4．—3  吹扫》和排气系统 ！ 4．3．】1，  ：本条为强制性条【文必：须严格执行 】  《   根据美国消】防，协会标？准半导体生产设施防！护标：准，NFP？A 318-20】。18第7．》1．4条的》。相关条文对特殊气】体系统吹扫气体的设！置，做了规定 ！  ：   7．1．【4．4  吹扫面板！的设：计，。应防止吹《扫气体？和工艺气《体的：。返流与交叉污染【  【 ，  7？．1：．4．7  危【险性气体钢瓶的【。吹扫面板应》配置：专用：吹扫钢瓶 》 》    《7．1．4．7．】1  相容气体【的吹扫面板可以共用！一，支吹扫钢瓶》  【   7．1．4．！8  危险性气【体钢：。瓶的吹扫面板不得使！用大：宗气体气源 — ：     【1  本款规定【自燃性、易燃性、毒！性、腐蚀《性特种气体系统的吹！扫，气体应与独立—的，气源连接不得与公】用，气源：或工：。艺气源系统相连目的！是为了防止》上述危险性特种【气体污染公用和工艺！气源：系统 《    【 2：  本？款规定不《相，容性特种气体系统】的吹扫气体》不，得共用同一气源目的！是防止操《。作不当？。造，成不相容的》特种：气体混合后造成污】染和：发生不良反应 】  》   3《  本款规定吹扫】气体管线应设置【止回阀目的是为了】防止自燃性、易燃】性、毒性、腐蚀性】特种气？体系统的吹扫—。气体：被本质特《种，气体污染引发着【火、中毒或设备拉】坏等事故 ！ 4．3．2  本！条从特种《气体：质量及系统安全的】方面规定了》吹扫氮气《的气体面板的设置要！求当调压阀下—游的管件耐压—等级低于吹扫气瓶】的最高压力且未【设置：。超压气源自》动切断装置时—应设置安全阀避【免低压阀件》损，坏 【4．3．3  本条！对特种气体系统的】辅助抽真《空装置的《设置做了规定— ？   》  1  由于电】子，工厂常有氮气供【。应且氮气价格低廉、！性能稳定所以—特，种气：体系统的真》空发生器一般采用】氮气引射抽》真空 《 ： ，    《 2： ，。。 抽真空用》氮气：宜，在进入？真空发生《器前加装止回阀并保！。持微量气体流通以避！免真空发生器出口发！。生堵塞、《排放气体倒灌的风险！ 》 4．3《。．4  本》条对特种气体排气】与废气处理的设置】做了规定 —     】2，。  自燃性、易燃】。性、毒性、腐蚀【性特：。种气体系统在抽真空！或吹扫过程中—排出的超《过规定浓度》的特种？气体和？特种气体混合—气对环境与人体【将会：造成着火、中毒【和损害设备、管【路等安？。全危害因此这些特种！气体及混合气—应通：过，。排气管道进入尾气】处理装置进行处理达！到规定浓度后才能排！入，厂务排气系》统 — 4．3《．5  尾》气处：理装置的设置是特种！气体系统《的重要部《。分之一既涉》及，特种气体系统的储】存，、输送？系统的安《全运行也《涉，及生产厂房周—围环境安全以及人员！健康 —     1 】 尾气处理装置的】类，型有多种《具体某种特》种气体尾气处理装置！的选型应《根据其物理化学性】质排气中特种—气体的浓度等特性进！行选择几种尾气处理！方法：对，特种气体的适用【性，大体是干法吸附【较，适用于AsH3【等，；湿法洗涤较适【用于N？H3、NOx、H】Cl等；热分—解，或，燃，烧式较适用于CF】4、S？F6、SiH4【、PH3等特种【气体  ！  ： 3  为防止不相！容性：特种：气体发生反应—引发事故；》不相容性特种气体应！分别采用不同的尾气！处理：装置进行处》理从安全和环—境保护的角度出【发，尾气处理装置—靠近特种气体设备布！置是为了缩短管【道长度？便于：与特种气体设备【一并考？虑建筑？、电气的《设计： ：