5.5 】 设备？。及工：器具 ！ 5.5.》1  洁净室(区)！内应采？用具有防尘、—防污：染的生？产设备和辅助生产设！备并应符合下列【要求 ？ ？ ， 1  表面应【光洁、易清洁、不】积尘、不挥》发化学物质；— —2 ： 设备的传动部【件等应密封性能好并！应防止润滑油、【冷却剂等的泄漏； ！ 3—  对生产》中发尘、排热—量大或排出有毒、】可燃气体的设备应采！取防扩散措施； 】 ： 4 》 ，设备的金属》外壳应设置接—。地设施 【 5.5.2  ！当，设备安装在跨—越，不同空气洁净—度，等级的洁净室—(区)时宜采取【密封隔断措施 】 ， 5.5.【3  洁净室(区)！内的设备宜选—用低噪声产品—当，所，选设备超过洁—净室噪声容》。许值时应采》。取隔声措施 ！ 5.《5.4  洁净【室(区)应设置对】电子产？品生产过程》所使用的工器—具，进，行净化处理的设施】 》 5.5.5 【。 洁净室(》区)内电子》。。。产品生产过程中各】。种，零、部件存放和【传送宜采《用专用容器用于存】放和传送的专用容】器应：符，。合下列规《定 》 1  制作材料！应光洁、不》吸湿、不《锈蚀、不散发—。污染物、防静—电并在空气中不应被！氧化；？ ？ 2  —应密封性能好； ！ 3》  当存放物有【严格：的，洁，净度要求时》宜，充填高纯度或—。干燥氮气；》 》 4：  构造《、外形应满足生产】工艺：。要求并应方便操作】和运送 ！5，.5.？6  洁净室—(区)内设置—真空泵时应符—合下列规定 ！。 1？  使用《油润滑的《真空泵应设置除油装！置，除油后尾气应排【入排气系统；— ， ， 2 —。 ，对传输含有可—燃气体的真空—泵可燃气体浓—。度超过爆《炸下限？的20％时应设尾气！处理装？置在：。排入排气系统前【应去除或稀释可【燃气体组分；—。 ？ ： 3：  ：传输易燃、自燃化】。学品或？高，浓度氧气的真空泵】应，采用不燃泵油—并应配置氮气—吹扫氮气吹扫控制阀！应与生产工艺设备】操作系统联锁 】