。 《4  特种气体工艺！系统 【 》4．1？  一般《规定： — 4？．，1．：1、4．1．—2  特种气体输】送系统是《电子工？厂中危？险性重大的设施【或场所？。一旦特种《气，体系统发生泄漏【。都可：能造：成人员、厂房、设】备的严重损失如特种！气体中的《硅烷为自燃性一旦】泄漏就会与空—气中的氧气发生【剧烈反应开始燃烧砷！烷为剧毒性微量【泄漏：就可能导《致人员？的生命危险因此对】系统：设计的安《全性要求十》分严格特《种气体？输送系统应保证生】产工艺设备对流【量、压力《、温度等《的工：艺参数要求为此【在气源一《。端，一，般要配置高精度【的流量计、压力变送！器、电子秤、温控器！等对于大宗特种【气体系统不但要考虑！管路压降和》液化钢？瓶蒸发吸《热对流量《的影响还要考虑【特种气体经过调【压阀减压后的焦【耳-汤？普逊效？应部分特种气体减压！后温度会降》。。低甚至液《化这会造《成输送压力的不稳】定以及管路》。系统的损坏因此【需要考虑在减压前对！气体：进行预热 【     【在管路吹扫》、，。测试检验等每一【个环节应《采取措施使特—种，气体工艺的设计【满足电？子工厂生产工—艺的要求《例如在？更换钢瓶后可能有一！段管路被外界气体污！。染所以要求管—路设计应满》足，对此段？管，路以氮气进》行反复冲吹使—其符合供应质—量的要求《为此特种气》体工艺系统应—将钢：瓶置：于气瓶柜内或气瓶架！上，大宗特种气体应采】用集装格、卧—式气瓶、长管拖【车作为供气》装置并应在生产工艺！设备：临近处设置特种【。气体：的阀门箱、阀门【盘，、辅：助氮：气吹扫系《统、尾气处》理，装置等以保》证特种气体系统的安！全和工艺《对特种？气体：质量的要求 】     为】满足电子产品—工艺：对特种气体工艺参数！、污染控制》、使用安全》的，要求并按照行业标】准气瓶？安全技术监察规程T！SG R000【6，-2014 6．】7．1(4)瓶【内气体不能》用尽压？。缩气体溶解乙炔【气气瓶的剩余压力不！小于0．0》5MPa；液化气】体、低温液体—气瓶要有不小于0．！5％～？1．0？％规：定充装量的剩余气】体同时鉴《于，半导：体工艺对气体品【质要求非常高—(5N以上)而且】。气瓶里的气体由于】气，体固有？特性和包装物的特性！使用到后期时剩【余，气体的杂质成分会】慢慢析？出不纯物《浓，度越来越《。高所以按照》经验设定剩余量为】10％且液相—不，宜用干 ！4．1．3  【为防止不《相容特种气体相【遇发生反应带来安全！危害：不相容的特种—气体的排气体管道】不得接入同》一排：气系统为此做了【本条的规定 【 4．1【。．4：。  ：工程实践表明特种】气体系统的排风管道！将不可避《。。免地带入浓度不同的！特种气体为防止【不相容特种气—体相遇发《生反：应带来安全危害本】条规定不相容的特】种气体？的排风管道不—得接入同一排风系统！ ：