7 空】气净化和空调通风】。设计
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7.1 —一般规定
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7.1.1! 洁净厂房内各】洁净室?(区)的空气洁【净度等级应》根据电子《产品生?产工艺特点》。和洁净室型式—确,定
7】.1.2 气【流,流型应根据各洁【。净,。室(区)空气洁净】度等级和电子产【品工艺特点的—不,同要求选《。用
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7.?。1.3 》有,下列情况《之一者净化空调【系统宜分开》设,置,。
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,1 ?运行班次或使用时间!。不同;
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2 生产】过程中散发的物质对!其他:工序、设备交叉污染!对,产品质量或操作人】员健康、安全有影】响;:
3 !。对温、湿《度控制要求差别大;!
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4 【 洁净室《(区:),内工:艺设备?发热相差悬殊;【
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5 —净化空调系统与一般!空调系统;》
6【 系统风》量,过大的净化》空调系统
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7.1.4! 洁净室(区【)内的温度、相对】湿度应符合本—。规范第?3.2.《3条的规定
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7.—1.:5 : 洁净室(区)【内的新鲜空气量应】符合现行国》家标准洁净厂—房,设,计规范GB 500!73:的有关规定
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7.1.—6 : 洁:净,室(区)与周围的空!间应保持一定的【静,压差静压差》应符合下列规定【
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1 — 各洁净室(区)与!周围空?间的静压差》应按:生,产工艺要《求确定;
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2 不》同等级的《洁净室(区)之间的!静,。压差应大于》等,于5P?a;
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3》 洁净室》(区)与非洁净室】(区)之间的静压】差应大于《5Pa;
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4 洁净—室(:区)与室《外的静压差应大【于,10Pa
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7.1.!7 洁净》室(区)维持—静压差值所》需的压差《风,量宜采用缝》隙法:或换气次数》法确定
!7.1.8 送】风、回风和排风系】统的启闭联锁、控】制要求应符》合现行国家标—准,洁净厂房《设计:规范GB 50【。073的有》关规定?
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7.1.9 】非连续运《行,。的洁净室可根—据生产?工艺要求设置值【班送风并《应进:行净化处《理
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7.1.10 ! 洁:净室(区)的—清扫方式应》根据洁?净厂房的规》。模、空气洁净度等】级等因素确定—洁净室(区)宜【。。采用移动式高效真空!吸尘器?对于空气《洁净度等级为1【~,。。5级的洁净室宜设置!集中式真空吸—尘系统洁净室内的吸!尘系统管道应—暗敷
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