3  【特种气体站房— 【。 3．1—  一般《规定 ！ 3．1．》1  在《电子工？厂设计中当》供应和储存特种气】体量较少时为—。减少气体管道长【度，、保：证气体？质量特种气体站【房一般布《置在生产厂》。。房内：一层的特种气体【间，。当供：应和储？存特种气体量较【多时为了安全需要规！定应将特种气体站】房布置在单独的【建，(构)筑物内利用室！外管道输送特种气】体至：用气厂房 — 《3．1．《2  布《置在生产厂房—。内的特种气体间用】量相对较小》。根据目前我国—及欧美、日本等【世界：发达国家的特种【气，体供应情《况自燃性、易燃性、！毒性、腐蚀》性气体多采用气瓶柜！供应氧化性、惰【性气体多采用—气瓶架以《及气：体集装格等》多种形式《供应 — ：3．1．3 — 布置？在单独建(构)【筑，物或区域内》的，特种气体站根据目前！我国及欧美、日本等！世界发达国》家的特种气体实际】供应情？况通常采用气体集装！格、卧式气瓶IS】O标准集装瓶组、长！管，拖车等供应方式【 3【．1．4 》 本：条规定了生产区特种！气体设备的》布置原则与》最大允许《使用储存量因为电子！工，业，厂，房的：生产区要使用大【量的特？种气体这些特种气体！。多具有自燃性、易】燃性、？剧毒性、《毒性、腐蚀》性、氧化性的危【险性质为此规定特种！。气体在设置气—瓶柜、？排风装置生产区设】置自动消防》喷淋系统的情—况下应按照》表3．1．4—。的数量布置特种气】体这些数《据是我国半导体【行业多年来》运行经验的总结与电！子，工业发达国家—的规定相近惰—。性气体不在列表范】围不受上述文件限】制虽然本条规定了特！种气体？在生产区的布置要求！但是一般情况—下，除非：特种气体因为性质】原因(？。如低蒸汽《压力气体《)或工艺有特—殊要求标准仍然建议！将生产区的特种【气体数量《(包括惰性气—体)降至最小—值尽可能将特种【。气体放置在特种气】体间内？便于集中管》理，控制这？符合行业惯例与安】。全要求 】。     美国消】防，协会标准压缩气【体及低温《流体规范NFP【A 55-2016！第3．3条(一般定！义)第6．2条【(控制区)第—6．3条(用房【保护级别)和国【际防火？规范IFC-2【01：8表270》4．2．2》．1(？每个半导体生产【区危险材料的数【量限制)也做了【相关的规定》上述NFP》。A 55-2016！。和IFC-2008！的相关内《容摘录？如下： —    压缩气体】及，低温流？体规范NFPA 】55-2《016 】     3．【。3  一般定义 ！。    【 3．3．6．【1  控制区建筑或！建筑的一部分该区域！。内允许危险性—材，。。料的储存、》输送、使用、或操作！。危险：。性材料(H》PM：)，的数量不应该超【过最大？量 【    《6．2  控—制区 》。     6】．2．1 》。 建设需求控制区】是按照表6．2．】1的要求用防—火隔离相互分开的】区域 ？ 表6．】2．1  控—。制区的设计和数量】 — ，     ！注释上？述表中的百分比【是指表2《(6：．3．1．1)【中的最大允许—量(MAQ)及【注释中允许增加数】量的比？例 ？ ，     【6．3  用房保护！级别 — ，     6—．，3，．1．2  超过】。MAQ的《数量当室内相—关控制？区储：存和使用《低温流体及压—缩气体的数》量超：过表6．3》。．1．2的数量【时将按照第6—。章的相关章节的要】。。求执行 ！表6．？3．1．2  【每个控制《区，危险材料的最大【允许量(MAQ【) 《 — ！    注释 ！     【(1)控制区的【。定义和使用请见本】规范第6．2—节 【 ，   (《2)未摘录 【 《  ：  (3)使用和】。。储存的总《量不：应该：超过储存的量—特殊存放《总量不允许超过【。建筑规范的限—制， —    a．气体】测量为标《准状态(《20℃)和(10】1．3kPa)【    ！ b．除非储存和】使用在气体》房间或批准》的气体柜或密闭【排风及规范有说明】上述气体不》允许储存和》使用：在，非喷淋的建筑内 ！     c！.固定或《移动：式容器具有》压力释放装置并【直接通往《室外或排风罩 【 ？     —d．当材《料酌情储《存或使用在批准的】柜，体气：瓶柜密闭排风气体】房，时数量可以》增加1？。0，0％注？释e：.也使用时两个【注释的数量可以叠】加增加 —    — e．？当整个？建筑：按照NFPA 13！设置有自动喷淋【。系统时数量》可以增加1》00％注释d．【也使用时两个—注释的？数量可以叠》加增加 ！   ？ f．移动设备【或，槽，车燃料？储罐内可《燃气体量可以超过M！AQ储存《和操作？的设备按照相关规范！  【   j．仅仅允许！放，置，在按照NFPA 1！3规范设计有—自动喷淋系统—的建筑内 — 《    k．仅仅允！。。许储存？。和使用在气体房【间或批准的气—瓶柜或密《闭排风？规范有特别》说明的地《方，  【   国际防火规范！IFC-《2018 — 《  ：。  表2《704？．2．2．1—每个：。半导体生《产区危险《。材料的数量》限制 】    注释—    ！ ，a．管道内的危险性！材料不包括在计算数！量内 —     b．】  ：每个半？。导体生产《区的危险材料—。的数量不应超—过表5003．1】．1(1)和表5】003．1．1【。(2)内每个控制区！的允许数量(编【者注与NF》PA 5《5-20《16表6．》3．：。1．：1才目同) 】。     c．！符合ISO8—115包装要求【的，密集打包棉》花不包括在上—表的材料等级—内 ： ，     】d．可？燃气体、自燃—气体、？毒，性，气体和剧毒性—气体的总量不应【该超过？。0．2？f，t3／ft2—或900《。0ft3(编者注】NFP？A ：55-20》16上述气体—总量为56＋9【2＋1．1＋2．】8＝1？51．9m3＝53！64：ft3？小于I？FC规定的90【00ft3》的允许量《)   ！  ：e．在建筑内—自燃性气体》的，总量不应该超—过，表，50：03：．8．2展示的数据！(编者注为》2000ft—3即：57m3《与NFPA 55】-2：0，16表6．5—相同)？ ： 《。    综上—所述电子《工厂生产厂房的生产！区内特种气体的数量！限制采用NF—P，A 55-20【16中每个控制区】危险材料的最大允】许量：(MAQ)是合适】。的， 》 ，3．：1．5？  本条第1—款，、第2款为强制性条！款必须？严格执行本条—规，定，了，特种气体《间的设计《应，满足：。的，要求：特种气体《间，应设置排风系统房间！。应运：行在负压状态是【为了及时《。排除泄漏气》体和防止《。气体：间泄漏的气体进入】相，邻房间？或通道？杜，绝事故扩大；特种气！体间：应采用防火隔—。墙相互隔离》是为了防止特种【气体间的火灾事故蔓！延至：相邻房间 【     【同，时也规定了特种【气体间的设计—应符合现行》国家标准建筑设计】。防火规范GB— 5001》6的有关规定 ！   》。  美国消防协会标！准压缩气体及—低，温，流体规？范NFPA 55-！2016的第—6．4条(气体室)！也做了？相关的规定上述NF！P，。A 55-2016！的相：关内容摘录如下【 》  ：   6．4  气！体间因为《。气体的特殊供应【需要或材料》的其他需要或第7章！至第1？6章涉？及的特别使用需要】等原因气体的储存】和用：量，超过：阈值(最大允—许量M？AQ)时气体间【。的使用可以满足这种！要求气体间的—设计应符《合第6．4．1条】至，第6．4．5条【的规：定 ？ ？     6．4】。．1  压力—控制气体间与相【关的周？。边区域相比》应是处？于负压运行环—境 》    》 6：．4．2《  排风气体间【将提供排风系统 】    】 6．4．》3，  建筑《工程气体间的建【设，将满足？建筑规范的要求【 ？     6】．4．？4，。  分？隔气体间将采与【周边区域用1—h的防火隔离 【 《 ，。  ：  6．4．—5，  容量的》限制：储存和使用压—缩气体、相关设备】、供应部件的压缩气！体房间的功能将受】到限：制 3】．1．6 》 本条为强制性条】文必须严格执—。行本条的编制—依据是美国消—防协会标准压缩气】体及低温流》体规：范NFPA》 5：5-：2016的第6．】5条(独立式建筑)！的相关内容上述N】FPA 《。55-2016的相！关内容摘录如下 】    】 6．5  独【立式：建筑储存和使—用压缩气体》包，括独立？式大宗氢气压—缩气：体，系统：当数量？超过表6．5指定的！数，。量时应设计独立式】建筑：建筑的建《设应符？。合建筑规范的相关规！定 表】6．5  材料数】量超出了显示量需设！置独立式建》筑 ！ ？  ：   NF》PA ？5，5-2016规【。定是当气体间超过表！3中规？。定值：时应：。设置独立的气体供】应站：。考虑目前电》子工业使《用特种气体的具体情！况，本条只？规，定了自燃气体超过】5，7m3时应该—。设置独立的气体【站表中不稳定反应】气体没有在电子行】业中使用氢气有专门！规范定义所以本条未！纳入这？两，种气体自燃性—气体的燃爆危险【。。性较其他特种气体更！大把超过一定数量的！自燃气体《布置在？独立建筑可以减少事！故状态下对主生【产厂房的影响这在工！厂设计中是》。非常必要《的也是行《业内的通用做法 】     ！虽然本？条只对自《燃性气体设置独立的！大宗气？体站的储量进—行了：规定但是《当电子工《厂的其他特种气【。。体，危，险性较大《、，储存量较多、且气体！。适合较远《。距，。离输送时标准—仍然建议《在工厂设《置独立的大宗特种】气体站？ 《 3．1．7 】 低蒸汽压》力特种气体》供应设施宜靠—近工：。艺设备是考虑这些气！体的蒸汽压力—较低从气《瓶柜到？工艺设备的输送【距离应尽可能短 ！ 3》．1．8  —生产厂房内的—特种：气体间集中布置在】一楼或其《他，辅助楼层靠外墙位】置的：主要理由有一是特】种气体的气瓶—架、气瓶柜、卧式气！瓶的实瓶运进和空瓶！运出方便《性；二是按照—现行国家标准建筑设！计防火规范G—B 50016的有！关规定易燃》易爆特种气》体间：在建筑设计上应【设置防爆措施—特种气体间的外墙】可，以设计为《泄爆面；三是集中】布，置，便于进行安全管理】；四是集中布—置有利于特种—气体：间的空调《、排放、排》气、GMS》、GD？S的合理《设计 《