安全验证
, 4.2  洁!。净,室型式 【 ? 4.2.1—  洁净室可根【据电子?产品生?产工艺特点、空气】洁净度?等级和布置要求【分为隧道式、—开放:。式和微环境等也可】按,气流流型分为单向流!洁净室、非》单向:流洁净室和混合流洁!净室 【 4.2.2  】电子工业《洁净厂房垂直单向流!洁净室的空》间应包括活》动地板以下的—下技术夹《层、洁净生产—层和吊顶以上—的,上,技术夹层 【 4.》2.3  洁净室型!式的选择应综合生】产工艺要求、—。。节约能源《、减少投资和降低】运行费用等因—素,确定各种空》。气洁净度等级的【电子工业洁净厂房】宜,采用混?合,流,洁,净室对空气洁净【度净:度,要,求严格时宜采用【微环境等型式 【 ,