： ：5.5  设—备及工？器具 》 5.5.！1  洁净室—(区)内应采用具】。有防尘、防污染的生！产，设备和辅助生产设备！并应符合下列要【求 【1  表面应—光洁、？易清洁、不》积，尘、不挥发化—学物质？； ？ 2》  设备的传动部】件等应？密封性能好并应防止！润滑油？。、冷却剂等的泄漏；！ 3 】 对生产中发尘、】排热量？大或排出《。有毒、可燃气体的设！。备应采取防扩散措施！； 4 ！ 设备的金属外壳】应设：置接地设施》 《 ， 5.5.2  】当设备安装在跨越】不，同空气洁净度等级的！洁净：室(区)时宜—采取密？封隔断措施 ！ 5.5.3【。  洁净室(区)内！的设备宜选用低【。噪声产品当所选【设备超？过洁：净室噪声《容，许值时应采取隔声措！施 【5.5.4  洁净！室(：区)应设置对—电子产品生产过【程所使用的工器具进！行净化处理的设施】 5【.5.5  —洁净室(《区)内电子产品【生产过程中各种零、！部，件存放和传送宜采用！专用：容器用于存放—和传送的专用容器应！符，合下列规定 ！ ， 1 ？ 制作材料》应光洁、不吸湿、不！。锈蚀：、不散发《污染：物、防静电并在空】气中不？应被氧化； — 2—  应？。密封性能好》； — ，3  当存放—物有：严格的洁《。净度要？求时宜充填高纯度或！干燥氮气； — 》。4，  构造、外形应】满足生产工艺要求】并应方便操作和运】。送 ？ ， 5.》5.6  洁净室(！区)内设置真—空，。泵时：应符合？下列：规定 —。 1 《。 使用油润滑的【真空泵？应设置除油装置除】油后尾气应排—入排气？。。系统； 【 2  对—传输含有可燃气体的！真空泵可燃气体浓】度超过？爆炸下限的20％时！应设尾气《处理装置在排入排气！系，统前应去除或—稀释可燃《气体组分； ！ 3？  ：传输易燃、》自燃化学品或高浓】度，氧气的真空泵应采用！不燃泵油《并，应配置氮《气吹扫氮气吹扫控制！阀应：与生产？工艺设？备操作系统》联锁 《