： 4．3  吹扫！。和排气系统 — 《 4《．3：．1  本条—为强：制性条文必》须严格执行 】   》  根据美国—消防协会标准半导】体生产设施防护标】准，NFPA 31【8-201》8第7？．1．4条》的相关条文对特殊气！体系统吹扫气体【。的设置做《了规定 —     7．！。1．4．4  吹】扫面板的设计应【防止吹扫气体—和，。工艺气体的》返流与交叉污染 ！ ，  《   7．》1．4．7 — 危：。险性气体《。钢瓶的吹扫面板【应配置专《用吹扫钢瓶 【  》  ： 7．1《。．4．？7，．，1，  相？容气体的吹扫—面板可以共》用一支吹扫钢瓶 ！   —  7．1．4．8！  危险《性气体钢《瓶的吹扫《面板不得使用大宗】气体气源 — 《    1  本】。款规定自燃性、【易燃性、毒性—、腐蚀？性特种气体系—统，的吹：扫气体？应，与独立的气源连接】不得与公用气源或工！艺气源系统》相连目的是为—了，防止上述危险—性特种气体》污染公用和工艺【气源系统《 》。     2  】本，款规：定不相容性》特种气体系》统的吹扫气体不得】共用同一气源—目的是防止操作【不当造成不相—容的特种气体混合后！造成：污，。染和发生不良反应 ！ 》    3》  本款规定吹【扫气体管线应设【置止回阀目的是【。为了防止自燃性、】易燃性、毒性、腐】蚀性：特种气体系统的【吹扫气体被》本质特？种气体污染引发着火！、中毒或设备拉坏】等事故 【 4．3．2 】 本条从特种—气体质量《。及系统安《全的方面规定了吹扫！氮气的气体面板的设！置要求当《调，压阀下游的管件【耐压等级低于吹【扫气瓶的《最高压力《且未设置超压—气，源自动切断装—置时应设置安全阀】避免低压《阀件损坏 【 4．3—．，3  本条对特【种气体系统的辅助抽！真空装置的设—置做了规《定，    ！ 1  由于电子】工厂常有《氮气供应且氮气价格！低，廉、性能稳定所以】特种气体系统的真】。空发生器一般采【用氮：气引射抽真空 】。   —  2  抽真空用！氮气宜在进》入，真空发生器前—。。加装止回阀并—保持微？量气：。体，流通以避免真空【发生器出口发生堵塞！、，排放：气体倒灌的风—险， —4．3．4  【本条对特种》气体：。。排气与废气处理的设！置，做了规定 》    】 2  自燃—性、易燃《性、毒性、腐蚀性特！种气体系统在抽真】空或吹扫过程中排】出的超过规定浓度】的特种气体和特【种气体混合气对环】。。。境与人体将会造成着！火、中毒和损—害设备、管路等安】全危害因此这些特】种气体及混合气【应通过排气管道【进入尾？气处：理装：置进行处理达—到规定浓度》后才能？排入厂务排气—系统 —。 4．《3．5 《 尾气处理装置的设！置是特种《气，体系统的重》要部分之一》既，涉及特种气体系统的！储存、输送系统的】安全：运行：也涉及？生产厂房周围环境】安全：以及人？员，健康 —。     1【。  尾气处理装【置的类型《有多种？具体某？种特种气体尾—气处理装置的选型】应根：据，。。其物理？化学：性质排气中特种【气体的浓《度等特？性进行选择几种尾气！处理方法对》特种气体的适用性】大体是干法》吸附较适《用于AsH》3等；湿法洗涤较适！用于NH3、NOx！、HCl《等；热分解》。或燃烧式《。较适用？于CF4《、SF6、Si【H4、PH》3等特种气体 】     3！  为防止不相【。容性特种气体—发，生反应引发》事故；不相容—性特：种气体应分别采用不！同的尾气处理装置进！行处理从安全和【环境保护的角度出发！尾气处理装置靠近特！种气体设备》布置是为《了缩短管道长度便】于与特种《气体设备一并—考虑建筑、电气【的设计 《 ，