4》．3  吹扫和排气！系统： ， — 4：．3．？1  本条》为强制性条文必须】严格：执行 【 ，   ？ ，根据美国消防协会标！准半导体生产设【。施防护？。标准NF《。PA 318-20！。18第7．1．4】条，的相关条文对特殊气！体，系统吹扫气体的设置！做了规定 【   》  7．《1．4．4》  吹扫面板的【设计应防止吹—扫，气体和工《艺气体的返流—与交叉？污染 【     7．【1．4．7 — 危：险性气体钢瓶的吹】扫面板应配置专【用吹扫钢瓶 ！     7．1！．4．7《．1  《相容气体的》吹扫面？板可以？共用一支吹扫钢瓶】  【   ？。7．1．4》．8  危险性气体！钢瓶的吹《。扫面板不得使—。用大宗？气体气源 【 ：     1 【 ，本款规？定自燃性、易燃【。性、毒性、》腐，蚀性特种气体系【统的吹扫气体—应与：独立的气源连接不】得与公用气源或【工，艺气：源系统相连目的是为！了，防止上述危》险性特种气体污【染公用和《工艺气？源系：统 》     2 】 本款规《定不相容性》特种气体系》统的吹扫《气，体不得？。共用同一气源—目的：是防止操作》不当造成不》相容的特种气体混合！后造成污染和发【生不良反应 —  —   3《。  ：本款规定吹扫—气体：管线应设《置止回阀目》的是：为了防止《自燃性、易燃性【、毒性、腐》蚀性特种气体系统的！。吹扫气？体被本质特种气体】污染引？。发着：火、中？毒或设备拉坏等事故！ ， 《。。 4．？3．2  》本条从特种》气体质量及》系统：安全的方面》规定：了，吹扫氮气《的气体面板的设置要！求当调？压阀下游《的，管件耐压等》级低于？吹扫气？瓶的最高压力且未设！置超压？气，源自动切断装置【时应设置安全—阀避免低《压阀件损坏 ！ 4？．3．3《 ， 本条对特》种气体系统的辅【助抽真空《装置的设置做了【规定 《     1！  由于电子工厂常！有氮：气供：应且氮气价格—低廉、性能稳定所】。。以特种气体系统的真！空发生器《一般采？用氮气引《射，。抽真空 《 ：  《   2  抽真】空用氮气宜在进入真！空发生器前加装止回！阀并保持微量气体】流通以？避免真？空发生？器出口发生堵塞、排！放气体倒灌》的风：。险，。 》 4．3．4—  本条对特种【气体排气《与废气？处理的设《置做了规定 ！  ？   2  自【燃性、易燃》性、毒性、腐蚀性】特种：气，体系：统在：抽真空或吹扫过程中！排出的超过规定浓】度的：特种气体和特种气体！混合气对环境与人】。体将会造成着火、中！毒和损害设》备、管路等安全【危害因此这》些特种气体及—混合气应通过—排气管道进入尾气】处理：。装置进行处理—达到规定浓度后才能！排入厂务排气系统 ！ 4．3．！5  尾气处理装置！的设置是特种气【体系统的重要—部分之一既涉及【特种气体系统的【。储存、？输，送，系统的？安，全运行也涉及—生产：厂，房，。周围环境安全以【及人员健康 ！ ，  ：   1  尾气处！理装置的类》。。型有多种具体某种】特种气体尾气处【理装置的选型应根】。。据其物理化学—性质排气中特种气体！的浓度等特性进行选！择几种？尾气：处理：方法对特《种气：。体的适用性》大体是干法吸附较适！用于AsH》3等；湿法洗涤较适！用于NH3、N【O，x、HCl等—；热分解或燃烧式较！适用于C《F4、S《F6、SiH4【、P：H3等？特种气体 —    【 3  为防—止不相容性特种气体！发生反？应引发事故；—不相容性特种—气体应分别采用不】同的尾气处理装置进！行，处理：。从安全和环》境保护的《角，度出：发尾气处理装置靠近！特种气体设备布置】是为了缩短管—道长度便于与特【种气体设备一并【考虑建筑《、，电气的设计 —。 ，