？ 4．2 》 特种气体输—送系统 【 4．2．】1，  气？瓶柜、气《瓶架：是特种气体气瓶存】放和进行气》体配送？的装置本条规定了基！本配置 《 《    《 1：  本款定义—了工程上常用的【几种气瓶柜》。、气：瓶架的配《置形式 《 》    2》  本款为强制性】条款必须《严格执行本》款规定不相容气体】瓶，不应放置《于同一气瓶柜—。或气：。瓶架：中，目的是为了防止【不相容？气体在非正》常状态下相》遇发生反《应酿：成，重大事故《。。美国消防协会标【准，压缩：气体：和低温？液体规范N》FPA 55-20！1，6，第，6．：17：．5：条也做了规定“不】相容气体钢瓶应在不！同的气？柜内分开储存或【。使用” 【     3 】 ，本款规？定是：。因为作业面板是气】瓶柜、气《瓶架的控制操作平台！通过作业面》板完成供气、切【断、：事故：。紧急切断、》与气体探测系统【和气体管理系统【的连通？等一系列操》作  】。。 ，。  4  本款规定！。是因为特种气体系统！管路的设计》。应考虑特种气体【系统的固有》性，质如液态《特，种气体的加温、【相，当多特种气体进过调！节阀后？因为焦耳-汤普逊效！应带：来温度？降低甚至液化的加温！、特种气体》管路吹扫《及尾气抽《真空这些都是热力学！和流体力学考虑的问！题， —    5》 ， 本款为强》制性条款必须严格】执行本款规定气瓶】。柜闭门时应保—持不低于10—。0Pa负《压，其，排风换？气次数？不得：低于300次／h目！的是保持气瓶—柜在负压下运行【即，使在危？险性特？种气体泄漏的情况】下也不？至于泄漏《进入工？作环境从《。而保障工《厂的财产和员工【的生命安全美—。。国消防协会标准压】缩气体和低温液体】规范NFP》A 55-》2016第6．18！条做：了规定摘录如—。。下 《     6】．18．1  排风！要求如果需要或【。。使用排气罩来—增加需？要特殊规《定的气体的阈值则】排，气柜应设置排气通】风系统设计成与周】围相关？区域负压下工—作 【 ，   6《．18．《1．1  门窗打开！时的：风速控制在存放有毒！性、剧毒《、自燃、《3，类或4？类不稳定反》应性或腐蚀性气体】时在开启面的—。平均风？速，。应不小？于200ft／m】in(61m／mi！n)且？任何一点风速不【小于：150f《t／mi《n，(46？m／min) 】     】6 ：。 本款为强》制性条款必须严格】执行本款规定自【燃性、易燃性、毒】性、腐蚀性气瓶【柜，应，在排风出口设置【固定式气体》泄漏探测《器目的是在》这些特种气体—泄漏开始时就探【测到这些有》害气体的泄漏状况】采取气体供应—自动关断《措施预防《。事故发生美国消防】协会标准《压缩气体《和低温液体规—范NFP《A 55《-2：。016第《。7．9．6条—也做了规定》气体探测系》统应当在气瓶柜、】排风柜？或气体房的排风点监！测   ！  7．9．6  ！气体：探测除了第》7．9．6．1条描！述外按照第7．9．！6．2条至》第7．？9．6．6》条的要求室内储存】。或使用毒《性或剧毒压缩气体】应设置连续气—体侦测系统》   】  7？  本款规定了气】瓶柜钢板《厚度和防腐》。蚀，涂层要？求目的？是为了保障》发，生泄漏造成火—灾爆炸等情况下【的钢瓶安全 ！     8 】。 本款规定瓶柜【门应具备《自动关闭功》能并配备防爆玻璃】观察窗目的是防【止在：人员误操作的情况】。下导致气体外泄到】工作环境中酿成重大！事，故，根据国际半导—体产业？协会标准半导体【制，造设备的环境、健】康和安全指》南SEMI S【2，的规定气柜的四【角采用地《脚螺栓与地面固【定每个地脚螺栓抵御！气柜侧翻的最大【应力荷载为》2550N 】。     【9  ？本款规定气瓶柜【、气瓶？架应设置清晰—明确的安全标识牌】目的是？为了防止工作人员装！错气瓶？和其他误操作同【时随时掌握气体的】信息和相关安—全知识在《应急状态下按照【安全标识牌》能够从容处理—美国消防协会标准压！。缩气体和低温液【。体规范NFPA【。 55-201【6第：4．：10．2．3—条也：做了：规定气体房和气【瓶柜辨识存放—压，缩，气体的房《间和气柜需要明显】标识 ？ 》 ，   10  本】款规定当《气瓶柜放置在有【。爆炸和火灾危险【环境时其设计应【。符合现行国家—。标准爆炸危险—。环境电力装置设计规！范，。GB 500—58的规定因为【气瓶柜工作的环【境基：本都是爆炸和火【灾危险环境》其电气装置》。。应考虑火灾》。与防：爆设计 【 4．2．—2  气体面—板是：特种气体气瓶—柜与气瓶《架的操作控制装置本！条从使用《和，安全的角度规—定了气体面板应配置！。的装置、附件的基本！功能：自燃性、易燃性【、毒性、腐》蚀，。性气：体系统？一旦发生事》故仪表控制》气源自动《切断应急《关断阀门自动—关闭如规定》气瓶柜应使用—。气动阀门钢》瓶来实现紧急切【断功能气《瓶柜：配置的紧急切断阀可！以取消 》。 ？ 4．2．3  易！燃性特种气体包括】。自燃性、易燃—性气体此类气瓶柜的！设置应依据该—类特种气体的自燃性！、易燃性特性符合气！瓶柜内设置的相【关规定如排风次【数、紫？外、红外《火焰探测器设置【、水喷淋系统以及自！燃性气瓶之间设置隔！离钢板等安全措施以！确保安？全可靠运行美—国压缩气体协会【标，准硅：烷和：硅烷混合物的—。储存和操作CGA】 G-13标准中第！13．2．3条也做！了规定？硅烷：在气柜内使用时【。为了确保《硅烷：泄漏造成《的聚集低于0—．4％？的安全浓度抽风需要！达到泄漏量的—250倍《根据最大钢瓶压力】和钢瓶安装的—限流孔直《径大小推算出—气瓶柜的换气次数】要求： ， ： 4．》2．4  大宗【特种气体《系统主要用于超大规！模集成？电路厂(气体种类】包括SiH4、N】2，O、CO2、C【2，F6、NH3、NF！3等)、100【MW以上的太阳能光！伏电池生产线(【气体种类包》括SiH4、N【。H3)、化合物【半导体外延工序线】(，气体种？类包括？NH3等)》。、5代以上液—晶显：示器工厂(气体种】类包括S《iH4、NH3【、NF3等》)、光纤(气体种】类包括SiCl【4、OMCT—S)、硅材料外【延生产？线(气体种类—包括SiCl4、】HCl)等行业它】们的投资规模—巨大采用先进—的工艺？生产：设备用气需求较大】对稳：定和不间断供应、纯！度控制和安全生产】提出严格《的，要，求 【    本条—。从大宗特《。种气体系统的工艺流！程、：安全：特性提？出了：大，宗特种气体系统设备！及管路配《置要求？系，统的气？体，供，应能：力由气源《瓶的供气压力变化与！气体流程管道及零】部，件，造，成的压力损失决定】。供应能力要》经过相？。应的热力学和流体】力学计算核实液【化气体瓶的大宗【特种：气体系统设计合适的！钢瓶加热与保温装】置是由于气体经过】调压阀？减压后的焦耳—-汤普孙效应气体】。减压后？温度会降《低甚至液化从—而使输送压》力的不稳定以—及管路系统的损坏因！此需要考虑在减压】前对气体进行预【热和保温 】     大【宗特种气体的—容器：包括钢瓶(通—常称：Y钢、T瓶、集装格！)、槽车、》长管拖车等还有移动！式压：力，容器连接回形管是】指连接气体容器【和输送设备的挠性管！ ？ ？4．2．《5 ： ，本条对液《态特：种气体系统》的设置做出了规定】 》    《 液态？特种气体系》统不包？括酸、碱、》溶剂等大宗》化学品由于》液态特种气体的物】理，化学性质要求和确】保输送过《程的：安全：、稳定液《。。。态特种？气体应利用驱动气】。体的压力《将液态特种气体从大！包装槽？罐输送至《液，体输：。送柜里？的小包装液罐或者】将小包装《液罐里的《液体直？接驱动输送至液态特！种，液体用气点在用【气点：设备处利用设置【的鼓泡器或》蒸发器将液态特种气！体鼓泡？或直接蒸发以气【态形式？输送至用气工—艺设备典型液态特种！气体输送《。系，统流程图如图1所示！液态：。特种气？体的驱动气体应采】用无污染的惰—性气体针对化合【物，半导体产《业外延工艺使用的三！。甲基：镓等：以及硅基《太，。阳能电池产业背【钝化工？。艺使用？的，三甲基铝等金—属有机物前驱体【具有：自燃、遇水》反应等特《点发生泄漏》时不能？采，用水灭？火通常采《。。用，干，粉，灭火气柜内容器【泄，漏时需要在》气柜底部设置收【集，。槽并使？用吸：附材料(如蛭—石等)？降低与空气接触【燃烧概率大宗容器】需要建筑设》计收：集地坑 ！ 》 图1？  液态特种气【。体输：送系统 《 4．2】．6  阀门箱的】设置与气《。瓶柜相？。似，包括封闭的》。防，。护箱体？、强制排气、气体泄！漏探测？器、紧急自》动关断阀、紧急手】动关断？阀，、，吹扫管？路等一般用》手动阀进行供—气控：制调节气动阀作【为紧急关断之用【通常阀门箱内不【设置火焰探测器和】水喷淋设《施一般阀门箱施工检！测验收后管路—不再移？动，且不常操作或进行】管路的拆装危险【性较气瓶柜低由于目！前的：。特种气体管路零【组件与施工质量【都严格进行控制所发！生，泄漏的概率较小【一旦紧急状况—如，泄漏、地震发—生时可利《用气动阀进行—自动关断将气源做分！段的隔？离用气工艺设—。备维修时也可—作为特种气体管路的！阻隔措施为人员的】安全提供进一步的】保，护 — 4．2．7 【 惰性？及氧化性气体—用，的阀门盘为开放【式结构特种》气体的？质量及特种气体系】统的安全保证主要是！通过管路《的设：置来实现《 ： 4．2．】8  美国消—防协会？标，准半：导体生产设施防【。。护，标准：N，FPA 318-】。201？8第7．14—条规定掺杂气—体(：AsH3、PH3、！BF3等)因剧毒】常用负压气源(【SAGS)包—括1：型(内？置，吸附剂在标准温度】和压力下《钢瓶：内及：阀门出？口为负压)和—。2型(？无吸附剂在》。标准温度和压力下】钢瓶内？为正压？内置常闭阀门只【有抽真空时才—能，打，开因此阀门》出口也是负压—。)在工程《实践：中负压气源的—特种：气体因为负压特【性，通常情况下不会【经阀门向外》泄漏即？使不相容的负—压气源特种》气体也可以》共用：气，柜及：其吹扫、排气和【排风系统 》 ，