9》。.2  照》  ：  明 【 ： 9.2.1【  硅集成电路芯】片工厂生产区—域照明的照度值应根！据，工艺生？产的：要求确定 — 9》.2.2  生产】厂房技术夹层内【宜设置检修照明 ！ ， ？9.2.3 — 生产厂房》内应设置供人员疏散！用应急照《明其照度不》应低于5.0lx在！安全出入口》、疏散通道或疏散】通，道转角？处应设？置疏散标志在专用】消防口应设置红色】应急：照明指示灯 】 9.2.4】  生产厂房—洁净：。区宜选用吸顶明装】、不易积尘、—便，于清洁的灯具—当采用？嵌入式灯具时其安】装，缝隙应采取密封措】施 9】.，2.5  》生产厂房的》光刻区应采》用黄色光源黄光【的波长应根据—。。生，产，工艺要求确定— 9.】2.6  生—产厂房备用照明的设！置应符合下列—规定： —1  ？洁净区内应》设计备用照明； ！ 2  备】用照明宜作为—正，常照明的《一部分且不应低于该！场所：一般照明照度—值的20％》 ：