《4.2? 洁净室》。型式
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4.2.》1, 洁净室》可根据电子产品【生产工艺特点、空气!洁净度?等级和布《置要求分为隧道式】、开放式《和微环境《等,也,可,按气流流《型分为单向》流洁:净室、非单向—流洁净室和混合【流洁净室
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4.2.】2, 电子《。工业:。洁净:厂,。房垂:。直单向流洁净—室的空间应包—括活动地板以下【的下技术夹层、【洁净生产层和吊顶】以,上,的上:技术:夹层
4!.2.3 》 洁净室型式—的,选择:应综合生产工艺【要求:、节约能源、减【少投:资和降低运行费用等!因素:确定各种空气洁净】度等级的电子—工业洁净厂房宜采】用,混合流洁净室对【。。空气:洁净度净度要求【严格时宜采用微【环境:等型式?
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