， ： 3  特种气体】站房 ？。 】 3．1  一般】规，定 】 ，3．1．1  在电！子工厂设计中—当供应和储存特种】气体量较少时为【减少气体管道长度、！保证气体质》量特种气《体站房？一般布？置在生？产厂房内一层—的特种？气体间当供》应和储存特种—。气体量较多时为了】安全需要规定应【将特：种气体站房布置在单！独的建(构)筑物内！利用室外《管道输送特种气体】至用气厂房》 3【．1．2《  布置在生产【厂房内的特》。种气：体间用量相对较【小根：据目前我国及欧美、！日本等世界发达【国家：的特种气体供应【情况自燃性、—易燃性、毒》性、腐蚀性气—体多采用气瓶柜供】应氧化性、惰性气】体多采用《气瓶架以及气—体集装格等》多种形式供应 】 3．1．】3  布置在单独】建(构)筑物或【区，域内的？特种：气，体站根据目前—我，国及欧美、日本等】世界发达国家—。的，特，种气：体实：。际供应情《况，通常采用气》。体集装格、卧式【气瓶ISO标—准集装？瓶组、长管拖车等】供应方式《 ？ ， 3．《1，．4  本》条规定了生产区特】种气体？设备的布置原则【与最大允许使用储】存量因为电子—。工业厂？房的生产区要使【用大量的特种气体这！些特种气体多—具有自燃性、—易燃性、剧毒性【、毒性、腐蚀性、】氧化性的危》险性质为此规定【特种气体在》设置气瓶《柜、排？风装置生产区—设置自动消防喷【淋系统的情况下应按！照表3．1》．4的数量布置特种！气体这些数据是【我，国半：导体行？业多：年来运行经验的总结！与电子工业发达国家！。的规：。定相：近惰性气体不在列】表范围不受上—述文件？限制：虽然本条规定—了特：种气体在生产—区的布置要求但【是，一般情况下除非特种！气体因为《性质原因(如低蒸汽！压力气体)或工【艺有特殊要求标准】仍，然建议将生产区的】特种气体数量(包括！惰性气体)降至【最小值尽可能将特】种气体？放置在特种气—体间：内便于集《中管理控制这符合行！业惯例与安全要【求 《    — ，美国消防协会标准】。压缩气体及低—温流体规《范NFPA 5【5-2016—第3．3条(一【。般，定，义)第6．2条【(控制？。区)：第6．3《条(用房保护级别)！和国际？防，火规范IF》C-201》8，。表2704．2．2！．1：(每个？半导体生产区—危险材料的数—量限制)也》做，了相关的《规定上述N》FP：A 55-》2016和》IFC-2008的！。相关：。内容：。摘，。录如下 【     压【。缩气体及《低温流？体规范？NFPA 55-】2016《 》     》3．3  一般定义！ ，。   【。  3．《。。。3，．6．1  控制区！建筑或建筑的—一部分该区域—内允许危险》性材料的储存、输】送、使用《、或操？作危险？性材料(HPM【)的数？量不应该超过最大量！ 《   《。  ：6．：2 ： 控制区 ！   ？  ：6．2．1 — 建设需求控—制区是按照表6．】2．1的要求用防火！隔离相？互分开？的区域 》 ， 表6．2．1！  控制区的设计】和数量 ！ ：。     注！释，上，。述表中的百》分比是指表》2(6．3．1．】。1)中的《最大允许量(M【AQ：)及注释中允—许增加数《量的比例 【     6．！3  用房》保护级别 】 ：。    6．3【．1．2  超【过MAQ《的数：量当室内相关控【制区储存和使用【低温：流体及压《缩气体的数量超过表！6．：3．1．《2的数量时将按照第！6章的？相关章节的要—求执行？ 《 表6．3．1】．，2 ： 每个控制区—危险材？料的最大《允许：量，(MAQ) ！ 》 ？   】  注释 —  》   (1》)，控制区的定义—和使用请见本规范第！6．2节《 ？  《   (2)未摘录！ ？ ？   ？ ，(3)使用和储存的！总量不应该超过【。储存的量特殊存放】总量不允许超过建筑！规范的限制 ！ ，  ： ，  a．《气体测量为》标准状态(》20℃)和(—10：1．3k《Pa)？ ： ，  《   ？b．除非储存和【使用在？气体房间或批—准的：气体柜？或密闭排《风，。。及规范有说明上述气！体不允许储存和使】用在非喷淋的建筑内！ ？ ：     》c.固定《。或，移动式容器具—有压力？释放装置并直—接通往室《外或排风《罩， 》。  ：  ： d．当材料酌情】储，存或使用在批—准，的柜体气瓶柜密闭】排风气体房时数量可！以增加？100％注释—e，.也使用时两个注】释的数量《可以叠加《增加 【 ，  ：  ：e．当整个建—筑按照NFP—A， 13？设置有自动喷—。淋系：统，时数量可以》。增加100％—注释d？．也使用时两个注】释的数量可》以叠加增加 — ： ：     f．移动！设，备或槽车燃料储罐】内可：燃气体量可以—。超过M？AQ储存和操作的设！备按照相关规范 ！ ？  ：   j．仅—仅，允许放置在按—照NFPA》 1：3规：范设计有自》动喷淋系统的建筑内！   】  k．仅仅允许】储存和使用》在气体房间或批准】的气瓶柜或密闭排风！规范有特别》说明的地方 —    】 国：。际防火规范IFC】-2018》 ， ： ：     表27】04．2．2．1每！个半导？体生产区危险材料的！数量限制 ！     注—释  】   a《．管道内的危险【性材料不包括—在计算数量内 ！   》  b？．  每《个，。半导体生产》。区的危险材料的【数量不？应超过？表50？03．？1．1(1)和表5！003．1．1【。(，2，)内每个控制区的允！。许数量(编者注【与，NFP？A 55-201】6表6．3．1．】1才目同)》    ！ c．？符合ISO》811？。5包装要《求的密集打包棉【花，不包括在上表的材料！等级内 ！  ：  d．《可，燃气体、自燃气体、！毒性：气体和剧毒》性气体？的总量不应该超过】0．2ft3／ft！2或90《00ft3(—编者注N《F，PA 55-20】16上述《气体总量为5—6＋92《＋1．1＋2—．8＝151．9m！3＝5364ft】3，小于IF《C规定的9》000ft》3，的允：许量) 《 《   ？  e．在建筑内自！燃性气体的总—量，不应该超过表500！3．8．2展示【的数据(编者注为】2000ft3【即57m3与NFP！。A 55-201】6表：6．5相同) 【 》    综上所述电！子工厂生《产厂房的生产区内特！种气体的《数，量限制采用NF【PA 55-20】16中？每个控制区危险材料！。的最：大，允许量(MAQ)】是合适的 】 3．1．5 】 本条第1》款、第2款为强制】。。性条款必须严格执行！本条规定了》特种气体间的设计应！满足的要求特种气】体间应设《置排风系统》房间应运《。行在负压状态是【为了及时排除泄【漏气体和《防止气体间泄漏的】气体进入相邻—。房间或通道杜—绝事故扩《大，；特种气体间—应采用防火隔—。墙相互隔离是为【了防止特种》气体间的火灾事故蔓！延至相邻房间 ！   》  同时也规定了特！种气体间的设计【应符合现行国家标准！。建筑设计防火规范】GB 5《0，016的有关规【定，  【   美国消防协会！。标准压缩气》体及低温《流体规范NFPA ！55-2016【的第6．4条—(，气体室)也做—了相关的规》定上：述NFPA》。 5：5-2？016的相关内【容摘录如下 ！ ，。   ？  6？．4  气体—间因为气体的特殊供！应需要？或材料的其》他需要或第7章【至第16《。章涉及的特别使用】需要等？原因：气，体的储存《和用：量超过阈值(—最大允许《量MAQ)》时气：体间的使用可以【满足这？。种要求气《体间：的设计应《符合第？6．4？．1条至第6—．4．5条的—规定 — ，    《。 6．4．1 【 压力控制气体间】与相关的《周边区？。域相：比应是处于负压运】行，环境： —  ：  6？．4：。．，2  排风气体间】将提供排风系—统  】 ，  6．4．—3  ？建筑工程气体间【的建：设将满足建筑规范的！要求 ？ 》。 ， ，  6．4．4 】 分隔？气体间将采与周【边区域用1h的防】火，隔离 ？ 》    6．4．】5  ？容量的？限制储？存和使？用压缩气体、—。相关设备《、供：应部件的压缩气体】房间：的功：能将：受到限制 】。 3．1．6 】。 本条为强制性【条文必须严格执【。行本条的编制—依据是美《国消防协会标准压缩！气体及低温》流体：规范NFPA 【55-2016的第！6．5条《(独：立式建筑《)的相关内》。容上述NFP—A 55-》2016的相关内容！摘录：如下 《     】6．5？  独立式建筑【储存和使用压—缩气体包括独立【式大宗氢气压缩【气体系统当》数量：超过表6．5指【定的数量时应设计】独立式？建筑建筑的建设【应符合建筑》规范的相关规定【。 《 表？6．5  材料数量！超出了？显示量？需设置独立式建筑】。 — —    NF—P，A 55-20【16规？定，是当气体间》超过表3中规定【值时应设置独立的】气体供应站考虑【目前电？子，工业使用《特种气体的具体情况！本条只？规定了自燃气体超】过57m3时应【该设置独《立的：气体站表《中不稳定反应气体】没有在电子行—业中使用氢气—有专门规范定义【所以本条未纳—入这两种气》体自燃性气体—的燃爆？危险性较其》他特种气体》更大把超过一定数】量的自燃气体—布置在独立建筑【可以减少事故—状，。态下对主生产—厂房的影响这在工厂！设计：中，是非：常，必要的也《。是行：业内的通用》做法 》  《。。   虽然本—条只对自燃性气体设！置独立的大》宗气体站的》储量进行了规定但】是当电子工厂的其他！特种气体危险性较大！、储存量《。较多、且气体适【合较远距《离，输，送时标？准仍然建议在工厂】设置独立的大—宗特种？气体站 】 3．1．7  】低蒸：汽，压力特种气体供【应设：施，宜靠：近工艺设备是考【虑这：些气体的蒸汽—压力较低从》。气瓶柜到工艺设备的！输，送距离？应尽可能短》 3．1！．8  生产厂房内！。的特：种气体间集中布置】在，。一楼：或其他辅助楼层靠外！墙位置的《主要理由有一—。是特种气体的气瓶架！、，气，瓶柜、卧式》气瓶：的实瓶运进和—空瓶运出方》便性；二是按照【现行国家标准建筑】设计防火规范GB】 50016的【有关规定《易燃易？。爆特种气体间在【建筑设？计上应设置防爆措】施特种气体间的外墙！可以设计为泄爆【面；三？是集中布置便于进】行安全管理；—四是集？中布置有利于特种气！体间的空调、—排，放、排气、GMS、！GDS的合理—设，计 ？