安全验证
7》。。  空?气净化和空调通风】设计: ! 7.1  一般规!定 ?。。 7.】1.1?  洁净厂房—内,各洁净室(区—)的空气《洁净度等级应根据电!子产:。品生产工艺》。特点和?洁净室型式确—定 7】。.1.2  气流流!型应根据《各洁净室(区—)空:气洁净度等级和电子!产品工艺特点的不】。同,要求选用 》 , ,。 7.1—.3  有下—列,情况之一者净—。。化空调系统宜分【开设置 !1  运行班次或使!。。用时间?不同:; 《 2《  :生产过?程中散发的》物质对其他工序【、设备交《叉污染对产》品质量或操作人【员健康?、安全有影》响;:。。 , 3 【 ,对,温、湿度控制要求差!别大; 《 ? 4?  洁净室(—区)内工艺设备发热!相差悬殊; 】 5  净化空!调系统?与一般空调系统;】 6 】 ,系统风量过大的净化!空调系统《 ?。 7.》1.4?  洁净室(区)】内的温度、相对湿】度应符合本规范第3!.2.3《条的规定 【 7.》1.5  洁净室】(区)?内的新鲜空》气量应符《合现行国家标准洁净!。厂房设计规范—GB: 50073的【有关规定 ! ,7.1.6  洁】净室(区)与周围的!。空间应保持一定的】静压差?静压差应《符合下列规》定 《 1 》 各洁净室(—区)与周围空—间的静压《差,应按生产工艺要求】。确定; 《 2 【 不同等级的洁净】室(区?),之间的静《压差应大于等于【5Pa; 】 3  》洁净:室(区?)与非洁《。净室:(区:)之间的静压—差应大?于5Pa; ! :4  洁《。净室(区)》与室外的静》压差应大于》10P?a ?。 , 7.1.7】 , 洁净室(区)维持!静压差值《所需的压差》风量宜采用缝隙法】或换气次数》法确定 】 7.?1.8?  送风、回风【和排风系统的—启,闭,联锁、控《制要求应符合—现行国家标准洁净厂!。房设计规范》G,B 5?0073的有关规定! : 《7.1.9  非】连续运?行的洁净室可根据生!产工艺要求设置值班!送风:并应进?。行净化处理 【 《7.1.1》0  洁净室(区)!的清扫方《式应根?据洁净厂房的规模】、空气洁净度等级等!因,素确定洁净室(【区)宜?采用移?动式高效真空吸尘器!对于:空气洁净度等—级为1?~5级的洁净室宜设!。置集中式真空吸尘】系统洁净室》内的吸?尘系统管道应暗敷】 :