4 — 特种气《体工艺系统 【 ： ， 《。 4．1 》 一般规定 【 4【．1：．1、？4．1．2》  特种气体输送】。系统是电子工厂【中危险？性重大的设施或【。场所一旦《特种气体系统—发生：泄漏：都可能？造成人员《、厂房、设备的【严重损失如特种【气体：中的硅烷为自—。燃，。性一：。。旦泄漏就会与空【气中：的氧气发生》剧烈：反应开？始燃烧砷《。烷为剧毒性》微量泄？漏就可能导致人员】的生：命危险因此对系【统设计的安全性要】求十分严格特种气】体输送？系统应保证生—产工艺设备对流量、！。压力、温度等的【工艺参？数要求？为，此在气源《一端一般要配置【高精度的《流量计、压力变【送器、电子秤、【温控器等对于大宗特！种气体系统不—但要考虑管路—压，降，和液化钢《瓶蒸发吸热对流【量的：影响还要《考虑特种气体经【过调压阀《减压后的焦耳-【汤普逊效应部分特种！气体减压后》温度会降低甚—至液化这会造成输送！压力的不《稳，定以及管路系统的损！坏因此需要考虑在】减压前？对气体？进行预？热，    ！ 在管路《吹扫、测试检验【等每一个环节—应采取措施》使特种气体工艺的】设计满足电子工【厂生产工艺的要求】例如在更换》钢瓶后可能有—一，段管路被外界气体】污染所以要求管【路设计应满足—对，此段管？路，以氮气进行》反复冲吹使其符合】供应质量的要求为】此特种气体》工艺系？统应将钢瓶置于【气瓶柜内或气瓶【架上大宗特种—气体：应采用集装格、卧式！气瓶、长管》拖车作为《供气装置并应在生产！工艺设备《临近处设置》特种气？体的阀门《箱、：阀门盘、辅助—氮气吹扫系统、【。尾气处理装置等【以保证特种气—。体系统的安》全，和工艺？对特种？气体质量的要求【 ：    【 为满足电子产品工！艺对特种气体—工艺参数、污染【控制、使用安全【的要求并按》照行业标准》气瓶安全技》术监察规程T—SG R00—06-2014 6！。．7：．1(4)瓶内气体！不，能用尽？压缩气体溶解—乙炔：气气瓶的剩余—压力不小于》0．：05MP《a；液化气》体、低温液》。体气瓶要有不小于】0．：5％～1．0％规】。定，充装量的《剩余气？体同时鉴于半导体】。工，艺对气体品》质要求非常高(5】N以：上)而且气瓶—。里的气体由于气【体固有特性和包装物！的特性使用到—后期时剩余气体的杂！质成分会慢慢析【。出不纯物《浓度越来越高所【以按照经验设定剩】余，量为10％》且，液相不宜用干 【 ： 4．1．3 ！ 为防？止不相容《。特种气体相遇发【生反应带来安全危害！不相容？的特种气体的—排气体管道》不得接入同》一排：气系统为此》做了：本条：的规定 【 4．1》．4  工》程实践？表明特种气体—系统的排风》管道将不可避免地】带入：浓度不同的特种气】体为防止不相—容特种气体相遇【发生反应带来安全危！害本条规《定不相容《的特种气体的排风管！道不得接入同一排】风系统 》