4  【特种气体工艺系【统 《。 4】．1  一般规【定 ！4．1．1、4．】1．2 《 特种气体输送系】统是电子工厂中危】险性重大的设施或】场所一旦特》种气体系统》发生泄漏都可—能造成人员、厂【房、：。设备的严重》损，失如特？种气体中的硅—烷为自燃性一—旦泄漏就会与空【气中的氧《气发生剧烈反应开始！燃烧砷烷为剧毒【性微量泄漏就可能】导致人员的生命【危险因此对系统设】计的安全性》要求十？分严格？。特种气体输送—系统：。应保证？生，产工艺设备对—流量：、压力、温度—等的工艺参数—要求为此在气—源一：。端一般要《配置高精度的—流量计、《压力：变送器、《电子秤、温控器等】对于大宗特种气体系！统不但要《考虑管？。路，压降和液化钢—瓶蒸发吸热对—流量的影响还要考虑！特种气体经过调压阀！减，。压后的焦耳》-汤：普逊效应《部分特种《气体减压后》温度会降低甚至液化！这会造？成输送压力的不【稳定以及管路系统的！损坏因此需要考虑】在减压前对气体进行！预热  ！   在管路吹【。扫、测试检验等每一！个环节应采》取措施？使特种气《体，工艺的？设计满足电》子工厂生《产工艺的要求—例如在？更换钢瓶后可能有一！段管路被外界—气体污染所》以，要求管？路设计应满足—对，此段管路以氮气【。进行反复冲吹—。使其符合《供应质量的要求【为此特种气》体工艺系统应将钢瓶！置于气瓶柜内或【。气瓶架上大》宗特种气《体应采用集装格、卧！。式气瓶、长》管拖车作为供—。气，装，置并：应在生产《工艺设备临近处设】置特种气体的阀【门箱、阀门》盘，、辅助氮气》吹，扫系统、尾》气处理装置等以保】证特种？气体：系统的？安全和？工艺对特种气体【质，量的要求 】 ，     为满足电！子产品工艺》对特种气体工艺【参数、污染控制、】使用安全的》要求并？按照行？业标准气瓶安全技术！监察规程TSG R！0006-20【14： 6．7《。．1(4)》。瓶内：气体不？能用尽压缩气体【溶解乙炔气气瓶的】剩余压？力，不小于0．05MP！a；液化气体、低】温液体气瓶》。。要有不？小于0．5％～【1．：0，％规：定充装量的剩余气】体同时鉴于半—导体工艺《对，气体品质要》求非常？高(5N《以上)而且气瓶里的！气体由于《气体固？有特性和包》装物：的特性使用到后期】时剩余气体的杂质】成，分会慢慢析出不纯】物浓度越来越高所】以按：照，经验设定剩余量为1！0％且液相不宜用干！ ： 《。。4．1．3  【为防：止不相容特种气体】相遇发生《反应带来安全危害不！相容的特种》气体的排气体管【道不得接入同一【排气系统《为此做？了本条的规定 【 》4．1？．4  《工程实践表明特种气！体系统的排风管道将！不可避免地带入浓】度不同的《特种气体为防止不相！容特种气体》相遇发生反应带【来安全危害本条规定！不相容的特种气【体的排风管道不得】接入：同一排风系》统 ？