5.5 】 设备及工器具 】 》 ， 5.5.1  洁！。净，室(区)《内，应采用具有防尘【、防污染的生产设】备和辅助生产设【备并应符合下列要】求 【1  表面应光【。洁、易清洁》、不积尘、不—。挥发化学物质—； — 2：  设备的传动【部件等应《密封性能好并应防】止润滑？油，、冷却剂等的—泄漏； 》 《3  对生产中【发尘、排热量大或排！出有毒、可燃—气体：的设备应采取防扩】散措施； 》 4  】设备的金属外壳【应，设置接地《设施 《 《5.5.2  当】设备安装在》跨越不同空气—洁，净度等级的》洁净室(区)时【宜采取密封隔断措施！ ： 5.5【.3  《洁净室(区)内的】设备宜选《用低噪声产》品当所选设》。备，超过：洁净室噪声容—许值时应采取隔声措！施 《 5.5.4】  洁净室(—区)应设置对电子产！品生产过程所使用的！。工器具进行净—化处理的设施 ！ ， ， 5.5.5  】洁净室(区》)内电子产品—生，产，过程中各《种，零、部件存放和【传送宜采用专用【容器用于存放和【传送的？专用容器应符合【下列：规定 — 1？。 ， 制作材料应光【洁、：不吸湿、《不锈蚀、不散发【污染物、《防静电并《在空气中《。不应被氧化；— ， 》2  应密封性【。能好； ！3  当存放物有】严格的洁净度要【求，时宜充填高纯度或干！燥氮气； ！ 4：  构？造、外？。形应满足生产工艺要！求并应？方便操作和》运送 】5.5.6》  洁净室(区【)内设置真空—泵时应符合下列规定！ —1  使用油润滑】的真空泵应设置除油！装置除油后尾气应】排入排气系统—； 【2  对《传输含？。有，可，燃气体的真》空泵可？燃气体浓度》。超过爆炸下限的【20％时应设尾气】处理装置在》排入排气系统前应去！除，或稀释可燃气体【组分； 《 3  】传输易燃、自燃化】学品或？高浓：度氧气的真》空泵应？采用不燃泵油并应配！置氮气吹扫氮—气吹扫控制阀应与生！产工：艺设备操作系统联锁！ ， ，