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4.3 》。 吹扫和排气系统】
】4.:3.1 本条【为强制?性条文必《。须,严格执行
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? 根据《美国消防《协会:标准半导《。体生产设《施,防,护标准NF》PA 31》8,-20?18第7.1.4】条的相关条文对特】殊气:体,系,统吹扫气体的—设置做了规定
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— 7.1.4.4】 :吹扫面板的设计【应防止吹扫气—体和:工,艺气体?的返流与交》叉污染
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? 7.》1.4.7 危】险性气体钢》瓶的:。。吹扫面?板应配置专用吹扫】钢瓶
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? 7.1.】4.7.1 相容!气体的吹扫面板可以!共用一支吹》。扫钢瓶
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》 , : 7.1《.,4.8 危险性】气体钢?瓶的吹扫面板不【得使用大宗》气体气源
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1— 本款《规定:。自燃性、易燃性【、毒性、腐蚀性特种!气体系统的吹扫气】体应与独立的气【源连接不得与公用】气源或工艺气源系统!相连:。。。目的:是,为了防止上》述危险性特种—气体污染公用和工】艺气源系统
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? : 2 本—款规定不相容性特】种气体系统》的吹:扫气:体不:得,共用同一气源—目的是防止》操作不当造成不相】容的特种气体—混,合后造?成污染和发生不良】反应
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》 3 本—款规定吹扫气体管】线,应,设置止回阀目—。的,是为了防止》自,燃性:、易:。燃性、?毒性、腐蚀性—特种气体系统的吹扫!气体被本质特—种气体污染》引发着火《、中毒或设备拉坏】等事故
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4.3.》2 本条从特【种气体质量及—系统安全的》方,面规定了《吹扫氮气《的气体?面板的设置要求当调!压阀下游的管—件耐压?等级低于吹》扫气瓶的最高压力且!未设置超压气源自动!切断装置时应设置安!全阀避免低压阀【件,损坏
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4.》3.3 本—。。。。条,对特种?气体系统的辅助抽】真空装置的设置做】了规定
! 1》 由于电子工厂常!有氮气供应且氮气价!格,低,廉,、,性能稳定所》以特种气体系—统的真空发》生器一般采》用氮气引射抽—真,空,
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2 】抽真空用《氮气宜在《进入真空发生—器前加装止回阀并保!持微量气体流通以避!免真空?发生器出口发生堵】塞、:排放气体倒灌的【风险
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4.3.4 【 本条对特》种气体?排气与废气处理的】设置做了规》定
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《 2? 自燃性、—易燃性、《毒性、腐《蚀性特种气体系统】在抽真空或吹扫过】程中排出的超过规】定浓:度的特种气》。。体和特种气体混合气!对环境与人体将会造!成着火、中毒和损害!设备、管《路等:安全危害因此这【些特种气体及混合】气应:通过排气管道进入尾!。气,处,理装置进行处—理达到?规定浓度后才能【排入厂务排气系【统
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4.3.5 ! 尾:气处理装置的设【置是特种气体系统的!重,要部分之一既—涉及特种气体系【统的储存、输送系统!的安全运《行也涉及生产厂房周!围环境安全》以及人员健康
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— 1 尾气处】理装置的类型有【多种:具体某种特种气【体尾气?处理装置《的选:型应根?据其物理化学—性质排气中特种气体!的浓度?等特性进行选—择几种尾《气,处理方法对》特种气体的适用【性,。大,体是干法《吸附较?适用:于As?。H3等;湿法洗涤】较适:用,于NH3、》NOx、HCl等】;热分解或燃烧【式较适?用于CF《4、SF6、Si】H4、?PH3?等特种?气体
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》 3《 :为,防止不相容》性特种气体发—生反应引发事故【;不相容性特—种气体应分》别采:用不同的尾》气处理?装置进行处理—从安全和环境保护】的角度出发》尾气处理装置靠【近特种气体设—备布置?是为了缩短》管道长度《便于:与特种气体设备一并!。考虑:建筑、电气的设【计
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