。 4．2 】 特种气体输送系】统 【 4？．2．？1  气瓶》柜、气瓶架是特种】气，体气瓶存放和进行】气体：配送的装置本条规定！。了基本配置 — ，   —  1  本款定】义了工程《上常用的几种—气瓶：柜、气瓶架》的，配置形式 》 ？   《  2  本—款为强制性条款必】须，严格执行本款—规定不相《容气体瓶《不应放置于同—一气瓶柜或》气，瓶架中目的是为了防！止，不相容气体在—非，正常状态下相遇【。发，生反应酿成重—大事故美国消—防协会标准》压缩气体和低—温液体？。规范NFPA 55！-2016》第6．？17．5条也做了规！定“不相《容气体钢瓶应在不同！的气柜内分》开储存或使用” ！     】3 ： 本款规《定是因？为作业面板是气【瓶柜、气瓶》架的控？制操：作平台通过作—业面板？完成供气、》切断、事《故紧急切断、与气体！探测系统和气体【管理系统的连通等一！系列操作 ！     4 【 本款规定是因【为特种气体系—。统管路的设计应考虑！特种气体系》。统的固有性质如【。液态特种气体—的加温、相当多特种！气体进过调节—阀后因？为焦耳-《汤普逊效应带来温度！降低甚至液化—的加温、特种气体管！路，。吹扫及尾气抽真空】这些：都是热力学和流【。体力学考《虑的问题 【  《   5  本款为！强，。制性条款必须严格】执，行，本款规定气》瓶柜闭？门时：应保持不低于1【00P？a负压其《。排风换？气次：数不得低于3—00：次，／h目的是保—持气瓶柜在负压【下运行即使在危险】性特：种气体泄《漏的情况下也不至】于泄漏进《入工作环境从而【保障工厂的财产【和，员工的生命安全【美国消防协会标准压！缩气体和低温—液，体规范？NFPA 》55-201—6第6．18条做】了规定摘录如—下 ： 《     6．【。18．1  排风要！求如：果，需要或？使用排气罩》。来增加需要特殊【规定的气体的—阈值则排气》柜应设置排》气通风系统设计成与！周围相关区域负压】。下工作 》   —  6．18．【1．：1  门《窗打开？时的风？速控制在《存放有毒性》、剧毒？、，自燃：、，3类或4类》不稳定反应性—或腐蚀性《。。气体时在开启—面的平均风速应不】小于200ft【／min(61m／！。mi：n)且任何》一点风速不小于15！0ft／mi—n(46m／min！) 》 ：   ？ 6  本款—为强：制性条？款必须严格执行本款！规定自燃性、易燃性！、，毒性、腐《蚀性气瓶柜应在排】。风出口？设置固定式》气体泄？漏探测器目的是在】。。这些特种《气体泄漏开》。始，时就探测《到这些有害》气体：的泄漏状况采取气体！供应自？动关断措施》预防事故发生—美国消防《协会标准压缩气【体和低温《液体规范NF—PA 5《5-2016第7．！9．6？条也做了规定气体探！测系统应《当在气瓶柜、排风柜！或气体房的排风点】监测 》     【7．9？．6  气体—探测：除了第7．9—．6．1条》描，述外按照第》7，．9：．6．2《条至第7《．，9．6．6条的要求！室内储？存或使用毒性或剧】毒压缩气体应设置】连续气体《侦测系？。统 《 ？    7 — 本款规定了—气瓶柜？钢板厚？度和防腐蚀涂层要求！目的是为了保—。障发生泄漏造成火灾！爆炸等情况》。下的钢瓶安全—。 ？     8】  本款规定瓶柜】门应：具备自动关闭—功能并配《备，。防爆玻璃观》察窗：目的：是防止在人员误操作！的情况下导》致气体外《泄到工作环》境中酿成重》。。大事故根据国—际半导体产业协会】标，准半导体《制造设备的环—境、健康和安全指南！SEMI S2的】规定：气柜的四角》采用地脚《螺栓与地《面，固定每个地脚—螺栓抵御《气柜侧翻的最大应】力，荷载为25》50N 《     ！9  本款》规定气瓶柜、气【瓶架应设置清晰明确！的安全标识牌目的】是为了？防止工作人员装【错气瓶？和其他误《操作同？时随时掌握气体的】信息和相《关，安全知识在》应急状态下按照安全！标识牌能够》从容处理《美国消防协会标准】压缩气体和低温液】体规范NFPA 5！5，-2016第4．】10．？2．3？条也做了规定气体】房和气瓶柜辨—识存放压缩》气体的？房间和气柜需—要明显标识 】 ，  ？   10  本款！。规定当气瓶》柜放置在《有爆：炸和火灾危险—环境时其设计应符合！现行国家标准爆【炸危险环境电—力装置？设计规范G》B 500》58的规《。定因为？气瓶柜工作的环境基！本，。都是爆炸和火灾危险！。环境：其电气装置》应考虑？火，灾，与防爆设《。计， 4．】2．2？  气体面板是【特种气体气瓶—柜与：气瓶架的《操作控制装》。。置本条从《使用：和安全的角度规【定了气体面板应配】。置的装？置、附件的基本功】能自燃？性、易燃性、毒性】、腐蚀性气体系统一！旦发生事故仪表控】制气源？自动切断应》急，关断阀门自》动关闭如规定气瓶柜！。应，使用气？动阀门钢瓶来实【现紧急切《断功：能气瓶柜配置的紧】急切断阀可以—取消 】4．2．3  易燃！性特：种气体包括自—燃性、易燃性气体此！类气瓶？。柜的设置《应依据？该类特种气体的自燃！性、易燃性特—性符合气瓶柜内设】置，的相：关，规定：如排风次《数、紫外、红外【火焰探？测器设置、》水，喷淋系统以及自燃】性气：瓶之：间，设置隔离钢板—等，安全措？施，以确：保安全可靠运—行美：国压缩？。。气，。体协：会标准硅《烷和硅烷《混合物的储存和操】作CG？A G-13标准中！第13．2．—3条也做《了规定硅烷在—气柜内使用时为【了确保硅烷泄漏造】成的聚集低于0．4！％，的安：全浓度抽风需—要达到泄漏量的25！0倍根？据最大钢瓶》。压力和钢瓶安装【。的限流孔《直径：大小：推算出气瓶柜的【换气次？。数要求？ 《 4．2》。．4：。 ， 大：宗特种？气体系统主要用于超！大规模集成电—路厂(气体种类包】括SiH4、N2】O、CO2》、C2F6、N【H3、N《F3等)、100M！W以上？的太阳能《。。光伏电池生产线(气！体种类？包括SiH4、NH！3)、化合》。物半导体《。外延工序线(气【体种：类包：括，。NH3等)、5代以！上液晶？。显，示器工厂(气—体种类包括S—iH4、NH3、】NF3等)、光纤(！。气体：种类包括SiCl4！、OMCTS)【、硅材料外延—生，产，线(气？体种类包括SiCl！4、：HCl)等行业它们！的投：资规：。模巨大？采，用先进的工》艺生产设《备用：气需求较大对—。稳定和不《间，断供应、纯度控【制和安全《生产提出严格的【要求  ！  ： 本条从大宗特【种气体？系统的？工艺流程、安全【特性提出了》。大宗特种气体系统设！备及管路配置—要求系？统，的气体供应能力由】气源瓶的供气压力】变化：与气体流程管道【及零部件造成的压】力损失决定供应能力！要经：过相应的热力学和】流体力学计算核【实液化气体瓶的大】宗特种气体系统设计！合适的钢瓶加热与】保温装置是》由，于气体？经，过调压阀减压后的焦！耳-汤普孙》效，应气：体减压？后温度会降低甚至液！化，从而使输送压力的】不稳定以及管—路系统的损》坏因此需要考虑在减！压前：对气体进行预—热，。和保温 —     大】宗特种？气体的容器》包括钢？瓶(通？常称Y？钢、T瓶、》集，装格)、《槽车、长管》。。拖车等？还有移动式压力容】器连接回形管是【指，连接气？体容器？和，输送设备《的挠性管《。 4．】2．5  本条对液！态特种气体系—统的设置《做，出了：。。规定： 》     液态特】种气：。体，系统不包括》。酸、碱、溶剂等大】宗化学品由》。于液态特种气体的物！理化学性质要求和】确保输送过程的【安全、稳定液态特】种，气体应利用》驱动气体的压力【将液态特种气体【从大包装槽罐输【送至液体输送柜里】的小包？。装液罐或者将—小，包装液罐里的液【体直接驱动》输送至液态特—种液体用气点—在用气点设备处利用！设，置的：鼓，泡器或？蒸发器？将液态特《种气：。体鼓泡或直接蒸【发以气态形式—输送至用气工—艺设备？典型液态特》种气体输送》系统流？程图如图1》所，示，。液态特种气》体的驱动气体应采】用无污？染的惰性《气体：针，对化合物半导体产】业外延工艺》使，。用的三？甲基镓等以及—硅基太阳能电池产业！背钝化？工艺使用的三甲基】铝等金属《有机物前驱体具【有自燃、遇水反应】等特点发生》泄漏时不《能采用水《灭火通常采用干粉】灭火气柜内》。容，器，泄漏时需要》在气柜底部设置【收集槽并《使用：吸附材料(如—蛭石等)降》低与空气《接触燃烧概》率，大，宗容器需要建筑设】计收集地坑 】 】 ，图1  《液态特种气体输送】系，统 4．！2．6 《 阀门箱的设置与气！瓶柜相似包括—封闭的防护箱体、强！制排气、气体泄【漏，探测器、紧急—自动关断阀、—紧急手动关断—阀、吹扫管路等【一般用手动阀—进行供气控制调【节气动？阀作为？紧急关？。断之用通常阀—门，箱，内不设置火焰探测】器和水？喷淋设施一般阀【门箱：施工检测《验，收后管路不再移【动且不常操》作或进行管路的拆装！危险性较气瓶柜低由！于目前？的特种气体管路零组！件与施工质量—都严格进行控制【所发生泄漏》的概率较小一—旦紧：急状况如泄》漏、地震发》。生时：可利用气动》。阀进行自动关断将】气源做分段的隔【离用气工艺设备维】修时也可《作为特种气体管路】的阻隔措《施为人员《的安全提供进一【步的保护 》 ： 4．2—．7：  惰性及氧—化性气体用的—阀门盘为开放式【结构：特种气体的质量及】。特种气体系》统的安全保证主【要是通过管路—的设置？来实现 【 4．2．8  ！。美国消防协会标【准半导体生产设【。施防护标准》。N，FPA 318-2！01：8第7？．14条规定掺杂】气体(As》H3、PH》3、BF3等)【因剧毒常用负压气】源，(SAG《S，)包括1型(内置】吸附剂在标准—温度和压力下钢瓶内！及阀门出《口为负压)和2型(！无吸附剂在标准温度！和压力下《钢瓶内？为正压内置常闭【。阀门只有抽真—空时才能打开因此】阀门出？口也是负压》)在工程实践中负压！气源的特种气体因为！负压特性《。通常情况下不会【经阀门？向外：泄漏即使不》相，容的负压气源特【种气体也可以共用气！柜及其？吹扫、排气和排【风，系统 《