？ 7 ？ 空气？净化和空调通—风设计 【 7.】1  一《般规定 《 ：。 7.【1.1？  洁净厂房内【各，洁净室(区)的空气！洁净度等级》应根据电《子产：品生：产工艺特点和—洁净：室，型，式确定 ！。。。7.1.2  气流！。流型应根据各洁净】。室(区)空气洁净度！等级：和电子产《品，工艺特点的不同要求！选用 7！。.1.3  有下】。列情：况之一者净》化空调系统宜分开设！置 《 1《  运行班次—或使：用时间不同； 】 ， 2  生产】过程中散发的物【质对其他工序—、设备交叉》污染对产品质量【或操作人员健康、安！全有：影，响； 《 3》  对温、湿度【控制要求差别大【； 《 ？4  洁《净室(区)内工艺设！备发热相差悬殊；】 ， ？。 5  净化空调！系统与一般》空调系？统； 《 ， ？6  系统风量【过，大的净化空调—系统 《 《7.1.4  【洁净：室(区)内的温【度，。、相对？湿度应？符合本规《范第3.《2.3条的规定 ！ 7.1.】5  洁净》室(区)《内，的新鲜？空气量应符合现【行，国家标准洁》净厂房设《计规范GB》 5007》3的有关规定 ！ 7.1.【6 ： 洁：净室(区《)与：周围的？空间应？保持：。一定的静《压差静压差应符合下！列，。规定 》 1  —各，洁净室？(区)与周围—空间的静压》差应按生产工—艺要求确定； 】 ，。 2  不同等！级的洁净室(区)】之间：的静压差应大于等】于5Pa；》 》 3  洁净—室，(区)与非洁净室】(区)之间的静压】差应大于5Pa【； 《 4 》 洁净室(区)与室！外的静压差应—。。大，于1：0Pa 】 7.？1.7  》洁净室？(，区)维持静压差【值，。所，需的压差风量宜采】。用缝隙法或换气次】数，法确定 — ， ：7.1.8》  送风、回风和排！风系统的《启闭联锁、控制【要求应符合现行【国家标？准洁：净，厂房设？计规：。范，GB： 50073的【有关规定 》 《 7.1.》9  非连续—运行：的洁净室可根据【生产工艺《要求设置值》班，。送风并应《进行净化《处理 》 ？7.1.10 【 洁净室(区)的清！扫方式应根据—洁净厂房的规模【、空气？洁净度等级等—。。因素确定洁》净室(？区)宜采用》移动式高《。效真空吸《尘器对于空气洁净度！等级为1～5级的】洁净室宜设置集【。中式真空吸尘系【统洁净？室内的？吸尘系统管道—应暗敷？ ：