《9.:2 照 》 : 明:
:
《
9?.2.1 —硅集成电路芯片工厂!生产区域照明的照度!值应根据工艺生【产的要?。求确定?
9.】2.2 》生产厂房技术—夹层内宜设置检【修照明
!9.2.3 —。 生产厂《房内应?设置供人员》疏散用应急照明其】照度不应低》于5.0《。lx在安全出入口、!疏散通道或疏散【通道转角处应设置疏!散标:志在专用消》防口应设置红色应】急照明指《示灯
》
9.2—.4 生》产厂房洁净区宜【选用吸顶明装、【不易积尘《。、便于清洁的灯具当!采用嵌入式》灯具时其《安装缝隙应采取密】封措施
—
?9,。.2.5 —生,产厂房?的光:刻区应采《用黄色光源黄光【的波:长应根据生产工【艺要求确《定
【9.2.6 生产!厂房:备用照明的设置【应符:合下列规定
!
1 《 洁净区内应设计】备,用照明;
】
:2 备用照明宜作!。为正常照明的一部分!且不:应低:于该场所一般照明照!度值的20》%
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