8．2 】 ，管道材料和》阀门 《 ？ 8．2．1 ！ 工业管道的材料和！阀门的选用由—于所：输送的物料品种【。多样它们的物化性质！不同具体工程中各】种物料？的，使用工况《（压力、温度、浓】度等）也是不同【的，所以本条规定工业管！道的材料和阀门【应根据所《输送：物料：的物化性质和使【用工况在《满足：不同的生产工艺要求！的前提下经技术经济！。比较选择合适的材】质，如，集成：电路：生产中？。所需的高纯气体【、特种气体等—都有特殊的和—。。严格的？要求如对《气体中的杂质和【露点要求极》为严格需要达到1】0-9？、10-12级尘埃！。粒径要求《控制小于0.1μm！甚，至0.05μm【。的粒子因《此需要相应高质量】的输：送管道和阀门—但不同材质或同一】材质管道内壁处【。理方法不同价格【相差：甚远如某工程拟引进！316L材质的不锈！钢管内壁电抛光【处理要比未》经，处理的价格高出1】.6倍～《。。2.1倍《因此管道材料、内】壁处理和阀门—。形式的选用要根据】具体的生产》工艺：区别对待这》样才能做到既满足】生产工艺要求又经济！合理 8！．2．2 》 根据对国内洁净】。厂房使用《情况：的调查大多数工【厂高纯气《体管道是采用不【锈，钢管因为它具有【化学稳定性好渗透性！。小吸附？。性差等特《性输送的气体质量】能满足生产工艺【的要求？ ： ，   》  阀？门的严密性好坏是影！响气体纯度的—重要因素之一国内】多数洁？净厂房和《。某些引进或合资【项目的高《纯气：体管道阀门基本上】都，是采用不锈钢材质】阀门类型有隔膜【阀，、波纹管阀和球阀】波纹管？阀比：球阀严密《性好隔？膜阀除严密性好【外还具有阀体死体积！小、易？吹除的特点》因此适用于气体纯】度要：求极高生产工艺严格！或危险？性大的气体 — 《  ：   如上海—某集成电路厂前【工序(？0，.35μm)技术芯！片直径8《"要求高纯》气体中杂质含量均要！小于1？0×10《-9氮、氢、氧、氩！气体管道采用—进口SS《。316L内壁电抛】光处理（通》称EP？管）3？16L是低碳不锈钢！管其使用《。原因是防止钢材中】碳组分的析出及【吸附或释放杂质气】体影响？气体纯度并导—。。。致产品成《品率下降阀门—是，隔膜阀Cajon ！VCR密封连接形式！又如：深圳某？公司集成《电路后工序气—体，纯度要？求99.999【％、露？。点－70℃氮气、氮！氢混合气、氧气【管道均？采用SS304不】锈钢管国《内合资企业进行内壁！光亮抛光处理阀【门为进口球阀—。双卡套连接 —。 ：     【为此本条规定按生产！工艺和对《气体纯度的要求【选用合？适的不？锈钢管材和》阀门 】8．2．3  本】条规定干燥压缩空】气露点低于－70】℃时应采用不锈【钢管内壁《经抛光处理并非【规定要进行》电，抛光而是可以采【用，机械抛光化学—抛光俗称光亮—抛光因为表面—光亮水分不易被【吸附、滞留在管道】。。表面而且极易被【吹除干燥对》。输送低？露点的气体是十分】必要的SS》304钢《相当于国内钢牌号为！0Cr18Ni【9如上海《某工程？集成电路厂干燥压缩！空气露点要求－7】3℃采用管材为S】。S，304钢内》壁，光，亮抛光（通称BA】管）阀门采》用波纹？管阀双卡套连接【；深圳某《公司集成电》路后工序干燥压缩】空气露点要求－7】。0℃采？用国内合资》。企，业进行电《抛光处理阀门—为进口球阀》双卡套连接 【 《    《对于干燥压缩空气露！点低：于－40《℃可以采用0C【r18Ni9不【锈钢：管，(，304)或热镀锌】无缝：钢管这在国》内已有多《年，运行经验证》明是可以满足—此类：压缩空气《的输送要《求的 《