《8 ：。。 工业管道 】 《 ，。 8．1》  一般规定 【 8．！1．1、8．1．2！  本次修订的理】由是 【     》(1) 由》于现有洁净厂房【内除给排水》管道外的工业管道】还包括各类气体【输送、液体输送和真！空管：道等所以将》本章扩大更名为【“，工业管道”》据了解目前洁净【。厂房：内的工业管道干管】、支干管均基本敷设！在上、下技术夹层、！技术夹道《或特：殊的管廊内这种方】式既可满足洁净室（！区）生产工艺—的需要符合洁—净，室（区）布》置和洁净、美观的】要，求又有利于各类管】道的安装、》维护 【     》(2) 《据调：。查了解目前在—洁净室（《区）：内的易？燃，、易爆、有毒物质】的，输送管道大多—采取：明敷的方式即包括】这类物？质输送管道的—。干管、支干管和【接至产品生产—设备的支管均采【取明敷的方式以便容！易发现这《类物质在输》送过程中可能发生的！泄漏有利于即—时采取抢救措施但是！由，于各种？原因并？不是所有的洁净室】都采用明敷也有的】工程在采《取必要的安全保护措！施后将这类物质的输！送干管、支干—。管敷设在技》。术夹层或技术—夹道内此《时在技术夹层、【技术夹道内应—设置可？靠的气体《泄漏报警和机—械排：风措施？一旦此类管道发【生易燃、易爆、有】毒物质泄漏至技术】夹层、技术夹道【后当超？过，规定的浓度限值时】气体报警装置发出】声，光信号并自动连锁】开启：事故排风《机避免事故的—发生：为此作了第3、4款！。的规定？第4款为强制性条文！  【   (3)— 原规？范规：定的：“，。管，道及：。管架：宜，设，装饰面？板”由？于“装饰面板—”式样？不明确在实》施中形式《。多样且不《统一：有，。的采用装《饰不：锈钢：套管易于清洁—、整齐光滑有的仅为！“，象征性”措施不能】达到洁净、美—观的目的甚至不易清！洁、维护《为此本次修订取消】了此规定 》。 》8．1．3》  工业管道—的管径通常应按【输送：物质的物化性质和具！体工程中所输送【物质的流量、—温度、压力和流速确！定其中流量、—压力、温度是依据产！。。品生产工艺确定但】管内物？料流速应按》其物化？性质、状态》合理确定 》 《  ：   各种物料【。在输送过程中应尽量！减少污染《使停：。止使：用时的物料残—留尽：量少并使管道系【统易于吹除》因此各类工业管道】系统应尽量》短避免“盲管”等】。不易吹除的死角 】 ？ ，   ？  由于《各类工业《管道在投入》使用前或检》修前：、后均应进行—吹除、排放达到预】期洁净？度或纯度《。要求为此各工—业管道系统应设必】需的吹？。除口、放净口以确】保各系统的安全【、稳定运行》为进行物料的化【验、：。分析或吹除效果的】取样相应的》。管道系统还应设【置取样口 ！    《 ，鉴于各类工》业管道输送的物料品！种较多？、纯度不同不能【做统一的强制性规定！为此将？本条：。改为推荐性条文【 ： 《8．1．4 — 本条规定工业管】道穿过？洁净室墙壁或楼【板处的管段不应【有焊缝是便》于检查焊缝》的焊接质量为保持】洁，净室的空气洁净【度和室内正压规【定，管道与墙《。。壁，或楼板之《间应采取可靠的密】封措施密《封材料常用硅橡【胶等填堵 — 8．1．】5  可《燃气体？（包括？城，镇燃气？、天然气、氢—气等）和《。氧气管道系统发生事！。故或气体《。。纯度不符《合要求时需吹—除，置换这些气体吹【除置换时《不，能，排入：室内所？以在管道末端或【最高点应设放散管】以便将气体排入大】气放散管的排—放口应高出屋脊1m！以防：止由于风向的影【响，使排：放的气体倒》灌回室内本条涉及】可燃气体等管道系】统的运？行安全为此作为强制！性条文规《定 — 8：．1．6  对气体！纯度要？。求严格的生产工艺】如电子工业中—电真空器件、—半导体？。器件、特种半—导体器件《、集成？电，。路等生产工》艺从材料制》备到器件制造—。、封装、性》能测试等《工艺过？程中各种高纯—气中的杂质含—量将：直接影？响产品的合格率【如氢气用于硅外【延时在高温下氢中的！微量：氧和：。水汽易与硅作—用生成二氧化—硅，而影：响完：整结晶生长致使【外，延片的堆垛》层，错，密度高甚《至变成多晶 — ？     氮【气在扩散《。过程：中作为运载气时如果！含有：氧和：水汽易？使硅片表《面氧化故对净化装置！的设：置应根据气》源和：生，产工艺对气体纯【。度的要求选择相应】的气体净化装置【 ，    】 为保证使》用点气体纯度符【合要求规定气—体终端净化装置宜设！在邻近用气点处【以缩：短高纯气体管道【的长度避《免污染气《体终端净《化装：置应该是距离用气点！。越近越？好但往往《受各种条件限制难以！实现为此条文规【定采用“《。宜” 8！。．1．7  在【各种：生产工艺过程中【不仅对各种气体纯度！要求十分严格—。而且对气体中—含尘量？也有相应严》格的：要求有关《专家指？出高纯气体中含【尘量比其纯度在【。一定意义上显得【更，为重要因此》规定了根据不—同的生产工》艺要求设置相应【精度的气体终端过】滤器并规定应设在靠！近用气点 — ？     》在洁净厂房内一般】设置预过滤器—和高精度终端气体】过滤：器预过？滤器是设在洁净【厂，房气体入口室的干】管上作为预过滤以】减轻终端《过滤器的负担并延长！。其，使用：寿，。命   ！  ：预过滤器的滤材通】常采用多孔》陶瓷：管、多孔钢》玉管、微《孔玻：璃制品、微》孔泡沫塑料、粉末冶！金管、？聚丙腈纤《维等：   】  高？。精度终端气》体，过，滤器是设在靠近用气！设备的支管》上其：滤材采用超细玻璃】棉高效滤纸、醋【酸纤：维素滤膜、粉末金属！材料等 ！8．1．8》  进入洁净厂【房，的气体、《液体管？道种类根《据生产工艺的—不同确定一般各种管！道上均设有总控【制阀门压力表、流】量计、过滤器、【调压：装置、？在线：分析仪等为安—全可靠运行和方【便管理应《将这些？控制装置、附—件集中设置》在气体、液体入口室！或，分配室内 ！    《 对于甲、乙类火灾！危，险，生产用气《体、液体入口—室或分？。配室内？可能有？可燃气体、液—体管道如氢气、燃】气等时在《与洁净厂《房毗连布置》时应按本条第1款的！。规定实施据》调查现有的这类洁净！厂房大多均按—此，类要求进行布置【设在洁净厂房边跨】靠外墙的房间内并】应以耐火极限大【于3.0h的隔墙与！相邻房间分》隔；还应《设置良好《的通风措施》及时排？除可能泄漏的可燃气！体等并应《按现行国家标准建】筑设计防火规—范GB 《50：01：6，的规：定设置？必要的泄压面积【；电气防《爆应按现行国家标准！爆炸和火灾危—险环境电《力，装置设？计规范GB 50】058？的规定进行爆—炸危险环境的设防本！。条规定均《涉及洁净厂房的【安全稳定运行—所，以规：定为强制《性条文 》