。 ：。 ， 8：  工业管道— ，。 《 ：。 8．1  一！般规：定 ？ 《 8．1．1、】8，．1．2 》 本：次修：订的理由是 ！     (1】) 由于《现，有洁净厂房内除给排！水管道外的工—业管道还包括各类】气体输送《。、液体输送和—真空：管，道等所以《将本章扩大更名【为“工？业管道”据了解目前！洁净：厂房内的工》。业管道干《管、支干管均基本】敷，设在上？。、下技术夹》层、技术夹道或特】殊的管廊内这种方式！。既可：满足洁净室（区）】生产工艺《的，需要：符合洁净室（区）布！置和洁净、美—观的：要求又有利于各【类管道的安装、维】护 ：  —   (2) 据】调查了解目前在【洁净室（区）内的易！燃、易爆、有毒物】。质的输送管道大多】采取明敷《的方式即包》。括这类物《质输送管道的—干管、支干》管和接至《产品生产设备的【支管均采《取明敷的方式以便】容易发现《这类物？质在输送过程—。中可能发生的泄【漏有利于即时采【取，抢救：措施：。但是由于各种原因】并不是所有》的，洁，净，室都采？用明敷？也有的工《程在采取必要—。的，安全保护措》。施后将这类物—质的输送《干管、支《。干管敷设在技术【夹层：或技术夹道内此时】在技术夹层、—技术夹道内》应设置可《靠的气体泄漏报【警和机械排风措施】一旦此类《管道：发，生易燃、易爆、有】毒，物质泄漏至》技术夹层、技—术夹道后当》超过规定的浓度限值！。时气体报警装置发出！声光信号《并自动连锁开启事】故排风？机避免？事故：。的，发生为？此作了第3、4【款的规定第4款为】强制性？。条文 —  ？   (3)— 原规？。范规定？的“管？道及管？。架宜设？装饰面？板”由于“装饰【。面，板”式样不》明确在实《施中形式多》样且不统《。。一有的采用》装饰不锈《钢套管易于清洁、整！齐，光滑有的《仅为“象征性”措施！不能达到洁》净、美观的目—的甚至？不，。易清洁、维护为此本！。次修：订取消了此》规定 》 8《．1：．3  工业—管，道的管径通常—应按输送物质的【物化性质和具体工程！。中所输送物》质的流量、》温度：。、压力和《流速确定其中—流量、压力、温度】是依：据产品生产工艺确】定但管？内物料流《速，应按其？物化性质、》状态合理确定 ！ ，     各种】物料在输送过程【中应尽量减少污染使！停止使用时的物料】残留尽？量少并？使管道系统易于【吹除因此各类工业】管道系统应尽—量短避免“盲管”等！。不易：吹除的死角 】     由】于各类工《业管道在投入使用】前或检修前》、后均应进行吹除】、排放达到预—期洁净度或纯度要】求为此各工业—管道系统《应，设必需的吹除—口、放？净口以确保各系【统，的安全、稳定运【行为进行物料的【化验、？分析：或吹除效果的取样相！应的：管道系统还》应设置？取样口 ！    鉴于各【。类工业管道输—送，的物料品种较多、】纯度不同《不能做统《一的强制《性规定为此将—本条改为推》荐性条文《。 8．】1．4  本—条规定工业管—道穿过洁净》室墙壁或楼板处的】。管段不应《有焊缝？是便于检查》焊缝：的焊接质量》为保持洁净室—的空：气洁净度和室内正压！。规定：管道与墙壁或楼【。。板之：间应采取《可靠的密封》。措施密封《材，料常用硅《橡胶等填堵 ！ ：。8．1．5 —。 可燃气体（包【括城镇？。燃气、天然气、氢】气，等）和氧气管—道系统发生事—。故或：气，。体纯度？不符合要《求时需吹除》。置换这些气体吹除置！换时不能排入室内】所以在？管道：末端或最高点应【设放散管以》便将气体排》入，大气放散管的—排放口？应高出屋脊》1m：以防止？由于风向《。的，影响使？排放的气体倒灌回】室内：本条涉及可燃气【体等：管道：系，统的运行安全为此作！为强制性条》。。文规定 【 ， 8．？1，．6  对》气体纯度要求严格的！。生产工艺《如，电子工业中电真空】器件、半导体器【件、特种半导体器件！、集成电《路等：生，产工艺从《材料制备《到器件制造》、封装、《性能测？试等工艺过》程，中各种高纯气中的杂！质含量将直接影【响产品的合》格率：如氢气用于硅外【延时在高温下氢中】的微量氧和水汽【易与硅作用生—成二氧化《硅而影响完整—结晶生长致使—外延片的堆》垛层错密度高甚【。至变：成多：晶   ！  ：氮气在？扩散过程中作为运载！气时如果含有氧和水！汽易使？硅片表面氧》化故对净化装置的】设置应根据气源【和生产工艺》对，气体纯度的要求【选择相应的气体【净化装？置，  【   为《保证使用点气—体纯：度符合要求规—定气体终端》净化装？置宜：设在：邻近用气点处以【缩短高纯《气体管道《的，长度避？免污染气体终端净化！装置应该《是，距离：用，气点越近越》好，。但往往受各》种，条件限制难以—实现：为此条文规定—采用“宜《”， 8【．1．7  在各种！生产工艺过程中不仅！。对各种气《体纯度要求十分严】格，而，且对气体中含尘量】也有相应严格—的要求有关专家【指出高纯气体—。。中，含尘量比其》纯度在一定意义上】显得更？为重要因此》规定了根据不同的】。生产工艺要求设置相！应精度的气》体终端过滤》器并规定应设在靠】。近用气点 【     在】洁净厂房《内一般设置预—过滤器和《高精度终端气体过】滤器预过滤器是设】。在洁净厂房》气体入口室的干管】上作为预《过滤以减《轻终端过滤器的【负担并延《长其使用寿命 】 ？  ：   预过》滤器的滤《材通常采用多孔陶瓷！。管、多孔钢玉管、微！孔玻璃？制品、微孔泡—沫塑料、粉末冶【金管、聚丙腈纤维】等， 》。     高精【度终端？气体过滤《器是：设在靠近《。用气：设备的支管上—其滤：材采：用超细玻璃棉高效】滤纸、醋酸纤维【。素滤膜、《粉末金？。属材料等《 —8，。．1．8  进【入洁净厂房的—气体、液体管道种类！。根据生产工艺的不同！确定一般各种管道上！均设有总控制阀门】压力表、《流量计、过滤器【、调压装置、在线】分析仪等为》安全可靠运行和【方便：管理应将这些控制装！置、附件集中设置】在气体、《。液体：入口：室或分？配室内 》   —。  对？于甲、乙类火—灾，。危险生产《。用气体、液》体入口？室或：。分配室内可》能有可？。燃气体、《液体管道《如氢：气、燃气《等时：在与洁净厂房毗【连布置时应按本条第！1款的？规定实施据调—。查现有的《。这类洁净厂房—大多均按此类要求进！。行布：置设在？洁净厂房边跨靠【外墙的房间》。内并应以耐火—极限大于3.—0h的？隔墙与相邻房间【分隔；还应设置良】好的通？风措施及《时，排除可能泄》漏的：可燃气体等并应【按现行国家标准【建筑设计防》火规范GB 5【。0016的》规定设置必要的泄压！面积；电气防爆【应，按现行国家标准【爆炸和火灾危险【环境电力装置—设计规范GB— 5005》8的规定进行—。爆炸危险环境的设】防，本条规定均》涉，及洁净厂房的安全稳！定运：行所以规定为强制性！条文 ？ ，