8  工】业管道 —。 — ，8．1  一—般，规定 》 ， 《8．1？．1、8．1—．2  本》次修订的理由是 ！ ？。   ？  ：(1) 《由于现有洁净厂房内！除，给排水管道外—的工业管道还包括各！类气体输《送、液体输送和真空！管道等所《以将本章扩》大，更名为“工业—管道”据了解—目前洁净《厂房内的《工业管道《干管：、支干管《均，基本敷设在上、【下技术夹层、—技术夹道或特殊的】管廊：内，这种方式既可—满足洁？净室（区）生产【工艺的需要》。符合洁净《室（区）布置—和洁净、《美观的要求又有利】于各类管《道的安？装、维护 —   —  (2《)， 据调查了解目【前在洁净室（—区）内的易燃—、易爆、有毒物【质，。的输送管道大多采取！明敷的方式》。即包括这类物质输】送管：道的干？管、支干《管和：接至：产品生产设备—的支管？均，采取明敷的方式以】便容易发《现这类？物，质在输送过程中可】能发生的泄漏有利】。于即时采取抢救措】施但是由于各种【原因并不是所有的】洁，净，室都采用明敷也有】的工程在采取必要】的安全保护措施【后将这？类物质的《输，。送，干，。管、支干管敷设【在技术夹层或技【术夹道内此时在【技术夹层、技—术夹道内应设置可】。靠的：气体：泄漏报警和》机械排风措施一旦】此类管道发生易燃、！易爆、有《毒物质泄漏至技【术夹层、技术夹道后！当超过规定的浓【度限值时气》体报警装置发出【声光信号并自动连】锁开启事故排风【机避：免事故？。的发生为《此作了第3、4款的！规定第4款为强制性！条文 《  》 ，  (3) 原【规，范规定的“管—道及：。管架宜设装饰面【板”由于“装饰【面板”式样》不明确？在，。实施中形式多样且不！统一有的采用—装饰不锈《钢套管？易于清？洁，、整齐？。光滑有的仅为“象】征性”措施》不能达到洁净、美】观的目的《甚至：不易清洁《、维护为此本次修】订取消了此规定【 8【．1．？3  工业管道的】管径通常应按输【送物质？的物化性质》和，具体工程《中所输送《物，质的流量、温度【、压力？和流速确定其中流量！、压：力、：温度：是依据产品》生产工艺确定但【管内物料流速应【按其物化性质—、状态合理确定 】   【 ， 各种物料在输【送过程中应尽—量减少？污染使停止使用【时的物料残》留尽量少并使管道系！统易于吹除因—此各类工《业管道系统应尽量】短避：免“盲管”等不易吹！除的死角 ！  ：   由于》各类工业《管道在投入使—用前或检《修前、后均》。应进行吹除、排放】达，到预期洁《净度或纯度要求为此！。各工业管道》系统应？设必需的吹除—口、放净口以确保各！系统的安《全、稳定运行—为进：行物料的化验、分析！或吹除效果的取样相！应的：。管，。道系统还应设置【取样口 》 《    鉴于各【类工业管道输—送的物料品种较多】、，纯度不同不能做统一！的强：制性规定为此将本条！改为推荐性条—。。文 ？。 8．1【．4  本条规定】工业管道穿过洁净室！墙壁或？楼板处的管段—不应：有焊：缝，是便于？检查焊缝的焊接【质量为保持洁净室的！空气：洁净度和室内正压规！。定管道与墙壁或楼板！之间应采取可靠的密！封措施密《封材料？常用硅橡胶等—填堵 — 8．1．5  ！可燃气体（》包，括城镇燃气》、天然气、》氢气等）和氧气管】。道系：统发生？事故或气体纯度不符！合要求时需吹除置】换这些气《体吹：除，置，换，时不能？排入室内所以在【管道末端《或最高点应设放【散管以便将》气体排入《大，。气放散管的排—放口应高出屋—脊，1m以防止由于风向！的影：响使排放的气体倒灌！回，室内本条涉及—可燃气体《等管道系统的运【行，安全：为此作为强制性【条文规？定 【8．1．6  对】气，体纯度要求严格的生！产工艺如电子工【业中电？真空器件、半导体】器件、特种》。半导体器件、集成】电路等生产工艺从】材料制备到器件制】造、封装、性—能测试等工艺过【程中各种高纯气中的！杂质含量将直接影】。响产品的《合格率？如，氢气用于硅外延时】在高温下氢中的微量！氧和水汽易与—硅，作用生成二氧化硅而！影响完？整结晶生长致使【外延：片的堆垛层错密度高！甚至变成《多晶  ！   氮气在扩散过！程中作为《运载气时如果含有氧！和水汽易使硅片表面！氧化故对净化—装置的设置应—根据气源和生—产工艺对气体—纯度的要求选择相】应，。的气体净化装—置 ？ ，  《   ？为保证使《用点气体纯度符【合要求规定》气体终端净化—装置宜设在邻—近用气点处以缩短】高纯气体管道—的长度避免》污染气体终端净化】装，。置应该是距离用气点！越近越？好但往往受》各种条件限制—难以实现为》此条文规定》采用“宜” 】 8．1．7】  在各《种生产工艺过程【中不仅对各种气【体纯：度要：求十分严《格而且对气体中含】尘量也有相》应严格的要求有关专！家指出高纯气体【中含：尘量比？其纯度在一定意义上！显得更为重》。要因此？规定了根《据不同？的生产工艺要求设】置相应？精，度的气体终端过【滤器并规《定，应设在靠《近用气点 》  —   ？在洁净？厂房内一《般设置预过》滤，器和高精《度终：。端气体过滤器—预过滤器是设在【洁净厂房《气体入？口，室的干管上作为预】过滤以？减轻终端过滤—器的负担并延长【其使用寿命》   】。  预？过滤器？的滤：材通：常，采用多孔陶瓷管【、多孔钢玉》管、微孔玻璃制【品、微孔泡沫—塑料、？粉末冶金管》、聚丙腈纤维等【  【   高精度终【端气体过滤》器是：设在靠近用》气设：备，的支管上其滤材采】用超细玻璃棉—高效滤纸、》醋酸纤维《素滤膜、粉》末金属材料等 ！。 8．1—．8  《进入洁净厂房的【气，体、液体管道—种类根据生》产工艺的不同—确定一般《各种：。。管道：上均设？有总控？制阀门压力表、流量！计、过滤器》、调压？装置、？在，线分析仪等为安【全可靠运行和—方便管？理应将？这，些，控制装置、》附件集？中设置在气体、液体！入口室或《分配室内 】     对于】甲、乙类火灾—危险：生，。。产用气体、液体入口！室或分配室》内可能有可燃—。气，体、：液体管道如》氢气、燃气》等，时在：与洁净厂房毗连布置！时应按本条第1【款的规定实施据调查！现，有的：这，类洁净厂《房大：多均按此《类要：求，进行布置设在—洁净厂房边跨靠外墙！。的房：间内并应以耐—。火极限大《于，3.0h《的隔墙与相邻房间分！隔，；还应？设置良好的通风措施！及时排除可》能泄漏的可燃气【体等并应按现—行，国家标准建》筑设计？防火规范GB 5】0016的规定设】。置必要的泄压面积】；电气防爆》应按现行国》。家标准？爆炸和火灾危—险环境电力装置【设计：。规范GB 50【058的规定进【行爆炸危险环境的】设防本？条规定均涉》及洁净厂房》的安全稳定运行【所以规定《为强：。制性条？文 ？