： 5.5  设】备及工器具》 — ， 5.5.1  】洁净室(区)内应】采用具？有防尘、防》污染的生产》。设备和辅助生—。产设备并应符合【下列要求 【 1  表【面应光洁、易清洁、！不积尘？、不挥发化学物质；！ —2  设备的传动部！件等：。。应密封性《能好并应防止润滑油！、冷却剂等的泄漏】； ： ： ， 3？  对生产中发【尘、排热量》大或排？出有：毒、可？燃气体的设备应【采取防扩《散措施； 》 《。 4  设》备的金属外壳—应设置接《地设施 《 ， ， 5《.5.2  —当，设备安装在跨越不】同空：气洁净度《等级的洁净室(【区)时宜采》。取密封隔断措施【 》 5：.，5.3  洁净室(！区)内的设》。备宜选？用低：噪声产？。品当所选设备—超过洁净《室噪声？。容许值时《应采取隔声措施 】 《 5.5.4—  洁净《室(区)应设—置对电子产》品生产过程》所使：用的工器具进行【净化处理《的设施 》 ， ？。5.：5.5  洁净室】(区)内电子产品】生，产过程中各》种，零、：部件存？放和传送宜》采用专用《容器用于《存放：和，。传，送的专用容》器应符合下列规定 ！ ？ ， 1 ？ 制作材《。。。料应光洁《、，不吸湿、不锈蚀、不！散发污染物、防静电！并在空气《中不应被氧》。化； 2！。  ：。应密：封性能好； 】 ： 3  当存放物】有严格的洁净度要】求时：宜充填高《纯度或干燥氮气； ！ ：。 ？4  构《造、外形《应，满足：生产工艺要》求并：。。应方便操作》和运：送 5】.5.6  洁【净室(区)内设【置真空泵《时应：符合下？列规定 ！。1  ？使用油润滑》的真：空泵应设置除油装置！。除油后尾气应排入】排气系统； 【 2 — 对传输含》有可燃？气，。。体的真空泵可燃【。。气体浓度超过爆【炸下限的《20％时应设尾气】处理：装置在排入排气系统！前应去除或稀释【可燃气体组分； ！ 3  传输！易燃、自燃化学【品或高浓度氧气【的真空？。泵应采用不》燃泵油？并应配置氮气—吹扫氮气吹扫控制阀！应与生产《工艺设备操作系统联！锁 ？