。 ： 4．4》  硅烷《工艺系统 ！。 4．》4．：1  硅烷在半【导体、太阳能光【伏电池？、平板显示》器、化合物半导【体，、光纤？预制棒等电子工程】制造领域广泛应用硅！烷的主要物》。化性质见《表2 — 表2  硅烷的！主要物？理化学？性质 ？ 《  】   硅烷在空气】中的燃烧《范围为1．37％～！96％空《气中硅烷《浓度：在1．37》。％～：4．5？％时：遇外界火源时会产生！爆燃速度可达5【m／s；《当空：气，中硅：烷浓度？超过4．5》％处于亚稳定状态会！发生延迟自》燃，性；浓度越高延【迟时间越短这种延迟！自燃性会《导致爆燃甚至—爆，轰 》 ，     硅烷的】首，。要危害是它》的，自燃性毒性为—次要危害硅烷的半】致死浓度(LC【50)？为9600ppm】(大鼠？4，。h，吸入)工作》场所最高允许浓【度为5pp》m ： 4．4．！2  硅《烷输送系统是指【从，硅烷气瓶至生产工艺！设备用气处的管路】系统为确保》生产安？全和避免硅烷气【泄漏至房间目前【。电子工厂的硅烷系统！均设有硅烷容器、】气，。体面板或气柜、阀】门分配？箱，以，及相应？的连接管道》等为此做了本条规】定 ？ 《4．4．3  从】工程实际情》况看：典型的硅烷气体【面板主要《。包括：减压：过滤、吹扫/排放】、安全？控，。制等功？能典型的硅烷—面，板示：。意图见图2 】 ！图，2  硅烷面板【示意图？。 ， ， ， 4．4．【4  ？本条为强制》性条：文必须严格执行【本，。条规定？了硅烷？系统必须《采用独立的惰—性气源进行吹扫【目的是为了防止硅】烷本质气体对—吹扫气体《的污染美国国家【。标准学会《。标准硅烷和硅烷混合！物的储存《和操作ANS—。I／CGA-G13！-20？15第15．2【条(专用吹扫气源)！也做：了规定用于在—气源位置《吹扫硅烷《。输送系统管》道和：部件：的吹扫气体应由专用！的惰性气体供应【来源提供(图—3) 》 ！。。图3 ？ 惰性气体吹—扫示意图 — ：。 ：4．4．5 — 鉴于硅烷的而物理！化学：性质和安全运—行，的要：求硅烷阀门分—配，箱(：VMB)用》于把主管道分成多】。个支：路进行供气阀门分】配箱支路在打—开前后均需要使用】。惰性气体进》行吹：扫考虑硅烷》的自燃？性质本条规》。定硅烷阀《门分配箱应设置气】。体泄漏探测器和紫外！、红外火《焰探：测器 ？ ？。 4．4．—6  本条对—硅烷系统的》排气装置的设—置做：了规定 】     1  为！防止：硅烷气体在》排，风系统内引发—着，火和爆炸或可能【与排风系统》中的相关物质发【生，化学反？应引发火灾》事故本款规定—。。硅烷的放《空不得排入排风系统！。若排气中硅烷浓度较！高(如高于0．3】4％时)通常采【用，燃烧式？尾气：处理装置处理后排】入大气 】  ：   2  为了】稀释硅？烷用惰性氮》气对：。排放管道连》续，吹扫防止大》气中的氧气进入硅烷！系统本款规定放空管！道，吹扫氮气最低流速在！0．3m／s硅烷和！硅烷混合物的—储存和？操作：ANSI／CG【。A G-13—-2015第1【4．：。5．：1条也做了规定【该条内容摘》要如下 【  ？。   14．5．】1  为防止大气中！的氧气？通过尾？气处理装置的尾【气管线进入硅烷系统！尾气系统应连续吹扫！在，尾气：管线内的最少吹扫】速度不？得小于1ft/s(！0．3m《／s) 《。 》4．4．7  【本，。条，为强制性《条文必须严格执行】从安全操作》的，角，度，出发为了在硅烷站发！生安全事故时操作】人，员能够进行远距离】操作减少事故对【操作：人，。员的伤害本条规【。定硅烷连接》管道钢瓶侧应设置】常，闭式紧急切断阀硅烷！站的安全出口至【少，。应设置一个手动紧急！切断按钮该手动【紧急切断按钮—与输：送装置的距离不应】小于4．6m硅烷站！每个安全出口应【。设置手？动紧急切断按钮【从电：子工厂硅烷站—的实际情况看4．6！m是一个《较，为，合适的距离》典型大宗硅烷站布置！见，。图4美？。国，国家标准学会标【准硅烷？和硅烷混合物的【。储存和操作ANSI！／CGA G-1】3-2015第6．！。4．1．《1条(？远程布置手动切断】阀)和第6》．4．3《条(气瓶《系统的布置)图4的！内，容也做了规定现摘】录如下 《   【  6．《4．1．1》  远程布置手动切！断阀 《    【 按照10．—2．3最《少设置一个远—程布置手动切—。断阀切断控》。制阀位置与气—体控制源和工艺气体！盘控制系统不—少于15ft(4】．6m)切断控制】的，启动将直接切断气源！处(气瓶或猪尾【巴，管的ES《O)的气体流—动并隔离气源和【输送系？统，另外的远程布置手】动切断控制阀—(ESO)布置【在保护区域的—每一个出口 】 ？ —图4  典》型大宗硅烷站—布置图 》 4．4．】8  本条对硅烷系！统阀门、附件的设置！做出了规《定 》 ，   ？。  1  由于硅】烷气：体暴：露在大气中会—发生自燃同时为保】证硅烷气体》。的纯度接触的管道及！附件应具有化学稳】定性本款规定—了硅烷输送系—统应采用金属材质的！波纹管阀、隔膜阀】、调：。压阀 —     2【  为了防止管【路断裂造成的硅烷大！量泄漏通常大宗气源！应，配置：直径小于《。3．：。。175mm的限流】孔板：(RFO)》小钢：。。瓶应配置直径—小于0．25mm】的，限流孔板 】 ，     3  】为，了在硅烷泄》漏状态下切断管路】本款规定《了硅烷输送系统应配！置过流开关(EFS！)并与紧急切—断阀门联锁由—于硅烷的焦》耳-汤姆孙效应非常！明显：对于大流量输—送系统调压阀会【出现：结霜现？象严重时会造成膜】片变脆无法调—节压力可通过对【气，体进行加《热来解决美国国家】标准学会标》准，硅烷和硅烷混合【物的：储存和？操作ANSI—／CGA G-1】3-：201？5第10．2．4条！(限流孔板)该条】内容摘录如下—   】  10．2．4】．1  《非大：宗气源应配置直【径小于0．》。25mm的限—流孔板？(RFO《)   ！  10．2．4．！2  大宗气源应配！置直径小《于3．175m【m的限流孔板(【RFO) —