9》 电 《气
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9.1 供 ! 配 电
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9.1.—。1, 硅集成电路【芯片工厂应根据当地!。。电网结构《以及:工厂负?荷容量确《定合理的供电电压
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9.1.2 ! 硅集成《电路芯片《工厂:用电:负荷等?级应为?一级其?。供电品质《应满:足芯:片,生产工艺及设备的要!求并应符合现—行国家标准供配【电系统设《计规范GB 50】052、《爆炸和火灾危—险环境电力》装置设计规》范GB 50058!及电子工业洁净【厂房设计规范G【B 504》72的规定》
9【.1.3 》 硅集成电路—芯片厂房配》电电压等级》应符合?生产工艺设》备及动力设》备的要求
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9.1.4 硅!集成电路《芯片厂房的供—电系:统应将生产工艺【。设备与动力设—备的供电分》设生产工艺设备宜】采用独立《的变压器供电并采】取,抑制浪涌《的措施带电导体【系统的形式宜采用】单相二线制》、三相三线制、三相!四线:制系统接地型式【宜采用T《N-S或T》N-C-S系—统
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9.1.【5 对于有特殊】要求的工艺设—备应设不间断电【源(UP《S)或备用发电装置!
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