？ 4．？4  硅烷工艺【系统 — 4．4．】1  ？硅烷：在，半导：体、太阳能光伏【电池、？平板显示器、化合物！半导：体、光？纤预：制棒等电子工—程，制造领域广泛应用硅！烷的主？要物化性质见表【。2 【。表2  硅烷的主要！物理：化，学，性质 ！ 《    《 ，硅烷在空气中的【燃烧范围为1—．37％《～96％空气中【硅烷浓度在1．37！％～4．5％时【遇外界火《源时会产生爆燃速度！可达5m／》s；当空气》中硅烷浓度超过【4．5％处于亚稳定！状态：。会发生延迟自燃【性；浓度越》高延迟时间越短这】。种延迟自燃性会导】致爆：燃甚至爆轰 ！     硅烷】的首：要危害是《它的自燃性》毒性为？次要危害硅烷的【半致死？浓度(LC50【)为：96：00ppm(—大鼠4h吸入)【工作场所最高—允许浓度为》5pp？m 4】．4．2 》 硅烷？输送系统是指从硅烷！气瓶至生产工—。艺设备用气处的管】路系：统为确？保生产安全和避免】硅烷气泄漏至房【间目前电子工厂的硅！烷系统均设》有硅烷容器、—气体：面板或气柜、阀门】分配箱以及相—应，的，连接管道等为此做了！本条规？。定， 》 4．4．3  从！工，程实：际情况？看典：。型，的硅烷气体》面板主要《包括减压《过滤、吹扫/—排放：、安全控制等功【能典型的硅烷面板示！意图见图2 — ！。。。 图2  硅【烷面板示意》图 4】．4．4  本条】为，强制性条文必须严格！执行本？。条规定了硅》烷系统必须》采用独立的惰—。性气源进行吹扫目】的是为？了防止硅烷本质【气体对吹扫气体的污！染美国国家》标准学会标准硅烷】和硅烷混《合物的储存和操作A！NS：I／CGA-—G，13-20》。15第15．2条(！专用吹扫气源)也做！了，规定用于在气—源位置吹《扫，硅烷输送系统管道和！部件：的吹扫气体应由专用！的惰性气《体供应来源提供(图！3，) ：。 ？ 图！。3  惰性》。气体吹扫示意图 】 《 4．4．5  】鉴于硅烷的而物理化！。学性质和安全运行的！要，求，硅烷阀门分》。配箱(VMB)【。用于把主《管道：分成多个支路进行】供气：阀门分配箱支路在打！开前：后均需？。要使用惰《性气体进行吹—扫考虑硅烷的自【燃性质本条规定硅烷！阀门分配箱应设置气！体泄漏探测器和【紫外、红外火焰探】测器： 4【．，。4．：6， ， 本条对硅烷系【统的排气装置—的，。。设置做了规定— ？     1 ！ 为防？止硅：烷气：体在排？风系统内引》发着火和爆炸或可】能与排风《系统中的相关物质】发生化？学反应引发火灾【事故本款规定—硅烷的放《空不得排入排—风，系统若排气中—硅烷浓度较高(如高！于0．34％时)通！常采：用，燃烧式尾气处理装】置处理？后排入大《。气 》     2  ！为了稀？释硅烷用惰》性，。氮气对排放管道连续！吹，扫防止大气中的【氧气进入硅烷系【统本款规《定放：空管道吹扫》氮气最低流速—在0．3m》／，。s硅烷和硅烷混合】物的储存和操作A】NSI／CGA【 G-？13-20》15第14．—5．1条也》做了规定该条—。内容：。摘要如下 【   》  14．》5．1  为—防止大气中的氧气通！过尾：气处理装置的尾【气管线进《入硅：烷系统？尾气：系统应连续吹扫【在尾气管《线内的最少》吹扫速度不得小于1！ft/s(0．【3，m／s) 】 ， 4：．4．7《 ， ，。本条为强《制性条文必须严【格执行从安全—操作的角度出发为了！在硅：烷站发生安全事【故时操作人员能够】进，行远距离操作减少】事故对操作人员的】伤害本？条规：定硅：烷连接管道钢瓶侧】应设置？常闭式？紧急切断阀硅烷站的！安，全出口至少应设置一！个手动紧急切—断按钮该手》动，紧急：切断按钮与输送【装置的距离不—应小于4．6m硅烷！站每个？安全出口应设置手】动紧急切断按钮从电！子工厂硅烷站的实际！情况看4．6—m是一个较为—合适的距《离典型大《宗，硅烷：站布置见图》4美国国家标准【学，会标准硅《烷和硅烷《混，合物的储存和操作】ANSI／C—GA： G-13-2【015第6》．4．？1．1条《(远程布置手动【切断：阀)：和，第6．4《．3条(《气瓶系？统的布置《)图4的内容也做了！规定：现摘录？如下 《。 ：     6．4！．，1．1  远—程布置手动切断【阀 【    按照1【0，．2．3最少设【置，一个远程布置手动切！断阀切断《控制：阀位置与《气体：控制源和工艺—气体盘控《制系统不少于15f！t(4．《6m)切断控制的启！动将直？接，切断气源处(气【瓶或猪？尾巴管的E》SO)的气体流动并！。隔离气源和输送【系统另外的远程布】置手动切断》控制阀(E》SO)布置在保护】。区域的？每一个出口 ！ 图！4  典《型大宗硅烷》站布置图 ！ 4．4．8 【 本条对硅烷—系统阀？门、附件的设置做出！。了规定？  【  ： 1  由于硅烷气！体，暴露在大气中会【发生自燃《同时为？保证硅烷气体的纯度！接触的管《道及附件应具有【。化，学稳定性本款规【定，了硅烷输送系统应】采用金属材质—的波纹管阀、隔膜阀！、调压？阀 ：  — ，  2 《 为了防止管路断】裂造成的硅》烷大：量泄：漏通常大宗气源应】配置直径小于3．1！75mm的限—流孔板？。(，RFO)小钢瓶【。应配置直径小于【0．25mm的【。限流孔板 》。。 ，     】3  为了》在硅烷泄漏状—态下切断管路本款】规定了硅烷输送系】统应配置过流—开关(E《。。FS)并与紧—急切断阀门联锁由于！硅烷的焦耳-汤【姆孙效？应非：常明：显对于？大流量输《送系统调压阀会出】现结霜现《象严重时会》造成膜？片变：。脆无法调节压—力可通过对气体进行！加热来解《决美国国家标准【学会标？。准硅烷和硅烷—混合物的《储存：和，操作AN《SI：／CGA G-1】3-：2015第10【．2．4《条(限流孔》板)该条《内容摘录如下 】  》   10．2【。．4．？1  ？非大宗气源应配置】直径小于0》．25m《m的限流孔》板(RFO)— —    《10．2．4．2】  大宗气源—应配置直《径小于3．175m！m的限流孔板(R】FO)？ ：