4．2 】 特种气体输—送系统 》 4【．，2．1  气瓶【。柜、气瓶架是特种气！体气瓶存放和进行】。气体配送《的装置本条》规定了基本配置 】 《     1 【 本款？。定义：了工程？上常用？的几种气瓶柜—、气瓶架的配置【形式 》     【2  本款》为强：制性条款必须严格】执行本款规定—不，相容气体瓶不—应放置于同》一气瓶柜或气瓶【架中目的是》为了防止不相—容气体在非》正常状态下相遇发生！反应酿？成重大事故美国【消防协会标准—压缩气体和》低温液体规范NF】。PA 55-—2016《第6．1《7．5条也》做了规定“不—相容气体《钢瓶应在不同的【气柜内？。。分开储存《或使用”《 — ，。   3  本款】规，定是因为作业面板】是气瓶柜、气瓶架的！控制操作《平台通过作业面板】完成：供气、切断》、事故紧急切—断、与气体探测系统！和气：体管理系统的连通等！一系列操作 【。 ：     —4  本款规定是】因为特种气》体系统管路的—设，计，应考：。虑特种气体系—统的固？有性质如液态特种气！体的加温、相当【多特种气体》进过调节《阀后因？。为焦耳-汤普逊效应！带来温度《降低甚至液化的加】温、特种《气体管路吹》扫及尾气抽真空【这些都是热力—学和流体《力，学考虑？的问题 】     5 【 本款为强》制性条？款必须严格》执行本款规定气瓶柜！闭门时？应保持不低于1【00Pa《负压其排风换—气次数不得低于30！0次／h目的是保持！。气瓶柜在负压下运行！即使在危险》性，特种：气体泄漏的》情况下也不》。至于泄漏进入工【作，环境从？而保障工厂的财产】和员：工的生命《安全美国消防协会】标准压缩气体—和低温液体规范【NFPA 55-】2，0，16第6《．18条做了规【定摘录？如下 》  《   ？6．18．1  】排风要求如果需要或！使用排气《罩来增加需要特【。殊规定的气体—的，阈值则排气柜应设置！排气通？风系统设计成与周围！相关区域负压下工】作 《   》 ， 6．18．1．】1，  门窗打开—时的风速控制在【存放有？毒性、剧毒、自【燃，。。、3类或4类—。不稳定反应》性或腐蚀《性气体时在开启面】的平均风速》应不：小于200》。ft／min—(61m／min)！且任何一点风速【不小于15》0ft／mi—n(46m／min！。) —     6 【 本：。款为强制性条款必】须严格执行本款【规定：自燃性？。、易：燃性、？。毒性、腐蚀性—气，瓶柜应在排风出【口设：置固定式气体泄【漏探测器目的是在】这些特种气体泄【漏开始时就探测【到这些有害》气，体的：泄漏状况《采，取气体供《应自动关断措施【预防事故发生美【国消防协会标—准压缩？气体和？低温液体规》范NFPA 5【5-2016—第7．9．6—。条也做了规定气体】探测系统应当在气瓶！柜，、排风柜或气体房】的排风点监测 【 ， 《    7．—9．：6，  气体探测除了】第7．9．6．1条！描述外按照第7．9！．6．2条至—。第7．9．6—．6条的要求室内】储，存或使用《毒性或剧毒》压缩气体《应设置连续气体侦】测系统 ！    《。7  本款》规定了气瓶柜钢【板厚度和防腐—蚀涂层要求目的是】为了保障发生泄【漏造成？火灾爆炸等情况下的！钢瓶安全《 —   ？ 8  本款规【定瓶柜门应具备【自动关闭功能并配】备防爆玻璃观察窗目！的是防？止在人员误操作【的情况下导致—气，体外泄到工作环境中！酿成重大事》故根据国际半导体】产业协会标准半【导体制造设备的环境！、健康？和安全指南S—EMI S2—的规定气柜》的四：角，采用地脚螺》。。栓与地面固定每【个地脚螺栓抵御气】柜，侧翻的最《大应力荷载为25】50N 【   《  9  本款规】定气瓶柜、气瓶架应！设置清晰《明确的？安全标？识牌：目的是为了防止工作！人员装错气瓶和其他！误，。操作同时随时掌握】气体的信息和相关】安全知识在应—。急状态下按照安全标！识，牌能够从容处理美】国消防协会标准【压缩：气体：。和低温液体规范【NFPA 55【-20？。16第？4．10．2—．3条也做了规定气！。体房和气瓶柜辨【识存放压缩气体的房！间和气柜需要明显标！识  】   10  【本，款规定当气》瓶柜放？置在有爆《炸和火灾危险—环，境时其设计应符【合现行国家标准【爆炸危？险，环境电？力装置设计规范【GB ？。50058的规【定因为气瓶柜工【作的环？境基本都是爆—炸和火灾危》险环境其电》气装置？。应，考，虑火：灾与防爆设计 ！ 4．》2．2  气体面板！是特种气体气瓶柜与！气瓶架？的，操作控制装置本条】从使用和安全的角度！规定了气体面板应】配置的装置、附件】的基本？功能自燃性、易【燃性、？毒，性，、腐蚀性《气体系？统一旦发《生事故仪表控—制气源自动切断应急！关断阀？门自动关闭如规定气！瓶柜应使用气—动阀：门钢：瓶来实？现紧：急切断？功能气？瓶柜配？置，的紧急切《断阀：可，以取消 — 4．》2．3  易燃【性特种气体包括自】燃性、易燃性气体此！类气瓶柜的设置应依！据该类特《种气体的自燃性、】易燃性特性》符，合气瓶柜《内设置的相关规定如！。排风次数《、紫外、《。。红外火焰探测—器设置、水》喷淋：系统以及自燃性气瓶！。之间设置隔离钢板等！安全措施以确保【安全可靠运行—美国压缩气体协会标！准硅烷和硅烷混合】物的储存和》操作CGA》 G-1《3标准中第13【．2．3条也做了规！定硅烷在气》柜内：使用时为了》确保硅烷泄漏—造成的聚集低于【0．4％的》安全浓度《抽风需要达到—泄漏量的《250倍《根据最大《钢瓶压力和》钢瓶安装的限流【孔直径？大小推？算出气瓶柜的换【气次数要求 ！ 4？．2．？4  大《宗特种气体系统主要！。用，于超大规模集—成电路厂(气—。体，。。种类包括SiH4、！N2：。O、C？O2、C2》F6、N《H3、NF3等【)、100MW以上！的太阳能光伏电池】生产线？(气体种类》包括：SiH4、NH3】)、化合物半导【体外延工《序线(气体》种类包？括NH3等)、5代！以上：液晶显示器》。工厂(气体种—类包：括，SiH？4、NH3、NF3！等)、光《。纤(气体种类包括S！iCl4、OMCT！S)、硅材料外【延生产？线(气体《种类包括Si—Cl4、H》Cl：)等行业《它，们的：投资规模巨大采用先！进的工艺生产—设备用气需求较大】。。对稳定和不间断供】应、：纯，度控制？和安全生产提出【。严格：。的要求 ！    《本条从大宗特种气体！系统：的工艺流程、安全特！性提出了大宗特种气！。体系统设备》及管路配置要求系统！的气体供应能力【。由气源瓶的供气压】力变化与气体—流程：管道及零部件造成】的，压，力，损，失，决定供应能力—要经过？相应的热力学和流体！力学：计算核实液》化气：体瓶：。的大宗特种气体系】统，设计合？适的钢瓶加热与保】温装置是由于气【体经过调压阀—减压后？的焦耳-汤普孙效应！气体减压后温—度会：降低甚？至液化从而》使，输送压力的不稳【定以及管路系统的损！坏因此需要考虑在减！压前对气体进行预】热和：保温 ？  —   大《宗特种气体的容器包！括，钢瓶(通常》称Y钢、T瓶、集装！。格)、槽《车、长管拖》车等还有《移动式压力容器【连接回形管是指【连接气体容器—和输送设备的—。挠性管 — 4．2．5】  本？条，对，液态特种气体系统的！设置做出了规定 】    】 液态特种》气体系统不包括酸】、碱、溶剂等大宗】化学品由于》。液态特种气体的物理！化学性质《。要求和？确保：输送过程的安全、】稳定液态特种—气体应利用》驱动气体的压力将液！态特种气体从大包装！槽罐输送至液体输】送柜里的小包装液罐！或者将小包装—液，罐里的液体直接驱】动输送至液》态特种液体用气点】在用气点设》备处利用设置—的鼓泡器或蒸发器将！液，。态，特种气体鼓》泡或直接蒸发—以，气态形？式输送至用气工艺】设备典型液态—特种气？体输送？系统流程图如—图1所？示液态特种气体的驱！动气体应《采，用无污染《的惰性？气体针对《化合物半导体产业】外延工艺使用的三甲！基镓等以《及硅基太阳能电【池产业背钝化工艺】使用的三甲》基铝：等金属有《机物前驱体具有自】燃、遇水反应等特点！发生：泄漏时不能采用【水灭火？通常：采用干粉灭火—气柜内容器泄漏时需！要在气柜底部设置】收集：槽并使用《吸附材料(如—蛭，石等)降《低与空气接触燃烧】概率大宗容器需要建！筑设计收集》地坑 — ， 》 图1  —液态特种气体输【送系统 — ， 4．《。2．6  阀门【箱的设置与气瓶柜相！似包括封闭的—防护：箱体、？强制排气、气体泄漏！探测器、《紧急自动关断—阀、紧急手》动关断阀、吹扫管】路等一？般用手动阀进—行供气控制调节气动！阀作为紧《急关断之用通—。常阀门箱内不—设置火焰探测器和水！喷淋设施一般阀门箱！施工检测验收后【管路不？再移动？且，不常操作《或进：行，管路的拆《装危险性较气—瓶柜低由于目前【的，特种：气，体管：路零：组件与施《工质量都严格进【行控：制所发生泄漏—的概率较小一旦紧】急状况如《泄漏：、地震发《生时可利用气动阀】。进行自动关》断将气源做分段的】隔离用气工艺设【备维修时也可作【为特种气体管路的阻！隔措施为人员—。的安全提供进一【步的：保护 【 4．2．7 【 惰性及《氧化性气体用的【阀门：。盘为：开放式结构》特种气体的质量及】特种气体系统的安全！保证主要《是通过管路》的设：置来实现《 4【．2．8  美国消！防协会标准半导体生！产设施防护标准【NFPA 318-！。2018《第7．1《4条规定掺杂气体】(AsH《3，、PH3、BF3】等)因？剧毒常用《负压气源(S—AGS)包括1【型，。(内置吸《附剂在标准温度和压！力下钢瓶《内及阀门《。出口为负压)和2型！。(无吸附剂》在标准温度和—压力下钢瓶内为正压！内置常？闭阀门只有》抽真空？时才能打《开因此？阀门出口《也是负压)在工程实！践中负压气源的【特种气体因为负压特！性通常情况下不会经！阀，门向外泄漏即使【不相容的负压气【源特：种气体也可以共用】气柜及其吹扫、排气！和排风系统 — ，