9》。.2 照》 : 明
【
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9.2.1【 硅集成电路芯】片工厂生产区—域照明的照度值应根!据,工艺生?产的:要求确定
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9》.2.2 生产】厂房技术夹层内【宜设置检修照明
!
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?9.2.3 — 生产厂房》内应设置供人员疏散!用应急照《明其照度不》应低于5.0lx在!安全出入口》、疏散通道或疏散】通,道转角?处应设?置疏散标志在专用】消防口应设置红色】应急:照明指示灯
】
9.2.4】 生产厂房—洁净:。区宜选用吸顶明装】、不易积尘、—便,于清洁的灯具—当采用?嵌入式灯具时其安】装,缝隙应采取密封措】施
9】.,2.5 》生产厂房的》光刻区应采》用黄色光源黄光【的波长应根据—。。生,产,工艺要求确定—
9.】2.6 生—产厂房备用照明的设!置应符合下列—规定:
—1 ?洁净区内应》设计备用照明;
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2 备】用照明宜作为—正,常照明的《一部分且不应低于该!场所:一般照明照度—值的20%》
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