。 4》 ， 特种？气体工艺系》统， 】 ， 4．1  一般规！定，。 ： 》 4．？1．1、4．—1．2  》特种气体输》送系统是电子工【厂中危险《。。性重大？的设施或场所—一旦特种气体—系统发生泄漏都可能！造，。。成人员、厂》房、：设备：的严重？损失如特种气体【中的硅烷为》自燃性一旦泄漏【就会与空气中的氧】气发生？。剧烈反应开始燃烧】砷烷为剧毒性微量】泄漏就可能导致【。人员的生命危险因】此对系统《设计的安全性要求】十分严格特种气体输！送系统应保证生产工！艺设备对流量—、压力？、温度等的工艺【参，数要：求为此在气源—一，端一：般要配置高精度【的流量计、压力变】送器、电《子秤、？温控器？等，对于大宗特种气体】系统不但要》考虑管路压降—和液化钢瓶蒸发吸热！对流量的影响—还要考虑特》种气体经过调压阀减！压后的焦耳-—汤普逊效应部分【特，种气体减压》后温度会降低甚至液！化这会造成输—送压：力的不稳定以及管路！系统的损《坏，因此需要考虑在减】。压前：对气体？进行预热 —    【 ，在管路吹扫、测试检！验等每一个环节【应采取措施》使特：。。种气体工艺的设计】满足电子工厂—生产工艺《的要求例如在—更换钢瓶后可能有一！段管路被外》界，气体污染所》以要：求管路？设计应满足对此段管！路以氮气进行反复冲！吹使其符合供—应质量的要求—为此特种气》体工艺？。系统应将钢瓶置于气！瓶柜：内或：气瓶架上大宗—特种气体应采—用集装？格，、卧式气瓶、长【管，拖车作为供气装【置并应在生》产工艺设备临近处设！置特种气体的阀门】。箱、阀门盘、辅【助氮气吹扫系—统、尾气处理装【置等：以保证特种气体系】统的安全《和工艺对特种气体质！量的要？求 《 ？    为满—足电子产品》工艺对特种气—体工：艺参数？。、，污染控制、》使用安全的》要求并按照行业【标准气瓶安全—技术监察规程TSG！ R0006-2】014？ 6：．7．？1(：4)瓶内气体不能】用尽压缩气体溶【解乙炔气气瓶的【剩余压力不小—于0．05》MPa？；液化？气体：、低温？液体气瓶要有不小于！0．5？％～1．0％规【定充装量的剩余气】。体同时鉴于》半导体工艺对气体】品质要求非常高(5！。。N以上)而且气【瓶里的气体由于气体！固有特性《。和包装物的特—性使用到后期时剩余！气体的？杂，质成分会《慢慢析出不纯物【浓度越来越高所以】按照经？。验设定剩余》量为：1，0％且液相》不宜用干 【 4．1—。．3：  ：。。为，防止不相容特种气】体相遇发生反应带】来安全危害不相【容的特种气体—。的，排气体管道不得接入！同一排？气，系统为此做》了本条？的规定 《 4．【1，．4  工程—实，践，表明特种气体系统的！排风管道《将不可避免》地带入浓度》不同：的，特种气体为防—止不相容特种气体相！。遇，发生：反应带来安全危害本！条规定不相容的【特种气体《的排风管道不得接】入同一排《风系统 》