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7》 :空气净化《和空调通风设计
】
:
7.!1 一般规—定
:。。
7】.1.1《 :洁净厂房内各—洁净室(区)的【空气洁?净度等级应根据电子!产,品生产工艺特点【和洁净室型式确定】
》
7.1《.2 气流流【型应根据各》洁净室(区)空气洁!净度等级《和电子产品工—艺特点的不同要求选!用
《
7.1—.3:。 :有下列情况之一者净!化空调系《统宜分开设》置
—
1: 运行《班次:或使用时间》不同;
—
,。
2 生—产过程中散》发的物质《对其他工序、设【备交叉?污染对产品》质量或操作人员【健康、安全有影【响;:
3 】 对温、《。湿度控制要》求差别大;
!
4 洁净室】(区)内工艺设【备发热?相差悬殊;
—
5 】净化空?调系统与一般空调】系统;
】
,6 : 系:统,风量过大的净—化空调系统
【
7.1【.4 洁》净室(?区)内的温度、相】对湿度?应符合本规范—第3.2.3条的】规定
《
7.1.5! 洁净室(区)内!的新鲜空气量—应符合现行国家标】准洁净厂房设计规范!GB 50》073的有关规【定
《
7.》1.6?。 洁净室(区【)与周围《的空间应保持—一定的静压差静压】差应符合下列规定】
1 】 各洁净室(区【)与:周围空间的静压差】应按生?产工:艺要求确《定,;
2】。 不同等级的洁净!室(区)之间的【静压差应《大于等于5》Pa;
【
3 洁净室】。(区)与《非洁净室(区)【之间的静《。压差应大于5Pa;!
《
:。4 洁净室(【区)与室外的—静压差应大于10】P,a
7.!1.7?。 洁净室(—区)维持《。静压差值所》需的压差《风量宜采用缝隙法或!换,气次数法确定
【
《
7.1《.8 送风、回风!和排风系统的启闭联!锁、控制要》。求应符合现行国家标!。准洁净厂房设—计规:范GB 500【73的有关规定
!
7.1.】9 非《连续运行的洁净室】可根据生产工艺要】求设置?值班送风并应进行净!化处理
】
7.1.》10 洁》净室(区)》。的清扫方式应根据洁!净厂房的规模、【空气洁净度等级等】因,。素确定洁《净,室(区)《。宜采用?。。移动式高效》真空吸尘器对于空气!洁净度等级》为1~5级的洁【。净室宜设置集中式】真空吸尘系统—洁净:室内的吸尘系统管道!应暗:敷
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