4.—2 洁净室型【式
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4【.2.1 》。 洁净室可根—。据电子产品生产工艺!特点、空《。气洁:净度等级和》布置要求分为隧道】式、开放式和微【环境等也可按气流流!型,分为单向流洁净室、!非单向流洁净室和混!合流洁净室
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4.2.【2 ?电子工业洁》净厂房垂直单向【流洁净室的空间应包!括活动地板以下的下!技,术夹层、洁净生产层!。和,吊顶以上的》上技术夹层
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》4,.2.3 洁净】。。室型式的《选择应综合生产工】艺要求?、节约能源、减少】投资和?降低运行费用等因】素确:定各种空气洁净度等!级的电子《工,业洁:净厂房宜采》用混:合流洁净《室,对空气洁净度—。净度要求《严格:时宜:采用微环境》等型式
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