9》.2  照  【  明 】 9.2—.，1  硅集成电【路，芯片工厂生产区域】照明：的照度值应》根据工艺生产的要求！确定 — 9.《。2.：2  生产厂—房技术夹层内宜【设，置检修照《明 ？ 9.2.3！  ：生产厂房内应设置供！人，员疏散用应急照明】其照：度不：应低于5.0—lx：在安全出入口—、疏散通道或—。疏，散通道转角处应设】置疏：散标：志在专用消》防口应设《置红色应急照明【指示灯？ 9【.，2.4  生产厂】房洁净区宜选用【。吸顶明装、不易积】尘，、便于？。清洁的灯具当—。采用嵌入式灯具【时其安装缝》隙应采取密封措施】 《 ：9.2.5  生】产厂房的光刻—区应采用黄色光【源黄光的波长应根】据生产工艺》要求确定 》 》9.2.6》  生产厂房备用】照明的设置应符合】下列规定 》 》1  洁净区内应】。设，计备：用照明？；， —2  备用照明【宜作为正《常，照，明的一部分且不应低！于，该场所一般照明照】度值的20》％ ？