8．2  ！管道材料《和阀：门 《 ：。 ？8，．2．？1 ：。 工业？。管道的？材料：和阀门的选》用由于所输送的物料！品种多样它们的物化！性质：不同：具体工程中各种物料！的使用工况（压【力、温？度、浓度等）—也是不同的所以本条！规定：工业：管道的材料》和阀门？应根：据所输送物料的物化！性质和使用工况在】满，足不同？的生产工艺》要，求的前？提下经技术》经济比较选择合适的！材，质如集成《。电路生产中所需的】高纯气体《、，特种气体等都有【特殊的和严》格的要求《如对气体《中的杂质和露点要求！极为严格需要达到】10-9、10【-12级尘埃粒径要！求控制小于》0.1μm甚至0】.，0，5μm的粒子—因此需要《相应高质量的输送管！道和阀门但不同材】质或同一材质管【道内壁处理方法不】。同价格？相差：甚，远如某工程拟—引进316L材【。质，的不锈钢《。管，内壁电抛光处理要】比未经处理的价格高！出1.6倍～2.1！倍因此管道材料、】内壁处理和》阀门：形式的选用要—根据具体的生产【工，艺区别？对待这？样，才能做到既满足生产！工艺要求又经—济合理 《 《。 8．2．2 【。 根据对国内洁净厂！房使：用情况的调查—大多：数工厂高纯气体【管，道是采用不锈钢管】因为它具有》化学稳定性好渗透性！小吸附性差等—特性输？送的气体质量能满】足生产工《艺的要求 —     】阀门的严密性好【坏是影响气体纯度的！重，要因素？之，一国：内多：。数洁净厂房和—某些引进《或合资项目的高【纯，气体管？道阀门基本》上，都是采？。用不锈钢《材质阀？。门类型有隔膜阀、】波，纹管阀和球阀—波纹：管阀比球阀严—密性好隔膜阀—除严密性好外还【具有阀体死体积【。小、易吹除的特【点因此适用》于气体纯度要求极高！生产工艺严》。格或危险性大的气】体 》 ：    如上—海某集成电路—厂前工序(0.3】5μm)技术—芯片：直径8"要求高纯气！体中杂质含量均要】。。小于10×》10-9氮、氢、氧！、氩气体管道采【用进口？SS：316？。L内壁电抛光—处理（通称EP管）！316L是》低碳不？锈钢管其使用原因】是防止钢材中—碳组分的《析出及吸附》或释放杂质》气体影响气体纯度并！导致产品成品率下】降阀门是隔膜阀C】ajon VC【R密封连接形—式又：如深圳某公司—集成电路后工—。序气体？纯度要求99.【999％、》露点－？70℃氮气、—氮，氢混合气、氧气管】道均：采用SS30—。4不锈钢管国内【合资企业进行内壁光！亮抛光处理阀门【为进口球阀》双，卡套连接 ！     为此本条！规，定按生？产，工艺和对《。气，体纯度？的，要求：。选用合适的不锈钢管！材和：阀门 ？ ： ： ，8．2？．3  本条规定】干燥压缩空》气露点低《于－：70℃？时应采？用不锈钢《管内壁经抛》。光处理？并非规定要进行【电抛光而是》可以：采用机？械抛光化学抛—光俗称光亮抛光因】为表面光亮水分【不，易被吸？附、滞留《在管道表面而—且极易？被吹除干燥对—输送：低露：点的气体《是，十分必要的SS30！。4钢：相当于国内钢牌号】为0Cr《18Ni9如上海】某工程？集成电路厂干—燥压缩空气露—点要求－《73℃采用管材【为SS304钢内】壁光亮抛光（通称B！A管）阀门采用【波纹管阀双卡套连】。接；深圳某公司【集成电路后》工序干燥压》缩空气露点要求－7！0℃采用国内—合资：企业进行《电抛光处理阀—门，为进口球阀双卡套连！接 —     对于【干燥压缩《空气露点低于－40！℃可：以采用0Cr18N！i9不锈钢管(30！4)：或热镀锌无》缝钢管这在》国内已有多年运【行经验证明》是可：以满足此类压—缩空气的输送要求的！ ：