。 洁净室(区)内的!新鲜空气量应—符合现行国家标准洁!净,厂房:设计规范GB 【50073的—有,关规定
】
7.1.6 洁!净室:(区)与周围—。的空间?应保持?一定:。的静压差静压—差应符合下列规定】
—1 各洁净—室(区)与》周围空间《。的静压差应》按生:产工艺要求确定【;
:
?
2 不同等级!的洁净室(区)【之间的静压差应大于!等于5?Pa;
!3, 洁净室(区)与!非,洁净室(区)之间的!静压差应大于5Pa!;
?。。
?
4 洁净室【(区)?与室外的静压差应】大于10Pa
!
?7.:1,.7 洁净室(区!。)维持静压差值所需!。的压差风《量宜采?用,缝隙法或换气次数法!确定
》。
7.1.8 ! 送风?、回风和排风系统】的启闭联锁、控制】要,求应:符合现?。行,国家标?。。准洁净厂房设—计规范GB》 5007》3的有关规》定
:
7.【1.9 非—连续运行的洁净【室可:根据生产《。工艺:。要求设置值班—。送风:并应进行净》化处理
【
7.1.10】 :洁净室?(区)的清扫方式应!根据洁?净厂房的规模、【空气:洁净度等《级等因素确》。定洁净室(》区)宜采用移动式】高,效真空吸尘器对于空!。气洁净度等级为1】~5级的《洁净室宜《设置集中《式真空吸尘系统洁】净,室内的吸《尘系:统管道应暗敷
】