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4.2 洁】净室型式
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4—.2.?1 洁《净室:可根据电子产品生产!工艺:特点、空气洁净度】等级:和布置要求》分为隧道式、—。开放式和微环境【等也可按气流流型分!。为,单向流洁净》室、非单向流洁净】室和混合流》。洁净室
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4.2.》2 电子工—业,洁净厂房《垂直单向流洁净室】的空间应包括—活动地?板,以下的下技术夹层、!洁,净生产层《和吊顶以上》的上技术夹层
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4.【2.3 洁净室型!式的选择应综合生】。产工艺要《求、节约能源、减】少投资和降低运行】费用等因素确—定各种空《气洁净度等》级,的,电子工业洁净—厂,房宜采用混合流洁】。净室对空气洁净【度净度?要求:严格时宜采用微环境!等型式
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