3  特】种气体站房 — 》 ： 3．1  一】般规定 —。 ： 3．1—．1：  在电子工—厂设计中《当供应和储存特种气！体量较少时》为减少气体管道【。长度、保证气体质】量特种气体站房【一般布置在生—产厂房？内一：层的特种气体间当】。供，应和：储存特种气体量较多！时为了安全需要规】定应：将特种气《体站房布置在单【独，的建(构)》筑物内利用室外管道！输送特？种气：体至用？气厂房 》 ？ ，3．1？．2：  布置在生产【厂房：内的特种《气体间用量》相对：。较，小根据？目前我国《及欧美、《日本等世界发达国】家的特种气体供应】情况：自燃性、易燃—。性、毒性、腐—蚀性气体《。多采用气瓶柜供应氧！化性、惰性气体【多采用气瓶架以及】气体集装格等多种】形式供应 ！ ，。3．1．3》  布置在》单独建？(构)？筑物或区《域内的特《种气体站根据—目前我？国，及欧美、《日本等世界》发达国家的特—种气体实际》。供应情况通常采用】气体集装格、—卧式气瓶ISO标准！集装瓶组、长管拖车！等供：应方：式 — 3．1．4—  本条规定了【生产：区特种气体设备【的，布置原？则与：最大允许使》用储存量《因为电子工业厂房的！生产区？要使：用大量的特》种气体这些特—种气体多具》有自燃性、易燃性】、剧毒性、毒性、腐！。。蚀性：、氧化性《的，危，险性质为《。此规定特种气体在】设置气瓶柜、排风装！。。置生产区设置自动】消防喷淋系统的情】况下应按照表3【．1．4的数量布】置特种？气体这些数据是我国！半导体行业多年【。来运行经验》的总：结，与电子？工业发达国家的规】定相近惰性气—体不在列表》范围：不受上？。述文件？限制虽？然本条规定了特种】气体在生产区的布置！要求但是一般情况下！除，非特种气体因为性质！原，因(如低《蒸汽压力气》体)或工艺有特【殊要求标准仍然【建议将？生产区？的，特种气体《数量(包括惰—性，气体)降至》最小值？尽，可能将特种气体【放置在特种气体【间内便于集中管【理控制这《符合行业惯例与【安全要求 】     美国】消防协会标准—压缩气体及》低温流体规范—N，FPA 55—-2016第3．】3条(一般定—义)第6．2—条(：控制区)第6．3】条(用房保护级别】)和国际防》火规范IFC-20！1，8表27《0，4．2？．2．1(每个半】导体生产区危险材料！的数量限制)也【做了：相关的规《。定上述N《FPA 55-【2016和IFC-！2008的相关内】容摘录如下》 —。    压》缩气：体及低？。温流体规范》NFPA 55-】2016 ！     3—。．3  《一般定义 【   》 ， 3．3．6．【1 ：。 控制区《建筑或建筑的一部分！该区域？内允许危险》性材料的《储存、输送、—使用、或操作危【险，性材料(HP—M)：的数量不应》该超：过最大量《  【   6．2  控！。。制，区 ：  —  ： 6．2．1  】建设需求控》制区是按照》表6：．2．1的要—求用防火隔离相【互分开的《。区域 — ：表6：．，2．1  控—制区的设计》和数量 】 ： ，   —  注释上述表中的！百分比是《指，表2(6《．3．？1．1？)中的最大允许【量(：MAQ？)及注释中》允许增加数量—的比例 《。 《     》6．3  用房保】护级别 — ？    6．3【．1：．2  超过M【AQ的数量当室内】相关：控，制区储存和使用低温！流体及压缩气体的数！量超：。过表6．3．1【．，。2的数量时将按照】第6章的相关章节的！要求执行 》 ？ ，。 表6．《3．：1，．2  《每个控制《区危险？材料的最大允许量(！MAQ？) ： ： 【 —     注释】    ！ (1)控》制区的定义》和使用请见本规范】第6．2节 】。 ：。    《 (2？。)未摘录 【  《 ，  (3《)使用和储存的总】量不应该超》过储存的《量，特殊存放《总量不允许超过【建，筑，规范的限制》   】  a？．气体测《量为标？准状态(20℃【)和(101．【3kPa) 【  》   b《．除非储存和使用】在气：体房间或批》准的气？体，柜或密闭排风—及规：范有说明上述气体不！允许储存和使用在非！喷淋的建筑内 ！     c】.，固定或移动式容【。器具：有压力释《放装置并《直接通往室外或【排风罩 【     —d．：当，材料酌情储存或【使用在？批准的柜体气瓶柜密！闭排风气体房时数量！可以增加1》00％注释e—.也使用时两个注】释的：数量可以叠加—增加 —    》 e．？当整个建筑》按照NFPA 1】3设置有自动喷淋系！统时数量可》以增加？100％注释d．】也使用时两个注释】的数量可《以叠加增加 】 ：  ：   f《．，移动：设备：或槽车燃料储罐内】可燃：。。气体量可以超过M】AQ：储存和操作的设【备按照相关》规，范 ？ ，。    —。 j．仅仅允—许放：置在：按照NFP》A 1？3规范设《计有自？动喷淋系统》的建筑内 ！   ？  k．仅仅允许】储存和使用在气【体房间或批准的【气瓶柜？或密闭排风》。规范有特《别说明的地方 】 ：  ？。。   国际防—火规范IF》C-2018 【 ，     】表27？04．2．2．【1，每个：半导体生产区危【险材：料的数？量，限制  ！。   注释 ！     a【．管道内的危险性】材料不包括在计算】数量：内 ？    【 ，。b．  《每个半导《。体，生产区的危险材料】的数量？不应超过表500】3．：。1．1(1)—和表5003—．1．1(2—)内每个控制区【的允：许数量(编》。者注与NFPA 】55-2016表】。6，．3．1．》1才目？同，) —。     》。c．符合《ISO8《115包装要求【的密集打包棉—花不包括在上表的】材料等级《内 —     d—．可燃气《体、自？燃气体、毒性—气体：和剧毒性气体的总量！不应该超过0．2f！t3／ft2或90！00f？t3(编《者注：NFPA《 ，55-20》16：上述气体总量为5】6＋92《＋1．1＋》2．8＝15—。1．9m3》。＝5：364？。ft3？小于：IFC规《定的9000ft】3的：允许量) ！     e．【在，建，筑内自燃性》气，体的总量不应该【超，过表500》3，．，8．2展示的—。数据(编者注为【200？0ft3即5—7m3与《NFPA 》5，5-2016—表6．？5，相同：) 《。    — ，综上所述电子工厂生！产厂房的生》产区内特种气体的数！量限制采用N—FPA 5》5，-，2016《中每个控《制区：危险材料的最大允许！量(MAQ)是合适！的， ， ： 3．1．5 ！ 本条第《1款、第2款为强】制性条款必须严格执！。行本条规定》了特种气体间的设计！应满足的《要求特种气体间应设！置排风系统房—间应：运，行在负压状态是为了！及时排除泄漏气体】和防止气体》间泄漏的气体进【。入相邻房间或通道】。杜绝事故扩大；【特种气体间应—采用防火隔》墙相互隔离》是为了防止特—种气体间《的火灾事故蔓延至】相邻：房间  ！   ？同时也规《定了特种气》体间的设计应符合现！行国家标准》。建，筑设计防火规范【GB 50》0，16的有关规—定 —     美国消防！。。协会标准压缩气体及！低温：流体规范NFPA ！55：-2016的—第6．4条(气体】室)也做《了相关的规定上述N！F，P，A 5？5-2016—的相关内《容摘录如下 ！ ：    《6，．4：。。  气体间》因，为气体？的特殊供应需—要或材料的其他需】要或第7章至—第16章涉及的特】别，使用需要等原因气】体的：储存和？用量超过阈值(最】大允许量M》AQ)时气》体间的使用》可以满？足这种要求》气体间的设计—应符合第6．—。4．1条至第6．4！．5条的《规定 《     】6，．4．？1  压力控制【气体间与相关的【周边区？域相比应是处于【负压运行《环境 ？    】 6．4．2  排！风气体间《将提供排风系统 】     ！6．4？．3 ？ 建筑工程气体间的！。建设：。将满足建筑规范的】要求 【     》6，．4．4  分隔】气体间将《采与周边区域用1】h的防火隔离 】 《    6．—。4，。．5  容量—的限制储《存和使用《压缩气体、》相关设备、供应部】件，的压缩气体房间的】功，能将受到限制 【。 3．1．！6  本条》。为强制性条文—必须严格《执，行本：条的编制依据—。是美国消防协—会标准压《缩气体及低温—流，体规范NFP—A ：55-2016的第！6．：5条(独《立式建筑)的相关】内容上述NFPA ！55-201—6的相关内容摘录】如下 】    《6，．5  《独立式建筑储存和】使用压缩气体包括】。独立式大宗氢气压缩！气体系统《当数量超过表6．5！。指定的数量时—应设计独立》式建筑建筑的—建设应符合建筑【规范的相关规定【 《 表6．5—  ：。材料数量超出了显示！量需设置独》立式建筑 —。 ？  】   ？NFPA 55-2！016规定是当气】体间超？过表：3中规定值时应【设置独？。立的气体供应站【考虑目前电子—工业使用特》种气体的具体情况本！条只规？定了自燃《气体超过5》。7，m3时应《该设置独立》的气体站《。表中不稳定反—应气：体没有在电》。子，行业中使用氢气【有专门规范定—义所以本条未纳入】这两：种气体自燃性气体】的，。。燃爆危险性》较，其，他，特种气体更大—把超：过一定？数量的自《燃气体布置在独立】。建筑：可以减少《事故状？态下对主生产厂【房的影响《这在工厂设计中是非！常必要？的，也是行业《内的通用做法 ！     【虽然本条只对自【燃性气体设置—独立：的大：。。宗气体站的储量【进，行了规定《但是当电子工厂的】其他特种《气体危险性较大、储！存量：较多、且气体适合较！远距离？输送时标准仍然建议！。在工厂设置独立的】大宗：。特种气体站 — 3．【1，．7 ？ 低蒸汽压力—特种气体供应设施】。宜，靠近工艺设备是考虑！这些气体的蒸汽压力！较低从气瓶柜到【工艺设备的输—。送距离？应尽可能短 】 3《．1．8  生产】厂房内的特种气体】间集中布置在—一楼：或其他辅助楼—层靠：外墙位置《的主：要理由有一是特种】气体的气瓶》。架、气瓶柜、卧式】。气瓶的实瓶运进和空！瓶运出？方便性？；二：是按照现行国家标】准，。建筑设计防》火规范GB 500！16的有关规—定易：燃易爆特种气体间在！建筑设计上》应设：置防爆措施》特，种气体间的外墙【可以设计为泄爆面】；三是集中布置便于！。进行安全管理；四是！集，中布：置，。有利于特《种气体？间的：空调、排放、排气、！GMS、《。GDS的合理设【计，。 ：