。 8  【工业管？道 【 8．1【  一般规定 【 ： 8．1】．1、8．1．2】 ， 本：。次修订的理》由是 ？ ，     (！。1) 由于现有【。洁净厂房内除给排水！管道外的工》业管道还包括各类气！体输送、液体—。输送和真《空管道等所以将本章！。扩大更？名，为“：工业管道《”据了解《目，前洁：净厂房内的工业管道！。干管、支干管均基】本敷设在上、下技术！夹层、技术》夹，道或特殊的管廊内这！种方式既可满—。足洁净室（区）生产！工，艺的需要符合洁净室！（区）？布置和洁净、美【观的要求又有利于各！类，管道的安装、维【护 【    (2) 】据调查了解目—前，。在，洁净室？（区：）内的易燃、易【爆、有毒物质的【输送管道大多采取明！敷的方式即包括【这类物质输送—管道的干管、—支干管和接至产品】生产设备的支管均采！取明敷？的方式以《。便，。容，易发现这类物质在】。输送过程中可能发】生的泄漏有利于即】时采取抢救措—施但是由于各种原因！并不是所《有的洁净室都—采用：明敷也？有的工程在采取必要！的安全保《护措施后将这—类物质的输》送干管、《支，干管敷设在技术夹】层或技术夹道内此时！在技术夹层》、技术夹道内—应设置可靠的气【体泄漏报《警和机械排风措施一！旦此类管道发生易】燃、易爆《、有：毒物：。质泄漏至技术夹层、！技术夹？道后当超过规定的】浓度限值时气体报警！装置发出声光信【号并自动连》锁开启事故排风机避！免事故的发生—为此：作了：第3、4《款的规？定第4款为强制性】。条文 《   —  (3) 原【规，。范规：定的“管《道及：管架宜设装》饰，面板”由于》“装饰？面板”？式样不明《确，。在实施中《形式多？样且不统一有—的采用？装饰不锈钢套管【易于清洁、整齐光滑！有的仅为《“象征性”措施不能！达到洁净、美观【。的目的甚至不—易清洁、维护为【此本次修订取消了】此规定 — 8《．，1．3  工业管】道的管径通常—应按输送物质的物化！性质：。和具：体工：程中所输送物质的流！量、温度、压—力和流速确定—其中流量、压力【、温度是依据产【品生产工《艺确定？但，管内物料流》速应按其《物化：性质、状态合理【确，定 【    《各种物？料在输送《过，程中应尽量减少【污染使停《止使用时的物料残留！尽量少并使管—道系统易于吹—除因此？各类工业管道系统应！尽量短避免“盲【管”等不《易吹除的《死角 【    《 由于各类工业管】道在投入使用前或检！修前：、，后均应进行吹—除、排放达到预【。期洁：净度或纯度要求【为此各工业》管道系？统应设必需的吹除口！、，放净口？以确保各系统—的安全、稳定运行】为进：行物料的《化验、分《析或吹？除效果的取》样，相应的？管道系统还应设【置取样？口 ？     鉴！于各：类工业管道输送【的物料品种较多、纯！。度不同不能做统一】的强制性《。规定为此将本—条改：为推荐性条》。。文 — 8：．1：．4  《本条：。。规定工业管》道穿过？洁净室墙壁或—楼，板处的管《段不应有焊缝是便于！。检查焊？缝的焊接质量为保持！洁净室的空气洁【净度和室内正—压规定管《道与墙壁或楼板【之间应？采取可靠的密封措】施密封材料常用硅】橡胶等填《堵 【8．1．5》  可燃气》体（包括《。城镇燃气、天然【气、氢气《等）：和氧：气管道？系统发生事故或【气，体纯：度不符合要求时【。需吹除置换这些【气体吹？除置换时不能排入】室内所以在》管道末端或最—高点应设放散—管以便将气》。体排入大气放散【。管，的排放口应高出屋】脊1m以防止—由，于风：向的影响使排放【的气体倒灌回室内】本条涉及《可燃气体等管道系】统的运行安全—为此作为强制—性条文规定》 》 8．1．》6  对气体—纯度：要求严格的生产工艺！如，电子工业中》电真空？器件：、半导体器件—。、特种半导》体器件、集成—电路等生《产工艺从《材料制？备，到器件制造、封装】、性：能测试等《工艺过程中各种【高纯气？中的杂质含量将直】接影响产品的合格】率如氢气用于硅【。。外延时在高温—下氢中的微量氧和】水汽易与硅作—用生成二《氧，化硅而影《响完：整结晶生长致使【外延片？的堆垛层错密度高】甚至变？成多晶 【  ？   氮气》在扩散过《程中作为运载气时】如果含有《氧和水汽易使硅【片，表面氧化《故对净化装置的【设置：应根据气源》和生：产工艺对气体纯度的！要求选？择相：应的气体净化装【置 ：  —   为保证使用】点气体纯度》符合要求规定气体】终，端净化装置宜设在邻！近用气点《处以缩短高》纯气：体管道的长度避免污！染，气体终端《净化装置应该是【距，离用气点《越近越好但往往受】各，种条件限制难以实现！为此条文规定采用“！宜” ？ 》8．1？。．7  在》各种生产工艺—过程中？不仅对？各种气？体纯度要《求十分严《格而且对气体中【含，尘量也有《相应严格的》要求有关专家—。指出高纯气体中【含尘量比其纯度在一！定意：义上显得更》为重要因此规定了根！据不：同的：生产工艺要求设置】。相应精度的气体终端！。。。过滤器？并规定应设在靠近】用气点？ ： 《    在洁净【厂房：内一般设置预过【滤器和高精度终端气！体，过滤器预过滤器是】设在洁净厂》。房，气体入口室的干【管，上作为预过滤以减轻！。终端：过滤器的负》担并延长《。其使：用寿命 — ？   ？ 预：过，滤器：的滤材通常》采用多孔陶瓷—管、：多孔：钢玉管？。、微孔玻璃制—品、微孔《泡沫塑料、粉末冶金！。管、聚丙腈纤维等】 《 ：    高精度终】端气体过滤器是【设在靠近《。用气设备的支管上】其，滤材采用《超细玻璃棉高—效，滤纸、醋酸纤维素滤！膜、粉末金属材【料等 》 8．1—．8 ？ 进入洁净厂—房的气体、液—体管道种类根据生】。产工艺的《。不同确定一》般各种管《道上均设有》总控制阀门》压力：表、流量计、过【。滤，器、调压装置、【在线分析仪等为安全！。可靠运？。行，和方：便管理应《将这：些控制？装置、附《件，集中设置在气—体、液体入》口室或？分配室内 【   》  对于甲、乙【类火灾危险生—产用气体、液体【。入口室或分配室【。内可能有可燃气体、！液体管？道如氢？气、燃气等时在【与洁净？厂房：毗连布置时应按本条！第1款的规定实施】据，。调查现？有的这类洁净厂房大！多，均按此类要求进行】布置设在《洁净厂房《边跨靠外《。墙，的房间内《并应以耐火》极限大于3.—0h的？隔墙与相《邻房间分隔；还应设！置，良好的通风措施【。及时排除可》能，泄漏的？。。可燃气体等并应按现！行，。国家标准建筑设【计防火规《范GB 50016！的规：定设置？必要的泄压》面积；？。电气防？爆应按现行国—家，标准爆炸和火灾危】。险环：境电：力装置设计规—范GB 50058！的规：定进行爆《炸危：。险环境的设防本条规！定均涉及洁净厂【房，的安全稳《定运行所以规定为强！制性条？。文 ？