安全验证
? 5:。.4  物料净化】 ? 5.【4.1  洁—净室(区)内的设】备和物料《出入口应独立设置】并应根据设备和物】料的特征、性—质、形状等》设置净化用》室及相应物净设施 ! 5—。.4.2  物料净!化用:。室与洁净室(区)】之间:应设置气闸室—或传递?窗 ?