7  【空气净化和空调【通风设计 【 ， —7，.1  《一，般规定 【 7.1.1！  洁净厂房内【各洁净？室(区)《的，空气洁净度等级【应根据电子产—品生：产工艺特点》和洁：净室型式确定— ， 7.1.！2  气流流型应根！据各：洁净室(区)空气】洁，净度等？级和电子产品工艺特！点的不同要求选【用 》 ， 7.1《.3  有》下列：情况：。之一者净化》。空调系统《宜分开设《置 1】  运？行班次或使用时间】不同； 】。 2  生》产过程中散发的物】质对其他工》序、设？备交叉污染对产【品质量？或操作人员健康【、，安全有影响； 【 ？ 3  对温【、湿度控制要求差】别大； 《 ： 4《  洁净室(区【)内工艺设》备发热相《差悬：殊； 【 5：  净化空调系统】与一：般空调系统； 】 6 — ，系，统，风量过大的净化空】调系统 】 7.1.4  】洁，净，室(：区)内？的温度？、相对湿度应符合】本规范第3.—2.3条的规定 ！ ， 7《.1.？5  洁净室(区】)内的新鲜空气量】应符合现行》国，。家标准洁净厂房【设计规范GB 50！073的有关—规定： 7.】1.6  》。洁净室(区)与【周围的空间应保【持一定的静》压差静压差应—符合下列规定— —1 ： 各洁净室》(区：)与周围空间的静压！差应按生产》工艺要求确定—； 【2 ： 不同等级的洁净室！。(区)之间的静压差！应大于等于5Pa；！ 《 ， 3：  洁净室(区)与！。非洁净室《(区)？之间的静《。压差应大《于，5，Pa； 》 4  洁净！室(区)与室—。外的静压差》应大于10P—a 7】.1：.7  洁净室(区！)维持？静压差值所需的压差！风量宜采用缝隙法】。或换气次数法确定】 ： 7.1.】8  送《风、回风和排风【系统的启闭联锁【、控制要求应符合现！行国家标准洁净【厂房：设计规范《GB 5《0073的有关规】定 7】.1.9  —非，连续：运，行的洁净室》可根据生产工艺【要求设置《值，班送风？并应进行净化—。处理 【 7.1.10【  洁？净室：(区)的清扫方【。。式应：根据洁？净厂房的规模、空】气，洁，净度等级《。等因素？确定洁净室(—区)：宜采用移《动式：高效真空《吸，尘，器对于空气洁—净度等级为1～5级！的洁净室宜设—置集中式真空吸尘系！统洁净室内的吸尘】系统管道应暗敷【 ， ，