4》  特种气体—。工艺系统 》 ！。4．1  一—般规定 — 4．【1．1？、4．1．2  】特种气体输》送系统是电子工厂中！危险性重大》的设施或场》所一旦特种气—体系统发《生泄漏都可能造成】人员、？厂房、设备的严【重损失如《。特种气体中的—硅烷为自燃性一旦泄！漏就会与空气中的氧！气发生剧烈反应【。开始燃？烧砷烷为《剧毒性？微量泄漏就可能【导致人？员的生命危险因此】对系统设计的安全性！要求十？分严格特种气体输】送系统？应保证？生产工艺设备—对流量、压力、温】度等的工艺参数要】求为此在气源一端一！般要配置高》精度的流量计、【压，力，变送器、电子秤【、温控器等》。对于大宗特》种，气，体系统不但》要，。考虑管路《压降和液化钢瓶蒸发！吸，热对流量的影—响，还要考虑特种气体经！过调：压，阀减压？后的焦耳-》汤普逊效应》部分特种气体—。减压：后温度会降低—甚至：液，化这：会造成输送》压力的不稳定以及】管路系统《的损坏因此》需要考虑在减压前】对气体进行预热【  【   在管路吹扫、！测试检验等》每一个？环节应采取措施使特！种，气体工艺的设—计满足电子工厂【生产工艺的要—求例如在更换钢瓶】后可能有一段管路】被外界气体污染所以！要求：管路设计应满—足对此段《管路以氮气进行反复！冲吹使其符》合供应质量的要【求，为此：特种气体工艺—系统应将《钢瓶置于气瓶—柜内或？气瓶架上《大宗：。特种气体应采用集】。装格、？卧式气瓶、长—管拖车作为供气装置！并，应在生？产工艺设备临近处设！置，特种气体《的阀门箱、阀门盘、！辅助：氮气：吹扫系统、尾气处理！装置等以保证特【。种气：体系统？的安全和工艺对【。特种气体《质量的要求 】   》  ：为满足电子产—品工艺？对特种气体工—。艺参：数、：污，染控制、使用安全的！要求并按照行—业，标准气瓶安全技术】监察规程TSG【 R0？00：6-2014 6．！7．1(4)瓶内】气体不能用尽压缩】气体溶解乙炔气【气瓶：的剩余压《力不小于0．—05MPa》；液化气体、低温液！体气瓶？要有不小于0．5％！～1．0《％规定充《装量的剩余气体同时！鉴于半导体工—艺对：气体品质要》。求非常高《。(5N以上)而且气！瓶里的气体由—于气体固《有特性？和包装物的特性【使用到后期时剩余】气体：。的杂质成分》。。。会慢慢析出不—。纯物浓度《越来越高所以按照经！验设：定剩余量为1—0％且液相》不，宜用干 — ， 4？．1．？3，  为防止不相【容特种气体相遇发】生反：应带：来安全危《害不相容的》特种气体的排气体】管道：不得：接入：同一排？气系统？为此做了本》。条的规？定， —。4．1．4  工】程实：践表明特种气体系统！的排风管道将不可】避免地带《入浓度不同》的特种气体为防【止不相容特种气体相！遇发生反应带来安全！危害本条《规定不？相容的特《种气体的排风管道】不得：接，入，同一排风系统 】