《  9.4  防 ！静， 电  》 9.4！.1  硅集成电】路芯片厂房生产区】应为一级《防静电工作》区  9！.4.2  —防，静，电工作区的地面和】墙面、柱《面应采用导静电【型材料导静电—型地面、墙面、【。柱面的表《面电阻、对地电【阻应为2.5×【10：4，Ω～1×1》06Ω摩擦起电电压！不应大于1》00V静电半衰期不！应大于0《.1s  【 ，。 ， 9.？4.3 《 ，防静电？工作区？内不得选用》短效型静电材—料及制品并应根据生！产工艺的需要设【置，静电消除器》、，防静电安全工作台 ！。 ， 《 9：.4.4  —防静电环境的门【窗选：择应符合下列要【求  ？ 1 【 应选用静电—耗散材料制作门窗或！。。采用静？电耗散型材料贴面】。；  【 2  金属门【窗表面应涂刷—。静电耗散型涂层【并应接地《； ： ？ ： 3：  室？内隔断和《观察窗安装大面积玻！璃时其表面》应粘贴静电耗散【型透明薄膜或喷涂静！电耗散型涂层—  9】.4.？5  防静》电，环，境的净化《空调系统送风口【和风管应《。选用导电材料—制作并应《接地  《 ？ 9.4》.6 ？。 防静电环境的【净化空调《系统、各种配管【使用部分绝》缘性材质时应在其】表面安？装紧密结合的金【属，网并将其接地当使用！导电性？橡胶软管《时应在软管上安装】与其：紧密结？合，的金属导体并应用接！地引线与其可靠接地！  ？ ， 9.4.7 ！ 生产？厂房内金属物体包】括洁净室的》墙面、？门窗、吊顶的金属】骨架应与接地—系统做可靠连—接；导静电地面【、防静电活动地板】、工作台面、座椅等！应做防静电接地  ！ 9—。.4.？8 ： ，生产厂房防静电接地！设计及其《他要求应按现行国】家标准电子》工程防静电设—计规范G《B ：50611的有关】规定执行  【