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7 空】气净:化,和空调通风设计【
【
7.1 】一般规定
【
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7?.1.1 洁净】厂房内?各洁净室(区)的】。空,气洁:净度:等级:应根据电《子产品生产工艺特点!和洁净室型式确【定
7.!1.2 气流流】型应根据各洁净室(!区)空?气洁净度等级和电】子产品工艺》特点的不同要求【选用
【
7.1.3 有!下列情况之一者净化!空调系统宜分开设】置
《
1 —运行:班次或使用》时间不同;
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2? 生产过》程中:散发的物质对其【他工序、《设备交叉《污染对产品质量或】操作:人员健康《。、安全有影》响;
】。。3 对温》、湿度控制要求差】别大;
】。
,。4 : 洁净室(区)【内工艺设备发热相】差悬:。。殊;
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?
5 净化空调!系统与一般空调系统!;
:
6 【 系统风量过—大的净?化空调系统
】
7.1—.4: :洁净:室(区)内》。的温度、相对—湿度应符合本规范第!3.2.3条的规】定
7.!1.5 洁净室(!区)内的新鲜—空气量应符合现行国!家标准?洁净厂房设计规范G!B 500》73的有关》规,定
《
7.1—.6 洁净—室(区)与周—。围的空间应保—持一定的《。静压差静《压差:应符合下列》规定
【
1 各洁净【室(:区)与周围空间【的,静压差应按生产工艺!要求确定;
—
2— 不同等级的【洁净室(区)—之间的静压差应大于!等于5Pa》;
3】。 :洁,净室(?区)与非《。。洁净室?(区)之间的—静压差应大于—5,Pa;
—
:
4 洁净室(区!),与室外的静》压差应大于10【Pa
《
7.—1.7 《 洁净室《。(区:)维持静压差—值所需的压差风量】宜采用缝隙法或换】气次数法《确定
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7.1.!8 送风、回风】和排风系统》的启闭联锁》。、控制要求应符合】现行国家标准—洁净厂房设计规范】GB 50》。073的有关—规定
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,
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,。。7.1.9 非】连续运行的洁净室可!根据生产《。工艺要求设置值班送!风,并应进?行,净化处?理
7.!。1.10《 洁净《室(区)的》清扫方式应》根据洁净厂房的【规模、空《气洁净度等级等因】。素确定洁净室—(区)宜采用—移动式高《效真空?吸尘器?。对于空气洁净度【等级为1~5级【的洁:净,室宜:设置集中式真空吸尘!。系统洁净室内—的吸尘系统管道应】暗敷
《