《7 空气净化和空!调通风设计
!。
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》7.1 一般【规定
【
7.》1.:1, 洁净厂》房,内各洁净室(区)】的空气洁净度等【级应根据电子—产品生产《工艺特点和洁净室型!式确定
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7》.1.2 气流流!型,。应根据各洁》净室(?区)空气洁净—度等级和电子产品】工艺特点的不同【要求:选,用
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7.1《。.3 有下列情况!之一者净化空调【系,统宜分开设置
【
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?1 运行班次【或使用时间不同【;
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《。2 生产过程中】。散发的物质对其他工!。序、设备交叉—。污染对产《品质量或操作人【员健康、安》全有影响;
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3 【 对:温、湿度控制要求差!别大;
《
4— 洁净《室(区)内工艺【设备发热相差悬殊;!
《
5? 净化空调—系统与一般空调【系统;
》
:。
6 》系统风量过大的净化!空调:系统
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7.1.4 】 洁净室(区)【内的温度、》相对湿度应符合【本规范第3.2.3!条的规定
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7.1.5 【 洁净室(区)内】。的新:鲜空气量应符合【现行国家标准洁净厂!房设计规范GB 】500?7,3的有关规》定
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7.1》.6 洁净室(】区)与周围的空间应!保持一定的静压差】静压差应符合下列】。规定
《。
1》 各洁净室(【区)与周围空间的静!压,差,应按:。生产工艺要求—确定;
!2, 不同《等级的洁净室(区)!之间的静压差应【大于等?于5Pa;
【
3 洁净!室(区)与非洁净室!(区:)之间的静压—差应大于5P—a;
】4,。 洁净室》(区:)与室外的静—压差应大于1—0Pa
【
7.1.7 】 洁净室(区)维持!静压差值所需的【压差风量宜采用【缝隙法或换》气次数法确定—
7.】。1.8 送风、回!风和排风系统的启】闭,联锁、控制》要求应符合现行国】家,标准洁净《。。厂房设?计规范GB》 5:0,。073的有关规定】
—7.1.《9 非连续运【行,的洁净?室可根据生产—工艺要?求设置值班送风并】应进行净《化处理
》
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7.1.10】。 洁?净室(区)的清【扫方式?应,根据洁净厂》房的规模、空—气洁净度等级等因素!。。。确定洁净室(区)】宜采用移动式高【效真空吸尘器对【于空气洁净度等级为!1~5级的》洁净室宜设置集中式!。真空吸尘《系统洁净室》内的吸尘系统管【。道,应暗:敷
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