，。。 4 》 特种气体工艺系统！。 ？ 【4．1  一般【规定 】 4．1》。．1、？4．：1．2？  特？种气：体输送系统是—电子工厂中危—险性重大的设施或场！所一旦特种气—体系：统发生？泄漏都可能造—成人员、厂》房、：设备的严重》损失：如特种？。气体中的硅烷为【自燃：性一旦泄漏就会与空！。气中的氧气发生【剧烈反应开始燃烧】砷烷为剧《毒性微量泄》漏就可能导致人员】的生命危险因此【对系统？设计的安全性要【求十：分严格特种气体【输送系统应》保，证生产？工艺设？备对流量、压力【、，。温度等的工艺参【数要求为此》在气源一端一般要】配置高精度的—流量计、压力变送】器、电子秤、—温控器等《。对于大宗特种—气体系统《。不但要？考虑管路压降和【液，化钢瓶？。蒸发：吸热对流《量的影响《还要考虑特种气体经！过调压阀减压—后的焦耳-汤普逊】效应部分特种气体】减压后温度》会降低甚至液化这】会造成输送压力的不！稳定以及管路—。系统的？损坏因此需要考虑】在，减压前对气》体进：。行预热 ！    在管路【吹，扫、测？试检验等每一个环】节应：。采取措施《使，特种气？体工：艺的设计《满足电子工》厂生产工艺》的要：。求，例如在更换钢瓶后】可能：有一：段管路？被外界气体污染所以！要求管路设计—应满：足对此段管路以氮】气进行反复冲吹使】。其符合？供应质量的要求【为此特种气体工【艺系：统应将钢瓶》置，于气瓶柜内或气【瓶，架上大宗特》种气体应采用集装格！、卧式气瓶、长管】拖车作为供气—装置：并应在生产工艺设备！临近：处设置特种气—体的阀门箱》、阀门？盘、辅？助氮气吹《。扫系统、尾气处【理装：置等以保证特种【气体系？统的：。安全和工艺对—。。特种气体质量的要求！ 》     为满足电！子，产品工艺对特—种气体工艺参数【、污染？。控制、使用安全【的要：求并按照行业标准】气瓶安？全技术监察规程【T，SG： R：。00：0，6-：2，014 6．7．】1(4)《瓶内气体《不能用尽压缩气体溶！解乙炔气气瓶—的剩余压《。力不小于0．05M！Pa：；，。液，化气体、低》温液体气瓶要有不小！于0．？5％～1．0—。％规：定充装量《的剩：余气体同《时鉴于半导体—工，艺对气体品》质要求非常高(【。。5N以上)》。而且：气瓶里的气体由【于气体固有》特性和包装物的【特性使用到后期时】。。剩余气体的》杂质：成分会慢慢析出不纯！物浓度？越来越？。高所以按照》经，验设定剩余量为1】0％：且，液，相不宜用干 】 4．1—。。．3  为防—。止不相容特种—气体：相遇发？生反应带来安全危害！不相：容的特种气》体的排？气体管道《不得接入同一排气系！统为此做了本条的规！定 《 4《．1．？4  工程实—践表明特种气体系统！的排风？管，道将不可避免地【带入：浓，度不同的特种气体】为防止？。不相容特种气体相遇！发生反应带来安【全危害本《条规定不相容的特种！气体的排风管道不得！接入同一排风系【统 ？