4．3  ！吹扫和？排气系统 — 《 ， 4：．，3，．1  本条为强】制性条文必须严【格执行 【   《。  根据《美国消防协会标准半！导，体生产设施防护【标准NFP》。A 3？18-2018【第7．1．4—条的相关条文对特】殊气体？系统吹扫《气体的设《置做了规定 ！ ：    7》．，。1．4．4  【吹，扫面板的设计应防止！吹扫：气体和工艺气体的返！流，与交叉污染 】     7】．，1．：4．7？  危险性》。气体钢瓶《的吹扫面《板应配置专用—吹扫钢瓶 】 ，     7．1】．4：。．7．1  相【容，气体：的吹：扫面板可《以共：。用一支吹扫钢瓶【 ？     7．！1．4．8 — 危险性气体钢【瓶的吹扫面板—不得使用大宗气体气！源 ？ ， ，     1  ！。本款规定自燃性、易！燃性、毒性、—腐蚀性特种气体系】统，的吹扫？气，体应与独立的气源】连接不得与公用气】。源或工艺气源系【。统，相连目的是为—了防止上述危险性】。。特种气体污染公用和！工艺气源系统—。 《     2 】 本款规定不相容】性，特种气体系统的吹】扫气体？不得共用同一气【源目的是防止操作】不当造？成不相容《的，特种气体混》合后造成污染和【发，生不良反应 】 ？   ？ 3  本款规定】。吹扫气体管线应设置！。止回阀目的是—为了防？止自燃性、易燃性、！毒性、腐蚀性特种气！体系：统的吹扫气体被【本质特种气体污染引！发着火、中毒或设】备拉坏等事故— 4．】3．2？  本条《从，特种气体质》量及：系，统安全的方》。面规定了吹扫氮【气的气体面》板的设？置要求当《调压阀下《游的管件耐压等级低！于吹：扫气瓶？的最高压力且未设置！超压气源自动切断】装置时应设》置安全阀避免—低压：阀件损坏 ！ 4．3．3 【 本条对特种气体系！统的辅助抽真空装】置的设置《做了规定 】 ，     》1  由于》电子工厂常有氮气】供应且氮气价格低廉！、性能稳定所以【特种气体系统—的真空发生器一【。般采用氮气》引射抽真空 — 》 ，   2  抽真】空用氮气宜在进入】真空：发生器？前加装止回阀并【保持：微量气体流通以避免！。真空发生器出口【发生堵塞、排放气体！倒灌的风险 【。 ： 4．3．4  ！本条对特种气—体排气与《废气处理的设置【做了：规定 —     2 】 自燃？性、易？燃性、毒《性、：腐蚀性特种气—体系统？在抽真空或吹扫【过程中排出的超过】规，定，浓度的特种气体【和特种？气体：混合气对《环境与人体将会【造成着火《、中毒和损害—设备、？管，路等安全危害—因此这些《特种气体及混合【气应通过《排气管道进入—尾气处理装置进【行处理达到规定浓】度后才能排入厂【务排气系统 】 4．3．5 ！ 尾气？处理装？置的设？置是特种气体系统的！重要部分之一既【涉及特种气体系统】的储存、输》送系统？。的安全运行也涉【及生产？厂房周围环》境，安全以及人员健康 ！ 》 ，   1《  尾气处理装【置的类型有多种具】体，某，种特种气体尾气【处理装置《。。的选型？应根据其物》理化学性质排气中】特种气体的浓度等】特性进行《选择几种尾气处理】方法对特种气—体的适用性大体是干！法吸附较适用于A】sH3等；湿法洗】涤较适用于NH3】、NOx《、HC？l等；热分》解或燃烧式》较适：用，于CF4、S—F6、SiH—4、PH3等特【。种气体？   】  3  为防止】不相容性《特种气？。体发生反应引发事故！；不相容性特—种气体应分别采用】不同的尾气》处理装置进行处理从！安全和？环境保护的角度出】发尾气处《理装：置靠近特种气—体设备布置》是为了缩短》管道长度便于与特】种气体设备一并【考虑建筑、》电气：。的设计 》