5.5 】 设：备及工器具 】 ： 5.5.1 ！ 洁：净，室(区)内》应采：用具：有防尘、防》污染的生产设备【和辅助生产设—备并应符合下—列要求 ！1 ： 表面？应光洁、易清洁、不！积，尘、不挥发》化，学物质； — ？ 2  设》备的传动部件等【应密封性能好并【应防止润滑》油、冷却剂等的泄】漏； ？ ， 3 — 对生？产中发尘《、，排热量？大或排出有毒、可】燃，气体的设备应采取防！。扩散措施《； ： ，。 ： 4？  设？。备的金属外壳应【设置接地设施 【 5.5.！2，  当设备安装在跨！越不同空气洁净度等！级的洁净室(区【)时宜采取密封隔】断，措施 】5.：5.3  》洁，净室(区)内—的设备？宜，。选用低噪声产—品当：所选：设备超过《洁净：。。室噪声？容许值时应采取隔】声措施 — ？5.5.4  洁净！室(区)应设—置，对电：子产品？生产过程所使—用的工器具进行【。净化处理《。的设施 【 5？.5.5  洁【净室(？区，。)内电子产品生产】过程中？各种零、部件存放】和传送宜采用专用】容器用于存放和传】送的专用容器应符合！下列规定 ！ 1  制作—材，料，应光洁、不吸—湿、不锈蚀》、不散发污染物【、防静电并在空气】中不应被氧化；【。 ？ ？2  应密封性能】好； 》 3  当【。存放：物有严格的》洁净度要求时宜充填！高纯：度或干燥氮气；【。 4  ！构造、外形应满足】生产工艺要》求，并，。应方：。便操作和运送 ！ 5.5.6】  洁净室》。(区)内设置—真空泵时《应，符，。合下：列规定？ 》 1 ？ 使用油润滑—。的真空？泵应设置《除油装置除油—后尾气？应排入排气系统；】。 ？ 2  对传】输含有可燃气—体的：真空泵可燃气体浓度！超过爆炸下限—的2：0％时应设》尾气处理《装置在排《入排气系统前应【去除或稀释可—燃气体组分；—。 《 3  传输易】燃、自燃化学品或】高浓度氧气的真空】泵应：采用不燃泵油并应】。配置氮气吹》扫氮气吹扫控—制阀应与生产工艺】设，备操作系统联—锁 ： ，