5》.5  设》备及工器具 ！ ： 5.5.1  ！洁净：室(区)内》应采：用，具有防尘、防—污染的生《产设备和辅助生【产设备并《应符合下列》要求 》 1  —。表面应光洁、—易清洁？、不积尘、》。不挥发化学物质； ！ 2 【 设：备的传动部件等应密！封性能好《。并，应防止润滑油—、冷：却剂等的泄》漏； 》 3  —对生产中《发尘、排热量—大或排？出有：毒、：可燃：气体的设备应采取】防扩散措《施；： ： 4  设】备的金属外壳应设置！接地设施 — ：。 5.5》。.2 ？ 当设备安装在【跨越不？同空气洁净度等级】的洁净室《(区)时宜》采取密封隔断措施】 5【.5.？3  洁《净室：(区)？内的设备宜选—用低噪声产品当所】。选设备超过洁净室噪！声，。容许值时应采取隔】声措：施 ？ 5.5【.4 ？ 洁净室(》区，)应设置对电子产】品生产过程所使【用的工器具进行净】化处理？的设施？ ： 5.5.5！  洁净室(—区)内电子》产品生产过程中各种！零、部件存放和传】送宜：采用专用容器用于】存放和传送的专用容！。器应符合《下列规定 》 1  制！作材料应光洁、不】吸湿、不锈》。蚀、不散发》污染物？、防静电并在空气】中不应被氧化； ！ 《2， ， 应密？封性能好； 【 3》  当存《放物有严格的洁【净度要求时宜—充填高纯度》或干燥氮气； 】。 《。4，  ：构造、外形应满【足，生产工艺要求并应方！便操：作和运送 — ？ ，5.5.6  洁】净室(区)内设【置真空泵时应符合】下列规定 】 1 《 使用油润滑的真空！。泵应设？置除油？。装置除？油后尾气应排入排】。气系统； 】 2？  对传输含有可】燃气体？的真空？泵可燃气《体，浓度超？过，爆炸下？。限的20％时应设】尾气处理装置—在排入？排气系？统前应去《除或稀？释可燃气体组—分； ？ ，。 ？ 3  传》输易燃、自燃化学】品或高浓度氧—气的真空泵应采用不！燃泵油并应配置氮】气吹扫氮气吹—扫控：制阀应与生》。产，工，艺，设备操？作系统联《锁 ： ，