， ： 8．2  —管道材料和阀门 ！ 8．】2．：1  工业管道【的材料和阀》门的选用由》于所输送的》物料品种多样它们的！。物化性质《不同具体工》程中各种物料的使用！工况（？压力、温度、浓度】等）也是《。不同的所以》本条规？定工业管道的材【料和阀门应根据所】输送物料的物化【性质和使用》工况在满足不同【的生产工《艺，要求的前提下—经，。技，术经济比较选择合】适的材质如》集，成电路生产》中所：需的高纯气体—。、特种气体等—都有特？殊的和严格的—。要求：如对气？体中的杂《。质和露点要》求极为严格需—要达到10-9、1！0-12级尘埃【粒径要？求控制？小于0.1μm甚至！0.05μm的粒子！因此需？要相应？高质量的输送管道和！阀门但？不，同材质或同一材【质管道内壁处—理方法不同价格相】差甚远如《某工程拟引》进316L材质【的，不锈钢管内壁电抛光！处理要？比未经？处，理，的价格高《出1.6《倍～：2.1倍因此管【道材料、内壁—处理和阀门》形式的选《用，要根据具体的生【产工艺区别对待这样！才能做到既》满足生产工艺要【求又经济《合理 — 8．2．2 】 根据对国内洁净厂！房使用情况》的调查大多数工【厂，高纯：气体：管道是采用不锈钢】管因为它具有化学稳！定性好渗透性—小吸附性差等特【性输送的气体—质量能满足生产【工艺的要求》 ：。 ， ：     阀门【的严密性好》坏是影响气体纯度的！重要因素之一国内多！数洁净厂房和—某些：引进或合资项—目的高纯气体管道】阀门基本上》都，是采用？不锈钢材质阀门【类，型，。有隔膜阀、波纹管】阀和球阀波纹管阀比！球，阀严密性《好隔膜阀除严—密，性好外还具有阀体】死体积小、易吹除】的特点因此》适用于气体》纯度要求极》高生产工艺严格或危！。险性大的气体 】     】如上海某集成电路厂！前工序(0.—35μm)技术芯】片直：。径8"要求高纯气】体中杂质含量均【要小于10×10】-9：氮、：氢，、氧、？氩气体管道采用【。进口SS《3，16L内壁》电抛光处理（—通称EP管》）316L是低碳不！锈钢管其使用—。原因是防止》钢材中碳《组，分的析出及吸附或】释放杂质气体—影响气？体纯度并《导，致产品？成品率下降》阀门是隔膜阀Caj！on VCR—密封：连接形式又如深【圳某公司集成电路后！工序气体纯度要求】。9，。9，.999％、露点－！70：℃氮气、氮》氢混合气、氧气【管，道均采用SS3【。04不？锈钢管国内合资企业！进行：内壁光亮抛》光处理阀门为进口球！阀，双卡套连接 】 ，  ？ ， ， ，为此本条《规定按？。生产工艺和对气体】纯度的要求》选用合适《。的不锈钢管材和阀】门 【8．：2．3  本—条规定干燥压—缩空气？露点低于－70℃】时应采用不》锈，钢管内？壁经抛光处理并非规！定要进？行电抛光而是可【以采用机械抛光化学！抛光俗？。称光：亮，。抛光因为表面光亮水！分不易被吸》附、滞留《在管道表面》而且极易被》吹除干燥对输送【低露点的气体是十】。分必要的S》S304钢相当【于国内钢牌号为0】Cr1？。8Ni？。9如上海某工程集成！电路：厂，干燥压？缩空气露点》要，。求－73℃采—用管材为SS—304钢内壁光【亮抛光？（通称BA管）【阀门采用《波纹：管，阀双卡？套连接；深圳某公】司集成电路后工【序干燥压《缩空气露《点要求－7》0℃采？用，国内合资企业—进行电抛光处理阀门！为进口球阀双卡【套连接？ ：    【 对于？干燥压缩空气露点低！于－40℃可以采用！。0Cr18Ni【9不锈钢管(304！。)或热镀锌无缝钢管！这在国内已有多年】运行经验证》明是可以满足此类压！缩空气的输送要求】的 ？