4》．2  《特种气体输》送系统 【 ： 4？．2：．，1，  ：。气瓶柜、气瓶架是特！种气体气瓶存放和】进行气体配》送的装置本条规定】。了基：本配置 《 ，   —  1  本—款定义？了工程上常用—的几种气瓶柜、气】瓶架的配《置形式 ！    2  本】款为强制性条款必须！严格执？行，本款规定不相容气】。体瓶不应放置于同一！。。气，瓶柜：或，气瓶架中目》的是为了防》止不相容气体在【非正常状态下相遇】发生：。反应：酿成重大《。事故美？国消：防协会标准压缩气】体和低温液体规范】NFPA 》55-？2016《。第，6．17．5条【也做了规定“—不相容？气体：钢瓶应在不》同的：气柜内分开储存或】使用” ！    《3  本款规定是因！为作业面板是气瓶柜！、气瓶架的控制操】作平台通过》作业面板完成—供气、切断、事故】。紧急切断、与气体探！测系统和气体—管理系统的连通等】一系列操作 【 ，    — 4  本》款规定是因为特种气！体系统管路的设计】应考虑特《种气体系统的—固有性质如》液态特？种气体？的加温、相当多【特种气体进》过调节阀后因为焦耳！-汤普逊效应带来】温度降？低甚至液化》的加温、特种气体】管路：吹扫及尾气抽真空这！些都是热力》。学和：流体力学考虑—的问题？ 《 ：    5  本】款为强制性条—。款必须严格执行本】款规定气瓶》柜闭门时应保—持不低于1》00P？。a，负，压其排？风换气次《。数不得低于3—00：次／h目的是—保，持，气瓶柜在《负压下运行即使在】危险性特种气—体泄：漏的：情，况下也不至于泄【漏进入工作环境【从而保？障工厂的财产—和员工的生命安全美！。国消：防协会标准》压缩气体和》低温液体规范—。NFPA《 55-《2016第6．【1，8条做了规定摘录如！下 —     6．1】8．：1  排《风要求如果》需要或使用排气【罩来增加需要特殊规！定的气体的阈值则】排气柜应设置排气】通风系统设》计成与周《围，。相关区域《负，压下工作《   】  6．18—．1．1  门窗】打开时的风速控制在！存放：有毒性、剧毒—、，自，燃、3类或4类不稳！定反应性或腐蚀性】气体时在开启面的平！均风速？应不小于20—0ft／min(】6，1m／m《。in)且任》何，一点风速不小于【150ft／min！(46m／min】) —     6  本！款为强制性条款【必须严格《执行本款规定自燃】性、易？燃性、毒性》。、腐蚀性《。气瓶柜应《在排风出口》设置固定式气—体泄漏探测器目的】是在这些特种气体】泄漏：开始时就探测到【这些有害气体的泄漏！状况采取气体供【应，自动关断《措施预防事故—发生美国消防协【会标准压缩》气体：和低温液体规范NF！PA ？。。55-20》16第？7．9？．6条也《做了规定气体探测系！统应当在气瓶柜、排！风柜或气体房的排风！点，监测 【     7．9】．6  气体探【测除了第7》．9．6．1条描】述外按？照第7．9．6．2！条至第7．9．6】。．6：条的要？求室内储存》或使用毒性或剧毒】压缩气体应设置【连，。续气体侦测系统 】 ？。 ，  ： ，  7  本款规】定了气瓶柜钢板厚度！和防腐蚀涂》层要求目的是为了保！障发生泄漏造成火灾！爆炸等情况下—的，钢，瓶安全 —     8 ！ 本款规定瓶柜门应！。具备自动关闭功能并！配，备防爆玻璃观察窗目！的是防止在》人员误操作的—情况下？导致气体外泄到工】作环境中酿成—重大：事故根据国际—。半导体产《业协：会标准半导体制【造设：备的环？境、健康和》安全指南SE—MI S2的规定气！柜的四角采用地【脚螺栓与地面固定】每个地脚螺》。栓抵御气柜侧翻【的最大应力荷载为2！550N 】  ？  ： 9  本款规【定气瓶柜、气瓶架应！设置清晰明确—的安全标《识牌目的是为—了防止工作人员【装错气瓶和其他【。误，操作：同时随时掌握—气体的信息和—相关安？全知识在应急—状态下按照安全标识！牌，能够从容处理美国消！防，协会标准压缩气【体和：低温液体《规范NFPA 【55-20》。16第4．10．2！．，3，条也做了《规，定，气体房和气》瓶柜辨识存放压缩】气体的房间和气柜需！要明显标识》   】  1？。0  本款规—定当气瓶柜放置【在有爆炸《和火灾危险环境时其！设计：应符：合现：行国家标准爆炸危险！环境：电力装置《设计：规范GB 5—0058的规定因】为气瓶柜工作的环】境基本都是爆炸和】。火，灾危险环境其电气】。装置应考《虑火灾与防》爆设计 《 》4．2．2》  气？体面板是特种气体】气瓶柜与气瓶架的操！作控制装置本—条从使用和安全的】角度规定了气体【面板应配置的装【置、附件的基本【功能自燃性、—易，燃性、？毒性、腐《蚀性：气体系？统，一旦发生事》故仪：表，控制气源自动切【断应急关断阀—门自动关闭如规定气！瓶柜应使用气动【阀门：钢瓶：来实现紧急切断【功能气瓶柜配置【的紧急切断阀可【以取消 【 4．2．3 】 易燃性特种气体】包括自燃《性，、，易燃性气体此类气】瓶柜的设置》应依据？该类：特种气体的自—。燃性、易《燃性特性符合气【瓶柜内设置》。的相关规定如排【风次数、紫》外、红外《火焰探测器设置、】水喷淋系统以及自】燃性气瓶之间设【置隔离钢《板，等安全措《施以确保安全可【靠运行美国压缩气】体协会标准硅—烷和硅烷混合—物的储存和操—作CGA G—-13标准中第13！。。。．2．3条也做了】规定硅烷在气柜【内使用时为了—确，保硅：烷泄漏？造成的聚集低于【0．4％的安全浓】度抽：风需要达到泄—。漏量：的250倍根据最大！钢瓶压？力和钢瓶安装的【限流孔直径》大小推算出气瓶【柜的：换气次数要求 ！ 4．2．4 ！。 大宗？特种气体系统—。主要用？于超大？规模：集成电路厂(气体种！类包括SiH4【、N2O、C—O2、C2F—6、NH3、NF3！等)、1《00MW以上—的太阳能光伏—电池：生，产线(？气体：种类包括《。SiH4、NH3】)、：化合物半导》体外延？工序线(气》体种类包括NH3】等)：、5代以上液晶显示！。器工厂(气体种类】包括SiH4—、，。。NH3、《。NF3等)》、光纤(气体种类】包括SiCl4、】O，MCTS)、硅材】。料外延生产》线(气体种类包括S！。iCl4、HC【l)：等行业它们的投【资规模巨《大采用先《进的工艺《。生产设备《用气需求较大对稳】定，和，不，间断供应、纯—度控制和安全生产】提出严格《的要求 ！    本条从大宗！特种气体系统—的工艺流程、安【。全特性提出了大宗】特种气？体系统设备及—管，路配：置要求系统》的气体供应》能力由？气源瓶？的供：气压力变化与气体】流程管道及零—部件造成的压—力损：失决定供应能力【要经过相应》的热力学和》流体力学《计算核实液化—气体瓶的《大宗特种气》体系统设计合—适的：钢瓶加热与保温装】置是由？于气体经过调压阀减！压后的焦耳-汤普孙！效应气体减压后温度！会降低甚《至，液化从而使输送压】力的不稳《定以及管路系统的】损坏因此需要考虑在！减压：前对气？体进行预热和—保温 》 ：     大宗特】种气体的容器包括】钢瓶(通常称Y【钢，、T瓶、集装—格)、？槽车、长《管拖车等《还有移？。动式压力容器连接回！形管是指《连接气体容》。器和输？送设备的《挠，性，管 【4．2．5  【本条：对液态特种气—体系统的设》置做出了规定 】 ， ？    《液态特种气体系统】不包括酸、碱—。、溶剂等《大宗化学品由于液态！特种气体的物理化学！性质：要求和确保输送【过程的安全》、稳定液态特种气】体应利用《驱动气体的》压力将液态》特种气体从大包装槽！罐输送至《液体输送柜》里的小包装液罐或】者将小包装》液罐里的液体—直接驱？动输送？至液态特种》液体用气点》在，用，气点设备处利用设】置的鼓泡器或蒸【发器将液态特种气体！鼓泡：或直：接蒸发以气态形式】输送至用气工艺设备！典型液？态特种气体输送系统！流程图如图1—所示液态特种气体】的驱动？气体应采用无—污染的惰性气体针对！化合物半导》体产：业外延？工艺使用的三甲【基镓等以及硅—基太阳能电池—产业背钝化工—艺使：用的三甲基铝等金】属有机物前驱体具】。有自燃、遇水反【应等特？点发生泄漏》。。时不能？采，用水灭火通常采用】干粉：灭，火，气柜：内容器泄《漏时：需要在气柜底部设置！收集槽并使》用吸：附材料(如蛭—石等)？降低与空气接—触燃：烧，概率大宗容》器，。需要建筑设计收集地！坑 【 图1】  液态《特种气体输》送系统 》 4．2．6！ ， ，阀门箱的设》置与气瓶《柜相似包《括封：闭的防护箱体、强】制排气？、气体泄漏探—测器、紧《急自动关《断阀、紧急手动关】断阀、？。吹扫管路等一般用】手动阀进《行供气控制调—节，气动阀？作为紧急关》断之用通常》阀，门箱内不设置火焰】探测器和水》喷淋设施一般阀【门箱施工《检测验收后管路不再！。移动且不常》操作：或进行管《路的拆装危险—性较气瓶柜》低，由，于目：前的特种气体管【路零组件与》。施工质量都严格进行！控制所发生泄漏的】。。概率较小一旦紧【急状况如泄漏、【地震发生时可利【用气动阀进行自【。。动关断？将气：源做分？段的：。隔离用气《工艺设备维修时也可！作为：。特种气体管路—的阻隔措施为人员的！安全提？供进一步的保护【 4．】2．7？。  惰性及氧化性】气体用？的，阀门盘为开放式结】构特种气体的—质量及特种气体【系，。统的安？全保证主要是通【过管路的《设，置，来实现 【。 4．2．8【  美国消防协会标！准半导体生产设施防！护，。。标准N？FPA 《318-201【8，第7．14条规定掺！杂气体(As—H3、PH3、B】。F3等)因剧—。毒常：用负压气源(—SAGS)包—括1型(内置吸附】剂在标准《温度和压力》下，钢瓶内及《阀门出口为负—压，)和：2型(无吸附剂在】标准：温度和压力下钢瓶内！为正压内置常闭阀】门，只有：抽真空时才能—打开：因此阀门《出口也是负压)【在工程实践中—负压气？源的特种气体因为负！压特性通《常情况下不会经阀】门向外泄《漏即使不相容的【负压气源特种—。气体也？可以共用气柜及其吹！扫、排气和排风【系统 《