？ 4  特种气体】工艺系统 — 》 ， 4．1  【一般规？。定， — 4．《1．1、《4．1．《2  特种气体【输送系统是电子【工厂中危险性重大的！设施或？场所一旦《。。特，种气体系统发—生泄漏都可能造成人！员、厂房、设—。。备的严重损》失如特种《气体：中的硅烷为自—燃性一旦泄漏就会与！空气中的氧》气，发生剧烈反应开始燃！烧砷烷为剧毒性微量！泄漏：就可能导致人员的】生，命危险因此对系【统设计的安全性要】求十分严《格，特种气体输送—系统应保证》生，产工艺设《备对流量《、压力、温度等【的工艺参数》要求为此在气源【一端一般《。要配置？高精度的流量—计、：压力变送器、—电子秤、温控器等对！于大宗特种气体系统！不但要考虑》管，路，压降和液化钢瓶蒸】发吸热对流量的影】响还要考《虑特种气体经过【调压阀减压后的焦】耳-汤？普逊效应《部分特种气体减压】后温度会《降，低，甚至液化这会造【成输：送压力的不》。。稳定以？及管路系统》的损坏因此需—要考虑在减》压前对气体进行预】热   ！  在管路》吹扫：、测试检验等每一】个，环节应采《取措施使特种气【体工：艺的：设计满足电子工厂】生产工艺的要—求例如在更换—钢瓶后可能有一【段管路被外》界气体？污，染所以要求管路设】计应：。满足对此段管路以氮！气进行反复冲吹使】。其符合供应》质量：的要求？为，此，特，种气体工艺系—统应将钢瓶》置于气瓶《柜内或气瓶架上大】宗特种气体》应采用？集装格、卧式气瓶、！长管：拖车：作为供气装置并应】在生产工艺设—备临近处设置特种气！体的阀门箱、阀【门盘、辅助氮—气，吹扫：系统、尾气》处，理装置等以》。保证特种气体系【统的安全和工艺对】特种气体《质量的？要求 》   》  为满足电子产品！工艺对特种气体工】艺参数、污染控制、！使用安全的要求并按！照行业标准》。气瓶安？全技术监察》规程TSG —R0006-2【014 《6．7．1(4【。)瓶内？气体不能用》。尽压缩气体溶解乙炔！。气气瓶的剩》余，压力：不小：于0．05MPa】；液化？气体、低温液—体气：瓶要有不小于—。0．5％《～1．0％规定【充，。装量的？剩余气体同时鉴于半！导体工？。艺对气？体品：质要求？非常高(5N—以上)而且》气，瓶里的气体由于气体！固有特性《和包装物的特性使】用到后期时剩余气】。体，的杂质成《分会慢慢析出—不纯物浓度越来越高！所以按照《经验设定剩余量为】10％？且液相？不宜用干 —。 4．—1．3？  ：为防止不《相容：特，种气体相遇发生反应！带来安全危》害不相？容的特？。。种气体的排》气体管道不得接【入同一排气系—统为此做了本条【的规定 】 4．1．》。4 ： 工程？实践表明《特种气体系统的【排，风管道将《不可避免地》带入浓度不同的【特种气体为防止【不相容特种气体【相遇：。发生反应带来—安全危害本条—。规定不相容的—特种气体的排风管道！。不得：接入同？。。一排风系统 【