4．3  ！吹扫和排气系统 】 【4．3．1》 ， 本条为强制性条】文必须严《格执行？    ！ 根据？。美国消防协会标【准半导体生》产设施防《护标准NF》PA 318—-20？1，8第：7，．1．4条》的相：关，条，文对特殊气》体系：。。统吹扫气体的设置做！了规定 ！。。  ：  7．1．—4．4  吹扫面】。板的设计应防止吹】扫气：体和工艺气体—。。的返流与《交叉污染 【     7．！1．4？．，7  危《。险性气体钢瓶的吹】扫面：板应配置专用吹扫钢！瓶 《 ，。  ？   7．1—．4．7．1—  相容气》。体的吹扫面板可以】共用一支吹扫钢【瓶 ？ ？。   ？。  7．1》．4．8  危险】性气体钢瓶的—吹扫面板《不得使用大宗气体】气，源 》 ， ，。    1》  ：本款规定自燃性、】易燃性？、毒性、腐蚀性特】。种气：体系统的吹扫气【体应与独立的气源连！接不得与公用—气源或工艺气源系】统，相连目？的是：为了防止《上述：危险：性特种气体污染公】用和工？艺气源系统 — ，    【 2  本款—规定：不相容性特种—气体系统的吹—扫气体不《得共用？同一气源《目的是防止操作不】当造成不相容的特】。种气体混合后造成污！染和：。发生不良《反应 —     —。3  本款规定【。吹扫气体管线—。应设置止回阀—目的：是为了？防止自燃《性、易燃《。性、毒性、》腐蚀性特种气体系】统的吹扫气体被【本质特种气体污染】引发着火《、中毒或设备拉坏】等事故 】 4．3．》2  本条从—特种气体质量及【系统：安全的方面规—定了吹扫氮气的气体！面板：。的设置要求当调【压阀下游的管件【耐压：。等，。级低于吹扫气—瓶的最高压力—且未设置超压气源】自动切断装置—时应设置安》全阀避免低》压阀件损坏 — 4．3．！3  本条对特种气！体系：统，。的辅：助抽真空装置的设置！做了规定 ！ ，  ：  1 《 由于？电，子工厂常有氮气供】。应且氮气价格低廉】、性能稳定所以特】种，气，体系统？的真空发生器一般采！用氮气引射抽真空 ！ 》。    《2 ：。 抽真空用氮气宜在！进入：真空发生器前加装止！回，阀并保持微量气体】流通以？避，免真空发生器—出口发生堵塞—、排放气《。体倒灌的风》险 — 4．？3，．4  本条—对特种气体》排气与废气处理的】设置做了规定—    ！ ，2  自燃》性、易燃性、毒【。性、腐蚀性》特种气体《系，统在抽真空或—。吹扫过程《中，排出的超过规定【浓度的特种气体【和特：。种气体混合气—对环：。境与人体将》。。会，造成着火《、中毒和《损害设备、管路【等安全危害》因此这些特》。种气体及混合气应】通过排？气管道进入尾气处理！装置：进行处理达到规【定浓度？后才能排入厂务排】气系统？ 》 4．3．5  尾！气处理装置的—设置是特《种，气体系统的》重要部分之一—既，涉及：特种气？体系统的储存、输】送系统？的安全？运行也涉《及生产？厂房周围《环境：安全以及人员—健康  ！   1  尾气处！理，装置的？类型有？多种具体某种特种气！体尾气处理装置的】选，型应根据其物理化】学性质排气中—特种气体《的浓度等特性进行选！择几种尾气处理方法！对特种气《体的适？用性大体是干—法，吸附较？适用于？A，sH3等；湿法洗】涤较适用于》NH3、N》Ox：、，HCl？等；热分解或—燃，烧式较适用于C【F4、？SF6、SiH4、！PH3等特》。。种气体？   】  ：3 ： 为防止不》相容性特种气体【发生反应引》。发事故；不相—容性特种气体应分别！采用不同的尾—气处理？装置进行《处理从安《全和环境保护的角度！出发尾气处理—装置靠？。。。近特种气体设备【布置是为《了缩短管《道长度便于与特种】气，体设备一并考虑建筑！、电气？的设计 》