？ 8．2  管【。道材料和阀门 【 》 8．2》．，。1  工业管道的】材料和阀门的—选用：由于：。所，输送的？物料品种《多样它们的物化性质！不同具体工程中【各种物料的》使用工况（压—力、温度、浓度等】）也是？不同的所以本—条规：定工业管道的材料和！阀门应根据所输【送物料的物化性质】和使用工况》在满足？不同的生产工艺【要求的前提》下经：技术经济比较选择合！适的材质《如集成电路生产中所！需的高？纯气体、特》种气：体等都有特殊的和严！格的要求如对气体】中的杂质和露点要】求极为严格需要【达到10-9、1】0，-12？级尘埃粒径要求【控制小于0.1【μm甚至0.05】μm的粒《子因此需要相应高】质量：的输送？管，道和阀？门，但不同材质或同一材！质，管道内壁处理方【法不同价格相差【甚远如某工程拟引】进316L材质【的不锈钢管》内壁电抛光处理【。要，。比未经？处理的价格》高出：1.6倍～2.1倍！因此管道材料、内】壁处理和阀门形【式的选用要根据具】体的生产工艺—区别对待这样才【能，做到既满《足生产工《艺要求又经济合理 ！ ， 8．2．2！。 ， 根据对国》内洁净厂《房使：。用情况的调》查大：多数工厂高纯气体管！道是：采用不锈钢管因为】它具有化《。学，稳定性？好渗透性小吸附性差！等特性输送的气体】。质量能？满足生产《工，艺的要求 — 《    阀门的严密！性好坏是影》响气体纯度》的重要因《素之一国内》。多数洁净《厂房和某些引—进或合资项目的【高纯气体管道—阀门基本上都是采用！不锈钢材质阀—门类型？有，隔膜阀、波》纹管阀和球阀波纹】管阀比球阀严密性好！隔膜阀除严密性好】外还具？有阀：体死体积小、易【。吹除：的特点因此适用【于气体纯度》要求极高《生，产工艺严格或—危险性？大的气体 —    【 如上海某集成【电路厂？前工序(0.3【5μm)技》术芯片直径8"要求！高纯气体中杂质【含量均要小》。于，10×10》-9氮、氢》。、氧、氩气体管道】采，用进口S《。S316L内壁电】抛光：处理：（通称？EP管）3》16L是低碳不锈】钢管其使《用原因是防止钢【材中碳组分的析出】及吸：附或释放杂质气【体影响气体纯度并导！致，产品成品率下降阀门！是隔膜阀Caj【on ？V，CR密封连接形式】又，如深圳？某公司集成》电路后工序》气体纯度要求—9，9.9？99％、露点－【70：℃氮气、氮氢混【合，气、氧气管道均采用！SS30《4不锈钢管》国，内合资？企业：进行内壁《光，亮抛：光，处理阀门为进口球阀！双卡套连接 ！     为此本！条规定按生产—工艺和对气体—纯度的要求选用合适！的不锈钢管材—和阀门 ！8，．2．3  本【条规：定干燥压缩空气露点！低于－70℃时应采！。。用不锈钢《管内：壁经抛光处》。。理并非规定要进行】电抛光而是》可以采用机械抛【光化学抛光俗—称光亮抛光因为表面！光亮水分不易被【吸附：、滞留在管道表【面而且极易被吹【除干燥对输送—低露点？的，气体是十分必要的】SS304钢相【当，于国内？钢牌号为0》Cr18Ni9如】上海某工程集成电路！厂干：燥压缩空气露—点要求－73℃采】。用管材为SS304！钢内壁光亮抛光（】通称BA管）阀门采！用波纹管阀》双卡套连《。接；深圳某公司集成！。电路后工序干燥压】缩，空气：露点要？求－70《℃采：用国内？合资企业进行电【抛光处理阀门为进口！球阀双卡套连—接   ！ ， 对于干《燥压缩空《气，露，点，低于－40℃可以采！用0Cr18N【i9不锈钢管(3】04)？或热镀锌无》缝钢管这在国内已】有多年运《行经验证明是可以满！足此类压缩》空气的输送要求【的 ？