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4.3 吹扫!和排气系统
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4.】3.1 》。本条为强制》。性条文必《须严格执行
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》 根?据美国消防协会标准!半导:体生产?设施防护标准NF】PA: 318-2—018第7.1.4!条,的相关条文》。对特殊气体系统吹扫!气体的设《置做了规定
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: 7.1.4!.,4 吹扫面—板的设计应防止吹扫!气体和工艺》。气体的返流与—交叉污?染,
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】 7.1.4—.7 ? 危险性气》体,钢瓶的吹扫面板【应配置专《用吹扫钢《瓶
! :7.1.《4.7?.1 《相容气体的》吹扫:面板:可以:共用一?支吹:。扫钢:瓶
】 :。 7.1《.4.8《 危险性》气体钢?瓶的吹扫《面板不得使用大【宗气体气源》
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】1 ?本款规定自燃性、易!燃性、毒性、—腐蚀性特种》气体系统《的吹:扫气体应《与独立的气源连接不!。。得与公用气》源或工艺气源系统】相连:目的是为《了防:止上述危险性特【种气体污《。染公用和工艺气源系!。统
【 2 本款!规定不?相容:性,特种气体系统的【吹扫:。。气体:不得共用同一—气源目?的,是防止操作》不,当造:成不相容的特—种气体混合后造【成污染和发生不良反!应
! 3 》本款规?定吹扫气体管线应】设置:止回阀目的》是为了防止自—燃,。性,、易燃性、毒—性、:腐蚀性特种》气体:系,统,的吹扫气《体被本质特种—气体污?染引发着《火、中毒或设—备拉坏等事故
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4《.3.2 本条】从特种气体质量【及系统安《全,的方面规定了—吹扫氮气的气—体面:。。板的设置要求—。当调压阀下游的管件!耐压等级低》于吹扫气《瓶,的,最高压力且未设【置超压气源》自动切断装置—时应:设置安全阀避免低压!阀件损坏《
4.3!。。。.3 《本条对特种气体【系统的辅助抽—真空装?置的设?置做:。了,规定
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【 1 ? 由于电子工厂常有!氮气供应《且氮气价格低廉、】性,能稳定所以》特种气体系统—的真空发《生器一?般采用氮气引—射抽真空
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《 2 》抽真空用氮气宜在进!。入真空发生器前【加装止回《阀并保持《微量气体流通以避】免真空?。发生器出口发—生堵:塞、排放《气体倒?灌的风险
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?4.3.4 本】条对特种气体排气】与废气?处理的设置做了规定!。
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? 2》 , 自燃?性、易燃性、毒性】、腐蚀性特种气体】系统在?抽真空或吹》扫过程中排出的【超过规定《浓度的特种气体【和特种气《体,混合气对环境与【人体将会《造,成着:火、中毒和损害【设备、管路等安全危!害,因此这?些特:种气体?及混:合气应?通过排气管道进【入尾气处理装置进】行处:理达到规定浓—度后才能《排入:厂务排气系统—
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4?.3.5 尾气处!理装置的《设置是特种》气体系统的重—要部分之一》既涉及特种气体【系统的?储存:、输送系《。统,的安全运行也涉及生!产厂房周围环境安全!以及人员健康—
— 1 —。 尾气处理装置的】类型有多种具体某种!特,种气:体尾气处理装置的】选型应根据其物理化!学,。。性质排气中特种气体!的浓度?等,特,性进:行,选择几种尾》。气处:理方法对特种气体】的,适用性?大体是干法吸—附较适用于》AsH3等;湿法洗!涤,较适用于NH3、】NOx?、HCl等》;热分解或燃烧式】较适:。用于CF4、S【F6、SiH—4、PH3等—特种气?。。。。体
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《 3 》 为防止不》相容性特种气体发】生反应引发事故;不!。相容性?特种气体应分别【。采用不同《的尾气处理装置进行!处理从?安全和环境保护【的角度出《发尾气处理装置【靠近:特种气体《设,备,。布置是为了缩—短管道长度》便于:与特种气体设备一】并考虑建筑、电气的!设计
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