7 空】气净化和空调通风】设计
】。
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7.1 — 一般规《定
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7.1!.,1 ?洁净厂房内各洁净】。室(区)的空气洁】净度等级应根据【电子产品生产工艺】。特,。点和洁?。净室型?式确:定
《
7.1.2 ! 气流流型应根据各!洁净室(区)空【气洁净度等》级,和电子?产品工艺特点—的不:同要求选用
】
?7.1.《。3 有下列情况】之一者净化空调系统!宜分开设置
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1 运!行班次或使》用时间不同;—
2【 :。生产过程中散—发,的物质对其》他工序?、设备交《。叉污染对产品质量或!操作人员健康—、,安全有影响;
【
《
3 对温—、湿度控制要—求差别?。大;
】4 洁净室(区)!内,工艺设备发》热相差悬《。。殊;
—
5? 净化空调系【。。统与一般《。空调系统;
【
《6 系统风—量过大的净化空调系!统
?
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7.1.4 】 洁:净,室(区)内的温【度、:相对湿度应符合【本规范第3》.2.3条的—规定
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7.1.5 !洁净室?(区:)内的新鲜空—气量应符合现—。行国家标准洁—净厂房设《计,规范GB 500】73的有关规定
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7.—1.6 》洁,净室(区)与—周围的空《。间应保持《一定的静压差—静压差应《符合下?列规定
】
1 各洁净【室(:。区):与周围空间的—静压差应按生产工】艺要求确《定;:
2【 不同《等级的?。洁净室(《区)之?间的静压差应大【于等于5《Pa;
】
3 洁净室(区!),与非洁净室(区)之!间的静压《差,应大于?5Pa;
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4 《洁净室?(区:)与:室外的静压差应大于!10:Pa:。
—7.1.7 洁净!室(区)维》持静压差《值所需的《压差风量宜采用缝】。隙法或换气次数法确!。定
《
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7.1.》8 送风、—回风:和排风系统的—启闭联锁、》控制要求应符—合现行国家标准【洁净:厂房设?计规范?GB 50》073的有关规定
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7.1.9 非!连续运行《的洁净?。室可根据生产工艺要!求设置值《班送风并应》。进行净化处理
【
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7.1.1【0 洁净室(【区)的清扫方式应】根据洁?净厂房的《规模、?空气洁净度等级等因!素确定洁净》。室(区)宜采用移】动式高?效真空吸尘器对【于空气洁《净度:等级为1~5级【的洁净室宜设—置集中式真空—吸尘:。系统洁净室内的吸】尘系统管道应—。。暗,敷
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