： 8  工—业管：道 ！ 8．《1  一般规定 ！ —8，．1．1、8—。．1．2  本次修！订的理由是 ！ ：    (1) 】由于现有洁净厂【房内除给《排水管？道外的工业》管道：还包括各类气—体输送、液体输送】和真空管《道等所以将本章扩】大更名为“》工业管道”》。据了解目前洁净厂房！内的工？业管道干管、—支干管均《基，本敷设在上、—下技术？夹层、技术夹道【。或特：殊的管廊内这—。。种，方式既可满足洁【。。净室（区）生产工】艺的需要符合—洁净室（区）布置】和洁净？、，美观的要求又有【利于各？类管道的安装、【维护 《。     (！2)： 据调查了解目【前在洁净室（区【）内的易燃、易【爆、有毒《物质的输《。送管道？大多采取《明，敷的方式即包括这】类物质？输送管道的干—管、支干管》和接至产品生产【设备的支管》均采取明敷的方【式以便？容易发现《这，类物质在输送过程】中可能发生的泄【漏有利？于即时采取抢救措施！但是由于各种原因】并不是所有的—洁净室都采用—明敷也有的工程【在采取必要的—安全保？护措施后将这类【物质的输送干管【、支干管敷》设在技？术夹层或《技术：夹道内此《时在技术夹层、技术！夹道内应设置—可靠的气体泄—。漏报警？和机械排风》措施一旦此类管道发！。生易燃？、易：爆、有毒物质泄漏】至技术夹《层，、技术夹道》后当超？过规定的浓度限值时！气体报警装置发出声！。光信号并自》动连锁？开启事故排风机【避免事故的发生为】此作了第3、4【款的规定第4款【为强制？性条文 【。  ？。   (3) 【原规范？规，定的“管道》。及管架宜设装饰面】板”由于“装—饰面板”式样不明】。确在实施中》形，式多样且《不统一有的采用装饰！不锈钢套管》易于清洁《、整齐光滑有的仅】为“象？征性”措《施不能达到洁净、】美观的目《的甚至不易清洁、】维护为此本次—修订：取消了此规定 】 8．1．】3  工业管道【。的管径通常应按输】送物质的物化性质】和具体工程中所【输送物质的流—量、温度、》压力和流速》确定其中流量、压力！、温度是依据—产品生产工艺确定】但管内物料流—速应按其物化性质、！。状态合理确定— —。    各种物料】在输送过程》中应尽？量减少污染使停止使！用时的物料残留【尽量：少并使？管道系统易于吹除】因此各类工业管道系！统应：尽量：短避免“盲管”等不！易吹：。除，的死：角 —   ？  由于各类工【业管道在投入使用】前或检修前、后均应！进行吹？除、排放达到预期洁！净度或纯度要—求为此各工业管道系！。统应设必需的吹除口！、放净口以》确保：各系统的《安全、？稳，定运行为进行物【料的化验、分析【或吹除效果的取样】相应的管道系—统还应设置》取样口 ！    鉴于各类工！业管道输送的物【料品种较多》、纯度不同不能做统！一的强制性规定【为此将？本条：改为推荐性》条文 — 8．1》．4  本条规【定工业管《道穿：过洁净室墙壁或【楼板处的管段不应】有焊缝是便于检查】。焊缝的焊接》质量为保持洁—净室的空气洁—净度和室内正压规定！管道与墙壁或楼【板之间？应采取可靠的密封】措施密封材料—常用硅橡胶》等填堵 ！8，．，1．5  》可燃：气体（包《括城镇燃气、天【然气、氢气等—）和氧气《。管道：。系统发生事》故或气体纯》度不符合《要求时？需吹除？置换这些《气体吹除置换时【不能排入室内所【以，在管道末端或—最高：点应设放散管以便将！气体排入大气—放散管？。的排放口应高出屋】。脊，1m以防《止由于风向的影【响使：排放：的气体？倒，灌回室？内，本条：涉及可？燃气体等管道系【统的运行安全—为此：作为强制性条文规】定 》。 8．1．6  ！。对气：体纯度要求》严格的？生产工艺如电子工业！中，电真空器件、半导体！器件、？特种：半导体器件、集成】电路：等生产工艺从材料】制备到器件制造、封！装、性能《测试等工艺过程中】各种高纯气中—的杂：质含量将直接—影响产品的》合格率如氢气用【于硅：外，延时在？高温下氢中的微量氧！和，水，汽易与？。硅作用生《成二氧？化硅而影《响完整？结晶生长致使—外延片？的堆垛层错密度高甚！至变成多晶》 《     氮【气在扩散《过程中作为》运载气？时如果含有氧和水】汽，易使：硅，片表面？氧化故？对净化装置的设置应！根据气源和生产工】。艺对气体纯度的要求！选择：。相应：的气体净化装置【   】  为保证使用点气！体纯度符合要—求，规定气体终端净化】装置宜设在邻近【用气点处以缩短高】纯气体管道的长度避！免污染气体终端净】化装置应《该是距离用气点越近！越好：但往往受各种—条件限制《难以：实现：为此条文规》定，采用“宜” ！ 8？．1．？。。7  在各种生产】工艺过程中不仅对】各种气体纯度要求】十分严格《而且：对气体中《含尘量也《有，相应严？格的要？求有关专家指—。出高纯气体中—含尘量比其纯度在】一定意义上》显得更为重要—因此规定了根据不】同的生产工》艺要求设置相应精度！的气：体终端过滤器并规】定应：。设在靠近用气点【 《    》 在洁净厂房内一】般设置预《。。过滤器和高精度终端！气体过？滤器预过滤器是设】在洁净厂房气体入】口室的干管上作【为预过？滤以减轻终端过滤器！的负担？并延长其使》用寿命 》 《  ：  预过滤》器的滤材通常采用多！孔陶瓷管、多孔钢玉！管、微？孔玻璃制品》、微孔？泡沫塑料、粉末冶金！管、聚丙腈》纤，维等 】   ？ 高精度终端气体】过滤：器是设在靠近—用气设备的支管上】。其滤材采用超细玻璃！棉高效滤纸、—醋酸纤维素》滤膜、粉末金属材料！。等 ？ 《8．：1．：8  进入洁净厂】。房的：气体、液体管—道种类根据》生产工艺的不同确定！一般各种《管道上均设有总【控制阀门压》力表、流量计—、，过滤器、调压装【。。置、在线《分析仪等为》安全可靠运》行和方便管理应将这！。些控制装置、附件集！中设置在气体、液体！入口室或分》。配室内 《     ！对于甲？、乙类火灾危险生产！用气体、液体入口室！或分配室《内，可能：有可燃气体》、液体管道如氢【气，、燃气等时在与【洁净厂？房毗连布置时—应按本条第1款的规！定实施据调》查现有的这类洁净】厂房大多均按此类要！求，进行布置设在洁【。净厂房边跨靠—外墙的？房间内并应以耐火】极限大于3.—0，h的隔墙《与相邻房间》分隔；还《应设置？良好：的通：风措施？及时排除可能泄漏的！可燃气体等并应【按现行国家标准【建，。筑设计防火》规范：GB ？500？16的规定》设置必要的泄压面积！；电气防爆应按现行！国家：标，准爆炸和火灾危险】环境电力装置—设计规？范，。GB 50058】的规定进行爆炸危】。险环境的设防本【条规定均涉》及洁净厂《房的：安全稳定运行所以】。规定为强制性—条文 《