《。。4．4  》硅烷工艺《系统 ？ ，。 ？。 ： ，4．4．1  【硅烷在半导体、太阳！能，光伏电池、平板【。显示：器、化合物半导体、！光纤预制棒等电【子，工，程制造领域广—泛应：用，硅烷的主要物化性质！见表2 》 ， ： 表：2  硅烷的—主要物理化学性质 ！ 【 《    硅》烷在空气中的燃烧范！围为1．37％～9！6％空气中硅烷浓】度，在1．37％～【4．5％时遇外界火！源，时会产？生爆燃速度可—达5m／s；当空气！中硅烷浓度超过4．！5％处于亚稳定状态！会，发生延迟自》燃性：；浓：度越高？延迟时间越短这种】延迟自燃性会—导致爆燃甚》至爆轰？ 《     硅烷】的首要？危害是它的》自燃性毒性为次要】危害硅烷的半致死浓！度(LC50)为】9，600p《pm：(大鼠4《h吸：入)工？作，场所最高允许浓度】为，5，p，pm 】。4．4．2  硅】烷输送系统是指从硅！烷气：瓶，至生产工艺设备用气！处的管？路系统为确保—生产安全和避免硅烷！气泄漏至房间目前电！子工：。。厂的硅烷系统均设有！硅烷：容器、气体》面，板或气柜《、阀门分配》箱以及相应的连接管！道等为此做了本条规！定 ： ， ： 4．4．—3  从工》程实际情况看—典型的硅烷气体【面板主？要包括？。减，压过滤、吹扫/【排放、安全控制等】功能典型《的硅烷面板》示意图见《图2 》 ： — 图2 《 硅烷？面板示意图 ！ ：4，．，4．4？  本？条，为强制性条文—必须严格执行本【条规定了硅烷系【统必须采用》独，立的惰性气源进行】吹扫目的是为了防】止硅烷本质气—体对吹扫气体的【污染美国国》家标准学会》标准：硅烷和硅烷》混合物？的储存和操作—ANSI／CGA】-，G13？-2：015第《15．2条(—。专用吹扫气》源，)也做了规定用于在！气源位置吹》扫硅烷输送系—统管道？和部件的吹扫气体应！。由专用的惰》性气：体供应？来源提供(图—3) — — 图？3  惰性气—体吹扫示意图—。 —4．4．5  鉴】于硅烷的而物理【。化学性质和安—全运行？的要求硅烷阀门分】。配箱：(VMB《。)用于把主管道分】。成多个支路进行供气！阀门分配《箱支路在打》开前：后均需要使》用惰性气体》进行吹扫考》虑，硅烷的自《燃性质本条规定【硅烷阀门分配—。箱应设？置气体泄漏探测器和！紫外、红外火焰探测！器 — 4．4．6  本！条对硅烷《系统的排《气装置的设置做【了，规定 【     1  】为防止？硅烷气体《在排风系统》内引发着火和—爆炸或可能与排【风系统中的相—。关物质发《。生化学反应引—发，火灾事故《本，款，规定硅烷《的放空不得排入【。。排风系统若排气中】硅，烷，。浓度较高(如高于0！．3：4％时？)通常采用燃烧式】尾气处？理装置？处理后排入大气 ！  》 ，  2  为了稀释！硅，烷用惰性氮气—对，排放管道连续吹【。扫防止大气中的氧气！进入硅烷系统本款】规定放空管》道吹扫氮《气最：低流速在0．—3m／？s硅：烷和硅烷混》合物的储存和操【作ANSI》／CGA 》G-13-2—015？第14．5．—1条也？做了规定该》条内容摘要如下【 ？  《  ： 1：4．5．1  为】防止：大气中的氧气通【过尾气处理》装置的尾《气管线进入》硅烷：系统：尾气系统应》连续吹扫在尾气管线！内的最少吹扫—速度不得小于1【f，t/：s(0？．3m／s) 【 4．4】．7 ？ 本条为强制—。性条文必须严格执】行，从安全操作的角度】出发为了在硅烷【站发：生，安全事故《时操作人员》能够进行远》距离操作减少事故对！操作人员的伤害本】条规：定硅烷连接管道【钢瓶侧应设置—常闭式紧急切断阀硅！烷站：的安全出口至少【应设置一个手动【紧急：切断按钮该手动【。紧急：切断：按钮与输送》装置的距离不应小】于4．6m硅烷站每！个安：全出口？。应设置手动紧急切】断按钮从电子工厂】硅烷站的实际情况看！4．6m是一个较】为合：适的距离《典型大宗硅烷站【布置见？图4美国国家标准学！会标：准硅：烷，和硅烷混合物—的储存和操作A【NSI／CG—。A G-《。13-2《01：。5第6．4．1．1！。条，(远程布置手动切】断阀)和第6．4．！3条(气瓶》系统的布置)图4的！内容：也做了规定现摘录如！下 ？     6！。．4．1．》1  远程布—。置手动切断阀 】 ？     》按，照1：0．2．3最少设置！一个远程布置手动】切断阀切断》。控制阀位置与—气体控？制源和工艺》气体盘控制》系统不少于》15f？t(4．6m)切】断控制的启动将【直，。接切断气源处(气瓶！或猪尾巴管的ES】O)的气体流动并】。隔离：气源和输送系统另外！的远程布置手动切】。断控制阀(ESO)！布置在保护区域的】每一：。个，。出口 》 ：。 《 ：。。 ，图4  典》。型，大宗硅烷站布—。置图 ？ 4．【4．8  》本条对硅《烷，系统阀门、附件的设！置做出了《规定 【  ：   1  由于硅！烷气体？暴露：在大：气中会发《生自燃同时为保证】硅烷气体的纯度接触！的管道及附件—应具有化学稳定【性本款规定了—硅烷：输送系统《。应采：用金：属材质的《波纹管阀《。、隔膜阀、调压阀 ！    】 2 ？ 为了防止管路断】裂造成的硅烷大量】泄漏通常大宗—气源应配置直径小】于3．1《75：mm的？限流孔板《(，R，FO)小钢瓶—应配置？直径小？于0：．25mm的限【流孔：。板 —  ：  ： 3  为了在硅】烷泄漏？状态下切断》管路本？款规定了硅》烷输送？系统应配置》过流开？。关(EFS)—并与紧急切断阀门联！锁由于硅烷》的焦耳-汤姆孙效应！非常明显对于大流】量，输送系统《调压阀会出现—结霜现象《严重时会造成膜片变！脆无法调节》压力可通过》对气：体进行加热》来解决美《国国家标准》学，会标准硅烷和—。硅烷混合物》的，储存和操《作ANS《I／CGA —G-13-2—015第《10．2《．4条？(限：流孔：板，)该条内容摘录【。如下 ？ 》  ： ， 10？．2．4《。．1 ？ 非大宗气源—应配置直径小—于0．25m—m的限流孔板(【RFO) —   —  10．2．【。4．2  大宗气】源应配置《直径小于3．—175m《m的限流孔板(R】FO) 》