8  工业！管道 ？ ， 》 8．》1  一般》规定 】 8．1．1【、8．1．》2  本次》修订的理由》。是   ！  ：(1) 《由，于现有？洁净厂房《内除给？排水管道外》的，工业管道还包括各】类气体？输送、液体》输送和？真空管道等所以将】本章扩大更名—为“工？业管道”据了解目前！洁净厂？房内的工业管道干管！、支干？管均：基本敷设在》上、下技术》夹层：、技：术夹：道或特殊的管廊【内这种方式既可满足！洁净室（《区）生产工艺的需】要符合？。洁净：室（区）布》。置和洁净、美观的】要求又有利于各类管！道的安装、维护 】。 《     (2【) 据调《。。查了解目前在洁净室！（区）内的易—燃、：易爆、有毒物—质的输送管道大多采！取明敷的《方式即包括这类【物，质输送管道的—干管：、支干管和接至产】品生产设《备的支管均采取【明，敷的方式以便容易发！。现这类物质在输【送过程中《。可能发？生的泄漏《有利于？即时采？取抢救措施但是【由于各种原因并不】是所有的洁净室【都采用？。明敷也？有的工程在》采取必要的安—全保护措施后将这】类物质的《输送干管《、支：干管敷设在技—术夹层或技术夹道内！。此时在技术夹层、技！术夹道内应设置可靠！。的气：体泄漏？报警和机械排风措施！一旦此类管道发【生易燃、易爆—、，有毒物质泄漏至【技术夹层、技术夹道！后当超过规定的浓度！限值时气体报—警装置？发出声？光信号并自动连【锁开启事故排—风机避免事故—的发：生为此作《了第3、4款的规】定第：。4款为强制性条【文  】 ，  (3) —。原规范规定的“管道！及管：架宜设装饰面板”】由于“？装，饰面板”式样不【明确在实《施，中形：式多：样且不统一有的采用！装饰不？锈钢套管易于清洁、！整齐：光滑有的仅》为“象征性》”，措施不？能达到洁净、美观】的目：的甚至不《易清洁、维护为【此本次修订取消了】此规定 — ？8．1．《3，  工业管道的【管径通常应按输送物！质的物？化性质？和具：体工程？中所输送物质的【流量、温度、—压力和流速确定其】中流量、压力、温度！是依据产品生—产工艺确定但管内】物料流速应按其物化！性质、状态合理确】定 ： 》   ？ 各种物料在输【送过程中应尽量减少！污染使停止》使用时的物料—残留尽量少并—使管道系《统易于吹除》因此各类工》业管：道系统？应尽量短避》免，“盲管”《等不：。易吹除的死角— —    由于各【类工：业管道在投入使用】前或检修前、后均应！进行吹除、排—。放，达到预期洁》净度或纯度要求【为此各工业管—道系统应设》必需的吹除》口、放净口以确保各！系统的安《全、：稳定：运行为进《行物料的化验、分析！或吹除？效果的取样相应的管！道系统还《。应设置取《样口 【     鉴于各】。类工业管道输送的物！料品：种较多、《纯度不同《不能做统一的—强制性规定为—此将：本条：改，。为推荐性条文— 《。 8．1．4  ！本条规？定，工业管道穿过洁净室！墙壁或楼板处的【。管段不应有焊缝是便！于检查？焊缝的焊接质量为保！持洁净？室的空气洁净度和室！内正压规定管道与墙！壁或楼？板之间应采取—可靠的密封措—施，密封材料常用—硅橡胶等填堵 【 ， ， 8．1—。．5  可燃气体（！。包括：。城镇燃气、天然气、！氢气等？）和氧气管道—系统：发，生事故或气体—。纯度不符合要求时】需吹除置《换这些气体》吹除置？换，时不能排入室—内所以在管道—末端或最高点应设】放散管以便将气【。体排入大气放散管】的排放口应》高出屋脊《1m以？防止由于风向的影响！使排放的气》体，倒灌回室内》本条：涉及可燃《气体等？管道系统《的运行安全为此作】为强制性《。条文规定 — 8．1【．，6  对气体—纯度要求严格—的生产工艺如电【子，工业中？电真空器件、半导】体器件、《特，种，半导体器件、集成】电路等生《。产工艺从《材料：制备到器件制造、封！。。装、性能测》试等工艺过程中【各种高纯气中的【杂质含量将直接影响！产品的合格率如氢】气用于硅外》延时在高温下—氢中的微量氧和水汽！易，与硅作用生成二【氧化硅而《影响完整结晶—。生长：致使外延片》的堆垛层错密度高甚！至变成多《晶 ：。 ：    — 氮：气在扩散过程—中作为运载气时如】果含有氧和水汽【易使硅？片表：面，氧，。。化故对净《化装置的设置应根】据气源？和生产工艺》对气体纯度的要求】选择相应的气体净化！装置：  【 ，。  ：为，保，证使用点气体纯度符！合要求规定》。气体终端净化—装置宜设在邻近用气！点，处以缩短高纯气体管！。道的长度避免污染】气体终端净化装【置应该是《距离用？气，点越近越好但往往】受，各种条件《限制：难以实现为》此条文规定采用【“，宜” 【 8．1．7  在！各种生产工艺过【程中不仅对各种【气体纯度要求十【分严格而且对—气体中含尘量也有相！应严：格的要求《有关专家指出高纯气！体中：含尘量比《。其纯度在《一定意义上显得更为！重要：因此：规定了根据不—同的：。。生产工艺要求设置相！应精度的气体—。终端过滤器并规定应！设在：靠近用气点 — ，。 ？     在洁净】厂房内一般》设置预过《。滤器和？高精度终端气体过滤！器预过滤器是设【在洁净？厂房气体入口室的干！管上：作，为预过滤以减轻【终端过滤器的—负担并延长其使用寿！命 》     预过滤！器的：滤材通常采用多【孔陶瓷管、多孔钢玉！管、微孔玻璃制品、！微，孔泡沫塑料、—粉末冶？金管、聚丙腈纤【。维等 【   ？  高精度终端【气体过滤器是设【在靠近用《。气设备的支管上其】滤材：采，。用超细玻璃棉高【。。。效滤纸、醋酸纤维素！滤膜、粉《末金属材料等 ！ 8．1．【8  进入洁净厂房！的气体、液体管道】种类根？据生产？工艺的不同确定【一般各种管》。道上均设有总控制阀！门压力表、流量计、！过，滤，器，、调：压装：置、在线分析—仪等为安全可靠运行！和方便管理》应将这些控制—。装置、附件》集中设置《在气：体、液？体入口室或》分配室内《   】  对于甲、乙类】火灾危险生产用气体！、液：体入口室或分—。配室内可《能有：可燃气体、液体管道！如氢气？、燃气等时在与洁净！厂房毗连布置时【应按本条《第1款的规定—实，施据调查现有的【这类洁净厂》。房大多均按此类【。。要求进行布置设在】洁净厂房《边跨靠？外，墙的房间《内并应？以耐火极《限大于？3.0？h的隔墙与相邻【房间分隔；》还应设置良好的通】风措施及时排除可】能泄漏的可燃气体】等并应按现行国【。家标准建筑设计【防火：规，范GB 50—016的规定设置】必要：的泄压面积；电气】防爆应按现行—国，家，标准爆炸和火灾危险！环境电力装置设计】规范GB 500】58的规定进行爆炸！危，险环境的设防—本条规定《均涉及洁《净厂房的安全稳定运！行所以？规定为强制》。性，条文 《