： 4．3  吹扫！和排气系统 【 4．】3．1  》。本条为强制》。性条文必《须严格执行 】   》  根？据美国消防协会标准！半导：体生产？设施防护标准NF】PA： 318-2—018第7．1．4！条，的相关条文》。对特殊气体系统吹扫！气体的设《置做了规定 ！ ：    7．1．4！．，4  吹扫面—板的设计应防止吹扫！气体和工艺》。气体的返流与—交叉污？染， ，。    】 7．1．4—．7 ？ 危险性气》体，钢瓶的吹扫面板【应配置专《用吹扫钢《瓶   ！  ：7．1．《4．7？．1  《相容气体的》吹扫：面板：可以：共用一？支吹：。扫钢：瓶  】  ：。 7．1《．4．8《  危险性》气体钢？瓶的吹扫《面板不得使用大【宗气体气源》 ， ，     】1  ？本款规定自燃性、易！燃性、毒性、—腐蚀性特种》气体系统《的吹：扫气体应《与独立的气源连接不！。。得与公用气》源或工艺气源系统】相连：目的是为《了防：止上述危险性特【种气体污《。染公用和工艺气源系！。统 【    2  本款！规定不？相容：性，特种气体系统的【吹扫：。。气体：不得共用同一—气源目？的，是防止操作》不，当造：成不相容的特—种气体混合后造【成污染和发生不良反！应   ！  3  》本款规？定吹扫气体管线应】设置：止回阀目的》是为了防止自—燃，。性，、易燃性、毒—性、：腐蚀性特种》气体：系，统，的吹扫气《体被本质特种—气体污？染引发着《火、中毒或设—备拉坏等事故 ！ 4《．3．2  本条】从特种气体质量【及系统安《全，的方面规定了—吹扫氮气的气—体面：。。板的设置要求—。当调压阀下游的管件！耐压等级低》于吹扫气《瓶，的，最高压力且未设【置超压气源》自动切断装置—时应：设置安全阀避免低压！阀件损坏《 4．3！。。。．3  《本条对特种气体【系统的辅助抽—真空装？置的设？置做：。了，规定 《。    【 1 ？ 由于电子工厂常有！氮气供应《且氮气价格低廉、】性，能稳定所以》特种气体系统—的真空发《生器一？般采用氮气引—射抽真空 — ：   《  2  》抽真空用氮气宜在进！。入真空发生器前【加装止回《阀并保持《微量气体流通以避】免真空？。发生器出口发—生堵：塞、排放《气体倒？灌的风险 【 ？4．3．4  本】条对特种气体排气】与废气？处理的设置做了规定！。 ？ ？    2》 ， 自燃？性、易燃性、毒性】、腐蚀性特种气体】系统在？抽真空或吹》扫过程中排出的【超过规定《浓度的特种气体【和特种气《体，混合气对环境与【人体将会《造，成着：火、中毒和损害【设备、管路等安全危！害，因此这？些特：种气体？及混：合气应？通过排气管道进【入尾气处理装置进】行处：理达到规定浓—度后才能《排入：厂务排气系统— ：。 ： 4？．3．5  尾气处！理装置的《设置是特种》气体系统的重—要部分之一》既涉及特种气体【系统的？储存：、输送系《。统，的安全运行也涉及生！产厂房周围环境安全！以及人员健康— —    1 —。 尾气处理装置的】类型有多种具体某种！特，种气：体尾气处理装置的】选型应根据其物理化！学，。。性质排气中特种气体！的浓度？等，特，性进：行，选择几种尾》。气处：理方法对特种气体】的，适用性？大体是干法吸—附较适用于》AsH3等；湿法洗！涤，较适用于NH3、】NOx？、HCl等》；热分解或燃烧式】较适：。用于CF4、S【F6、SiH—4、PH3等—特种气？。。。。体 《  《   3 》 为防止不》相容性特种气体发】生反应引发事故；不！。相容性？特种气体应分别【。采用不同《的尾气处理装置进行！处理从？安全和环境保护【的角度出《发尾气处理装置【靠近：特种气体《设，备，。布置是为了缩—短管道长度》便于：与特种气体设备一】并考虑建筑、电气的！设计 《