。 8》  工业管》道 》 ？ 8《．1  一》般，规定 》 《 8．？1．1、8．—1．2  本次修】订的理？。由是 《  》 ，。。 ， (1) 由于现有！洁净厂房内除给【。。排水管道外的工【业管道？还包括各类气体输】送、液体输送和真】空管道？等所以将本》章扩大？更，名，。为“工业管》道，”据：。了解：目前洁净厂房—内的工业《管，道，干管、支干》管均：基本：敷设在上、下—技术：夹层、技术夹道【或特殊的管廊内【这种方式既可—满，足洁：净室（区）生产工】。艺的需要符合洁净】室（区）《布置和洁《净、美观的》要，求又有利于各类【管道的？安装：、维护 ！。    《(2) 据调—查了：解目前在《洁净：室（区？），内的易燃、易爆、】有毒物质《的输送管道大多【采取明敷的方式即】包括这类物》质输送管道》的干管、支干管和】接至产品生》产设备的支管均【采取明敷的》。方式以便容易—发现这类物质在输】送，过程中可能发生的泄！漏有：利于即时采取抢救措！施但是由于各—种原因并不是所【有的洁净室都采【用明敷也有》的，工程在采取必要的安！全，保护措施后将这类物！质的：输送干管《、支干管敷设在【技术夹层或》技术夹？道内此时在技术夹】层、技术《夹道内应《设置可靠《的气体？泄漏报警和机械【排，风措：施一旦？此类管道发生易燃、！易爆、有毒物—质泄漏至技术夹层、！技术夹？道，后当：超过规定的》。浓度限值时气体报】警装置发出》声光信？号并：自动连锁开启事【故排风机避》免事故的发》生为此作了第—3、4款的规—定第4款为》强制性条文 —     ！(3：。)， 原规范规定的“管！道及管架《宜设装饰面板”【由于“装饰》面板：”式样？不明确在实施中形】式，多，样且不统一有的【采用装？饰不锈钢套管易【于，清洁、整齐》光滑有的仅为“【象征性”措施不【能达到洁净、美观】的目的？甚至：不易清洁、》维护：为，。。此本次修订取消了此！规定 】8．1．3  工】业管道的管径—通常：应按输送《物质：的，物化性质和具体工】程中所输送》。物质的流量、温度、！压力和？流速确定其中—流量、？压力、温度是—。依据产？品生：产工艺确定》但管内物《料流速应按其物化】性质、？。状态合理确定 ！     【各种物料在输送【过程中应尽量—。减少污染《使停止使用时的物】料残留尽量少并【使管道？系统易于吹除因【此各类工业管—道系统？应尽量短《避，免“盲管”等不易吹！除的死角 【  《 ，  由于各类工业】管道在投入使—用前或检修》前、后均应进行【吹除、排《放达：到预期洁净度或纯度！要求为此各》工业管道系》统应设必需的吹除口！、放净口以确保各系！统的安全、》稳定运行为》进，行物料的化》验、分析或吹除【效果的取样相应【的管道系《统还应设置取—样口 —。  ？   鉴于各—类工：业管道输送的—物料品种较多—、纯度不同不能做统！。一，的强制性规定为此】将本条？改为推荐《。性条：文 8．！1．4  本条【规定工业管》道，穿过：洁净室墙壁》或楼板处的管—段不应有焊》缝是便于检查焊缝的！焊接质量为保持洁净！室的空气洁净度和】室内正压规定管道】与，墙壁或楼板》之间应采取可靠的】密封措施密封材【料常用硅《橡胶等填《。堵 【8，．1．5《  可燃气体（包括！城镇：燃，气、天然气、氢气】等）：和氧气管道系统发】生事故？或气体纯度不—符合要求时》需吹除置《换这些气《体吹除？置，换时不能排入室【内所：以在管道末》端，。。或最高点应》设放散管《以便将气体排入【大气放散《管的排放口应高出】屋脊1m《以防止？由于：风向的影《响使排放《的气体倒灌回室内】本条涉及《可燃：气，体等管道《系统的运行安全【为此作？。为强制性《条文规？定 【8，．1：．6 ？ 对气？体纯度？要求严格的生产【工艺如？。电子工业《中电真空器件、半】导体：器件、特种半导体器！件、集成电路等【生产工艺从》。材料：制备到器件制造、】封装：、性能？测试等工艺过程中】各种高纯气中—的杂质含量将直接】影响：产品的合格率—。如，氢气：用于硅外延时在【高温下氢中的微量氧！和水汽易与硅作用】生成二氧化》硅而影响完整结【晶生长致使外延【片的：堆垛层？错，密度高？。甚至变成多》晶 —     氮气在扩！散过：。程中作为运》载气时如果》含有氧和《水汽易使硅》片表面氧化》故对净？化装置的设》置应根据《气源和生产工艺【对，气体纯度《的，要求选？。择相应的气体—净化：装，置 》     —。为保证使用》点气体？纯度符合要》求规：定气体终端》净化：装置宜设在邻近用】气点处以缩短高纯】气体管道的长度【避免污染气体终【端净化装置应—该是距离用气点越】近越好但《往往受各种条件限】制难以实现为此【条，文规定采用“—宜” — 8．1．—7  ？在各种生《产工艺？过程中不仅对各种】气体纯度要》求十：。。分，严格而且对气体【中含尘量也有相应】严格的？要，求有关？专，家指出高《纯，。气，体中含尘量比其纯度！在一定？意义上显得》更为重要因此规【定了根据不同的【生产工艺要求设置相！应精度的气》体终端过滤器—并规定应设在靠【近用气点《 ：  》   在洁》净厂房内《一般设置预过滤器和！高精度？终端气体过滤—器，预过滤器是》设在洁净厂房气体入！口室的干管上作为预！过滤以减轻》终，端过滤器的负担【。并延长其使用寿命】 《    》 预过滤器》的滤：材通常采《用多孔陶瓷》。管、多孔钢》玉管、微孔玻璃【制品、？微孔泡沫塑料、粉】末冶金管、聚—丙腈纤维等 —    】。 高精度终端—气体：过滤器是设》在靠近用气设备的】支管：上其：滤材采用超细玻璃】棉，。高效滤纸、》醋酸：纤维素滤膜、—。粉，末金属？材，料等 【 8．1．8 【 进入洁净厂房的】气体、液《体管道种类根据生产！。工艺的不同》。确定一般各种—管道上均《。设有总控制阀门【压力表、流量—计、过滤《器、调压装置、在线！分析仪等为》安全可靠运行—和方便管理应将这些！控制装？置、：附件集中设置—在气体、液体入口】室或分配室内 】  》   对于》甲、乙？类火灾危险》生产用气体、—液体：入口室或分配室内可！。能有可？燃气体？、，。液体管道如氢气、燃！气等时在与洁净【厂房毗？。连布置时应》按本条第1款的【规定实施《据，调查现有的这类【洁净：厂，房大多均按》此类要求进》行布置设在洁—净厂房边跨靠—外墙的房间内并应以！耐，火极限大于3.0】h，的隔墙与《相邻房间分隔；还应！设置良好的通风措】施及时？排除可能泄漏的可燃！气体等并应按—现行国家标》准建筑设计防火规范！GB 50016】的规定设置必要【的泄压面《积；电气防爆—应按现？行国家标《准爆炸和《。火灾危险环境电力】装置：设计规范GB 5】0058的规定【进行爆炸危》险，环境的设防本—条，规定均？涉及洁净《厂房的安全稳定【运行所以规定为强制！。性条文 》