8  工】业管道 】 》8．1 《 一般？规定 】 8．1．1、】8．1．2》。  本次修订—的理由是《 ， 《  ：。 ，  ：(1) 由于—现有洁净厂房内除】给排水管《道外：的工业？管道：还包括各类气体输送！、，液体输送和》真空管道等所以【将本章扩《大更：。名为“工业管道【”据：了解目前洁》净厂房内《的工业？管道干管、支—干管均？基本敷设在上—、下技术夹层—、，技术夹道《或特殊的管廊内【这种方式既可—满足洁净《室（区）生产工艺】的需要符合洁净【室，（区：。）布置和洁净—、美观的要求—又有利于各类—管道的安装》、维护？ 《    》 (2) 据—调查了解目前—在洁：净室（区）内的【易，燃、易？爆、：。有毒物质的输送管】道，大多采取明敷—。的方式即包括这类】物质输送《管道的干管、支干】管和接至产品—生产设备的支管均采！取明敷的方式—。以便容易《发现这类物质—在输送过程中可【。能发生？的泄漏有《利于即时采》取抢救措《施但是由于各—种原因？并，不是所有的洁净【室都：采用明敷也有的工程！在采取必要的安全】保护措施后将这类物！质的输送干管—、支干？管敷设在技术夹层或！。。技术夹道《内此时在技术—夹层、技术》夹道内应设置—可，。靠的气？体泄漏报警》和机械排风措施【。一旦此类管道—发生易燃、易爆、】有毒：物质泄漏至技术夹层！、技术夹道后当超】过规定的浓度限值时！气体报警装置—发出声光信号并自动！连锁：开启事故排风—机避免事故的发生为！此作了第3、—4款的规定第—4款为强制性条【文 《 ？。。    (》3)： 原：。规范规定的》“管道及管架宜设装！饰面板”由于“装饰！。面，板”式？样不：明确在？实，施中形式多样且不】统一有的采用装饰】不锈钢？套管易于清》洁、整齐光滑有的仅！为“象征性”措施不！能达到洁净、美观的！。。。目的甚至《不易清洁、维—护为此本《次，修订取消了此规定】 8．1！．3  工业管道】的管：径通常应按输送【。物质的？。物化性质和》具体工程中所输送】物质的流量》、温：度、压？。力和流速确定其【中流量、压力、温】度是：依据产品生产—工艺确定但管内物料！流速应按《。其物化性质、状【态合理？确定： 《   《。  各种物料在输送！过程中应《尽，量减少污染使停【止使用时《的，物料残留尽量少并】使，管，道系：。统易于吹《除因此？各类工业管道系统】应尽量短避免“盲】管”：等不易吹《除的死角 ！     由—于各类工业管—道在投入使用前或检！修前、？后均：应进行吹除、排【放达到预期洁净【度或纯度要求为【。。。此各工业管道—系统应设必需—的吹除口、放净【口以：确保各系统的安全、！稳定运？行为进行物》料的化？。验，、，分析或吹《除效果的取样相应的！管道系统还应—设置取样口》 ： ：    》 鉴于各类工—业，管道输送《的物料品种较多、】纯度：不同不能做统一的】强制性规定为此将】本，条改为推荐》性条：文 《 8．1．4 ！ 本条规定工业【。管道穿过洁净室墙】。壁或楼板《处的管段不应—有焊：缝，是便于检《查焊缝的《焊接质？量为保持洁净室的】空气洁净《度和室内正压规定】管道与墙壁》或，。楼板之间应采取【可靠的密封措—施密封材《料常用硅橡》胶，等填堵 《 8．1】．5  可》燃气体（包括城镇】燃气、？天然气、氢气等）和！氧气管道《系统发生事故或气】体纯度不符合要【求时：需吹除置换这些气体！。吹除置换《。时不能排入》室内所以在管道末】端，或最高点应设放散】管以便将气体排入大！。气，放，散管的排放口应高】出屋脊1m》以防止由《于风向的《影响使？排放的气体倒—。灌回室内本条涉及】可燃气体等管—道系统的运行安全为！此作为强《制性条文规》定 — 8．1．6  对！气体纯度《要求严格的》生产工？艺如：电子工业中电真【空器件、半》导体器件、特—种，半导体器件、集成电！路等生？产工艺？从材料制《备到器件制》造，、封装、性》能测试等工艺过程】中各种高纯》气中的杂《质含量将直接影响产！品的：。。合格率如《氢气用于硅外延时】在高温下氢中—的微量氧和水汽【易与硅作用生成【二氧化硅而影响完整！结晶生长致使—外延片的堆垛层错密！度高甚至变成—多晶 】   ？ 氮气在扩散—过程中作《为运载气时》如果含有《氧和水汽易使—硅片表？面氧化故对净—化装置的设》置应根据气源和【生产工艺对气—。体，纯度的要求选择相】。应的气体净化装置】 ：    【 为保证《。使用点气体纯—度符合要《求规定气体终端净化！装置宜设《在，邻近用气点》处以缩短高纯—气体管道的长度避免！污染气体终端净【化装置应该是距【离用气点《越近越好但往往受各！种条件限制难—以实现为《。此条文规定采用“宜！” 【。8．1？．7  在各种生】。产工艺？过程中不仅对各【种气：体纯度？要求十？分严格而且对气【体中含尘量也有【相应严格的要—求有关专家指出高纯！气体中含尘量—比其纯度在一定意】义上显得更》为重要因此规—定了：根据不同的生产工艺！要求设置相应—精度的气体终端过滤！器并规定《应设在靠近用气点 ！。 ？     在洁】净厂房内一般设置】预过：滤器和高精度—终端气体《过滤器预过滤—器是设在洁净厂房】气，。体入：口室的干《管上作为预》过滤以减轻终端过滤！器的：负担并延长其使【用寿命 【。     预【过滤器的滤材通常】采用多孔陶瓷管、】多孔钢？玉管、微孔玻璃制】。品、微孔泡沫—塑料、粉《。末冶：金，管、聚？丙腈纤维等 【  》   高《精度终端气体过滤】器是设在靠近—用气设备《的支管上其滤材采】用超细玻璃棉高效滤！纸、醋酸纤维素【滤膜、粉末金属材料！。等 8．！1．8  》进入洁净厂房的气】体、液体《管道种？类根据生产工艺的不！同确定一般各—种管道上均设有总控！制，阀门压力表、流量计！、过滤器、调压装置！、在线分析仪—等，为，。。安全可靠运行和【方便管理应》将，这些控？制装置？、附件集中设置【在气体、液体入口】室或分？配室内 —。     【对于：甲、乙类火灾危【险生产用气体、液】体入口室或分配【室内：可能有可燃气体、】液体管道如氢气【、燃气等时在与洁净！厂房毗连布置时【应按本条第1款的规！定实施据调》查现：有的这类《洁净厂房《大多均？按此类要求进行布置！设在洁？净厂房边跨靠外墙】的房间内并应以耐火！极限：大于3.0h—的隔墙与相邻—房间分隔《；，还应设？置良好的通》风措施及时排—除可能泄漏的可【燃气：体等并应按现行【国家标准建》筑设计防火规范G】B 5？00：16的？规，定设置？必要：的泄压面积；—电气防爆应按现行】国家标？准，爆炸：。和火：灾危险？环境电力装置—设计规范GB 50！。058的规定进【行爆炸危《险环境的设》防本条规定均涉【及洁净厂房的安【。全稳定运行所—以规定？为强制性条文 【 ，