， ？8  工业管道 】 】 8．1  一【般规定 ！ 8．1》．，1，、，8．1．《2 ： 本次修《订，的理由？是， ：。。     】(，。1) 由于现有洁净！厂房内除给排水【管道外的工业管【道还包括各类气体输！送、：液体输？送和真空管》道等所以将本章扩】大更名为“工业管】道”：据了解目前洁净厂房！内的：工业管道干管、支】干管均？基本敷设在》上、下技《术夹层、技术夹道或！特殊的管廊》内这种方式既可【满足洁净室》。（区：）生产工艺的需要】符合洁？净室：（区）布置》和洁净、美观的要】求又有利于各类管】道的安装、维护 ！   —  ：(2：) 据调《查，了解目？。。前在洁净室（区【）内的易燃、—易，爆、有毒物》质的：输送：管，道大：多，采取明？。敷的方式即》包括这类物质输【。送管道的《干，管、支干管和—接至产品生产设备的！支管均采取明敷【的方式以便容易发现！这类物？质在输送过程中【可能发生的泄漏【有利于即时》采取抢救措施但【是由于各种原因并】不，。是所有的洁净室【都采用明敷也有【的工程在采取—必要的安全保护措施！后将这类《物质的输《送，干管、支干管敷设在！技术夹层或》技术夹道内此时在技！术夹层、技术夹道】。内应设置可靠—的，。气体：泄漏报警和机械排】风措：施，一旦此类管》道发生易燃、易【爆，、有毒物质泄漏至】技术：夹层、技术夹—道，后当超过规定—。的浓度限值时气体报！警装置发出声—光信号并自动连锁】开启事？。。故排风机避》免事故的《发生为此作了—。。第3、？4款的规定第4款为！强制性条《文 》     —(，3) 原规范规【定的：“管：道及管架宜设—装饰面板《”由于“装饰—面板”式样》不明确在实施—中形式多样》且不：统一有的采》用装饰不锈钢套管易！于清洁、《整齐：光滑有？的仅为“象征性【”，。措施不能达到洁净】、，美观的目《的甚至不易清洁、维！护为此本次修—订取消了此规—定 — 8．1．3—  工业管道的管】径，通常应按输送物质】的物化性质和—具体工？程中所输送物—质，的，流量、温度、压力和！流速确定其中流量、！压力、温《度是依？据产品生《。产工艺？确定但管内物料【流速应按《其物化性质、状态】合理确定 ！    《 各：种物料在输送过【程中应尽量减少【污染使停止使—用时的物料残留【尽量少并《使管道系统易—于吹除因此》各类工业管道—系统应尽量短避【免“盲管”等—不易吹除的》。死角 】    由于各类】工业管？道在投入使用前或】检修前、后均应进行！吹除、排放达到预期！洁净度或纯度要求为！此各工业管道系统】应设：必需的？吹除口？、放：净口以确保各系统】的安全、稳》定运行为进行物料】的化验、分析或吹】除效果的取样相【应的管道《系统还应设置取样】口 【 ，   ？。鉴于各？类，工业管道输送的物料！品种较多、纯度不】同不能做统一的强制！性规定为此》将本条改《为，推荐性？条文 8！．1：．4  本条—规定：工业管道穿过洁净室！墙壁或楼板处的管】段不应有焊》缝是便于检查焊缝】。的焊接质量为—保持洁净室的空气洁！净度和室《内正压？规定管道《与墙壁或楼板之间】应采取可靠的密封措！施密封材料常用【硅橡胶等填堵— 8．1！．5 ？ 可燃气体（包【括城镇燃气、天然】气、氢气等）和氧气！管道系统《发生事故或气体【。纯度不符合要求【时需吹除置换这些气！体，吹除置换时不能排入！室内：所以在管道末端或】最，。高点应？设放散管以便—将气体排入大气放散！管的排放口应—高出屋脊1m以防止！由于风向的影响使】排放的气体倒灌回】室内本条涉及可燃气！体等管道系统—的运行安《全为此作《为强制性条》文规定 ！8．1．6  【。对气体纯度要求严】格的：生产工艺如电子工业！中电真空《器件、半导体器【件、特种半》。导体：器，件、集成《电路等生产工艺从材！料，制备到器件制—造、封装、性能【。测试等工《。艺过：程中：各，种高：。纯，气中的杂质含量【。将直接影响》产品的合格率如氢】气，用于硅外延》。时，。。在高温下氢中的微】量氧：和水汽易与硅作【用生成？二氧化？硅而影？响完整结晶》生长：致使外？延片的堆垛层错密】度高：。甚至变成多晶 【 ， ：    》。 氮气？在扩散？过程中作为运—载气时如果》含有氧和水汽易【使硅片表面氧化故】对，净，化装置？的设：置应根据气源和【生产工艺对气体纯】度的要求选择相【应，的气：体净化装置 】 ，     为【保证使用《点气体？纯，度符合要求规定【气体终端净化装置】宜设在邻近用气【点处以缩短高纯气】体管道的长度避免污！染气：体终端净化装置应】该是距离用气点【越近越？好但往？往受各种条》件限制难以实—现为此条文》规定采用“宜—” 8】．1．？7  在《各，种生产？工艺过程中不—仅，。对，各种气体纯度要求】十分严？格而且对气体—中含尘量也有—。相，应严格的要求—有关专家《指出高纯气体中【含，尘量比其纯度在一】定意义上显得—更为重要《因此规定了根据不同！的生产工艺要—求设置相应精度的】气体终端过滤—器并：规定应设《。在靠近用气点 】 ， ：  ：   在《洁净厂？房内一般设》置预过滤器和—高精度终端气—体，过滤器预过滤器【是设在洁净厂房气体！入口室的干管—上作为预过滤以【减轻终端过滤器的】负担并延长》其使用？寿命 》     预】过滤器的滤材—通常采用多孔—陶瓷管、多孔钢玉管！、微孔玻璃制品【、微孔泡《沫塑料、粉末—冶金管、聚丙腈纤维！等 《  《   高精度终【端气：体过滤器是设—在靠近？用气设备的支管【上其滤材采用超细玻！璃棉高？效滤纸、醋酸纤【维，素滤膜、《粉末：金属材料等 — 》8．1．8  进入！洁净厂房的气体【、液体管道种—类根据生《产工艺的不同确定一！般各种管道上均设有！总控制阀门压—。力，表、流量计》、，过滤器？、调压装置、在【线分析？仪等为安全可靠运】行和方？便管理应将这些控】制装置、附》件集中设《置在气体、液体入】口，室或分配室内 ！ ？    《对于甲、《乙类：火灾危险生产—用气体？、，液体入口《室或分配室内可能有！可燃：气体：。、液体管道如—氢，气，、燃气等时在与洁净！厂房毗连布置时【应按本条第1款的规！定实施据调查现【有的这？类洁净厂房大—多均按此类要求【进行布置设》在洁净厂房边跨靠外！墙的房间内并应以耐！火极限大于3—.0h的隔》墙与相？邻房：间分隔；还应设置】良好的通风措施【及时排除可能泄【漏的可燃《。气体等并《应按：。现行国家标准—建筑：设计防？火规范GB 50】016的规定设【置必要的泄》压面积；电气防爆】应，按现行国家标准【爆炸和火灾危险【环境电力装置—设计：规范GB 500】58的规定进行爆】炸危险环《境，的设防本条规定【均涉：及洁净厂房的—安全稳定运行所以】规定为强《制性：。条文 《