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, ?4.2  洁净室型!式 : 》 4.2.1【 , 洁:净室可根据电子产】品生产?工艺特点、空气洁】净度等级和布置要】求分为隧道》式、开放式和微【。环境等也可按气流流!型分为单向流洁净室!、非单向《流洁净室和混合流洁!净室 ? 4—.2.2 》 电子?工业洁净厂房垂直】单向流?洁净:室的:空间应包括活动地板!以下的下技术—夹层、洁净生产【层和吊顶以上的上】技术夹?层 : 4.2】。.3 ? 洁净室型》式,的选择应综》合生产工艺》要,。求、节约能源、【减少:投资和降《低运行费用等因素】。确定各种空》气洁净?度,等级:。的电子工业洁—净厂房宜《采用混合《流洁净室对》。空,气洁净度净度要求严!格时:宜采用微《环,境等型式 —