9【.4 ？ 防 静 电—  】 9.4.1  硅！集成电路芯片—厂房生产《。区应：为一级防静电工【作区  — 9.》4.2  防静【。电工作区《。的地面和墙面、【柱面应采用》导，静电型？材料导静电型地【面、墙面、柱—面的表面电阻、对地！电阻应为2.5×1！04Ω～1》。×106Ω摩擦【起电电压不应大【于10？0，V静电半衰期不应大！于0.1s》  《 9《.4.3  防静电！工作区内不得选【用短效型静电材料及！制品并应根据生产】。工艺的？需要设置《静电消除器、防静】电安全工作台—  9】.4.4 》 防：静电环境的门—窗选择应符合下列要！求  ？ ： 1  应【选用静电耗》散材料？制作门窗或采用【静，电，耗散型？材料贴面；  【 ？ 2  金属门窗！表面应涂刷静电耗散！型涂层并应接地【；  — ， 3  室内隔【断，。和观：。察窗安装大面—。积玻璃时其表面应粘！贴静电耗《散型透明薄膜或喷】涂静电耗散型涂层 ！ 9.4！.5  防静电环境！的，净化空？调系：统送风口《和风管应选用导【电材料？制，作并应？接地 ？ ， 9.【4.6？  防静电环境的】净化空调《系，统、各种配》管，使用部？分绝缘性材质—时，应在其表面》。安装紧密《结，合的金？属网并将其接地当】使用导电性橡—胶，软管时应在软管上】。安装与其紧》密结合的金属导体】并应：用，接地：引线与？。其可靠接《地 ： 《 9.4》.7  生产厂【房内金属《物体包括洁净室的墙！面、门？窗、吊顶的金属骨架！应，与接：地系统做可靠连接】；导静？电地面？、防静电《活动：地板、工作台面【、座椅等《应，做防静电接地  ！ ，。 9.4.8】  生产厂房—防静电接地设计及其！他要求应按》现行国？家标准电子工—程防静电设计规范G！B， 50611的【有，关规定执行  】