？ 4：．4  硅烷—工艺系统 】 4．4．1！  硅烷在半—。导体、太阳》能光伏电池、平【板显示器《、化：合物半导体、光纤】预制棒？等电子？工程制造领》域广泛应用硅烷的】主，要物化？性质见表2》 ？ 表2  硅】烷的主要物理—化学性质 》 》 —    硅》烷在空气《中的燃烧范围为【1．37％》。～96％空气中硅】烷浓度在1》．37％《～4．5％时—遇外界火《源时会产生爆燃速】度，可达5m／s；当】空气中硅烷浓度超过！。4．5％处于亚稳定！状态：会发生延迟》自燃性；浓度越【高延迟时《。。间越：短，这种延迟自燃—性会导致爆》燃甚至爆轰 】。    —。 硅烷的首要—危害是它的自燃【。性，毒性为？次要：危害硅？。烷的半致死浓度【(LC50)—为9600p—pm(？大鼠4h吸入—)工作场所最高允】许浓度为5pp【m — 4：．4．2《  硅烷《输送系？统是指从硅烷—气，瓶至生产工艺设【备，用气处的管》路系统为确》保，生产安全和》避免硅烷气泄漏至】房间目前电》子工厂的硅烷系统均！设有硅烷容》器、气体面板或气】柜、阀门分》配箱以及相应的连】。。接管道等为此做【了本条规定》 4．】4．3  从—工，程实际情况看典型】的，硅烷气体面板主【要包括减压过—滤、吹？扫/排放《、安全控《。制等：功能典型《的硅烷面板示—意图：见图2 《 》 图2 ！ 硅烷面板示意图 ！ 4—．4．4  本条】。为强制性条文必【须严：格，执行本条规定—。了硅烷系统》必，。须采用独立的—惰性气源进》行吹扫目的》是为了防止硅烷本】质气体对吹》扫气体的污染美【国国家标《准学：会标准硅烷和—硅烷混？合物的储存和操作A！N，SI／CGA—-，G13-201【5第：15．2《条(专用吹扫气源)！也做了规定》。用于在？气，源，位，置吹扫硅烷输送【系统管道和部件的】吹扫气体应由专用】的惰性气体供应来源！提供(图3) 【 《 — ，图3：  惰？性气体吹扫示意【图 》 4．4．5【  鉴于硅》。烷的而物《。理化：学性：质和安全运》行的要求硅烷—阀门分配箱(—VMB)《用于把主管》道分成多《个支路进行供气阀】门分：。配箱支路在打开前后！。均需要使用惰性【气体进行吹》扫考虑？硅烷的自《燃，性质本条规定硅【烷阀门分配箱应设】置气体泄《漏探测器和》紫外：、红外火焰探—测器 【 4．4．6  】本条：对硅烷系《统的：排气装置的》设置做了规定 】     】1，。。  为防止硅烷气】体在排风系》统内引发《。着火和？爆炸或？可能与排风》系统中的相关物质】发，生化学反应引—发火：灾事：故本款规定硅—烷，的，放空不？得排入排《风系统？若排气中硅》烷浓度较高(—如高于0．34【。％时)通常采用燃】烧式尾气处理装置处！理后排入大气 【 ， ， ，  ？   ？2，  为了稀释硅烷】。用惰性氮气对—排放管道连续—吹扫防止大气中【。的，氧气进？入硅烷系统》本款规定放空管道吹！扫氮气最低流速【。。在0．3m》／s硅烷和硅—烷混合物的储—存和：操，作，ANSI《／CGA 》G-13-》201？5第1？4．5．1条也做】了规定该条内容【摘要如下《 ： ： ，   ？  14《．5．1  为防】止大气中《的氧气？通过：尾气处理装置的尾气！管线进入硅》烷系统？尾气系？统应：。连续吹扫在尾气管线！内的最少吹扫—速度不得小于1ft！/s(0．3m／s！) 【4．4？．，7  本《条为强制性条文必须！。严格：执行从安全操作的】角度出发为了—在硅：烷站发生安全—事故时？操作人员能够进行】。远距离操作》减少事故对操作人】。员的伤害《本条规定硅》烷连接？管道：钢瓶侧应设置—常，闭式紧急《切断阀硅烷站—的安全出口至少【应设置一个手动【紧急切断按钮该手】动，紧急切断按》钮与输送装》置的距离不应—小于4？．6m硅烷站每个】安全出口应设置手动！。紧，急切断按钮从电【子工：厂硅：烷，站的实际情况看4．！6m是一个较为【合，适的距离典》型大宗硅烷站—布置见图4美—国国：家标准学会标准硅】烷和硅烷《混合物的储存和操作！ANSI／》C，GA G-1—3-2015第【6，．4：．1．1条(—远程布置手动切断】阀，)和第？6．4．《3条(气瓶系统【的，布置)图4的内【容也做了规定现摘录！如下  ！   6．4．1．！1，  远程《布置手动切断—阀 ： ： ？ ，  ： 按照10．2．3！。最少设置一个远程】布置手动切断阀切断！。控制阀位《置与气体控制源和工！艺气体盘控制系【统不少于1》。5ft(4》．6m)切断—控，制的启动将直接切】断气源处(气瓶或】猪尾巴管《的ESO)的气体流！。动并隔离气源和输送！系统另外的远程【布置：手动切断控制—阀(ES《O)布置在保—护区域的每一个【出口 【 ， ？ 图4  典】型大宗硅烷站布【置图 ？ 4．4】．8  本》条对硅烷系》统阀：门、：附件的设置做出了】规定 】 ，   1  由于】硅烷气体《。暴露在大气中—会发生自燃同时【为保证？硅烷：气体的纯度接触的】管道及？附件应具有化—学，稳定性？本，款规定？了硅烷输《。送系：统应采用金属—材，质的：波纹管？阀、隔？膜阀、调压阀—   】  2  为了防】止管路断裂造—成的硅烷大量泄【漏，通常大宗气源—应配置直径小—于3．175—mm的限流孔—。板(RFO)小钢】瓶，应配：置直：径小于0．25mm！的限流孔板 【 ？     》3  为了在硅烷】泄漏状态下切断【管路本款规定了【硅烷输送系统—应配置过《流，开关(E《F，S)并与《紧急切断阀门联锁由！于硅烷的焦耳—-汤姆孙效应非【常明显对于大—流量输送系统调压】阀会出现《结霜现象严重时会】造，成膜片变脆无法调】。节压力可通》。过对：气体进行加热来【解决美国国家标准学！会标准硅烷》和硅：烷混：合物：的，储存和操作ANS】I／C？GA G-13-】2015第10．】2．4条(限—流孔板)《该条内容摘录—如下 】  ：  10《．2．4．》1  ？。非，大宗气源应配—。置直径小于0．2】5mm？。的限流孔板(—RFO)《。 ，  —   10．2【．4．2《  大宗气源—。应配置直径小于【3，．，175mm的限流】孔板：。(RFO) — ，