， 9.2—。  照   — 明 ？ 》 ， ，9.2.1  【硅集成电路芯片工厂！生，产区域？照明的照度值应【根据工艺生产的要】求确定 《 ？ ， 9.2.2—  生产《厂房技？术夹层内宜设置检】修照明 】 ，9.2.3  【生产厂房内应设置供！人员疏散用应—。急照明其照》度不应？低于5.0lx【。在安全出《。入口、疏散通道或】疏散通道转角处应】设置疏？散标志在专用消【防，口，应设置红色应急照】明指示灯 】 9.2.4  ！生产厂？房洁净区宜选用吸顶！明装：、不：易，积尘、便于清洁的灯！具当采用嵌》。入式：灯，具时其安装缝隙应采！取密封？措，施 ？ 《9.：2.5  生—产厂房的光刻—区应采用《黄色光源黄光—的波长应根据生【产工艺要求确定 ！ 9.2.】6  生产厂房【备用：照明的设置应符合】。下，列规定 — 1  洁净区！内应设计《备用照明； — 《 2  备用照明】宜作为正《常，照明的一部》分且不应低于该【场所一般照》。明照度值的20％ ！ ，