4  【特种气？体工艺系统》 【 ： 4．？1  一般规定 】 ， 》 4．1．1、4】．1．2  特【种气体输送系统【是电子工厂中危【险性重大的设施或场！所一旦？特种气体系》统发：生泄漏都《可能造成人员、厂房！、设：备的：严，重损失如特种气【体中的硅烷为自【燃性：一旦泄？漏就会与空气—中的氧气《发生剧烈反应开始】燃烧砷烷为剧毒【性，微，量泄：漏就可能导致人员的！生命危？险，因此对？。。系统设计的安全性】要，求十分？严，格特种？气体输送系统应【保证：生产工艺设备对【流，量，、压：。。力、温度等的工艺参！数要求为此》在气源一端一般要】配置高精度》的流量计、》压力变送器、电【子秤、温控》器等对于大宗特种气！体系统不但要考【虑管路？压降和？液化钢瓶蒸发吸热】对流量的影响还【要考虑特种气—体经过调压》阀减压后的焦耳-】汤普逊效应》部，分，特种：气体减压《后，。温度会降低甚至液】。化这会造《。成输送压力的不稳定！以及管路系》统的损坏《因此需？要考虑在减》压前对气体进—。行，预热 【。     在管路】吹扫、测试检—验等每一个》环节应采取》。措，施使特种气体工艺】。的设计？满足电子工厂—生，产工艺的要求例【如在更换钢瓶后可能！有一段管路被—外界气体污染所以要！。求管路设计应满足】对此段管路以—氮气进行反复冲吹】使其符合《。供应质量的》要，求为此特种气体【工艺系统应》将钢瓶置《于气：瓶柜内或气瓶架上大！宗特种气体应采【用，集装格、卧式—气瓶、长《管拖车作为供气【装置并应在生产工】艺设备临近处设【置特种气体》的阀门箱、》阀门盘、辅助—氮气吹？。扫系：统、尾气处理装【置等以保证特种【气体系统的安全【和工艺对特种气体质！量，的要求 —     为】满足电子《产品工艺对》特种气体工艺参数】、污染控《制、使？用安：。全的：要求并按《照行业标准气瓶【安全技术监察规程T！SG R00—06-2014 】6．7．1(4)瓶！内气体？不，能用尽压缩气体溶解！乙炔气气瓶的—剩余压力不小于0．！0，5MPa；液化气体！、低温？液体气瓶要》有，不小：于0．5％～1．】0％：规定：充装量的剩余气体】同时鉴？于半导体工艺对气】体品质？要求非常高(5N】以上)而《且气瓶里《的气：体由于？气，。体固有特《性和包装物的特【性使用到《后，期时剩余气体的【杂质成分会慢慢【析出不纯物浓度【越，来越高？所以按照《经验设定剩余—量为10％且液相】不宜：用干： 《 4．1．3 】 ，为防止不相容特种气！体相遇发生反—应，带来安全危》。害不相容的特种【气体的排《气，体管道不得接入同一！排气系统为》此做了本条的规定】 ？ 4《．，1．4  工程【实践表明特种气体】系统的排风》管道将不《可避免？地带入浓《度不：同的特种气体为【防止不相《容特种气体》相遇发生反应—带来安全危害本条规！定不相容的特种气】体的：排风管道不》得接入同一排—风，系统 ？ ，