—9.4  防— ，静 电？  ： 【9.4？.，1，  硅集成电路【芯片：厂房：生产：区应为一级防静电工！作区 ？ 《 9.4.2 】 防静电工作—区的地？面和墙面、》柱面应采用导静电型！材料导静电型地面、！墙面、柱面》的表面电阻、—对地：电阻应为2.5【×104Ω》～1×？106Ω《摩擦起电《。电压不？应大于100—V静电半《衰期不应大于—0.1s 》 9.4！。.3  防静电【工作区？内不得选用短效型】静电材料及制品【并应：根据生产工艺—。的需要设《置静电消除器、防】静电安全工作台 】 9【.4.4《  防静电环境的】门窗选择应符合【。下列要求  — ？ 1  应选【。用静电耗《散，材料制作《门窗：或采用静电耗散型材！料贴面；  — 2—  金属门窗—表面应涂刷静电耗】散型涂层并》应接地；  】 ？3  室内隔断【和观察窗安》装大面积玻璃时其】表面应粘贴静电耗】。散型透明薄膜—或，喷涂静电耗散型【涂层  ！9.4.5》  防静电环境【的净化空调系统送风！口和风管应选用【导电材料制作—并应接地  ！ 9.4.—6  ？防静电？环境的净化空调系统！、，各种配管使用部分】绝缘性材《质时应在《其表面安装紧密结合！的金：属，网并将其接地当使】。用导电性橡》胶软管时应在软管上！安，装与其紧密结合的】。金属导体《并应用接地引线与其！可靠接地  ！ 9.4.7  ！生产厂房内金属物】体包括洁净室的墙面！、门窗、吊顶的金属！骨，架应与接地系统做可！靠，连接；导静电地面】、防静？电活动地板》、工作台《面、座？椅等应做防静电【接地  ！9.：4.8  》生产厂房防》静电接地设计—及其他要《求应：。按现行国家标准电子！工程防静电》设计规范GB 50！611的有关规定】。执，行  《