8．2【  管道材料和阀门！ ， — 8．2《．1  工业管【道的：。。材料：和阀门的选用由于】所输送？的物料品《种多样它《们的物化性质—不同：具体工程中各—种，物料的使用工况【（压力？、温度、《浓度：等）也是《不同的所以本条规】定，工业管？道，的材料？和阀门应根》据所：输，送物料的物化性【质和使用工》况在：满足不？同的：生产工艺要求的前】提下：经技术经济比—较选择合适》的材质如集》成，电，路生产中所需—的高纯？气体、特种气体等】都，有特：殊的和严格的要求】如，对，气，体中的杂质和—露点要求极》为严格需《要达到1《0-9、《10-？12级尘埃》。粒径要求控》制小于0.1μm】甚至0.《05μm的粒子【因，。此需要相应高质量】的，输，送管道和《阀门但不《同材质或《同一材质《管道：内壁处理方法不同】价格：相，差甚远如某工程拟】引进316》L材质？的不：锈钢管内壁电抛光】处理要比《未经处理《的，价格高出1.6倍～！2，。.1倍因此管道材】料、内壁处理和阀】门形式的选用要【根据具体《的生产工艺区—别对待这样》才能做到既满足生产！工艺要求又经—济合理 【 8？．2．2 》 根：据对国内洁净厂房使！。用，情况的？调查大多数工厂【高纯气体管道—是采用不锈钢—管因为它《具有化学稳定—性，好渗透？性小吸附性差—等特性输送的气【体，质量能满足生产工】艺的要求 — 《。    阀门—的，严密性好坏是影响气！体纯度的重要因素】之一国？内多数？洁净厂房和某些【引进或合资项目的高！纯气体管道阀门【基本上都是采用不锈！钢材：质，阀门类型有》隔膜阀、波纹管【阀和球？阀波纹？管阀比？球，阀严密性好隔膜【。阀除严密性好外【还具有阀《体死体？积小、易吹除的【特点因？此适用于气体—纯度要求《极，高生产工艺严—格或危险《性大的气体 — ： ：     如—上海某集成电路【厂前工？序(0？.，35μm)技术【芯片直径8"要求】高纯气体中杂—质含量均要小于【10×10-9氮】、氢、氧、氩气【体，管道采用进》口SS316—L内壁电抛光—处理：（通称E《P管）316L是】低碳不锈钢管—其使用原因是防止】钢材中？碳组分？的，析出及吸附或释【放，杂质气体影》响气体纯度并—导致产品成品率下】降阀门是隔膜—阀C：aj：on： VCR密封连接形！式又如深圳某公司集！成电路后工序气体】。纯度要求99.99！9％、露点－70℃！氮气：、氮氢混《合气、氧气管道均采！用SS3《04不锈钢管国内合！资企业进行内—壁光亮抛光处—理阀门为进》口球阀双卡套连【接   ！  为此本条规定】按生产工艺和对气】体纯：度的要求选用—。合适的？不锈钢管材和阀门 ！ ？ 8．2》．3  本条—规，定干燥压缩空—。气露点低于－70℃！。时应采用《不锈钢管内》壁经抛光《处理：并非规定要进—行电抛光而是可【以采用机械抛—光化学？抛光俗称《光亮抛光因》为表：面光亮水分不易被吸！附、滞留在管道表面！而且极？易被吹除干》燥，对输送低露》点的气体是十分【必要的SS3—。04钢相当于国【。内钢牌号为0—Cr：18Ni9》如上海某工程集成电！路厂干燥压》缩空气露《点要求？－73℃采用管材】为SS304—钢内壁光《。亮抛光？（通称B《。A，管）阀？门，采用：波，纹管阀双卡》套连接；深圳某【。公司集成电路后【工序干燥《压缩空气露点要求－！。。70℃采《用国内合资》企业进行电抛光处】理阀门？为进口球阀双卡套连！接 ？ 《    对于干燥压！缩空：气露点低于－—40℃可以采—用0：C，r18Ni9不锈钢！管(304)—或热镀锌无缝钢管这！在国内已有多年运】行经验证明是可以满！足此类压缩》空气的输送要求的】 ：