4.3 !洁净室布置》和综合协调
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4.3.1! 洁净厂房的平面!布置应合理安排洁净!生,产区、辅助区—。和动力区并应—。符合下?列要:求
【1 ?洁,净,室(区)人员净化】、物料净化和各种辅!助,用房应合《理分区布置;—
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2 生—。。产工艺或生产—设备有特殊要—求时:宜,分隔为单独的房【间;
3! :生产过程中排放【腐蚀性气体的—生产设备或生产【。工,序应分类、集中布】置,或与其他生》产房:间分隔;
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:4 发《热量、?发尘量?。大的生产工》序或生产设备宜与】空气洁净度》要求严格的房间【分隔布置;
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5:。 洁?净室(区)的辅助设!备、维修间等技术支!持区宜?集中布置在》洁净室(《区)的相邻房间技】术支持区的空气洁】净,。度等级应低》于,洁净室(区》),。的等级;
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6 若需在【洁净室(区)—内,设,置,洁净电?梯时应采取》气闸间、洁净送【风措:施;
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7 应【符合有?关防:爆,、防火、《消防等?要求
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4—.3.2 —洁,净室(区)的空间布!置应满足下列要【求
1 ! 生产设备、物料】运输系统应根—据产品生《产,工艺要?求布置并应做到有】效、:灵活和操《作方便?;
【2 各类》管线的空间布置应满!足,生,产,工艺、安全间距和维!修要求;
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3 《终端:高,。效空气过滤器、【照明灯具和》各种公用动力—。设施的布置应—满,足生产工艺、洁【净度等级、安全生产!和维修要《求;
】4 洁净生产层的!高度应按生产设备、!微环境装置和—物料运?输设备的《外形尺寸确定—技术:夹,层高度应根据具体】工程要求确定
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?4.3.3》 洁净室(—区,)内:应,少,分隔但下列情况【应予分隔
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1 按【火灾危险性分类【甲、乙类的房—间与相邻的生产区段!。或,房间之间或有防火】。分隔要求时应设【隔墙;
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2 》 在电子产》品生产过程中经常不!同时使用的两个生产!区段或房间之—。间;
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3 生产】过程中排放影响【产品:质量的有害气体【或化:学污染?物,。的工序、《设备宜分隔设独立房!间
4.!3.4 洁净厂】房的布置《。应综合协调生—产操:作、设备安装和【。维修:、公用?动力管线、气—流流:型以及?净化空调系统等各】类,技术设?施的:需要
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