8．—2，  管道材》料，和阀门 】 8《．2．？1  工业管道【的材料和《阀门的选用由于所输！送的物？料，品种多样它们—的物化性质不同具体！工，程中各种物料的使】用工况（压力—、温度？、浓度等《）也是不同》的所以本条》规定工业管》道的材料和阀门【应根据所输送物料的！物化性？质和使用工况在满】足不同的生产工艺要！求的前提下经技术】经济比较选择合【适的：材，。质如：集，成电路生产中—所需的高纯气—体、特？种气体等都有特殊的！和严格的《要，求如对气体中的【杂质和露点》要求极？为严：格需要达到10-9！、10-12级【尘埃粒径要求控【制小于0.》1μm甚至》0.05μm的粒】子因此需要相应高质！量的输送管道—和，阀门但不同材质【。。或同一？材质管道内壁—处理方法不同价【。格相差甚《远如某工《程拟引进316L材！质的：不锈钢管内壁电抛】光处理？要比未经处理的价格！高出1.6》倍～：2.1倍因》此管道材料》、内壁处理和—阀门形式的选用要】根据：具体的生产工艺【。区，别对待这样》。才能做到既》。满足生？产工艺？要求又经济合理 ！ ？ 8．2．》2  根据对国内洁！净厂房使《。用情况的调查—大多：数工厂高纯气—体，管道是采《用不锈钢管因—为它具？有化学稳定》性，好渗透？性小吸附性》差等特性输送的气】体，质量：能满足生产工艺的要！求 ： ：     阀】门的严密性好坏是】。。影响气体纯度的重要！因素之一国内多数】洁净厂房和》某些：引进或合资项目的高！纯，气，体管道阀门基本上都！是采用不锈钢材质阀！门类：型有隔膜《阀、波纹《管阀和球《阀波纹管阀比—球阀严？密性好隔膜阀除严】密性好外还》具有阀？体死体积小、—易吹除的《特点因此《。适，用于气体《纯度要求极高—生产工艺严格或危险！。性大的气《体 — ，    如上海【。某集成？。电路厂前工序(【0.3？5，μm)技术芯片直径！8"要求高》纯气体中杂》质含：量均要小于》10：×，1，0-9？氮、氢、氧、氩【气体管道采用—进口SS3》16L内《壁电抛光处理—（通称E《P管：）316L是—低碳不锈钢管—其使用原因是防止】钢材中碳组分的【。析出及吸附》。。或释放杂质气—体影响？气体纯度并导致【产品成品率》下降阀？门，是隔膜阀《Cajon VCR！。密封连接形式又【如深圳某公司—集成电路后工序气】。体纯：度要求99.99】9％、露点－7【。0℃氮？气、：氮，氢混合气《、氧气管道均采用】SS：304不《锈钢：管国内合资企业进】行内壁光亮抛光【处理阀？门为进口球阀双卡】套连接 —。 ？    为》此本条规定》按生产工艺》和对：气体纯度《的要求选用》合适的不锈钢管【材和：阀门： —8．2．3》  本条规定干【。燥压缩空气露—点，低于－7《0℃时应采用不【。锈钢管内壁经抛【光处理并非规定【要进：行电抛光而是可以】采用机械抛》光化学抛光俗称光】亮，抛光因？为表面？光亮水分《不易被吸《。附，、滞留？在管道表面而且【极易：被吹除？干燥对输《送低露点的气—体是十分必》要的S？S304《钢相当于国》。内钢牌号为0Cr】18Ni9如上海】某工：程集成电《路厂干燥《压缩空气露点—要求－73℃—采用：管材为SS3—04钢内壁光亮【抛光（通称BA管）！阀门：采，用波纹管阀双—。卡套连接；深—圳，某，公司：集成：电路后工序干燥压】缩空：气露点要《求－：。70℃采用国内【合资：企业进行电抛光【处理阀门为进口【球阀：双卡套连接 【 ： ，  ：   对于干燥压缩！空气露点低于—－40℃可》以采用0Cr—18Ni9不锈钢】管(304)—或热镀锌无缝钢【管，这在国内《已有多年《运行经验《证明是可《以，满足此类压缩—空气的？输送要求的 【