9【.4  防》 静 电《  ？ 《 9.4.—1  硅集》成电路？芯片厂房生》产区应为一级防静电！工作区  ！ 9.4《。。.2  《防静电工作区的【。地面和墙面、柱面】应采用导静电—型材料导静》电型地面、墙面、】柱面的表面》电阻、对《地电阻？应为2.5×—104Ω～1×10！6Ω：摩，擦起电？电压不应大于—100V静电半衰】期不应大于0.1】s  9！.4.3  —防静电工作区内不得！。选用短？效型静电材料及【制，品并应根据》生产工艺《的需要？设置：静电消除器、防【。静电安全工作台 】 》 9.？4，.4  防静电环】境的门窗选》择应符合《下列要求  【 ， 1《  ：应，。选用静电耗散—材料制作门》窗或采？用静电耗《。散型材料贴面； 】。 ， 《 2  《。金属门？窗表面？应涂刷？静电耗散型涂层【并，应，接地； 《 ： 3 — 室内？隔断和观察窗安装】大面积？玻璃时其表面应粘贴！。静电耗散型》透，明薄膜或《。喷涂静电耗散型涂】层 ： 9【.4.5  防静电！环境的？。净化空调系》统送：。风口和？风管应选《用导电材料制作【并应接地  ！ 9.《4，.6：  防静电环境【的净化空《调系：统、各种配管—使用部分绝缘—。性材质时应在其表面！安装紧密结合的金属！网并将其《接地当使用导电【性橡胶软管时应在】软，管上安装《与其紧？密结合的金》属导体并应用接【地引线与其可—。靠接地  》 ， ？ 9.4《。.7： ， 生产厂房内金属】。物，体包括洁净室的墙】面、门窗、吊顶的金！属骨架？应与接？地系：统做可靠连接—；导静？。电地面、防静电活】动地板、工作台面】、座椅？等应做防静电接地】  ： 9.【4.8 《 生产厂房》防静：电接地？设计及其他要求应】按现行国家标准【电子工程防静电设】计规范GB —5，0611的有关规】定执行  —