？   9.4  】防 ：。。静 电  》 《 9.4.1】  硅集成电路芯】片厂房生产区应为】。一级防静电工作【区  9！.，4.2  防静电】工作区？。的地面和墙》面、柱面应采用【导静电型材料导静】电型地面、墙面、柱！面的表面电》阻、对地电阻应为2！.5×104Ω～1！。×106Ω摩擦【起电电压不应大【于100V》静电半衰《。期不应大于0—.，1s  【 ：9.4.3 — ，。防静电工作区内【。不得选？用短：效型静电《。材料及制《品并应根据生产工艺！的需：要设置静电消除器、！防静电安全》工作台  【 ， 9.《4，。.4  防》静电环？境的门窗选择应符】合下列要求  】 ：。 1？  应选用静电【耗散材料制作门窗或！采用静？电耗散型材料贴【面；：  2 ！ 金属门窗表面应涂！刷静电耗散型—涂层并应《接地；  — ： 3？  室内《隔断和？观察窗安装大—面积玻璃时》其表面应《粘贴静电耗》。散型透明薄膜或【喷涂静电耗散型【涂层：  【9.：4.5  防—静电环境《的，净，化空调系统送风口和！风管应选用导电材】料制作？并应接地  】 9.4—.6  防静电【环境的净化》空调：。系统、？各种：。配管：使用：。。部分绝缘性材质时应！。在其表面安装—紧密结合的金—属网并将其接地当使！用导电性橡胶软【管时应？在软：管，上安装？与其紧密结》合的金属导》体并：。应，用接地引线与其【可靠接地  】 9.4.7】  生产厂房内【金属物体包括—洁净室？的墙面？、门窗、吊顶—的金属骨架应—与接地系统做可【靠连接；《导静电地《面，、防静？。电活动地《板、工作《台面：、座椅等应做—防静电？接地  》 9.4【.8  《生产：厂房：防静电接地》。设计及其他要求【应按现？行国：。。。家标：准电子工《程，防静电设《计规范GB》 506《11的有关规定【执行  》