4  特】种气体工艺系统 ！ 《 4》．1  《一般规定 ！ 4．1—．1、？4．1？．2  特种气体】输送系统是电子工厂！中，危险性重大的设施或！场所一旦特种气体系！统发生泄漏都—可能造成人员—、厂房、《设备的严重》损失如特《种气体中的硅—。烷为自燃《。性一旦泄漏就会【与空气中的氧气发生！剧烈反应开始燃【烧砷烷？为剧毒？性，微量泄漏《就可能？导，致人员？的，生命：危险因此对系—统设计的安全性要求！十分严格特种—气体输送系统应【保证生产工艺设【备，对流量、压力、【温度等的工艺—参数：要，求为此在《气源一端一般要【配置高精度的流【。量计：。、压：力，。变送器、电》子秤、？温控器等对于大宗】特种气体系统不【但要考虑管路—压降和液化钢瓶【蒸发吸热对》流量的？影响：还要考虑特种气体经！过调压阀减》压后的焦耳-汤普】逊效应部分特种【气体减压后温度【会降低甚至液化【。这会造成输送—压力的不稳定以【及管路系统的损坏】因此需要考虑在【减压前对气》体进行？预热 】    在管路吹】扫、测试检验—等每一个《环节应采取措施使特！种气体工艺》的设：计满足电子工厂生】产工艺？。。的要求？例如在更换钢—瓶后可能有一段管】路被外界气体污【染所：。以要求管路设计应满！足，对此段管路以氮【气进行反复》冲吹使其符合—供应质量的要求【为此特？种气体工艺系—统应将钢瓶置于气瓶！。。柜内或气瓶》架上大？宗特种气《体应采？用集装格、》卧式：气瓶、长《管拖车作为供气装置！。并，应在生产工艺设备】临近处设置特种气体！的，阀门箱？、阀门盘、》辅助氮气《吹扫系统、尾气【处理装置《等，以保证特种气体系】统的：安全和工《艺对特种气体—质量的要求 】   》  为满足电子【产品工艺对特种【气，体，工艺参？数、污染控制、【使用安全的要求并按！照行业标《准，气瓶：。安全技术监察—规程TSG —R0006-20】14 6《．7．1《(4)瓶内气体不】能，用尽压缩气体溶解】乙，炔，气气瓶的剩余—压，力，不小于？0．05M》Pa：；液化气体、低温】液体：气瓶要有不小于0】．，5％～1．0—％规定充装》量的剩余气体同时】鉴于半导体工艺【对气体品《质要：求非常高(5N以】上)而且气瓶里【的气体？由于气体固有特性】和包装物的》特性使用到后期时剩！余，气体的杂质》成分会慢慢析出不】纯，物浓度越来越—高所以按照经—验设定？剩余量为《10：％且液相不宜用【干 【4．1？．，3  为防止—。不相容特种气体【相遇发生反应带来】安全危害不》。相容：的特种？。气体的？。排气体管道不得【。。接，入同一排气系统为此！做了本条《的规定 》 ： 4．1．—4  工程实—践表明特种气体系统！的排风管道将—不可避免地》带入浓？度不同的特》种，气体为防止不相容】特种气？体相遇发生反应带】来安全危害本条规】定不相容的特种气】体的排风管》道不得接入同—一排风系统 【