《4．3？。  吹扫和排气【系统 》 4．3】．1  本条为强】制，性条文必须严格【执，行 》   《  根据美国消防】协会标准半导体【生产设施防护—标准NFPA— 318-201】8第7．《1．4条的相—。关条文对特殊气体】系统吹？扫气体？的设：置做了规定》 —   ？ 7．？1．4．4  【吹扫面板的设计应防！止吹扫气体和工艺】气体的返《流与交叉污染 ！  《   7．1．4．！7  危险性气体钢！瓶的吹扫《。面板应配置专—用，吹扫钢瓶 —     】7．1？．4．7．1—  相容气体—的吹扫面板》可以共用《一支：。吹扫钢瓶 【     7．！。。1．4．8  【危险性？气，。体钢瓶的吹扫面板】不得：使用大宗气体气源 ！ 《    《 1 ？ 本款规定自燃性】、易：燃，性、毒性《、腐蚀？性特种气体系统的】吹扫气体应与独【立的：气源连接不得与公】用气源或工艺气【源系统相连》目的是为《。了防止上述危险性特！种气体污染公—用和工艺气》源系统 ！ ，。  ：。 2  本款规定不！相容性特种气体系】统的吹？扫气：。体不得共用同一【气源目的是防止操作！不当造成不》相容的特种气体【混合后造成污染【和发生不良反—应， 《   《  3 《 本款规定》吹，。扫气体管《线应设？置止回阀《目，的是：为了防止自》燃性、？易燃性？、，毒性、？腐蚀性？特种气？体系统的吹扫气体】被本质？特，种气体？污染引发着火、中】毒或设？备拉坏等事故 】 ： 4？。．3．2  本【条从特种气体质【。。量及系统安全的方面！规定了？吹扫氮气的气—体面板的设》置要：求当调压阀下游的管！件耐压等级低于【。吹扫气瓶的最—高压力且未设置超压！气源自动切》断装置时应设置【安全阀避免》低压阀件损坏 【 4．3．！3  本条对特【种气体系统的—辅助抽真空装—置，的设置做《了规定 】  ：   1  由于电！。子工厂常有氮—。气供应且氮气—价格低廉、性能稳】定所以特种气体【系统的？真空发生器》一般采用氮气引【射，抽真：空 —。     2 【 抽真空用氮—。气宜在？进入真空发》生器前加装止回【阀并保持微量气【体流：通以避免真空发生】。器出口发生堵塞【。、排放？气体倒灌的风—险 《 ， 4．3．—4  本条》对，特种气体排气—与废气？处理的设置》做了规定 ！ ，  ：  2  自燃性、！易燃性？、毒：性、腐？蚀性特种气体系【统在抽真空或—吹扫：过，程中排出的超过规定！浓度的特种气体和特！种气体混合气对环境！与人体将会》造成着火、中毒【和损害设备、管路】等，安全危害因》此这些特种气—体，及混合气应》通过：排气管道进入—尾气处理装》置，进行处理达到规定浓！度后才能《排，入厂务排气》系，统 4．！3．5  尾—气，处理装置的设置【是特种气体系统的重！要，部分之一既涉—及特种气《体系统的《储存、输送系统的安！全，运行也涉《及生产厂《房周围环境安全以】及人员？健康 —   《  1  尾—气处理装置的类型】有多种具体某种【特种气体尾气处理装！置，的选型应根据—其物理化《学性质？排气中特种气体的】浓度等特性进—行选择？几，种尾：气处理方法对特种气！体的适用性大—。体，是干：法吸：附较适用于AsH】3等：；湿法洗涤较—适用于NH3—、N：Ox、HCl等【。；热分解或燃烧【式较适用于CF4、！。SF6、SiH4】、PH3等特种【气，体 》   《  3  为防【止不：相容性特种气体发】生，反应引发事故；【不相容性特种气体应！分别采用不同—的尾气？。处理装置《进行：处理：从，安全和环境保护的角！度出发尾气》处理装置《靠近特？种气体设备布—置，是为了缩短管道【长度：。便于：与特种气体》设备：一，并考虑建筑、电气的！设计 《