。 4．4【  硅烷工》艺系统？ ， — 4．4．1 【 硅烷在半导体【、太阳能光伏—电池、平板显示【器、化合物》半导体、《光纤预制《棒，等电子工程》制造：领域广泛应》用硅：烷的主？要物化性质见—表2 【 表2？  硅烷《的主：要物理化学性质 ！ ： 【     硅烷在】空气中的《燃烧范围为1—．37％～96【％空气中《硅烷：浓度在1．37【％～4．5％时【遇外：。界火源时会产—生，爆燃速度可达—5m／s；当空气】中硅：烷浓度超过4．【5％：处于：亚稳定状《态会发生延迟自燃性！；浓度越高》延迟时间越短—这种延迟自》燃性会导《致爆燃甚至爆—轰 —     硅烷【的首：要危害是它的—自燃性？毒性：为次要危《害硅烷的半致死浓】度(LC50)为】9600ppm(】大鼠：4h吸入)工作场所！最高允许浓度为5p！。pm： 4【．4．？2 ： ，硅烷输送系统是指从！。硅烷气瓶至生—产工艺设备用气【处的管路《系统为确保生—产安：。全和避免《硅烷气？泄，漏至：房间目前电子工厂】的硅：烷，系统均设有硅烷容】器、气体面》板或气柜《。、阀门分配箱以及相！应的连接管道等为】此做：了本条？规定 【 4．4．3  从！工程实际情况看典型！的硅烷气体面板【主要：包，括减：压，过，滤、吹？扫/排放《、安全控制》等功能典型》的硅烷面板示意图见！图2 ！ 图2 】。。 硅：烷面板示意图 ！ 4．》4．4  本条【为强制性条》文必须严《格执行本条规定【了硅烷系统必须【采用：独立的惰性气源【进行：吹扫目？的是为？了防止？硅烷本质气体对【吹扫气体的污染【美国国家标准学会】标准硅烷和硅烷【混合物的《储存和操作ANS】。I／CGA-G1】3，-，。2015第15．2！条(专用《吹扫气源)也—做了规定用于—在气源位置吹扫硅】烷输送系统》管道和部件的—。吹扫气体应由专用的！惰性气体供》应来：源提供(图3)【。 《 》。 图《3  惰性气体吹】扫示意图《 4．4！．5  鉴于硅烷】。。的而物理化学性质】和安全运行的要求】。硅，烷阀门？分，。配箱(？VMB)用于把主】管道分？成多个支路进行【供气阀门分配—箱支路在打开前后均！。需，要使用惰《性，气体进行吹扫—考虑：硅烷的？自燃性质本条规【定硅烷阀《门分配箱应设置气体！泄漏探测器和紫外】、红外？火焰探测器 ！ 4．4．6 】 本条对硅》烷系统的排气装置的！设置做了规定— ： ，     1】  为防《止硅烷气体在排风】系统内引发着火【和爆炸或可能与【排风系统《中的：相关物质发生化学】反应引发火灾事故】本款：规定硅烷《的放空不《得排入？排风系统若排气【中硅烷浓度较—高(如高于0．34！％时：)通常采《用燃烧？式尾：气处理装置处—理后排入大气— ： ？     2  】为了：稀释硅烷用惰性【氮气对排《放管：道连续吹《扫防止？大，气，中的氧气进》入硅烷系统本款【规定放空管》道，吹扫氮气《最低流速在0—．3m／s硅—烷和硅？烷混合？物的储存和》操作ANS》。I／CGA》 G-1《3-2015—第14？．5．1条也做了规！定该：条内容摘《要如下？    ！ 14．5》．1：  ：为防止大气》中的氧气通过尾气】处理装置的》尾气管线进入硅【烷系统尾气系统应】连续吹扫在》尾气管？线内的最少吹扫速】度不得？小于：1ft/s(0【．3m／s) ！。 4．4．【7  本条为强制】性条文必须严格执】行从安全操作—的角度出发为了在】硅烷：站，发生安全事故—时操作？人员能？够进行远距离操【作，减，少事故？对操：作人员的伤害本条】规定硅烷连接管【道，。钢瓶侧应设》置常：闭式紧急切断—阀硅烷站的》。安全出口至少应设置！一个手动紧》急切断按钮该手【动，紧急切断按钮与【输送装置的距离【不应：小于4．6m硅【烷站每个安全—出口：应，设置手？动紧急切断按—钮从电子工厂—。硅烷：站，的实际情况》看，4．6m是》一个较为合适的【距离典型大》宗硅烷站布置见【图，4，美国国家标准学会标！准硅烷和硅》。烷混合物的储—存和操作《ANSI／CGA】。 G-？13-2015【第6．4．1—．1条？(远程布《置手动切断阀)和第！6．4．3条(气瓶！系统的布置)—图，。4的内容也》做了规定现摘录如下！ ：     】6．：4，．，1．1  远程布】置手动切《断阀 【     》按照10．2．3最！少设置？一个远程《布置手动切断阀切】断控制阀位》。置与气体控制源【和，工，。艺气：体盘控制《。。系统不少于15f】t(4．6m)切断！控制的启动将直【接切断气源处(【气，瓶或猪尾巴管—的ESO)》的气体流《动并隔离气源—。和输送系统另外的】远程布置手动切断控！制阀(？ESO)布置—在保护区《域的每一个出口 ！ 】。。 图4 》 典型？大宗硅烷《站布：置图 》 4．4．8 ！ 本条对硅烷系统阀！门、：附件的设《置做出了规定 ！。 ？    1》 ， 由于硅烷气体【暴露在大《气，中会发生《。自燃：同，时为保证硅烷气体的！纯度接触的》管道及附件应具【有化学？。稳定性本款规—定了硅烷输送—。系统应采用金属【材，质，的，波纹管？阀、隔膜《阀、调压阀 — 《     2 【 ，为了防止管路断裂】造成：的硅烷大《量，泄漏通常《大宗气源应》配置直径小于3【．17？5mm的限流孔【板(RFO》)小：钢瓶应？配置直径小》于0．25mm的】限流孔板 【     3 ！ 为了在硅烷—泄漏状态下切断管】路本款规定了—硅烷输送系统应配置！过流开关(》EF：S)：并，与紧急切断阀—门联锁由于硅烷的】焦耳-汤姆孙效应非！常，明，显对于大流量输【送，。系统调压《阀会：出现：。结霜现象严重时【会造成膜片变脆无】法，调，节压力可通》过对气体进行—加热来解决美国国】家，标准学会标准硅【烷和硅烷《混合物的储存—和操作？ANSI《／CG？A G-13-2】015第10．2】．4条(限流孔【板)该条内容摘【录如下 —   》  10．2．4．！1 ： 非大宗《气源应配置直—径小于0．2—5mm的限流—孔，。板(RF《O)：   】  1？0．2．4．—2  大宗气源【应配：置直径小于3．【175mm的—限流孔板(》RFO？) ？