？ 4．3 》。 吹扫和排气系统】 】4．：3．1  本条【为强制？性条文必《。须，严格执行 ！   ？  根据《美国消防《协会：标准半导《。体生产设《施，防，护标准NF》PA 31》8，-20？18第7．1．4】条的相关条文对特】殊气：体，系，统吹扫气体的—设置做了规定 ！。。    — 7．1．4．4】  ：吹扫面板的设计【应防止吹扫气—体和：工，艺气体？的返流与交》叉污染 【  ？   7．》1．4．7  危】险性气体钢》瓶的：。。吹扫面？板应配置专用吹扫】钢瓶 》 ？    7．1．】4．7．1  相容！气体的吹扫面板可以！共用一支吹》。扫钢瓶 《 》 ，  ： 7．1《．，4．8  危险性】气体钢？瓶的吹扫面板不【得使用大宗》气体气源 ！     1—  本款《规定：。自燃性、易燃性【、毒性、腐蚀性特种！气体系统的吹扫气】体应与独立的气【源连接不得与公用】气源或工艺气源系统！相连：。。。目的：是，为了防止上》述危险性特种—气体污染公用和工】艺气源系统 】 ？  ：  2  本—款规定不相容性特】种气体系统》的吹：扫气：体不：得，共用同一气源—目的是防止》操作不当造成不相】容的特种气体—混，合后造？成污染和发生不良】反应 》   》  3  本—款规定吹扫气体管】线，应，设置止回阀目—。的，是为了防止》自，燃性：、易：。燃性、？毒性、腐蚀性—特种气体系统的吹扫！气体被本质特—种气体污染》引发着火《、中毒或设备拉坏】等事故 《 《 4．3．》2  本条从特【种气体质量及—系统安全的》方，面规定了《吹扫氮气《的气体？面板的设置要求当调！压阀下游的管—件耐压？等级低于吹》扫气瓶的最高压力且！未设置超压气源自动！切断装置时应设置安！全阀避免低压阀【件，损坏 》 4．》3．3  本—。。。。条，对特种？气体系统的辅助抽】真空装置的设置做】了规定 ！    1》  由于电子工厂常！有氮气供应且氮气价！格，低，廉，、，性能稳定所》以特种气体系—统的真空发》生器一般采》用氮气引射抽—真，空， 》     2  】抽真空用《氮气宜在《进入真空发生—器前加装止回阀并保！持微量气体流通以避！免真空？发生器出口发生堵】塞、：排放气体倒灌的【风险 ？ 《 4．3．4 【 本条对特》种气体？排气与废气处理的】设置做了规》定 》   《  2？  自燃性、—易燃性、《毒性、腐《蚀性特种气体系统】在抽真空或吹扫过】程中排出的超过规】定浓：度的特种气》。。体和特种气体混合气！对环境与人体将会造！成着火、中毒和损害！设备、管《路等：安全危害因此这【些特种气体及混合】气应：通过排气管道进入尾！。气，处，理装置进行处—理达到？规定浓度后才能【排入厂务排气系【统 《 4．3．5 ！ 尾：气处理装置的设【置是特种气体系统的！重，要部分之一既—涉及特种气体系【统的储存、输送系统！的安全运《行也涉及生产厂房周！围环境安全》以及人员健康 】。   —  1  尾气处】理装置的类型有【多种：具体某种特种气【体尾气？处理装置《的选：型应根？据其物理化学—性质排气中特种气体！的浓度？等特性进行选—择几种尾《气，处理方法对》特种气体的适用【性，。大，体是干法《吸附较？适用：于As？。H3等；湿法洗涤】较适：用，于NH3、》NOx、HCl等】；热分解或燃烧【式较适？用于CF《4、SF6、Si】H4、？PH3？等特种？气体 《  》   3《  ：为，防止不相容》性特种气体发—生反应引发事故【；不相容性特—种气体应分》别采：用不同的尾》气处理？装置进行处理—从安全和环境保护】的角度出发》尾气处理装置靠【近特种气体设—备布置？是为了缩短》管道长度《便于：与特种气体设备一并！。考虑：建筑、电气的设【计 ？