8》  工业管道 ！ — 8．1  —一般规？定 — 8．1—．1：、，8．1．《2， ， 本次修订》的理由是 —     (！1) 由于现—。有洁净厂《房内除？给排水管道外—的工业管道还包括】各类气体输送、液】体输送和真》空，管道等所以将—本章扩大更》名为“工业》管道：”据了解目前洁净厂！房内的工业》管道干管《、支干管均基—本敷设在上、下技】术夹层？、技术夹道或—特殊的管廊内这种方！式既可满足洁净【室（区）生产工【艺的需要符合洁【净室（？区）布置和洁净、美！观的要求又有利【于各：类管道的安装、维护！    ！ ，(2) 据调查了】解目前在洁净—室（区）内》的易：。。燃、易爆《、有毒物《质的输送管道大多采！取明敷的方式—即包括？这类物质输》送管道的干管、支干！管和接至产品生【。产设备？的支管？均采取明敷》的方式以便容易发现！这类物质《在输：送，过程中可能发生的泄！漏有利于即时采取抢！救措施但是由于各】种原：因并不是所有的【。洁净室都采用—。明敷也有的工—程在采取必要—的，安全保护措》施后将这类物质【的输送干管、支干管！敷设在技术夹层【或技术夹道内—此时在技术》夹层、技《术，夹道内应《设置可靠《。的气体泄漏》报警：和机械排风措施【一旦此类管道发生易！燃、：易爆、有毒物—质泄漏？至技术夹层、技【。术夹道后《当超过规定的浓度】限值时气体报警【装置发出声光—信号并自动》连锁开启《事故排风机避免【事故的？发生为此《作了第3、4款【的规定第4款为强制！。性条文 【  ？   (《。3，) 原规范》规定的“管道及【管架宜设装饰面板”！由于“装饰》面板：”式样不明确在实】施中形式多样且【不统一有的采用装饰！不锈钢？套管易于清》洁、整齐《光滑有的仅为“【象征性”措施不【。能达到洁净、—美观的目的甚至不易！清洁、维护》为此本次修订—取消了此规定— 8．1！．3：  ：工业：管道的管径通常应】按，输送物质的物化【性质和具体工—程中所输送》物质的流量、温度、！压力和流速确定其】中流量、压力、温度！是依据？产品生产工艺确定但！管，。内物料流速应—按其物化性质、【状态合理《确定：。    ！ 各种物料在输【送，过程中应尽量减少】污染：使停止使用》时的物料残留尽【量少并使管道—系统：。易，于吹除因此各—类工业管道系统应】。尽量短避免“盲管】”等不？易吹除的《死，角 ？  》  ： 由：于各类工业管道在投！入使用前或》检修前、后均—应，进行吹除、排放达】到预期洁净》。。度或：纯，度要求为《此各工业管道—。系统应设《。必需的吹《除口、放净》口以确保各》系统的安全、稳定运！行为进行物料的化验！、分：析或吹除效果的取样！相应的管道系统【还应：设置取样《口  】  ： 鉴于各类工—业，管道输送的物—料，品种较多、纯—度不同不能做统【一的强制性规定【为此将本条改为推】荐性条文 — ，。 8．1．【4，  本条规定—工业：管道穿过洁净室墙】。壁或：楼板：。处的管？段不应？。有焊缝是便》于检查焊缝的焊【接质量为保持—洁净室？的空气洁净度和室内！正压规定管道与墙壁！或楼板之间应采取】可靠的密《封措施密封材料【。常用：硅橡胶？等填堵 】 8．1．》5  可燃气体（包！括城镇燃气、天然】气、氢气等）和氧】气管：道系统发生事—故或气体《纯度：不符合要求》时需吹除置换这些】气体吹除置换时【不能：。。排入室内所以—。在，管道末端或最高【点应设放散管以便将！气体排？入，。大气放？。散管的排《放口应高出屋脊1】m以防止由于风向】的影响使排放的气】体倒灌回室内本【条涉及？可燃气体等管—道系统的运行安全为！此作：为强制？性条：。文规定？ ？ 8．1．【6  对气体纯【度要求严格的生产】工艺如电子工业【。中电真空器件、半】导体器件、特种半】。导体器件、集成电】路等生产工艺从材料！制，备到器件《制造、封装》、性：能测试？。等工艺过程中—各种高纯《气中的杂质含—量将直接影响产品】的合格率《如氢气用《于硅外延时在高温】下氢中的微》量氧和水汽》易，与硅：作用生成二氧化硅】。而影响完整结—晶生长致使外延片】的堆垛层错密—度高甚至变成—多晶 】    氮气在扩散！过程：中作为运《载气时？。如果含有《氧，和水汽？易使硅片表面氧化故！对净化装置的设置应！根据气源和生—产工：艺对气体纯度的【要求选择《相应的气体》净化：装置 【     为保【证使用？点气体纯度》符合要求规定气体终！端净化？装置宜设在邻近用】气点：处，以缩短高纯气体管】道的长度避免—。。污，。染气体终端》净化装置应该是距】离用气点越近越【好但：往，往受各种条》件限制？难以实现《为此：条文规定采用—“，宜” 》 8．1．7 ！ 在各种生产工艺过！程中不？仅对各种《气体纯度要求十【分严：格而且对气体中【含尘量也有相应严格！。的要：。求有关专家指出高纯！气体中含尘量—比其纯？度在：一，定，意义上显得更为【重，要因此？规定了根据不同【的生产工艺要求设】置，相应精度《。的，气体终端《过滤器并规定应【设在靠？近用气？点，    ！ 在洁净厂房内【一般设置预过滤器】和高精度终端气体过！滤器预？过滤器是设在洁净】厂房气体《入口室的干管上作】为预过滤以减轻【终端：过，。滤器：的负担并延长其使】用寿命 】     预—过滤器的滤材通【常采：用，多孔：陶瓷管、《多孔钢玉《管、微孔玻璃制【品、微孔泡沫塑【。料、粉末冶金管【、聚丙腈纤维等 】 ？     —高精度终端气体【。过滤器是设》在靠近用气设—。。备，的支管上其滤材采】用超细？玻璃棉高效滤纸、】醋酸纤？维素滤膜、粉末【金属材料等 】 ？8，．1．8 》 进入洁净厂房【的气体、液体管道种！类根据生产工—艺，的不同确定》一般各种管道—上均设有《总控：。制阀门压力表—、流量计《。。、过滤器、调压装置！、在线分析仪—等为安全可靠运行和！。方便：管理应将这些控制装！置，、附件集中》设置在？气，体、液体入口室【或分配室内 【    【 对于甲《、乙类火《灾危险生产用气体】、液体入口》室或分配室内—。可能有可燃气—体，、液体？管道如氢气、燃气】等时：在与：洁，。净厂房毗连》布置时？应按本条第1—款的规？定实施据调》。查现有的这类洁净】厂房大多《均按：此类要？求进行布置设—在洁净厂房边—跨靠外？墙的房间内并应以耐！火极限大于3.0h！的隔墙？与相邻房间分隔【；还应设置良好的】通风措施《及时排除可能泄【漏的：。可燃气体《等并应按现》。行国家标《准建筑设《计防火规范GB 】50016的—规定设置必要的【泄压面积；电气【防爆应按现行国家】标，准爆炸和火灾危险环！境电力装置》设计：规范GB 50【058的规定进【行，爆炸危险环境—的设防本条规定均涉！及洁净厂房的安全稳！定运：行所以规《定为强制性条文 】。 ，