9》.2：  照？    明》 》 ？9.2.1  【硅集成？电路芯片工厂生产区！域照：明的照度值应根据】工艺生产的要—求，。。确定 ？ 9.2.！2  生产厂房【技术夹层内宜设【置检修照明》。 ： 9.2.3！  生产《厂房：内应：设置供人员疏散【用应急？照，明其照度不应低于5！.0lx在安全出入！口、疏散《通道或疏散通—道转角？。处应设置疏散标志在！专用消防口》应设置红色应急照明！。指示灯 — 9.》2.4  生产【厂房洁净区宜选用】吸顶明装《、不易积尘、—便于清洁的灯具当】采用嵌？入式灯？具时其安装缝隙应】采取密？封措施 — 9.2.5 ！ 生产厂房》的光刻区应》采用黄色光源黄【光的：波长应？根据生产工艺要求确！定 ： ： 9.2—.6  《生，。产厂房？备用照？明的设置应符合下列！规定 】。。1  洁净区内【。应设计备用照—明，。； ？ 《2  备《用照明宜作为正常】照明的一《部分且不应低于该场！所一般？照明照度值》的20％ —