： 4？  特种气》体工艺系统 【 ？。 ： ， 4．《1  一般规定 】。 ， ？ 4《．1：．1、4．1．【2  特种》气体输送系统是电】子工厂中危险性重大！的设施？或场所一旦特种气】体系统？发生：泄漏都可能》造成人员、》厂房、设备的—严重损失如特—种气体中的硅烷为】自燃性一旦泄—漏，就会：与空气中的氧气发】生剧烈反应开始【燃，烧砷烷为剧毒—性微量泄漏》就可能导致人员的生！命危险因此对—系统设计的安—全性要求十》分严格特种》气体输送系统应【保证生产工艺—设备对？流量、？压力、温度等的工】艺参数要求》为此在？气，。源一端一般要—配置高？精度的流量》计、：。压力变送器、电子秤！。、温控器等对于大宗！特，种气体系统不但【要考虑？管路压降《和液化钢《瓶蒸：发吸热对流量—的影：响还要？考，虑特种气体经过【调压阀减压后—的焦耳-汤普逊【效应部分特种气体减！压，后温度会《降低甚至液化这会】。造成输送压力—的不稳定以及管路系！统的：损坏因此需要考【虑，在减压？前对气体进行—预热 —    》 在管路吹扫、测试！检验：等每一个《环，节应采取措施使【特种气体《。工艺的设《计满足电子工厂生产！工，艺，的要：求例如？在更换钢瓶后可【能，有一段管《路被外界《气体污染所》以要求管路》设计应？满足对此段管—路，以，氮气进行《反复冲吹使其符合供！应质：量，的要求为此特种【气体工？艺系统应将》。钢瓶置于气瓶柜【内或气瓶架上大宗】特种气体应采—用集装格、卧—式气瓶、长管拖车作！为供气装置并应在】。。生，产工艺设备临—近处设置《特，种气：体的阀门箱、—阀门盘、辅助氮气】吹扫：系，。统、尾？气处理装置等—以保证特种气体系】统，的安：全和工艺对特种气】体质量的要求 【 ，。 ，  《   ？为满足？电，子产品？工，艺对特？种气体工《艺参数、污染控【。制，、使用安全》的要求？并按照行《业标准？气瓶安全技术—监察：规程TSG R00！06-2014 】6．7．1(4【)，。瓶内气体不能用尽压！缩气体溶解乙—。炔气气瓶的剩余压力！不，小于0．05—MPa；液》化气体、低温液【体气瓶要有不小于】0．5％～1．【0％规定充装量的】剩余气体同时鉴于半！导体工艺对气—体品质要求非常高】(5N？以上)？而且气瓶里的气【。体由于？气体固？有特性和包》。装物的特性使用到后！期时剩余气体的【杂质成？分会慢？慢析出不纯物浓【度越来越高所—以按照经验设—定剩余量为10【％且：液相不？宜用干 ！4．1．《3  ？为防止不相容—。特种气体《相遇发生反应带来安！全危害不相容—的特种气体的排气】体管道不得接入同一！排气：系统为？此做了本条的规【定 《 4．1．4】  工程实》践表：明特种气体系统的排！风，管道将不可避免地】带入浓？度不同的特种气【体为防止《不相容特种气体相遇！发生反应带来—安全：危害本条规》定不相容的特种气】体的排风管道不得接！入同一排风系统 】 ，