4．—4  硅烷》工艺系统 】 ？ 4．4．1 【 硅烷在半导体、】太阳能光《伏电池、平板显示器！、化合物《半导体、《光纤预？制棒等电子工—程制造领域广—泛应：用硅烷？的主要物化》性质见表2 】 表2 — 硅烷的主》要物理化《学性质 》 》  —   硅烷在—空气中？的燃烧范围为—1．37％～96】％，空，气中：硅烷浓度在1—．，37％～4．5【％时遇外界火源时】会，产生爆燃速度可【达5m／s；当【空，气中硅烷浓度—超过4．5％处于亚！稳，定状态会发生延迟】自燃性？；浓度越高延迟时间！越短这种延迟自燃】性会：导，致爆燃甚至爆轰【   】  硅烷的》首要危害是》它的自燃性毒—性为次要危害—硅，烷的：半，致死浓度(LC50！)，。。。为9：600ppm(大】鼠，4h吸入)工作场】所，最高允许浓度为5p！pm 【 ，4．4．2》  硅烷输送系【统是指从硅烷气【瓶至生产工艺设备用！气处的管路系—统为确？保生产安全和避【免，硅烷气泄漏至房【间目前电子工厂的】硅，烷系统均设》。有硅烷？容器、气体面—板或气柜、阀—门分配箱以及相应的！连接管道《等为此做了》本条规定 — 4．4．3！  从工程实际情】况看典型的》。硅烷气体面板—主要包括减压过滤、！吹扫/排放、安全】。控，制，等功能典型的—硅烷：面板示？意图见图2》 ： 【 图2  硅】烷面板示意图—。 4．】4．4 《 本条为强制性条文！必须：严格执？行本条规定了硅烷】系统必须采》用独立的惰性气源进！行吹扫目的是为了】防，止硅烷本质》气体对吹扫气体的】污染美国国家标【准学会？标，准，硅烷和硅烷混—合物：的储存和操作—ANS？I／CGA-—G13-《2015第1—5．2条(专用吹扫！气源)也做》了规：定用于在气源位置】吹，扫硅烷输送》。系统管道和部件的】吹扫气体应由专用】的惰性？气体供？应来源提供(图【3，) ！ 图3—  ：惰，。。。性气体吹扫示意图】 —4．4？．5  鉴于硅烷】的而物理化学性质和！安全：运行的？要求硅烷阀门—分配箱(V》M，B)用？于把主管《道分成？多个支路进行供【。气阀门分配箱—支，。路在打开《前后均？需要使用惰性气【体进行？吹扫考虑硅烷—的自燃性质》本条规定《硅烷阀门分》配箱应设置气体泄漏！探测：器和紫外、红外火焰！探测器 ！4．4．《6 ： 本条对硅烷—系统的排《气装置的设置做了】规定： ： ？     1  为！防止硅烷气体在排风！系统：内引发着《火和爆？炸或可能与排—风系统中的相关物质！发生化学反应引发】火灾事故《本款规？定硅烷的放空不得排！。入，排，风系统若排气—中硅烷浓度较—高(：如高于0．》34％时)通常采用！燃烧式尾气处理装】置处理？后排入？大气： ，  —   2  —为了稀释硅烷—。用惰性氮气对排放】管道连续吹扫防止大！气中的氧气进入硅烷！系统本款规定放【空管道？吹扫氮气最低流【速，在0．3《m，／s硅？烷和硅烷混合物的储！。存和操作A》NSI／C》G，A G-13—-2：015第14．5．！1条也做了规定该】条内容？摘要如下 —     1！4，．5：．1 ？ 为防止《。大气中的氧》气通过尾气处理【装，置的尾气管线进【入硅烷系统尾—气系统应连续吹扫在！尾气管线内的最少】。吹扫速度不》得小于？1，ft/s(0—．3m／《。s，) 》 4．4．7  ！本条为强制》性条文必须严格执行！从安：全操作的角度出【发为：了在硅烷站》发生安全事故时操】作人员能够进—行远距离操作减少】事故对？操作人员《的伤害本条规定硅】烷连接管道钢瓶【侧应设置常闭式【紧急切断《阀硅烷站的安全出口！至少应设置一—个手动紧急》切断按钮该手动【。紧急切断按》钮与输？。送装置的距离不【应小于4．》6m硅烷站每—个安：。全出口？应设置？手动紧？急切断按《钮从电？子工：厂硅烷站的实—际情况？看4：．6：m是：一，个较：。为合适的距离典型】大宗硅烷站布—置见图？4美：国国家标准学会【标准硅烷和硅—烷混合物的储存【和操作ANSI【／CGA G-【13-2《015第《6．4．1》．1条？(远：程布置手动切断阀)！和第6．4》．3：条(气瓶系统—的布置？)图4的内容也【做了规？定现摘录《。。如下 》  《。。   6．4—．1．？1  ？远程布置手》动切断阀 【  《   按《照10？．2．？3最少？设置一个远程布置】手动切断阀》切断控？制阀位置与气—体控制源和》工艺气体盘控制系】统不少于15ft(！4．6m)切断【控制的启动将直接】切断气源《处(气瓶《或猪尾巴管的—。ESO)的气—体流动并隔离气源】和输送系统》另外的远程布置【手动切断《控制阀(ES—O)布？置在保护区域—的每：一个出口 — —。 ？ ，图4  典型大宗】硅烷站布置图 】 4．4．】8  本条对硅烷】系统阀门、》附件：的设置做出了规定 ！   【  1  由于【硅烷气体《暴露在大气中—会发生自燃同时为】保，。证硅烷气体的纯【度接触的管》道及附件应具—有化学稳定性—。本款规？定了硅烷输送—系统应采用金属【材质：的波纹管阀、—隔膜阀、调压阀 ！    【 2  为了防止管！路断裂造成的—硅烷大量泄》漏通常大宗气源应配！置直径小于3—．175m》m的：限流孔板(RF【。O)小钢瓶应配置直！径小于0．25mm！的限流孔板》   】  3 《。 为了在硅烷泄漏】。。。状态下切断》管路本款《规定了？硅烷输送系统应配置！过流开关(E—。FS)并与紧急切断！。阀门联锁由于硅烷的！焦耳-汤《姆，孙效应非常明—显，对于大流量输送系】统调压阀会出现结】霜现：象严重？时，会造成膜片变脆无】法调节压力可通【。过对气体进行—加热来？解决美国国家标准学！会标准硅烷和硅【烷混合物的》。储存和操作ANS】I／CGA》 G：-13-2015】第10．2．4【条，(限流孔板)—该条内？容摘：录如下 》   —  10．2．4】．1  非大宗气】源应配置直径—小于0．2》5m：m的限？流孔板(RFO) ！ ？     10】．2．4．2—  大宗气源应配置！直，径小于3．17【5mm的限流—孔，板(R？。FO) 》