4 — 特种气体》工艺系统 【 【4．1  一般【规定 —。 4》．1．1《、4．1《．，2  特种气体输送！系统：是电子工厂中危险性！重大的设施或—场所一旦《特种气体系统发【生泄漏都《可能造成《人，。。员、厂房、设备的严！重损失如特》种气体中的硅烷为】自燃性一旦泄—漏就会与空气中【的，氧气发生剧烈反【应开始？燃烧砷烷为剧毒性】微量泄漏就可能【导致人员《的生命？危险因此对系统设计！的安全？性，要求十分严格特种】气体输送系统应保】证生产工艺设备对流！量，、压力？。、温度等的》工，艺，参数要求为此在气源！一端一般要配—。置高精度的流量计、！压力变送器、电【子秤、温控器等【对于大宗特种气【体系统不但要考虑】管路压降和》液化钢瓶蒸发—吸热对流量的—影响：还要考虑特种气体】经，过调压阀减压后的焦！耳-汤普逊效应部】分特种气体减压后】。温度会降低甚—至液化这《会造成输送》压力的不稳定以及管！路系统的损坏因此需！要考：虑在：减压前对气体进行预！热 —    《。 在管路吹扫—、测试检验等每一个！环节应采《取措施？使特种气体工—艺的设计满足电【。。子工厂生产工艺【的要求例如在—。更换钢瓶后可能有一！段管路被外》界气体污染所以要】求管路？设计应满足对此【段管路以氮气进行反！复冲吹使其符合供应！质量的要求为此【。特种：气体工艺系》统应将钢瓶置于气瓶！柜内或气瓶架上大】宗特种气体应采【用集装格、卧—式气瓶、长管拖车作！为供气装置并—应在生产工艺设备】临近处设置特种【气体的阀门箱、【阀，门盘：、辅助氮气吹扫系】统、尾气处理装置】等以保证特种—气体：系统的安全和工艺对！特种：气体质？量的要求 】     为满】。足电子产《品工艺对特种—气体工艺《参数、污染控制、使！。用安全的要求—并按照行业》标准：。气瓶安全技术监察规！程TSG《 R0006-2】0，。14 6．》7．1(4》。)瓶内气体不能【用尽压？缩气：体溶解乙炔气气瓶的！剩余压力不小于0】．05MPa；液化！气体、低温液体【气瓶要有不小于【0．5％～1．0％！规定充装量的—剩余气体《。同时鉴于半导—体工艺？对，气体品？质要求非《常高(5N》以上：)而且？气瓶里的气体由【于气体固有特性和包！。装物：的特性使《用到后期时剩余【气，体的杂质成分会慢】。慢析出不纯物浓【度越来越高所—以按照经验设—定剩余？量为：10％且液》相不宜用干》 》 ，4．1．3》  为防止不—相容特种气体相【遇，。发生反应带来安全危！。害不：相容的？特种气体的排—气体：管道不得《接入同一排气—系统为此《做了本？条的：规定 ？ 4．1】．4：  工程实践表明特！种气体系《。统的排风管道将不】可避免地带入浓度】不同的特种气体【为防：。止不相容特种气体】相遇发生反应—带来安全《危害本条规定不【相容的特种气—体的排风管道不【得接入？同一排风系统 】