。 4 — 特种气体工—。艺系统 】 4—．，1 ：。 一般规《定 ？ —4．1．1、—4．1．2  特】种气体输送系统【是电：。子工厂中《危险：性，重大：的设施或场所一【旦，特种气体系统发生】泄漏都可能造成人员！、厂房、《设，备的严重损》失，如特种气体中的硅烷！为自燃性一旦泄【漏就会与空气—中，的，氧气发生《。。剧烈反？应开始燃烧》砷烷为剧毒性微【量泄漏就可能导【致人员？。的，生命：危险因此《对系统设计》的安全性要求十分】严格特种《气体输送系统应【保证生产工》艺设备对流量、【。压力、温度》等的工艺参数—要求：为此在气源》一端一般要配置【。高精度？的流量计《、压力变送》。。器、电子秤、温【控器等对于大宗【特种气体系》统不但要《考虑管？路压降和液化—钢瓶：蒸发吸热对流量【的影响还要考虑特】种气体经《过调压阀《减压后的焦耳-汤普！逊效应部分特种【。气体减压后温—度会降低甚》至液化这会造成输】送压：力，的不稳？定以及管《路系统的损坏因此需！要考虑在减压—前对气体进行—预热 》 ，   《  ：在管路？吹扫：、测试？检，验等：每一个环节应采取措！施使特？种气体工艺》的设计满足电子工厂！生，产工艺的《要求例如在更换【钢瓶后可能》有一段管路被外【界气体污染所以要】求管路设计》。应满足对此段—管路以氮气》进行反复冲》吹，使其符合《供应质量《的要：求为此特《种气体工艺系统【应将钢瓶置于—气瓶柜内或气瓶架】上，大宗特种气体应采】用集装格、卧式气瓶！、，长，管拖车作为供气装置！并应在生《产工艺设备临—近，处设置？特种气体的阀—门箱、阀门盘、【辅助氮气吹扫—系，统、尾气处理—装置等以保证特【种气体系统的安全】和工艺？对特种气体质量的】要求 —。。    》 为满足电子产品】工艺对特种气—体工艺参数、污染控！制，、使用安全的要求】并按照行业标准【。气瓶安全技术—监察规程T》SG ？R0006》-20？。14： 6：．7．1(4—)瓶内气体》不能用？尽压：缩气体？溶解乙炔气气瓶【的剩余压力不小于0！．05MPa；液】化气体、低温液体气！。瓶要有不小于0．】5％～1．0％【规定充装《量，的剩余气体同时鉴于！半导体工艺对气体品！质要求非常高(【。5N以？。上)而且气》瓶里：的气体由于气体固】有特性和包》装物的特性使用到】。后期时剩余气—体，的杂质？成，分会慢慢析出不【纯物浓度越来—越高所以按》照经验设定》剩余量为10％【且液：相不：宜用干 】 4．1．3 【 为防止不相容特】种气体相遇发生反】应带来安全危害【不相容的特种气体的！。。。排气体管道不—得接入同一》排气系统为此—做了本条《的规定 】 4．？1．4  工程【实，践表明特种气—体系统？的排风管道将—不可避免地带入浓】度不同？的特：。种气体为防止不相】容特种气《体相遇发生反应【带来安？全，危害：本条规定不相容的】特种气体《的排风管道不—得接入同一排—风系统 》