《7  空《气净化和空调通风设！计 》 —7.1  一般【规定 【 7《.1.1 》。 洁净厂房内—。。。各洁净室(区)的】空气洁净度等级应】根据电子产》品生产工艺特—点和洁净《室型：式确定 【 7？.1.2 》 气流流型应根据各！洁净室？(区)空气洁净度】等级和电子产品【工艺特点的不同要】求选用 《 ？ 7.1.3 】 有下？列，。情，况之：一者净化空》调系统宜分开设置】 1 】 运行班次或使用时！间不同； 》 ？ 2  生—产过程中《散发的物质》对其他工序》、设备交叉污—染对产品质量或【操作：人员健康《。、，安全：有影响？； ： ， 3  对温！。、，湿度控制要求差【别大； ！4  洁净室(区】)内工艺设备发热相！差悬：殊，； ： 5  】净化空调系统与一般！空调系统； 】 6 》 系：统风量过大的净【化空调系统 】 7《.1.4  —洁净室(《区)内的温度—。、相对湿《度应符合本规范第】3.：。2.3条的规—。定 ？ 7.1【.，5  洁净室(【区)内的新鲜空【。气量应？符合现行国》家标准洁净厂—。。房设计规范GB【 50？073的《有关：规定： —7.1.6 — 洁净室(区)与周！围的空间应保持【一，定的：静压：差静压差应符合【下列规定 【 1  各洁】净室(区)》与周围空间的静压差！应按生产工》艺要：求确定； 》 2  不！同，等级的洁净室(区】)之间的静压差应大！于等于5《。。P，a； 【 ，3  洁净室—。(区)与非洁净室】(区)之《间的静压差应大于】。5，Pa； 】 ，4 ： 洁净室(》。区)与室外的静压差！应大于10Pa ！。 7》.1.7《。  洁净室(区)维！持静压差值》所需的压《差风量宜采用缝隙法！或换气次《数法确定《。 》 7.1《.8  送》风、回风和排风系】统，的启闭联锁、—控制要求《应，符合现行国》家标准洁《净厂：房设计规《范G：B 50073的】有关规定 【 ？7，.1.？。9  非连续运行的！洁净室可根据生产】工，艺要求设置值班送风！并应进行净化处理】 7.】1.10  —。洁净：室(：区)的清扫方式【应根据洁净厂房【的规模、空气—洁净度？等级等？因素：确定洁净室(—区)宜采用移—动式高效真空吸尘器！对于空气洁净度等级！为1～5级》的，洁净室宜设置集中】式真空吸《尘系统洁《净室内的吸尘系统】管，道应：暗，敷， ， ，