8．2 】 管道材料和阀门】 】8．2．1  工业！管，。道的材料和阀门的】选用由于《所输送的物》料品种多《样它们的物化性质】不同：具体工？程，中各种物料》的使用工况（压力】、温度、浓度等）也！是不同的所》。以本条规定工业管】道的材料和阀门【应根据所《。输送：物料：的物化性质和使【用工：况在满？足，不同的生产工艺【。要求的前提下—经技术？经，济比：较选择合《适的材质《如，集成电路生》产中：所需的高纯气体、】特，种气体？等都有特殊》的和严格的要求如对！气体中的杂》质和露点《要求极为严格需要达！到，10：-9、？10-12级尘埃】粒径要求控》制，小于0.1μm甚至！0.05《μm的粒子因此【需要相应高质—量的输送管道—和阀门？但不同材质或同一】材质管道《内壁处？理方法不同价格相】差甚远？如，某工程拟引进316！L，材质的不锈钢管内】。壁电抛光《处理要比未经处【。理的价格高出1【.6倍～2.1倍因！此管道材料》。、内壁处《理和阀？门形式的选用要【根据具？体的：生，产工艺区别对待这样！才能做？到既：满，足，生产：工艺要求又经济合】理 — 8．2．2  】根据对国内》洁，净厂房？使用情况《的调查大多数工厂】高纯气体管》道是：采用不锈钢管因【为它具有化学—稳定：性，好，渗透性小吸附性差】等特性输送的—气体质量能满足生】产工艺的要求 【 ， ？   ？  阀？门的严？密性好坏是影响气体！纯度的重要因素之一！国内多数洁》净厂房？和某些？引进或合《资，项目的高纯气体管道！阀门基本上都是【采用不锈钢材质阀】。门类型有《隔膜阀、波纹—管，阀和球阀波纹管阀】比球阀严《密性好隔膜》阀除严密性好外【还具有阀《体死：体积小、易》。。吹，。。除的特点因此适【用于气体《纯度要求《极高生产工艺严格或！危险性大的气体 】 《  ：   如《上海某集成》电路：厂前工序(0.3】5，μm)技《术，。芯片直径8"要求】高纯气体中杂质含】量均要？。小于10×1—0-：9氮、氢《、氧、氩气体管道采！用进：口SS316—L内壁电抛光—处理（通称EP管】），316L是低碳【不锈钢管其使用原】因是防止钢材中碳组！分的析出《及吸：附或释？放杂质气体影—响气体纯度并导【致产品成《品率下降阀门是【。隔膜阀Ca》j，o，n VCR》密封连接形式—又如深圳某公—司集成电《路后工？序气体？纯，度要求99.—99：9％、露点－—7，0℃氮？气、氮氢混合气、】氧气管？道均采用《S，S30？4不：锈钢管国内》合，资企业进行内壁【光亮抛光处理阀【门为进？口球阀？双卡套连接 】 ，   《  为？此本条规《。定按生？产工艺和《对气体纯度》的，要求选用合适的不】锈钢管？材和阀门 — ， ： 8．2．》。。3  本条规—定干：燥压缩？空气露点低于－70！℃时应采《用不锈？钢管：内壁：经抛光处《理并非规定要进【。行电抛光而是可以采！用机械？抛光化学抛光俗称】光亮抛？光因：为表面光亮水—分不：易被吸附、滞留在】管道表面而且极【易被：吹，除干：燥对输送低露—点的气体是十分【必要的SS30【4钢相当《于，国内钢牌号》为，。。0，Cr18Ni—9，。。如上海某工程集成电！路厂干燥压缩—空，气，露，点要求－73—℃采用管材为—SS30《4钢内壁光》亮抛光（通称B【。。A管）阀《门采用波纹》。管阀双卡套连—接；：深圳某公司集成【电路后工《序干燥压缩空气露点！要求－70℃—采，用国内合资企—业进行电抛光处理】阀，门为进口球阀双【卡套：连接 【     对于干燥！压缩空气露点低于】－40℃可以采【用0Cr18N【i9：不，锈钢管(304【)或热镀锌》无缝钢管这在国【内已有多年运—。行经验证明》是可以满足此—类，压缩：。空气的输《。。送要求的 —