安全验证
, 5.4 【 物料净化 — — 5.?4.1  洁净室(!区)内的设》备和物料出》入口应?独立设置《并应根据《设备和物料的特征】、性质、形状等设】置净:化用室及相应物净设!施 5】.4.2  —物料净化《用室与洁净室(区】)之间应设置—。气闸室或传》递窗 《