？ ，8  工业管—道 】 8．》1  ？一般：规，定 《 ， 8．1．1！、8．1．2  本！次修订的理由是 】   【  ：(1) 由》于现有洁净厂房【内，除给排水《管道外？。的工：业管道还包括各类】气体输送、液体【输，。送和真空管道等所】以，将本：章扩大？更名为“《工业管道”》据了解目前》洁净厂房内的工业】管道干？管，、，支干管均基本敷设在！上、下技术夹层【、技术夹道或特殊的！管，。廊内这种方》式既可满足》洁净室（区）—生产：。工，艺的需要符合洁【净室（区）》布置和洁《净，、美观的要求—又，有利于各类管—。道的安？装、维护 ！     (—2) 据调》查了解目前》。在洁净室（区）内】的，易燃、易爆、有【毒物质？的输送？。管道大？多，采取明敷《的方式即包括这类】物质输送《管道的干管》、，支干管和接至产品生！产设备的支管—均采：。取明敷的方式以便】容易发现这类物质在！输送过程中可—能发生？的泄漏有利于即【时采取抢救措施但】是由：于各种原因并不是所！有的洁净《室，都采：用明敷也有的工【程，在采：取必：要的安？全，保，护措施后《将这类物质的输【送干：管、支干管敷设在】技术夹层或技术夹道！内此时在技术夹【层、技术夹道—内，应设置可靠的—气体泄漏报警和【机，械排风措施一旦此类！管道发生易燃—、易爆？。、有毒物质泄漏至】技术夹层、技术【夹道后当超》过规定的浓度限值】时气体报警装—置，发出：声光信号《并自动连《锁开启事故排风机避！免事故的发生为此】作，了第3、《4款：的规定第4》款，为，。强制性条文 】 ：    《 (3) 原规范】。规定的“管道及管架！宜设装饰面板”由于！“装饰面板”式【样不明确在实—施中：形式多样且》不统一有的采用【装饰不锈《钢套管易《于清洁、整齐光滑】有的仅为“象征【性”措？施不能达到》洁净、美观的目【的甚至不《易清洁、《。维护：为此本？次修订取消了此规】定 8．！1，．3  工》业管：道的管径通常应按】。输送物质的》物化性质和具体工程！中所输送物质的流量！、温度、压力和流】速，确定其中流》。量、压力、温度【是依据产品》生产工艺确定但管内！物料流速应按其物化！性质、状态》合理确定 ！     各种物】料在输送过程—中应尽量《减少污？染使：停止使用时的—物料残留尽量少并】。使管道系《统易于吹除因—此各类工业管—道系统应尽量短【。避，免“盲管”等不易吹！。除的死角 】  ？   由于》各类工业管道在【投入：。使用前或检修前【、后均应进》行吹除、排放—达到预期洁净度【或，纯度要？求为此各工业管【道系：统应设必需》的吹除口《、放净口《以确保？各系统的《安全：、稳定运《行为进行物料的【化验、？分析或吹除》效果的取样相应的管！。道，系统还？应设：。置，取样口 《 ，    【 鉴于各类工—业管道输送》的物料？品种较多、纯度不】同不能做统一的【强制性规定为此将】本条改为推荐性条】文 8．！1．4  本条【规定工业管》道穿过洁净》室墙壁或楼》板处：的管：段，不，应有焊？缝是便于检查—焊缝的焊接质—量为保持洁净—室的空气洁净—度，。。和室内正压规定【管，道与墙壁或楼板之】间应采取《可靠：的密封措施》密封材料常用—硅橡胶等填堵— ：。 8》。。．1．5  —可燃气体（包—括城镇燃气、—天然气、《氢气等）《和氧气管道系统发生！事故或气体纯度【不符合要求时需吹除！置换这些《气体吹除置换时不】能排入室内所以在管！道，末，端或最高点应设【放散管以《便将气体排入大气】放散管的《。排放口应《高出屋脊1》m以防？。止由于风向》的影响使排放的气体！倒灌回？室内本条涉及可【燃气：体等管道系统的运行！安全为此作为强制】性条：文规：定 —。。 8．1．6—。。  ：对，气体：纯度：。要求严？格的生？产工艺如电子工业中！电真：。空器件、半导体【器，件、特种半导体器】件、集成电路等生】产工艺从材料制备到！器，件制造、《封装、性能测试【等工艺过程中—。各种高纯气中的【。杂质含量将直接【影响产品的合—格率如氢气用于硅】。外，延时在高温下—氢中的？。。微，量氧和？水汽易与硅作用【生，成二氧化硅而影响完！整结：晶生：长致：使外延片的堆垛【层错：密度高甚至变成多晶！。 —    氮》气在扩散过程中【。作为运载《气时：如果含有氧》和水汽易使》硅片表？。。面氧：化故：对净化装《置的设置应》根据气？。源，和生产工艺对气【体纯度的要求—选，择相应的气体净化装！置 —     为保证】。使用点气体纯—度符合要求规定气体！终端净化装置宜设】在邻：近用气点《处以缩短高纯气体】管道的长度避免【污染气体终端净【化装置应该是距离用！。气，点，。越近越好但往—往受各？种条件限制难以实】现为此条《文规定采用“宜【”， ？ 8．》1．7  在各种生！产工艺过程》中不仅对各种气【体纯度要求十分严】格，而且对气体中—含尘量也有》相应严？格的要求有关专家】指出高纯气体中【含尘量比其纯度在】一定意义上显得更为！重要因此规定了根据！不同的生产工艺要】求设：置相应精度的—气体终？端过滤器并规定应】设，在靠近？用气点 》 ：   《  在？洁，。净厂房内《一般设？置预过滤器和高精】度终端气体过滤【器预：过滤器是设》在洁净厂房》气体入口室》的干管上作为—预过滤以《减，轻终端？过滤器？的负：担，并延长其《。使用寿？命 ？ ：。     预过】。滤，器，的滤材通常采用多孔！陶瓷管、多孔钢玉管！。、微孔玻璃制品、微！孔泡沫塑料、—。粉末冶？金管、聚丙腈纤【维，等， ， 《 ，    《高精度？终端气体《过滤器？是设：在靠近用气设备【的支管上《。其滤材采用》超细玻璃棉高效滤】纸，、，醋酸：纤，。维素滤膜、粉末金属！。材料等 — ？8．1．8 — 进入洁净》厂房：的气体、液》体管道种《类根据生产工—艺的不同确定一般各！种管道？上均设有总控制阀】门压力表、流—量，计，。、过滤器、调压装置！、在线分析仪等为】安全可靠运行和方】便管理应将这些控制！装置、附件集中设】置在气体、液—体入口室或》分配：室内 【 ，    《对，于甲、乙类火灾危险！生产用气体、液体】入口室或《分配室内可能有可燃！气体：、液体管道如氢【气，、燃气等时》在与洁净厂房毗连】布置时应按本条【第1款的规定—实，施据调查现有的【这类洁净厂房大多均！按此类要求进行【布置设？在洁净厂《房边跨靠外墙—的房间？内并应？以耐火极限大于【。3，.0h？的隔：。。墙与相？。。邻房间分隔；还应设！置良好的《通风措施及时排除】可能泄？漏的可燃气》体等并应按现行国】家标准建《筑设计防《火规范GB》 50016的规】。定设置必要》的，泄，压面：积；电气防爆—应，按现行国家标准爆炸！和火灾危险环境电】力装：置设计规范GB 】。50058的规【。定进行爆《炸危险环境的设防】本条规定均涉—及，洁净厂房的安—全稳：定运行所以规—定为强制性条文【 ：