。 3》  特种《气体：站房 ？。 》 3．1  ！。一般规定 — 3【．1．1  在电子！工厂设计《。中当供应和储存特种！气体量较少时为减少！气，体管道？长度、保证气体质】量特种？气体站？房一：般布置在生产—厂房内一层的特种气！体间当供应和储存特！种气体量较多时为了！安全需要规定应将】特种气体站房布置】在单独的建(构【)筑物内利用室【。外管道输送特—种气体至《用气厂房 【 ？3．：1．2？  布置在生—产厂：房内的特种》气体间？用量相对较小根据目！前我：国及欧美、日—本等：世，界发达国家的特种】气体供应情况自燃】。性、易燃性》、毒性、腐蚀性【气体多采用气瓶柜供！应氧化性、惰性气体！多采用气瓶架—。以及气体集装格等】多种形式供应 】 《3．：1．3 《 布：置在单独建(—构)：筑物或？区域内的特》。种气体站《根据目前我国—及欧美、日本—等世界发达国—家的特种气》体实际供《。应情：。况通常？。采用气体集装格、卧！式气瓶ISO标【准集装瓶组、长管】拖，车等供应方式 ！ 3．1．4】  ：本条规定了生产区特！种，气体设备的布置【原则与最大允许使】用储存量因为电【子工业厂房》的生产？区要使用大量的特种！气体这些《特种气体多具有自】燃性：、易燃性、剧—毒性、毒性、腐【蚀性、氧化性的危】险，性，质为此规定特—种，气体：在设置？气瓶柜、排风装置生！产区：设置自动消防喷淋系！统的情况下应—按照表3．》1．4的数量—布置特种气体这些】数据是我国半导体行！业多年来运行经【验的总？结与电？子工：业发达国家的规【定相近惰性气体不在！列表范？围不受上《述文件？限制虽然本条—规定了特种气体在生！。产区的？布置要求但》。是一：。般情况？下除非特种》气，体因为性质原因(】如低蒸汽压》力气：体)或工艺有特殊要！求标准仍然建议【将生产区的》特种：气体数量(包括【惰性：气，体)：。降至最小值尽可【能将特？种气：。体放置在《特种气体间内便于集！中管理控制这符合行！业惯例与安全要求】 》     美—国消防协会标准压】缩气体及低温流体规！范N：F，PA 55-201！6第3．《3条：(一般定义)—第6．2条》(，控，制区)第6．3【。条，(，用房保？护级别)和》国，际防火规范I—FC-201—8表：2，704．《2．2．1(每个】半导体？生产区危险材料的数！量限：制)也做了相关的规！定上述NFPA【。 55-《2016和IF【C-200》8，的相关内容摘—录如：下 【    压》缩气体及低温—流体规范NFPA】 55-《2016 》 》。    3．3  ！。一般：。定义 】 ，   3《．3．6．1 【 ，控制区建筑或建筑】的一部分《该区域内允许—危险性材料》的储存？、输送、使用、或】操作危险性材料(H！P，M)：的数量不应该超过最！大量 》    — 6．？2，  控制区 ！    》 6．2．1  建！设需求控制》区是按照表6．2．！1的要求用》防火隔离相互分开】的，区域 — 表6．2—．1 ？ 控制区的设计和】数量 ？ — ：。    — 注释上述表—中的百分比是指【表2(6．3—．1．1)中的【最大允许量(—MAQ)及注释中允！许增加数量的比【例 《     【6．3  用房【保护级别 — ：     —。6．3？．1．2  —超过MAQ的数量】当室内？相关控制区》储存和使用低温流体！及压缩气体》的数量超《过表：6．3？．1．2的数—量时将按照第6【。章，的相关章《节的要求《执行： 表6．！3，．1：．2  每个控制】区危险材料的最大允！许量(MAQ)【 《 ： 》 ： ， ：     注释】 ，     ！。(1)控制区—的定义和使用请见本！规范：第6．2《节 ？   — ， ，(，2)未摘录》 ？。     (3！)使用和储存的总量！不应该超过》储存的量特殊存放总！量不：允许超过《建筑规范的限制【。 ？ ，   《  a．气体测量为！标准状态《。。(20℃)和(【101？．3：kPa？)，  【   b．除非【储存和？使，用在：。气体房间或批准的】气体柜？。或，密闭排风及规范【有说明上《述气体不《允许储？存和使？用在非喷淋》的建筑内 — ：     c.固！定或移？动式容器《具有压力释放装置】并直接通往室—外或排风罩》 》   ？。  ：d．当材料》酌情储？存或使用在批准【的柜体气瓶柜密闭排！风，气，体房：时，数量可以增加—100？％注释e.也使【用时：两个注释的》数量可以《。叠加：增加 ？。 》。    e．当【整个建筑按》。照，NFP？。A 13设置有【自动喷淋系统时数】。量可以增加10【0％注释d．—也使用时两个注释的！数量可以叠加增加 ！  —   f．移动设】备或槽车燃料—储罐内？可燃气体量可以【超过：MA：Q，储，存和操作的设备按照！相关：规范 《   —  j．仅仅允【。许放置在按照NF】PA ？1，3规范设《计有自动喷淋系统】的建筑内 ！     》k．仅仅允许储存和！使用在？气体房间或批—准的气瓶柜或—。密闭排风《规范有？特，别说明的地方 】   —  国际防火规【范IF？C-2018 ！   》  表？2704．2．2．！1每个半导》体生产区危险材【料的：数量限制 ！     》注释 —     a．】管道内的危险—性材料不包括—在计算？数量内 —。     【b．  每个—半导：体，。。生产区的危险材料】的数量？不应超过表50【0，3，．1．1(1)和】表5003．1【。。．1(2)内—每个控制区的—允许数？量(编者注与N【FPA 《55-20》16表6《．3．1．》1才目同) — 》    c．符合I！SO8115包装要！求的密？集打包棉花》不包括在上表的材料！等级内 ！    d．可【燃气体、自燃气【体、毒？性气体？和剧：毒性气体《的总量不应该—超过：0．2ft3／ft！2或9000f【。t3：(编者注《NFPA 5—5-20《1，6上述气《体总量为5》6，＋92＋1．1＋2！．8＝？151．9》m3：＝5364》ft3？。小于IFC》规定的90》。。00ft《3的允许量) 】     】e．：在建筑内《。自燃性气《体的总量不应—该超过表5003】．，8．2展示的数据(！。编者注为2000】ft3即57—m3与N《FP：A，。 ，55-2016【表6．5相》同) 【   ？  综上所述电子工！厂生产厂房》的，生产区内《特种气体的数量【。限，制采用NFPA 5！5，-2：016中每个控制】区危险？材，料的最？大，允，许量(？MAQ)是合适【的 3】．1．5  —。本条第1款、第2款！为强：制性条款必须严【格执行本条规—。。定了特种气体间的】设计应满《足的要求《特种：气体间应设》置排风系统房—间应运行在》负压状态是为了及】时排除泄漏气—体和：防止气体间》泄漏的气体进—入相邻房间》或通道杜绝事故【扩大：；特种气体间应采】用防火隔墙相互隔】离是为了防止特种气！体间的？火灾事？故蔓延至相邻房间】。   】  同时也规定【。了特种气体间—的，设计：应符合现行国家标准！建筑设？计防火？规范GB 500】16的有关规定【    ！ 美：国消防协《会标准压缩气体【及低温流体规范NF！PA： 55-20—16的第6．—4条(气体》室)也做《了相关的规定上述】NFPA 55【-，20：16的相关内容摘录！如下 【 ，    《6．4  气体间】因为：气体的特殊供应【需要：或材料的其他需要】或第7章至第—16章涉及的特【别使：用需要等原因气体】的储存和用》量超：过阈值(最大允许量！MAQ？)时气体间的使用可！以满足这种要求【气体间的设计应符】合第6．4．—1条至第《6．4．5条的规】定，    ！ 6．4．1—  压力控制气【体间与相关的周【边区：域相比应是》处于负压运行环境 ！     ！6．4．2  排风！气体间将《提，供排风系《统 【    6．4．3！  建筑工》程气体间的》。建设将满足建筑【规范的要《求  】   6．4．4 ！ 分隔气体间将【采与周边《。区域用？1h的防火》。隔离  ！。  ： 6．4．5—  容量的》限制储存和使用压缩！。气体、相《关，设备、供应》部件的压缩气体房间！的功能将受到限制 ！ ？ 3．1．—6  本条为强【制性条？文必须严《格执行本《条的编制依据是美】国，消防协会《标准压？缩，气体及低温流体规】范NFPA 55-！。。2，01：6的：第6．5条(—独立式？建筑)的相关内【容上述N《FPA 55-20！16的相关内容摘】录如下 —     6】．5  独》立式建筑《储存和使用压缩【气体包括《独立式？大宗氢气压缩气体系！。统当数量超过表【。6．：5指：定的数？。量时应设计独—立式建筑建》筑的建设《应符合建筑》规范的相关规—定 表】6．5 《 材料数量超出【了显示量需》设置独立式建筑 ！ 】 ：    NFPA ！55-2016规定！是当气体间超—过表：3中规定值时应设】置独立的气体—供应站考虑目前电子！工业使用特种—气体的具体》情况本条只规定了】自燃气？体超过？。57m3时应该设置！独，立的气体站表中【不，稳定反应气体没有在！电子行业中使用氢】气有专门规范定义所！以本条未纳入这两】种气：。体自燃性气体的【燃爆危？险性较其他特种气】体更大？把超过一定数量的自！燃气：体，。布置在独立》建筑可以减少事故状！态，下对主生《。产厂房的《影响这在《工厂：设计中是非》常必：要的也是行业内【的通用做《法 【  ：。  虽然本》条只对自燃性—气体设置独立—的大宗气体站—的储量进行》了规定但是》当，电子工厂的其他特种！气体危险《性较大、储存—量较多、且气体适】合较远距离输送时】标准仍然建议在工厂！设置独立的大宗特种！气体：站 3．！1．7 《 低蒸汽《压力特种气体供应】设施宜靠近工艺【设备是考《虑这些气体的蒸汽压！力较低从《气，瓶柜到？工艺设备的输送【距离应尽可能短【 ： 3．—。1．8  生产【厂房：内的特种气》体间：集中布？置在一楼或其—他辅：助楼层靠外》墙位置的主要—理由有一《是特种？。气体的气瓶架—、气瓶柜、卧式【气，瓶的实瓶运》进和空瓶运》出方：便性；？二是按？照现行？。国家标准建筑设计】防火规范《GB 500—16的有关》规，定易燃易爆》特种气？体间在建筑设计上】应设置防爆措施特】种气体间的外墙可以！设计：为泄爆？面；三是集中布置便！于进行安全》管理；？四是集中布置—有利于特种气—体间的空调》、排放、排气—、GMS、GDS】的合理设计 【