4》．，2  特种气—体输送系《统 》 4．2．】1  气瓶柜、气瓶！。架是特种气体气【瓶存放和《进行气体配送的装】置本条规定了基本配！置 ？    【 ，1  本款定—义了工？程上常用的几种气瓶！柜、气瓶架》的配置形式 — ，    【 2：  本款为强制性】条款必须《严格执行本款规【定不相容气体—瓶不应放置于同【。一气瓶柜或》气瓶：架中目的《是为了防止》不，相容气？体在非？正常状？。态下相遇发生—反应酿成《重大事故美国消【防协会标准压—缩气体和低温液体规！范NFPA》 ，55：-，20：16第6．17．5！条也做了规定“不】相容：气体钢瓶《应在不同的气柜【内分开储存或—使用” 《    】 3  本款规定】是因为作业面板是】。气瓶柜、气瓶架【的控：制操：。作平：台，通过作业《面板完？成供：气、切？断、事故紧急切断】、与：气体探？测系统？。和气体管理系统的连！通等一系《列操作 【     —4  本款规定【是，因为特种气》体系统？管路的设计应考虑】特，种气体？系统的固有性质如】液态特种气体—的加温、相当多特种！气体进过调节阀【后因为焦《耳-汤普《逊效应带来》温度降低甚至液化的！加温、特种气体管】路吹：扫及尾气《抽真空这些都—是热力学和流体【力学考？虑的问题 —     】5  本款为强制性！条款必须严格执行本！。款规定气瓶》柜闭门时应保持不】低，于100Pa—负压其排风换—气次数不得低于30！。0次：。／h目的是保持气】瓶，柜在负压下运行即】使在危险《性特种气体泄漏的】情况下也不至于泄】漏进入？工作环境从而保【障工厂的《财产和员《工的生命安全美国消！防协会标《准压缩气体和低【温液体？规范NF《PA 55-20】16第6《．18条做了规定】。摘录如？。下 ？   —  6．《18．1  排【风要求如果需—要或使用《排气罩来增加需【。要特：殊规定的气体的【阈值则排《气柜：应设置排《气，通风系统设计成【与周围？。相关区域负压下工】作  】   6．18．1！．1  门窗打开】时的风速《控制在存《放有毒性、剧毒、自！燃、3类或4—类不稳定反应性或】腐蚀性气体》时在开启面的—平均风速应不小于】20：0，ft／min(61！m／min)且任】何一点风速不小于1！50ft／》min(4》6m／m《in) 【 ：    《6  本款为—强制性条款必须【严，格执行本款规—定自燃性《、易：燃性：、毒：性、腐蚀性气瓶【柜应在排《风出口设《置固定式气体泄漏探！测器：目的是？在这：些特种气体泄漏开】始，时就探测《。到这些有害气体的】泄漏状况采取气体供！。应，。自动关断措施—预防事故《发生美？国消防协会》标准压缩气体—和低：温液体规范NFPA！ 5：5-2016—第7．？9．6？条，也做：了规定气体探测【系统应当在》气瓶柜、《排风柜或气》体房：的排风点监测 ！  《   7．9．【6，  气体探测除【了第7．9》．6．1条描述【外按照第7．—9．6？。．2条至第7．【9．6．《6条的要求》室内储存或》使用毒性或剧—毒，。。压缩气体应设置连】续气体侦测系统【 —    《7  本《款，规定了？气瓶柜钢板厚度和】防腐蚀涂层要求目的！是，为了保障发生—泄漏造？成火灾爆炸等情况下！的钢瓶安全》 ：   — ， 8  本款规【定瓶：柜门应具《备自动关闭功—能并配备防爆玻【璃观察窗目的是【防止在人员误操作的！情况下导致气体外泄！到工作环境中酿成重！大事故根据》国际：半导体产业协会标】准半导体制造设备】的环境、《。健康和安全指南【SEMI 》S2的规定气—柜的四角采用地脚】螺栓与地面固—定每个地《脚螺栓抵御气柜侧翻！的最大应力荷—载为2550N 】     ！9  本款》规定气瓶柜、—气瓶架应设置清晰明！确的安全标识牌目的！。是，为，了防止工作人员装错！气瓶和？其他误操作同时随】时掌握气体的信息和！相关安全知》识在应？急，状态下按照安全标识！牌能够从容处—理美国消防》协会标准压》缩气体和低》温，。液，体规范NFP—A 55-》2016第4—．10？．2．3条也做了规！定气体？房和气瓶柜辨识存放！压缩气体的房间【和气柜需要明显【标识 —     —10  本款规【定，当，气瓶柜放置在有爆炸！和火灾危险环境时其！设计应符合现行国】家标准？。爆炸危险环境电力】装置设计《规范GB 5—0，0，58：的规定因《为气瓶柜工作的环】。境基本都是爆炸和】火灾危险《。环境其电气装—置应考虑火灾与防爆！设计 《。 《4．2？．2  气体—面板：是特种气体气瓶柜】。与气瓶架的》操，作控制？装置本条从使用和安！全的角度规》定了气体面板应配置！的装置、附件的基】本功能自燃性—、易燃性、毒—性、腐蚀性气—体系：统，一，旦发生事故仪—表控制气源自动切断！应急关？断阀门自《动，关闭如规《定气瓶柜《应使用气动阀门钢】瓶来实现紧急切断功！能气瓶？柜配置的紧》急切断阀可以取消 ！ 4．2】．3  易燃性【。特种气体包》括自燃性、易—燃，性，气体：此类气瓶柜的设置】应依据该类特种气体！的自燃性《、易燃性特性符合】气瓶：柜内设置的相—关规定如排》。风次数、《紫，外、红外火焰探测】器设置、水喷淋系】统以及自燃》性气瓶之间设置隔】离钢板等安全措【。。施以确保安全可靠】运行美国《压缩气体协会标准】硅烷和？硅，烷混合物的储—存和操作CGA 】G-13标准中【第13．2．3条也！做了规定硅烷在【气，柜内使用时为了【。。确保硅烷《。泄漏造成的聚集低于！0．：4％的安全浓度【抽风需要达》到泄漏量的》25：0倍根据最》大钢瓶压力和钢瓶安！装的限流《孔直径大《小推算出气瓶柜【的换气次《数要求 【 4．《。。。2．4  》大宗特种气体系【统主要用于超大【规模：集成电路厂(气体】种类包括SiH【4、：N2O、CO—。2、C？2F6、NH3、N！F3等？)、：100？M，W以上？的太阳能光伏电【池生产线(气—体种类包括》SiH4、NH3)！、化合物半》导体外延《工序线(气体—种类包括NH3等)！、5代以上液晶显】示器工厂(气体种】类包括SiH4【、NH3、NF3】等)、？。光纤(气《体种类包括Si【C，l4、OMCT【S)、硅材》料外：延生产线(气体【种类包括SiCl】。4、HC《l)等行《业它们的投资规模】巨大采用《先进的工艺生产设备！用气需求较大—对稳定和不》间断：。供应、纯度控—。制和安全生产提出严！格的要求 】   《。  本条《。从，大宗特种气体系【统的工艺《。。流程、安《全特性？。提出了大宗特种气】体，系，统设备及《管路配置要求系统】的气体供应能力由气！源瓶的供气压—力变化与气体流程管！道及零部件造—。成的压力损》失决定供应能—力要经过相应的热力！学和流体力学计【算核实？液化气？体瓶的大宗特—种气体系统设—计合：适的：。钢瓶加热与保—温装置？是，由于：气体经过调》。压阀减压后的焦耳-！汤普孙效《。应气体减《。压后温度《会降低甚《。至液化从《而使输送《压力的不稳定以【及管：路系统的损坏—因此需要《。考，虑在减？压前对气《体进行预热和保【。温 《  《 ，  大？宗特种？气体：的，容器包括钢瓶(通常！称，Y钢、T瓶、集装】格)、槽车、长管拖！车等：还有：移动式压力容器连接！回形管是指连—接气体容器》和输送设备》的挠性管 — 4》．，2．5  》本条对液态特—种气体系统的设置做！出了规定 】     液态特！种气体？系统不包括》酸、碱、溶剂等【大宗化学品由于液态！特种气体《。的物理化学性—质要求和《确保输送过》程的安全、》稳定液态特》种气体？应利用驱动气—。体的压力将液态【特种气？体从大包装》槽罐输送至液体输送！柜里的小包》装液罐或《者将小包装》液罐里的液体直接驱！动输送至液态特【种液体用气点在【用气点设备》处利用设置》的鼓泡器或蒸—发器将液态特种气体！鼓泡或直接》蒸发以气态》形式输送至用气工】艺设备典《型液：态特种？气体输送系统流程图！如图1所示液—态特种？气体的驱动气体应采！用无污染的惰—性气体针对化合物】半导体？产业外延工艺使【用的三甲基镓等【以及硅？。基太：阳能电池产业背钝化！工艺使用的》三甲基铝等金属【有机物前驱体具有】。自燃、遇水反—应等特？点发生泄《漏时不能《采用水灭《火通常采用干粉【。灭火气柜《内容器泄漏时需要】在气柜？底部设置收集—槽并使用吸附材料】(如蛭石等)降低与！空气接触燃烧—。。概率：。。。大宗容器需》要建：筑设计收集地—坑， 【 ： 图《1  液态特—种气：体输送系统 —。 ： 4．2．【6  阀门》箱，的，设置与气瓶柜相似】包括封闭的防护箱体！、强制排气》、气体泄漏探测器】、紧急？自动关断《阀、紧急手动关【断阀、吹扫》管路等一般用—手动阀进行供气控】制调节气动阀作【为紧急关断之—用通常阀门箱内不设！置，火焰探测器和—水喷淋设施》一般阀门箱施—工检测验收后管【路不再移《动且不常《操作或进行管—路的拆？装危险性较气—瓶柜：低由于？目前的？特，种气：体管：路零组件《与，施工质量《都严格进行》控制所发生泄漏的概！率较：小一旦？紧急状况《如，泄漏、地震发生【。时可利用《气，动阀进行《自动关断将气源做分！段的隔离《用气工艺设备维【修时也可作为—特，。种气体管路》的阻隔措施为—。。人员的安全提供【进一步的《保护 《 ： 4？．2．7 》。 惰性？及氧化性气》体用：的阀：门盘为开放式结【构特：种，。气体的质量及特种气！体系：。统的安全《。保证主要《是通过管路的设置来！实现 》 4．2．8】  美国消防协【会标准半导体生【产设施防护标—准NFPA —。3，18-201—8第7．14条规】。定掺杂气《体(AsH3、【PH3、B》F3等)因剧毒【。常，用负压气源(—SAGS)包括【1型(内置吸附【剂在标准温度和压力！下钢瓶内及阀门出】口为：负，压，)和2型(无—吸附剂在标准—温度：和压力下钢瓶内【为正压内置》常，闭阀门只有抽真空时！才能打开因》此阀门出口也是负】压)在工程实践中】负压气源的特—种气体因为》负压特性通》常情况下不会经阀】门向外？泄漏：即使不相《容的负压气源—特种气体《也可以共用气—柜及其吹扫、排气】和排风？系统 《