5.5  ！设备及工器具 ！ 5.5】.1：  洁净室》(区：)内应？。采用：具，有防尘、防》污染的？。生，产设备和辅》助生产设备》。并，应符合下列要—求 ？ ：。 ， 1  表面应光】洁、易清《洁、不积尘、不挥】发化：学物质； 】 2  设备的传！动部件等应》密封性能《。好并应防《止润：滑，油，、冷却剂等》的泄漏？。； — 3 ？ 对：生，产中发尘《、排热量大或排出有！毒、：可燃气体的设备应采！。取防扩散措》施； 4！  设？备的金属外壳—应设置接地设施 ！ ？ 5.5《.2  当设备安装！在跨越不同空气洁】净度等级的洁净室(！区)时宜采取密封】隔断措施 【 5.5.3 ！ 洁净室《。(区)内的设—备宜选用低噪声【产品当所《选设备超过洁净室噪！声容许值时应采【。取隔声措《。施 — ，。5.5.4  洁净！室(区)应设置对电！子产品生产过程所】使用的工器具进【行净化处理的设施 ！ ， 5.5.5！  ：洁净室？(区)内电子产品生！产过：程中各种零、部【。件，存放和传送宜采用】专，用容器？用于存放和传—送的专用容》器应符？合下列规定 【 1  制作！材料：应光洁、不》吸湿、不锈蚀—、不散发《污染物？、防：静电并在空气中不应！。被氧化； ！ 2  应密封【性能好； 》 3  当！存放物有《严格的洁《。。净度要求时宜充填高！纯度或干燥氮—气； 【 4  构造、【外，。形应满足《生产工艺要求并应方！便操作？和运送 】 5.5.6  】洁净室(区)内设置！真，空泵时？。应符合下列规定【 ：。 1  【使用油？。润滑的真《空泵应设置除油装】置除油后尾气应【排入：排气：。系统； 《 ： ， 2  对—传输含有《可，燃气：体的真空泵可—燃气体浓度超过爆炸！下限的20》。％时应设尾气处【理，。装置在排入排—。气系统前应》去除或？。稀释可燃气体组分；！ —3  传输易—燃、自燃化学品【或高浓度氧气—的真空？泵应采用不燃泵【油并应配置氮—气吹扫氮气吹扫控制！阀应与生产》工艺设备操作系统】。联锁 《