4.—3 吹扫》和排气系统
!
4.3.】1, :本条为强制性条【文必:须严格执行
】
《 根据美国消】防,协会标?准半导体生产设施防!护标:准,NFP?A 318-20】。18第7.》1.4条的》。相关条文对特殊气】体系统吹扫气体的设!置,做了规定
!
: 7.1.【4.4 吹扫面板!的设:计,。应防止吹《扫气体?和工艺气《体的:。返流与交叉污染【
【 , 7?.1:.4.7 危【险性气体钢瓶的【。吹扫面板应》配置:专用:吹扫钢瓶
》
》 《7.1.4.7.】1 相容气体【的吹扫面板可以共用!一,支吹扫钢瓶》
【 7.1.4.!8 危险性气【体钢:。瓶的吹扫面板不得使!用大:宗气体气源
—
:
【1 本款规定【自燃性、易燃性、毒!性、腐蚀《性特种气体系统的吹!扫,气体应与独立—的,气源连接不得与公】用,气源:或工:。艺气源系统相连目的!是为了防止》上述危险性特种【气体污染公用和工艺!气源:系统
《
【 2: 本?款规定不《相,容性特种气体系统】的吹扫气体》不,得共用同一气源目的!是防止操《。作不当?。造,成不相容的》特种:气体混合后造成污】染和:发生不良反应
】
》 3《 本款规定吹扫】气体管线应设置【止回阀目的是为了】防止自燃性、易燃】性、毒性、腐蚀性】特种气?体系统的吹扫—。气体:被本质特《种,气体污染引发着【火、中毒或设备拉】坏等事故
!
4.3.2 本!条从特种《气体:质量及系统安全的】方面规定了》吹扫氮气《的气体面板的设置要!求当调压阀下—游的管件耐压—等级低于吹扫气瓶】的最高压力且未【设置:。超压气源自》动切断装置时—应设置安全阀避【免低压阀件》损,坏
【4.3.3 本条!对特种气体系统的】辅助抽真《空装置的《设置做了规定—
?
》 1 由于电】子,工厂常有氮气供【。应且氮气价格低廉、!性能稳定所以—特,种气:体系统的真》空发生器一般采用】氮气引射抽》真空
《
:
,
《 2: ,。。 抽真空用》氮气:宜,在进入?真空发生《器前加装止回阀并保!。持微量气体流通以避!免真空发生器出口发!。生堵塞、《排放气体倒灌的风险!
》
4.3《。.4 本》条对特种气体排气】与废气处理的设置】做了规定
—
】2,。 自燃性、易燃】。性、毒性、腐蚀【性特:。种气体系统在抽真空!或吹扫过程中—排出的超《过规定浓度》的特种?气体和?特种气体混合—气对环境与人体【将会:造成着火、中毒【和损害设备、管【路等安?。全危害因此这些特种!气体及混合气—应通:过,。排气管道进入尾气】处理装置进行处理达!到规定浓度后才能排!入,厂务排气系》统
—
4.3《.5 尾》气处:理装置的设置是特种!气体系统《的重要部《。分之一既涉》及,特种气体系统的储】存,、输送?系统的安《全运行也《涉,及生产厂房周—围环境安全以及人员!健康
—
1 】 尾气处理装置的】类,型有多种《具体某种特》种气体尾气处理装置!的选型应《根据其物理化学性】质排气中特种—气体的浓度等特性进!行选择几种尾气处理!方法:对,特种气体的适用【性,大体是干法吸附【较,适用于AsH3【等,;湿法洗涤较适【用于N?H3、NOx、H】Cl等;热分—解,或,燃,烧式较适用于CF】4、S?F6、SiH4【、PH3等特种【气体
! : 3 为防止不相!容性:特种:气体发生反应—引发事故;》不相容性特种气体应!分别采用不同的尾气!处理:装置进行处》理从安全和环—境保护的角度出【发,尾气处理装置—靠近特种气体设备布!置是为了缩短管【道长度?便于:与特种气体设备【一并考?虑建筑?、电气的《设计:
: