安全验证
: 5.4 — 物料净《化 : : 5.【4.:1  洁净室(区】)内的设备和—物料出入口应独立】设置并应《根据设?。备,和物料的特征—、性质、形状等【。设置净化用室及相应!物净设施《 : 5》.4.?2 : ,。物料:净化用室与洁净室】。(区)之间应设【置气闸室或传递窗 ! ,