。 ？ 8  工业—管道： 》 8．【1  ？一般规定《 【 8．1．1—、8．？。1．2  本—次修订？的理由是 】     (【1) 由《于现有洁净》厂房内？除给排水管》道外的？工业管？道，。还包括各类气体输送！、液体输送》和真空管道等所【以将本？章扩大？。更名为“工业管【道”据了《解目：前洁净厂房内的工业！管道干管、支干管】均基本敷设在上【、下技术《夹，层、技术夹道或【特殊的管廊内—这种：方式：既可满足洁净—。。室（区）生产工【艺的需要符》。合洁净室（区）布置！和洁净？、美：观的要求又》。有，利于各？类管道的安装—、维：护 —  ：。   (2) 据调！查了解目前在洁净室！（，区）内的易燃、【易爆、有毒物质的】输送管道大多采取】明敷的方式即包括】这类物质输送—管道的干《管，、支：干管：和接至产品生产设】备的支管均采—取明：。敷的方式以便容【。易发现这类物质在输！送过：程中可能发生的泄漏！有利于即时采取【抢救措施《。但是由于各种原因】并，不是所？有，的洁净室都》采，用明敷也《有的工程在采取【必要的安全保护措施！后将这类物质的【输送干管、支—干管：敷，设在技术夹层或技术！夹，道内：此时在技术夹层、技！术夹道内应设置可】靠的气体泄》漏报警和机械排风】。措施一旦此类管道发！生易燃、易爆、【有毒物？质泄漏至技术夹层】、技术？夹道后当超过规定的！浓，度限值时气体报【。。警装：置发出声光》信，号并自动连锁开启】事故排风机避免【事故的发《生为此作了第—3，、4款？的规定第4款—为强制性条》文 ：。。     ！(3) 原规范规定！的“管道及管架【宜设装饰面板”由于！“装饰面板”式【样不明？确，在实：施中形式多样—且不统一有的采用装！饰不锈钢套管易于】清洁、整《。齐光滑？有的：仅，为“象？。征性”措施不能达】到洁净、美观—的目的甚《至不易清洁、维【护为此本次修订取消！。了此规定《 8【．1：．3  工业—管，道的：管径通常应》按输送物质的物【化性质和具体—工程中？所输送物质的流量】、温度？、压：力，和流速确定其中流量！、压力、温度是【依据产品生产工艺】确定但管内物料流速！应按其物化性质、】状，态合理确定 ！ ：    《各种物？料在输送过程中应】尽，量减：少污染使《停止使？用时的物《料残留尽量少—并使：。管道系统易于—吹除因此各》类工业管道系统应尽！。量短避免《“，盲管”等《不易吹除《的，死角 】    由于各【类工业管道》在投入使用前或检修！前、后均应进行吹除！、，。排，放达到预期洁净【度或纯度《要求为此各工业管】道系统应设必需【的，吹，除口、？放净口以确保各系统！的安全、稳定运行】为进行物料的化验、！分析或吹除效果的取！。样相应？的管：道系统还应设—置取样口 — ？     》鉴于各类工业—管道输送的物料品种！较多、纯度不—同不能做《统一的强制性规定】为此将本《条改为推荐性条【文 8】．1．4《  本条规定工【业管道穿过洁净室】墙壁或楼板处的管段！不应：有，焊缝是？便，于检查焊缝的—焊，接质量？为保：持洁净室的》空气洁？净度和室内正—。压规定管道与—墙，壁或楼板之》间应采？取可靠的密封措施】密封材料常用—。硅橡胶等填堵 ！ 8．》1．5？  可燃《。气体（包括》城镇燃？气、天然气、—氢气等）《和氧气管道系统发生！事故：或气体纯度不符【合要求时需吹—除，置换这些气体吹除】置换时不能排入【室内所以在管道【末端或最高点应【设，放散管以便》将气体排《入大：气，。放散：管的排？放口应高出》屋脊1m以防止【由于风向的影—响使排放的气体倒】灌回室内《。本条涉及可燃气体】等管道系统的—运行安全为此作为强！制性条文《规定 】8．1．6 — 对：气体纯度要求—严格：的生产工艺》如电子工业中电真】空器：件、：半导体器件、—。特种半导体器件、集！成电路等生产工艺】从材料制《备到器件制造、【封装、性能测—试等工艺过程—。中各种高纯》气中的杂质含—量将直接《影响产？品的：合格率如氢气用【于硅外延时在高温下！氢中的微量氧—和水汽易与硅作用生！成二氧化硅》而影响完整》结晶：生长致使外延片的堆！垛层错密度高甚至变！成多：晶 《     氮】气，在扩散过《程中作为《运载气？时如果含有氧和水汽！易使硅片《表面氧化故对净化】装置的设置应根【据气源和生产—工艺：对气体纯度的—要求选择相应的气体！净化：装，置  】   ？为保证使用点气【。体纯：度符合要求规定气体！终端净化装》置宜设在《邻近用气点》处以缩短高纯气【体管道的长》度避免污染》气体：终端净化装置应【。该是距离用气点【。越近越好但往往【受各种？条件限制难以—实现为此条》文，规定：采用“宜” — 》8．：1．7  》在各种生产工—艺过程中不》仅对各种《气体：纯度要求十分—严格而且对气—体中含尘《量也有相应严格【的要求有关专家指】出，高纯气体中含尘量】比其纯度在一定意义！上显得更《为重：要因此规定了—根据不同的生产工艺！要求设置相应—精度的气体终端【过滤器？并，规，定应设在靠近—用气点 ！ ，   在洁净厂房内！一般设置预》过滤器和高精—度终端气体》过滤器预过滤—器，是，设在洁净厂》。房气体？入口室的干管上作】为预过滤以减轻终】。端过滤器的》负担并延长其使用寿！命   ！  预过滤器的滤】。材通：常采用多孔》陶瓷：管、多孔钢玉管【、微孔玻璃制品、】微孔泡？沫塑料、粉末冶金管！、聚：丙腈纤维等》   】  ：。高精度终《端气体过滤器是设在！靠近用气设备—的支：管上其？。。滤材采用超细玻璃】。棉高效滤纸、醋【酸纤维素滤膜、粉末！金属材？料等 】8，．1．8《  进入洁净厂【房的气体、液体管】道，种类根据生产工艺】的不同确《定一般？各，种管道上《均设有？总控制阀门压力表、！流，量计、过滤器、【调压装？置、在线分析—仪等为？安全可靠运》行和：方便：。管理应将这些控制装！置、附件集中设置】在气：体、液体入口室【或，分配室内 】     对于甲！、乙类火灾危险生产！用气体、液体入口室！或分配室《内可能有可燃—气体、液体管道如】氢气、燃气等时在】与洁净厂房毗连【布置时应按本条第】1，款的规定《实施据调《。查现有的这类洁【净厂房大多均按【此类要？求进行布置》设在：洁净厂？房，边跨靠？外墙的房间内—并应：以耐火极限大于【3，.0h的隔墙与【。相邻房间分隔；还】应，设置良好的》通风措施及》时，排除可能泄漏的可燃！气体等并应按现行国！家标准建筑》设计防？火，规范GB 5001！6的规定设置必【要，的泄压？面积；电气防爆应按！现行国家《标准爆炸和》火灾危险环境电力装！置，设，计规范GB》 5：0058的》规定进？行爆炸危险环境的设！防本条规《。定均涉及《洁净：厂房的安全稳定【运行：所以：规定为强制性条文】 ：