8.—3 管道连接
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8.!3.1 》工业管道《的,连接目前基》本均采用焊接主要是!能,确保管道连接—的严密?性镀锌?钢管一般《是螺纹连接由—于施工较麻烦且严】密性比焊接要难以】保证有少数单—位采用焊接它带【来的问题是破—坏了管道原有的【镀,锌,层容易?生锈焊接时出—现有刺激性的异味对!人体:有害而且管道—内壁有脱落的镀【层给吹扫带来—困难并污染气体为此!本条:规定镀锌钢管采用】螺纹连接
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不锈】。钢管承插焊连接【的好处是便于管【道对中方《便焊接缺点是—由于管道《与承:插件之间有间隙产生!死角吹扫时不易吹除!。干净对高纯》气体要求《高和严格的生产工】艺会影响其》产品质量为》此规定采用对接【焊,并要求内壁无焊缝它!是氩弧焊接》时不:施加不锈钢》焊丝利用《焊件:本身溶化填满—焊,缝
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8.3.【2 : 以:往有些?单位采用非》金属软管《两端加?卡箍固定优点是软】管连接管道柔软【。长度随意连接方便但!由于:非金属管道对气体和!水的:渗透性和吸附性都比!金,属管道差《而且易老化变—形极易?造成气体渗漏影【响气体质量现在【金,属,软,。管品种多、规格全】、连接?方式多样、使用【寿命:长尤其对高纯—气体不造成》。污染虽?价,格较贵但综合—比较是合适的为此本!次修订时推荐宜【采用金属软》管
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不同】材料的管《道对气体和水的渗】透、吸附能力见表1!0
表1!0 :不同管?道材料?渗透性、吸附性比较!
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8.3.—3 本条规—定,。高纯气?体管道与阀门连【。接的密封材》料采用金属》垫,或双卡套具》体选择要随产品生】产工艺对高纯气体质!量的要求和本身【特性决定金属—垫这种密封形式(国!外称Ca《jon VCR形式!),严密性?好、气体不渗—漏和污染通常用【于高纯?氢气或氦氢混—合气系?统,以及要求气体杂质】十,分严格的《生产工艺如集成电】路亚微米技术—的前工序的各种气体!管道而干燥压缩空】气管道则是采用双卡!套形式
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】 工业管道与—阀,门的法兰或螺纹【连接处的密封材料一!般应根据管》内流过的《物料性质、设—计工况(压力、温度!等)进行选用由于四!氟乙烯材质具有较广!泛的:适应性密封性—能较好?为避免在洁净室(区!。)内因?物料泄漏影响洁净生!产环境所以推荐【使用
8!.3:.4 《由于洁净厂房中【的工:业管道可能有热管】道或冷管道为避免散!热,和结露应对此类【管道进行绝》热保温故增加—。本条对保温材料及外!表面:进行规定
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