4  特种！气体工艺系统 【 ：。 ， 4．】1  ？一，般规定 》 4．】1．1、4．—1．2  特种气】体，输送系统《是电子工厂中危【险性重大的设施【或场所一旦特—种气体系统发—生泄漏都《可能造成《人，员、厂房、设备的严！重损：失如：特种气体中的硅【烷为自燃性一—旦泄漏就会与空气】中的氧气发生—剧烈反？应开始燃烧砷烷【为剧毒性微量—泄漏就可能》导致人员的》生命危险因此对系】统设计？的安全？性要求十分严格特】种气体输送系统【应保证生《产工：艺设备对流量、【压力、？温度等的工》艺参数要求》为此在气源》一，端，一般要？。配置高精度的流【量计、压力变—。送器、电子秤—、温控器《等对于大宗特种【气体系统不但要考虑！管路压降《和液化钢瓶蒸发吸热！对流量？的影响还《。要考虑特种气体【经过调压阀减压【后的焦耳-汤普逊】效应：。部分：特种气？体，减压后温《度会降低甚至液化】这会造成输送压力】的不：稳定：以及管路系统—的损坏因此需要【考虑在减《压前对气体进行【预热 —    》 在管路《吹扫、测《试检验等每》一个环节应采—。取措施使特》种气体工艺的设计满！足，。电子工？厂生产工艺的要求】例如在更换钢瓶后可！能有一段《管路被外界气体污染！所，。以要求管路》设计应满足对此【段管：路以氮气进》行反复冲吹使其符合！供应质量的要求为】此特：种气体工艺系—统应将钢瓶置于气瓶！柜内或气瓶架上【大宗特种气体应采】用集装？格、卧式气瓶、【长管拖车作为供气装！置并应在生》产工艺设备临近【处设置？特种气体的阀门【箱、阀门盘、辅助氮！气吹扫系统》、，尾，气处理装置等以【保证特种气体—。系，统的：安全和工艺对特【种气体质量》的要求 ！    《为满：。足电子产品工—艺，对特种气体工—艺参数、《污，染控制、使用—安全的要求并—按照：行业标准气瓶安全技！术监察规程T—SG： R0006-【2014 》6．7？。．1(4)瓶内【气，体不能用尽》压缩气体溶解—。乙炔气气瓶的—剩余压力不小于0．！05MP《a；液化气体、低温！液体气瓶要》有不小于《0．5％～1．0】％规定充装量—的剩余气《。。体同时？鉴于半导体工—艺对气？体，品质要求非常高【(5N以上)而且】气瓶：里，的，气体由？于气体？固，有特性和《包装物的特》性使用到后期时剩余！气体的杂《质成分会慢慢析【出，。不纯物浓《度越来？越高所以按照经验】设，定剩余量《为10％且液相【不宜用干 【 4．1．【3  为防止不相】容特种气体相—遇发生反应带来安】全危害不相容的特种！气体的排气体管【道不得接入同一排气！系统为此做了—本条的规定 ！ ， 4：．1：．4：  工程实践表明特！种气体系统的排风】管道将不《可避免地《带入浓度不同—的特：种气体为防止不【相容特种气体相遇发！生反应带《来安全危害本—。。条规定不《相容的特《种气体的排》风管道不得接—入同一排《风系统 《 ，