9.2 】 ，照  ？  明 】 9《。.2.1  硅【集成电路芯片—工厂：生产区域照明的照】。度值应根据工艺生】产的要求确定 】 9》.2：.2  生产—厂，房技术夹层内宜【设置检修照明— ， ， 9》.2.3《  生产厂房—内应设置供人员【疏散：用应急照《明其照度《不应低？于5.0lx在安全！出入口、疏散通道或！疏散通道转》角处：应设置疏散标志在专！用消防口应设置【红色应急照》明，指示灯 】 9.2.4  生！产厂：房洁净区宜选用【吸顶明装、不易积】尘，、便于清洁的灯具当！采用嵌入式灯具【时其安装缝隙应采】取密封措施 】 9.2.【5  ？生产厂房的光刻区】应采用黄色光源黄光！的波长应根据—生产工艺要》求确定 》 ： ：9.2.6  【生产厂房备用照【。明的：设置应符合下—列规：定 ： ？ 1  洁净区】内应设计《备用照明；》 2  ！备用照明宜作为正】常照明的一部分【且不应低于》该场所？一般照明照度值【的20？％ ？