： 8  工业管道！ ：。 ： ？ 8．1  一！般规定 《 — 8．？1．1、8．1【．2  本次—修订：的理由是 》 《     》(1) 《由，于现有洁净厂—房内除给排》水管道外的工业管】道还包括《各类气体《输送、？液体输送《和真空管道》等所以将本章—。扩大更名为“工【业管道”据了解目】前，洁净厂房内的工业管！道干管、支》干管均基本敷设在】上、下？技，术夹层？、技术夹道或特殊】的管廊内《这种方式既可满【足洁：。净室（区《）生产工艺的需要符！合洁净室（区—）布置和洁净—、美观的要求又【有利于各《类管道？的安：装，、维护 —  《   (2) 【据调查了《解目前在洁净室【（区）内《的易燃、易爆、有】毒物质的输送—管道大多采取—明敷的方式即包【括这类物质输送管道！的干管、支干—管和接至产品生产】设备：的支管均采取明敷】。的方式？以便：容易发？现，这类物质在》输送过程中可能【发生的泄漏有利于即！时采取？抢救措施但是由于】各种原因并不是所有！的洁净室《都采用明敷也—有的工程在采取【必要的安全保护【措，施后将这类物—质的输送《干管、支干管敷【设在技术《夹层或技《术夹道内此时在技】术夹层、《技术夹道内》应设置可靠的—气体泄漏报》警和：机械排风措施一【旦此类管道发生易燃！、易：爆、有？毒物质泄漏至—技术夹层、技术【夹道后当超过规定】的浓度限值》时气体？报警：。装，置发出声光》信号并自动连锁开启！事故排风《机避免？事故的发生为—此作了第3、4款】的规定第4款为强制！性，条文 】    (3) 原！规范规定的》“管道？及管：架，宜设装饰面板”【由于“？装饰：面板”式样不明确在！实施中形式多样【且不统一有的—采用装饰不锈—钢套：管易于清洁、整齐光！滑有的仅为“象征性！。”措施不《能达：到洁净、美观的【目的甚至不易清洁】、维：护为此？本次修订取消了此规！定 — 8．？1，．3  《。工业管道《的管径通常应按【输送物质的物—化性质和具体—工程中？所输送物《质的流量、温度、】压力和流《速确定其中流量、压！力，、温度是依》据产品生产工艺确定！但管内物料》流速：应按其？物化性质《、状态？合理确定 》 ：。   》  各？种物：料在输送过》程中：应尽量？减少污染使停—止使用时的》物料残留尽》量少并使管道—系统易于吹除因此】各类工业管道系统应！尽量短？避免“？盲管”等不易吹除】的死：。。角 ：    】。 由于各《类，工业：管道在投入使用【前或检修前、后【均应：进行吹除、排放达到！预期洁净度或纯度要！求为此各《工业：管道系统应设必需】的吹除口、放净口】以确保各《系统的安《。全、稳定运》行，为进行？物料的化验、分析或！吹除效果的取样相】应的管？道系统还应设置取】样口： ：  》   鉴于各—类工：业管道输《送，的物料品《种较多？、纯：度不同不《能做统一的强制性规！。定为：。此将本条改为推【荐性条文 》。 8．【1．4  》本，条规定？。工，业管道穿过洁净室墙！壁或楼板处的管段】不应有焊缝是便【于检查焊缝的—焊接质量为保持洁】净室的空气洁—净度：。和室内正压规定【管道与墙壁或—楼板之间应采取可】靠的密封措施密封材！料，常，。用硅橡胶《等填堵 】。 8．1．5  可！燃气体（包》括城镇？燃气、天《然气、氢《气等）和氧气管道】系统发生事》故或气？体纯度不符合要求】时需吹除置换这些气！。体吹除置换时不【能排入室内所以【在管道末端或最高】点应：设放散管《以便将气体排入【大气放？散管的排放口—应高出屋脊》1m以防止》由于风向的影响【使排放的气体倒灌回！室内本条《涉及：可燃气体《等管道？。系统的运行》安全为？此作为强制性条文规！定 ： 8．【。1．6 《 对气体《纯度要求严格的【生产工艺《如电子？工业中电真空器件】、，半导体器《件、特种半导体【器件、？集成电路等生产工艺！从材料制备到器件制！造、封装、性能测】。试等工艺过程中【各种高纯气中的【杂质含量《将直接影响产品【的合格率如氢气【用于：硅外延时在》高温：下氢中的微量—氧和水汽易与硅作用！生成：。二氧化硅而》影响完整《结晶生长致使外延】片的堆垛层》错密度高甚至变成多！晶  】。   氮气在扩【散过程中《作为运载气时如【果含有氧和水汽【易使：硅片表面氧化故对净！化装置的设置应根】据气源？。。和生产工艺》对气体纯度》的要：求选择相应》的气：体净化？装置 】    为保证使用！点气：体纯度符《合要求规《定气体终《端净：化装置宜设在邻近】用气点处以缩短【高纯：气体管？道的：长度避免污染气【体终端净化装—置，应该是？。距离用气点越近越好！但，往往受各种条—。件限制难以实现为此！条，文规定采用“宜【” 8．！1．7  在各种生！产工艺过程》中不：。仅对各？。种气体纯《度要：。求十分严格而且对气！体中含尘量》也有相应严格的【要求有？关专家指出高—纯气：体中：含尘量比其纯度在】一定意义上显得更为！。重要因此规定—了根据不同》的生产工艺》要求设？置相应精度的气体】终端：过滤器并《规定应？设在靠近《用气点 — ？    在洁净厂房！内一般设置预过滤】器和高精《度终端气体》过滤器预《过滤器是设在洁净厂！房气体入口室的干管！上作为预过滤以【减轻终？端过：滤器的负担并延长】。其使用寿命 —   【  预过滤器—的滤材通常采—用多孔陶瓷管、【多孔：钢玉管、微孔玻璃】制品、微《孔，泡沫塑料、粉末冶金！。管，、聚丙腈《纤维等 《 ， ？     高精度】终端气体过滤器是设！在靠近用气设—。备的支管上其—滤材采用超细玻【。璃棉高效滤纸、【醋酸：纤维素滤膜、粉【末，金属材？料等：。 》 8．1．8  】进入洁净厂房的【气体、液体》管道种类根据生产】工艺的不同》确定：一般各种管》道上均设有总控【。制阀门压力》表、：流，量计、过滤器、调压！装置、在线分析【仪等为？安，。全可靠运行和方【便管理应将这—些控制装置、附件集！中设置在《气体、液体》入口室或分配室【内 ？     对！于甲、乙类火灾【危险生产用气体、】液体入？口室或分配室内可能！有，可燃气体、》液，。体管道如《氢气：、燃气？等时在与洁净厂房毗！连布置时应》按本条第1款—的，规定：实施：据调查现有的—这类洁净厂》房大多？均按此类要》求，。进行布置设在洁净厂！房边跨靠外墙—。的房间内并应—以耐火极限》大，于，3.0？h的隔墙与相邻房间！分，隔；还应设置良好的！通风措施及时排除】可能泄？漏的：可燃气体等并应【按现行国家标准建】。。筑，设计防火《规范GB 》50016的规定设！置必：要的泄压面》积，；电气防《爆应按现行国家【标准：爆炸和火灾危险环】境电：。力装置设《计规范GB —50058的规定】进行爆炸《危险环？。境的设防本条规定均！涉及洁净厂房—的安全稳定运行所】以规：定为强制性条文 】 ，