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7 空气】净化和?空调通风设计
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7.1 【 一:般,。规定
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《7.1.1 — 洁净厂《房内各?洁净:室(区)的空气洁】净,度等级应根据电【子,产品生?产,工艺特点和洁净【室型式确定
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7.1》.,2 气流流型【应根据各洁净—。室(区)空气洁【净度等级和电子【产,品工艺特点的不同要!求选用
【
7.1.—3 : ,有下列情况之一者净!。。化空调系统》宜分:开设置
【。
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1: , 运行班次或使用时!间不同;
【
?2 生产过程【中散发?的,物质:。对,其他工序、设备【交叉污染对》产品质量或操作【。人员健康、安全有影!响;
》。
?3 对温、湿度控!制要求?差别大;
【
4 —洁净室(区)内【。工艺设备发热相【差,悬殊;
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5 净化【空调系统与一般空调!。系统;
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6?。 系统风量过大】的净化空调系统
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7.1【.4 洁净室(区!)内的?温度、相对湿度应符!合本规范第3.【2.3条的规定【
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7.1《.5 洁净—室(:。。区)内的新鲜空气量!应,符合现?行,国家标准洁净厂房】设计规范《GB 50》07:3的有关规定
【
》7.1.6 — 洁净室(区)【。与周围的《。空,间,应保持?一定的静《压差静压差应符合下!列,规定
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1? 各洁《净室(区)》与周围?空间的静压差应按生!产工艺要求确定;】
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2》 , 不同等级的洁净室!(区)之间》。的静压差应大于等】于5Pa;
【
3 — 洁净室《(区)?与非洁净室(区)】之间的静《压差应大于5—Pa:;,
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4 —洁净室(区)与室外!的静压?差应大于10P【a
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7?.1.7 洁净】。室(区)维持静压差!值所:需的压差风量宜采】用缝隙法或换气次数!法确定
》
《7.1.《8 送风、回【风和排风系统的启闭!联,锁、控制《要求应符合现行【国,家标准洁净厂房设计!规范GB 》500?73的有《关规定
【
7.1.9 !非连续运行》的洁净室可》根据生产工》艺要求设《置,值,班送风并应进行净化!处理
《
7.—1,.10 洁净室】(区:)的清扫方式应根】据,洁净厂房《的,规模、空气》洁净度等级等因素确!定洁净室(区)【宜采用移动式高效】真空吸尘器对于空气!洁净度?等级为1~5级【的洁净室宜设—。置集中式真空—吸尘系统洁》净室内的《吸尘系统管道应暗敷!
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