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4《.2 洁净室型】式
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4.2.1 】。 洁净室可》根据电?子产品生产工艺特点!、空气洁净度等【级和:布,置要求分为隧—道式、开放式和微环!境,等也可按气流流【型分为单向流洁净】室、非单《。向流洁净室和混合】流洁净?室
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4.2.2— :电子工业《洁净厂房《垂直单向《流洁净室的空间应包!括活动地板以—下的下技术》夹层、洁净生—产层和吊顶》以上的上技术夹【层
4】.2.?3 洁净室—型式的选择应综【合生产工艺要求、节!约能源?、减少投资和降【低运行?费用等因素确—定各种空《气,。洁净度等级的电子工!业洁净厂房宜采用】混合流洁净室对空气!洁净度净度要—求严格?时,。。宜采用?。微环:境等型式
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