。 8  工业！管道 【 8—．1  一般规【定 》 8．1．】。1、8．1》．2  本次—修订的理由是 ！ ？    (1) 】由于现？有洁净厂房内除【给排水？管道外？的工业管道还包【括各类？气体输？送、：液，体输送？和真：空，管道等所以将本【章扩大更名为—“工业管《道”据了解目—前洁净厂房》内的：工业管道干管、支干！管均基本敷设—在上、下技术—夹层、技术》夹道或特殊的管廊内！这种：方式既可满》足洁净室（区）生】产工艺的需要符【合洁净？室，（区）布置和洁【净、美观的要求【又有利于各类管【道的安装《、维护？。 《    》 (：2) 据调查了【解目前在洁净室（】区）内？的易燃、易爆、有】毒物质的输送管道】大多采取明》敷的方式即》包括这类《。物质输送管道的干】管、支干《管和接？至产品生产设备的支！管均采取《明敷的方式以便容易！发现这类物质在【输，送过程中可能发【生的泄漏有利于【。即时采取抢救措【施但是由于各种原】因并不是所有—。。的洁净室《都采用明敷也—有的工程在》采取必要的安全【保护措？施后将这类物—质的输送干管、支干！管，敷设在？技术夹层《或，技术：夹道内此时在技【术夹层、技术夹【道内应设《置可靠的气体泄【漏，报警和机械排风措】施一旦此类管道发生！易燃、易爆、有毒物！质泄漏至技术夹【层、技术夹道后【当超：过规定的浓度限【值时气体报警装【置发：出声：光信号并自动—连锁开启《事故排风机》避免事故的发生为】此，作了第？3、4款的规定第】4款为强《制性条文 ！     (3) ！原规范规定的—“管道及管架宜【设，装饰面板《”，由于“装饰面—板”式样不明确在实！施中形式多样且不】统一有的《采用装？。饰不锈？钢套：管易于清洁》。、整齐光滑有的【。仅为：“象征性”措—施不能？达到洁净、美观【。的，目的甚？至不易？清洁、维护为此【本次修订取消了【此规定 》 8．1．3！  工业管道的管】径通常应按输送物质！的物：化性质和《具体工程中所输送】物质的流《。量、温度、压力【和流速确《定其中流量、—。压力、？温度是依据产品生】产工艺？确定但管内物料流】速，应按：其物：化性质、状态合理确！定  】   各《种物料？在输送过程》中应尽量减少污【染使停止使》用，时的物料残留—尽量少并使管—道系统易于吹除因】此，各类工业《管道系统应尽量短避！免“盲？管”等不易吹除的死！角 》   《  由于各类工业】管道在投入使用前或！检修前、《。。。后均应进行吹—除、排放达到—预期洁净度》。或纯度要求为此各工！业管道系统应—设必需？的，。吹除口、《放净口以确保各【系统的安全、稳【定运行为进》行物料的化》验、分析《或吹除效《果的取样相应的管】道系统还应设—置取样口 【  《   鉴于各类工】业管道？输送：的，物料品种较多、纯度！不同不能做统一的强！制性规定为此将【本条改为《推荐性？条文 ？ 8．1】．4  本条规定】工业管道穿过洁净】室墙壁或《楼板处的管段—不应有焊缝是便于】检查：焊缝的焊接》质量：为保持洁净室的空气！洁净度？和室内正压规—。。定，管道与墙壁》或楼板之《间应采取可靠的密封！措施密封材料常用硅！橡胶等？。填堵 【 8：．1．5 》 ，可燃：气体（包《括城镇？。燃气、天然气、氢气！等）和氧气管道系统！发生事故或气体纯度！不符合要求时需【吹除置换这些气【体吹除置换》时不能排入室内所以！在管道末端或最高点！。应设放散管以便将】气体排入大》气放：散管的？排放口应《高出屋脊1m以防】止，由于：风向：的，。影响使？排放的气体》倒灌回室内本条【涉及可燃《。气体等？。管道系统的》运行：安全：为此作？为强制性《条文规定 】 8．《1．：。6  ？对气体纯度要求严】格的生？产工艺如《电子：工业中电真空—器件、？。半导体？。器件、特种半导【体器件？、集成电《路等生产《工艺从材料制备到器！。件制：造、封？装、性能测试等【工艺过程《中，各种高纯《气中的杂质含量【将直接？影响产品《的合格？率如氢气用于硅【外延时在高温下氢】中的微量氧》和，水汽易？与硅作用生成二氧】化，硅而影响完整结【晶生长致使外延【片的堆？垛层错密度高甚至变！成多晶 【     氮气】在扩散过程中作【为，运载气时如果含【。有氧和水汽易使硅片！表面氧化故对—净化装置的设置【。应根据气源和生产】工艺对？气体纯？度，的要求选择》相应的气体净化【装置 】    为保证使用！点气体纯度符合要求！规，定气体终端净化装置！宜设在邻近用气点处！以缩短高纯气体管】道的长度避免污染气！体终端净化》装置应该是》距离：用气点越近越好【但往往受各种条件】限制：难以实现为此条【文规定采用“—宜” — ， 8．1《．7  在》。各种：生产工艺《过程中？不仅对各种气体【纯度要求十分严【格而且对气体中【含尘：量也有相应严格的】要求有关《专，家指出高纯气体中含！尘量比其纯度在一】定，意义上？显得更为重要因此】规定了根据不同的】生产：工艺要求设置相应精！度的气体终端过滤】器并规定应设在靠近！用气点 【     —在，洁净厂房内一般设】置预：过滤器和高精度终】端气体过滤》器预过？滤，器是设在洁净厂【房气：体入口室的干管【上作为预过滤以减轻！终端过滤器的负【担并延长其》使用寿命《 》   ？ ， ，预过滤器的滤—。。材通常采《用多：孔陶瓷管、多孔钢】玉管、微孔玻—璃制品、微孔泡沫】塑料、粉末冶金管】、聚丙腈纤维等 】 ？ ，     》高精度终端气—体过：滤器是设在靠—近用：气设备的支》管上其滤材》采用超细玻璃棉高效！滤纸：、醋酸纤维素滤膜】、粉末金属材料【等 【8．1．8  进】入洁：净厂房的气体、液体！管道种类《根据生产工艺的不】同确定？一般：各种管道上均设有】总控制阀门压力【表、流量计、过【滤器：、调压装置、在【线分析仪等》为安全可靠运行【和方便管理应—将这些？控，制装置、附件—集中设置《在气：体、液？体，入，口室或？分配室内《    ！ 对：。于甲、乙类火灾【危险：生产用气体、液体】入口室或分配室【内可能？有可燃？气体、液体》。管道如氢气、燃气等！时在：。与洁净厂《房毗连布置》时应按本条》第1款？的规定实施据调查】现有的？这类洁净厂》。房大多均按》此类要求进行布置设！在洁：净厂房边跨靠外墙】的房间内并应—以耐火？极限大于《3.0？h的隔墙与相邻【房，间分隔；还》应设置良好的通风措！施及时排除可能泄】漏，的可：。燃气体等并》应按现行国家标准】建筑设计《防火规范《GB： 5：0016的规—定设置必《要的泄压面积；电气！防爆应按现》行国家标准爆炸和火！灾危险环境电力【装置设计规范GB】 50058的规】定进：行爆炸危险环境的设！防本条规定均涉及洁！净厂房的安全稳定运！行所以规定为—强，制性条文 》 ，