4.—2 洁《净室型?式
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4.2.【1, 洁净室可根【据电子产《品生产工艺特点、空!气,。洁净度等级》。和布置要求分为隧道!式、开放式和—微,环,境等也可按气流流】。型分:为单向流《洁净:室、非单向流洁净】室和:混合流洁净室
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:4.2.2 电】子工业洁净厂—。房垂直单向流洁净】室,的空:间应包括活动地板以!。下,的,下技术夹层、洁净生!产层和吊顶以—上的上?技术夹?层,
4【.2.3 洁【。净室型?式的选择应综合生产!工艺要求、节约【能源、?减少:投资和降《低运行?费用等因《素,确定各种空气—洁净度等《级的电子工业—。洁净厂房宜采用混】合流洁?净室对空气洁净度】净度要求严格时宜采!用微环境等型式【
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