4 — 特种气体》工艺系统《 【 4．1—  一般规定 】 4．1！．1、4．1．2 ！ 特种气体》输送系统是电—子工厂中《危险性？重大：的设施或场所一旦特！种气体系统发—。生泄漏都可能造【成人员、《厂，房、设备的严重损失！如特种气体》中的：硅烷为？。自燃性一旦泄漏就】会与空气中的氧【。。气发生剧烈反—。应开：始，燃，烧砷烷为剧毒性【微量泄漏《就可能导《致人员的生》命危险因《此对系统设计的安】全性要求十分严格特！种气体输送系统【应保证？生产：工艺：设备对流量、压【力、温度等的工艺参！数要求为此》在气：源一：端，一般要？配置：高精度的流量计【、压力变《送器：、电子？秤、：温控器等《对于大宗特种气体系！统不但要考虑管路压！降和液化钢瓶蒸【发吸热对流量的影响！还要考？虑特种气体》经过调压《阀减：压，后的焦耳《-汤普逊效》应部：分特种气《体减压？后温度会降低—甚，至液：化这：。会，造成输？送压力的不稳定以】及管：路系统的损坏因此】需要考虑在减压前】对气体进《行预热 —     在管！路吹扫、《测试检验等每一【个环节应采》。取措：施，使特种气《体工艺的设计满足】电子：工厂生产工艺的要】。求例如在更换钢【瓶后可能有一段管】路被外界《气体污染所以要【。求管路设计应满【。足对此段管路以【氮气进行反复冲吹使！其符合供应质—量的要求为此—特种：气体工艺系统应将钢！瓶置于？。。。气瓶柜内或气瓶【架上大宗特种气体应！采，用集装格、卧式气】瓶、长管拖车作为】供气装置《并应在生产工艺设】备临近处《设置特种气体的阀门！箱、阀门《。盘、：辅助氮气吹扫系统】、尾气处理装置【等以保证特种气体系！统的安？全，和工：艺对特？种气体质量的要求 ！。 ， ，     【为满足电子产品【工艺对特种气体【工艺：参数、污染控制、】使用安全《的要求并按照—行业标准气瓶安【全，。技术监察《规，程T：SG R000【6-：2014 6．7．！1(4？)瓶内气体》不能用？尽，压缩：气体溶解乙炔气气瓶！的剩余压《。力不小于0．05M！Pa；液化气—体、低温液体气瓶】要有不小于0．【。5％～1．0％【规，定充装量的剩余气体！同时鉴于半》导体工艺对气体品】质要求？。。非常：。高(5N以上)而且！气瓶里？的气体由于气体【固有特性和包装物的！特，性使用到《后期时剩余》气体的杂质成—分会慢慢析出—不纯物浓度越来越高！所以按？照经验设定剩余量为！10％？且液相不宜用干【。 4．】1．3  为防止】不相：容特种气体相—遇发生？反，应带来安全危—害不相容的特种气】体的排气体管—道不得？接入同一排气系统为！此做了本《条的规定 》 《 4．1《．，4  工程实践表】明，特种气体系》统的排？风管道将不可避免】地带入浓度》。不同：的特种气体为—防止不？。相，容特种气体相遇发】生反应带来安全【危害本条规定不【相容的特种气体【的排：风管道不得》接入同一排风系统 ！ ，