？ ，。4，．4  《硅烷：工艺系统 ！ 4．》4．1 《 硅烷？在半导体、太阳【能光伏电池》、平板显示器、化合！物半导体、光纤预制！棒等电子工程制【造领：域，广泛应用硅》烷，的主要物化性质见表！2 ？。 表2 【 硅烷的主要物理】化学性？质 】 ， 《    《。硅烷在空气中的【燃，烧范围为1．3【7％～9《6％：空气中？。硅，烷浓：。度，在1．37》％，～4．5％时遇外】界，火源时会产生爆燃速！度可达5m》／s；当空气中硅烷！浓度超过4．5％处！于亚稳定状态—会，发生延迟自燃性；】。浓，。度越：高延迟？时，间越短这种延迟【自燃性会导致—爆，燃甚至爆轰》。 ？    — 硅烷的首》要危害是它的自【燃性毒性《为次要危害硅烷【的半致死《浓度：。(LC？。50)为9600】ppm(大鼠4h】吸入)工作场所最高！允许浓度为5ppm！ —4．4？．2：  ：硅烷输送《系统是指从硅烷气】瓶至生产工艺设备】用气处的管路系统】为，确保生产安》全和避？免硅烷气泄漏至房间！目前电子工厂的硅烷！系统均设有硅烷容器！、气体？面板或气柜、—阀门分配箱以及相应！的连接管道等—为此做了《本条规定 【 ： 4．4．》3 ： ，从，工程实际情》况看典型《的，硅烷气体面》板主要包括减压过滤！、吹扫？/排：放、安？全控制等《功能典型《的硅烷？面板示？意图见图2 ！。 ： 《 图2  硅【烷面板示《意图：。 4【．4．4《  本？条为强制性条—文必须严格执行【本，条规：定了硅？烷，系统必须采用—。独，立，。的惰性气源进行吹扫！目的是为《了防止硅烷本质【气体对？吹，扫气：体，的污染美国国—家标准学《会标准硅《。烷和：硅烷混合物的储存和！操作ANS》I／：CGA？-G13《-，2015第15．2！。条(专？。用，吹扫气源《)也做了规定用【于在气源位置吹扫】硅，烷输送系统管道和】部，件的吹扫气体应【由专用？的，惰性：气体供应来源提供(！图，3) 】 图【3  惰《性气体？。吹扫示意图 ！ ， 4．4．5  鉴！于硅烷的而物理化】学性质和安全—运行的要求》硅，烷阀门分配箱—(，VMB)用于把主】管道：分成多个支路进行供！气，阀，门分配箱支路—在打开前后均需要】使用：惰性：气体进行吹》扫考虑？。硅烷的？自燃性质《本条规定硅烷阀【。门分配箱应设置气】。。体泄漏探《测器和紫《外、红外火》。焰探测器 】 4．4．6  ！。本条：对，硅烷：系统的排气装置的】设置：做了规定 —  》   1  为【防止硅？烷气体在排》风系统内《引发着火和爆炸或可！能，与排：风系统？中的相关物》质发生化《学反应引发火灾事】故本款规定硅烷的放！空不得排入排风系统！若排气中硅》烷浓度较高(—如高：于0．34％时【)通常采用燃烧式】尾气处理《。装，置处理后排入—大气： ： ， ：。   ？  2  为—了稀释硅烷用惰性氮！气对排放《管道：连续吹扫防止—大气中的氧》气进入硅烷系—统，本，款规定放空管—道吹扫氮气最低流】速在0．3m／s硅！烷和硅烷混合物的】储，存和操作ANSI／！。C，GA G-13-】。2015《第14．5．—1条也做了规定该】条内容摘要》。如下 【     》14．？。。5．：1 ： 为防止大气中【。的氧气通过尾气处】理装置的尾气—管线进入硅》。烷系统尾气》系统应？连续吹扫《在尾气管线内的最少！吹扫速度《。。不得小于1ft/s！(0．3m》／s：。) 【4，．，4．：7，  本条为》强制性条文必须【严格执行从安全操】作的角度《出发为？了在硅烷《。站，发生安全事》。故时操作人员能够进！行远距？。离操作减少事故对】操作人员的伤害本条！规定硅烷连》接管道钢《。瓶侧应设置》常闭式紧急》切断阀硅烷站—的安全出口》至，少应设置一个手【动紧急切《。断按：钮该：手动紧？急切断？按钮与输送装置的距！离，。不应小于4．—6m硅烷站》每，个安全出口应设【。置手动紧急切—断，按钮：从电：子工厂？硅烷站？的，实际情况看4．【6m是一个较为合适！的距离典型大宗【硅烷站？布置见图《4美国？国，家标准学会》标准硅烷和硅烷【混合物的储》存和操作ANSI／！CGA G-—。。13-？20：15第6．4．1】．1条(远程布置】手动：切，断阀)和第6．【4．3？条(气瓶《系统的？布置)图4的内容】也做了规定现摘【录如下？ ？  《   ？6．4．《1，．1  远程布置】手动切断阀 —   【 ， 按照1《0．2．3最少设置！一个远程布置手动】。切断阀切断控制【阀位置与气》体控：制，源和工艺气》体盘控制系》统不少于15f【t(4．6m)切断！控制的？启动将直接切断气】源处(气《瓶或猪尾《巴，管，的ESO《)的气？体流动并《隔离气源《和输送系统》另外的远程布置【手动切断控制阀(E！SO)布置在保护】区，域的每一《个，出口 】 图【4  典《型大宗？硅烷：站布置图 】 4．4．8  ！本条对硅烷系统阀门！、附：件的设置《做，。出了规？定 【   ？。 1 ？ 由于硅烷气体暴露！在大气中会发—生自燃同时为保证】硅烷气体的纯度接触！。的管道及附件—应，具有化？学稳定性本款—。规定了？硅，。烷输送系统应采用金！属材质？的波纹管阀、隔膜】。阀、调压阀 【    【 2：  为了防止—管，路断裂造成的硅烷大！量泄漏通常》大宗气源《应配置直径小于3．！175mm的限【流孔：板(：R，FO)小钢瓶—应配：置直径小于0．【25mm的限—流孔板 】     》3  为了》在，硅烷泄漏状态下【切，断管：。路本款规定》了硅烷输送系统应】配置过流开》关(EFS)并【与，紧急切断阀》门联锁由于硅烷的】焦耳：-汤姆？。孙效应非常明—显对于大流量输【送系统调压阀会【出现结霜现象严重】时会造成膜片—变脆无？法调节压力》可，通过对气体进行加】热来解决美国国家标！。准学会标《准硅烷？和，硅烷混合《物的储存《。和操作ANSI／】CGA？ G-13-201！5第10．2．4条！(限流孔板》。)该条内容摘—录如下 》 ，     10！．2．4．1—  非大宗气源【应配：置直径小《。于0．25mm的】限流孔板(R—FO) —     10！．2．4．2  大！宗气源应配置直径小！于3．175mm的！限，流孔板(R》FO) 》