3  特】种气体站房》 ： — 3．1  一般！规定 — 3．—1．1  在电子】工厂设？。计中当供应和储【存特种气《。体量较少时为减少】气体管道长度、【保证气体质量特种】气体站房一般—布置在？生产：厂房内一层的特种气！。体间当？供，应和储存特种气体量！较多时为了》安全需？要规定应将特—种气体站房》布置在单独的—建(构)筑物内利用！室外管？道，输送：。。特种气？体至用气厂房 【 《 3．1．2 【 布置在生产厂房】内的特种气》体间用？量相对？较小根据目》前我国及《欧美、日本等—。世界发达国家—的特种气《体供：应情况自燃性—。、，易燃：性、毒性、腐—蚀性气体多》采用气瓶《柜供：应，氧化性、惰》。性，气体：多采用？气瓶架以及气体【集装格等多种—形式：供应 3！．1．3  布置】在单独？。建，(构)筑物或—区域内？的特种气《体站根据目前我【国及欧美、日本等世！界发达国家的—特种气体《实际供应情况通常】采用气？体集装格、卧式气瓶！I，SO标准《集装瓶？组、：长管拖车等供应方式！。 《 3．1》．4  本条规定了！生产区特种》气体设？备，的布置原则与最大】允许使？用，。储存量因为电子【工业厂房的生产区】要使用大《。量的特种气体这【些，特，种气体多《具有自燃《性、易燃性、剧毒】性、毒性、腐蚀【性、氧化性的危险】性质为此规》定特种气体在设置】气瓶柜、排风装【置生：产，。。区设置自动消防【。喷淋系统《的情况下应按—照，表3．1．》4的数？量布置？特种气体这》些数据是我国半【导体行业《多年来运《。行经验的总结—与电子工业发达国家！的规定相近惰性气】体不在列表范—围不受？上述文？件限：制虽然本条规定了特！种气：体在生产区的布置】要求但是一般情况】下，除非：特种气体因》为性质原因(如低蒸！汽，压力气体)或工【。艺有特殊要求标准仍！然建议将生产区的】特种气？体数量？(包括惰性气体)降！至最：小值：尽可：能将特种气》体放置在《特种气体间内便【于集中管理控—制这符合行业—惯例与安全要求 ！ ？     美国【消防：协会标准压》缩气体及低温流体规！范，NFPA 55-2！016第3．3条】(一般定义)第6】。．2条(《控制：区)第6．3—条(用房《保护级别)和国际】防火规范IFC-2！018？表2：704．2．2【．1(每个半导【体生产区危》险材料的数量—限制)也做了—相关：。的规定上述N—FPA 《。55-2016和】IFC-200【8的：相关内容摘》录，如下 】    压缩气体】及低温流体》规范：NFP？A ：55-201—6， ，     ！3．3？  一般定义 】   —  3．3》．6．1  控【制区建？筑或建筑的》。一部分该《区域内允许危险性材！料的储存、输送、使！用、或操《作危险性材料—(，。HPM)的》数量不？应该超过最大量【   】  6．2  控制！。区 【    6．2．】1，  建设需求控制】区是按照表6—．2．？1的要求用防火【。。隔，离相互分开的—区域 《 表6．【2．1？  控？制区的？。设计和数量 — — ？     注【释上述表中的百【分比是指表2—(，6．3．《1，．1)中《的最：大允许量(MAQ】)及注释中允许增】加数量的比例 】 ： ，     6．3 ！ 用房保护》级别  ！   6．》3．1．2  【超，过MAQ的数量当室！内相关控制区储存】。和使用低《温流体及压缩气【体的数？。量超过表6．3．1！．2的数量时将【按照第6章的—相关：章节的？。要，求执行 — ？表6．3．1．2 ！ 每：个控制区危险材料的！最大允？许量(M《AQ) ！ 《 ， ， ： ？  ：   注释 】     【(1)？控制区的定义和使】用请：见本规范第》6．2节 —  》   (2)—未摘录？    ！ (3)使用和【储存的总《量不：应该超过储存—的量特殊存放—总量不允许超—过建筑规范》的限制 【 ，    《 a．气体》测量为标准状—态(20℃)和【(101．》3kPa《) —。   ？  b．除非储存】和使：用在气体《。房间或批准的气【体，。柜或：密闭排？。风及规范有》说明上述《气，体不允许储存—和使用在非喷—淋的建？筑，内   ！ ， c.？固定或移动式容【器具有压力》释放装置并》直接通往《室，外或排风罩 】 ： ，    d．—当材料？酌情储存或使用在】批准的柜体气瓶柜】密闭排风气体—房，时数量可以增加1】。00％注《释e.也使用时【两个注释的数—量，可以叠加增》加 《 ：     》e．：当整个建筑按—照N：FPA 13设置有！自动喷淋系统时数量！可以增加《100？％注释d《．也使用时》两个注释的数—量可以叠加增—加 ：   【  f．移动设备或！槽车燃料储罐内可】燃气体量可以超过M！AQ储存和操作的】设备按照相关规范】 》。  ：   j．仅—仅允许放置在按照】。NFPA 13规】范设计有自》动喷淋系统的建筑】内 《 ：     k．仅仅！允许储存和使用【在气体？房间或？。批准：的气瓶柜或》密闭排风规》范有特？别，说，明的地方 ！   ？  国？。际防火规《范IFC-》201？8 《     表】2704．2．【2．1？每个半导体生产【区危险材料的数量】限，制 ？  》   注释 】 ： ，    《a．管道内》的危险性材料不包】括在：计算数量内》   】  b？．  每个半导体生！产区的危险材—料的数量不应超【过表5？003？．1．1(》1)和表500【3．1．《。1(2)内每个控】制区的？允许数量(编者【注与NFP》A ：55：-201《6表6．3》．1．1《才目同) —。 《  ：  c．符合I【SO8115—包装要求的密—集打：包，棉花不包括在上【表的材料等》级，内，  【 ， ， d．可燃气—体、自燃气体—、毒性气体和剧【毒性气体的》总量不？应该超过0．2【ft3／ft2或9！000f《。t3(编《者，。注NFPA —55-2016上】述气：体，总量为？56＋92＋1【．1＋2．8＝1】51．9m3＝5】364ft3小于】IFC规定的9【000ft3的允许！。量) —。  ？。   e．在建筑】内自燃性气体的总量！不应该超过表—5003．8—．2展示的数—据(编？者注为200—0ft3即》57m3与NF【。。PA 55-201！。。6，表6：．5相同)》 》     综—上所：述电子工厂》生产厂？房的生产区内特种】气体的？数量限制采用NF】PA ？55-？2016中每个控制！区危险材料的最【大允许量(M—AQ)是合适的 】 ？ 3？．1．5  本条第！1款、第2》款，为强制性条款必须】严格执行本》条规定了《特种：气体：间的设计应满—足的要求《特种：气体间应设置排【风系统房间应运行在！负压状态是为了【及时排除泄漏气体】和防止气体》间泄漏的气体进【入相邻房间》或，通道杜绝《事，故扩大；《特种气体《间，应采：用防火隔墙相互【隔离是？。为了防止特种—气体间的火灾事【。故蔓：延至相邻房间 【  — ，  同时《。也规定？了特种气体间的设计！应，符合现？。行国家标准建筑设】计防火规范GB 5！0016的》有关规定 —     美！国消防协会》标准压缩气》体及低？。温，流体规范NFP【A 55-201】6的：第6．4《条，(气体室)也做了相！关的规定上》述NFPA 55】-，20：16的相关内—容摘录如下 】  《。   6．4  气！体间因？为气体的特》殊供应？需要或材料》的其他？需要或第7》章至第16章涉及的！。特，别使用需要等—原因气体的》储存和用量超—过阈值(最》大允许量MAQ【)时气体间的使【用可以满《足这种？要求气体间的设【计应符合第6．4．！1条至第6》．4．5条的规定】 ？    — 6：。．4．1  压力】控，。制，气体间？与相关的周边区域相！比应是处《于负压运行》环境 【     6—．4．2  排风气！体，间将提供排风系【统 —     》6．4．3  【建筑工程气体间【的，建设将满足建筑规】范的要求 — ？     6．4．！。4  ？分隔气体间将采【与周：。边区域用《1h的防火》。隔离  ！   6．4．5】。  容量《的限制储《存和使用《压缩气体、相关设备！、供应部件的压缩气！体房间的功能将【受到限制 —。。 3．1．】6，  本条为强制【性条文？必须严格执》。行本条的《编制依据是美国【消，防协：会标准压缩气体及】低温流体规范—NFPA 55【-2016的第6．！5，条(独立式建—筑)的？相，关内容上述NFP】。。A 55-2—016的相关—。。内容摘？录如：。下 【    6．5 】 独立式《建，筑储存和使》用压：。缩气体包括独立式】大宗氢气压》缩气体系《统当数量超过表【。。6．5指定的数【量时应设计独立式建！筑建筑的建设应【。符合建筑《规范的相关规定【 》 表6？．5：  材料数》量超出了显示—量需设置独立式【。。建筑： 》 —  ： ，  NFPA 5】5-2？016规定是当气体！间超：过表3中规定值时】应设置独立的—气，体供应站《考虑目前电子工业】使用：特，种气体的具体情况本！条只规？定了自燃气体超过】57m3时应该设置！独立：的气体站表中不【稳定反应气体没有在！。电子行业中使—用氢气有专门—规范定义所以—本条未纳入这—两种气体自》燃性：气体的燃爆危险性】较其他特《种气体更《大把：超过一定数量的自】燃气：体布置在独立建筑】可，以减少事故》状，态下对主生产—厂房的影响这在【工厂设计中是—非常必要的也是行】业内的？通用：做法：  【。 ，  虽然本条—只对：自燃性气体设置独】。立的大宗气体站的】储量进行《了规定但是当—电子工厂的其—他特种气体》危险性较大》、，储存量较多、—且气体适《。。合较：远距离输送时—标准：仍然建议在工厂设置！。独立：的大宗特种气体站】 3【．1．7  低【蒸汽：压力特种《。。气体供应设施—宜靠近？工艺设？备是考虑这些气体的！蒸汽压力较》低从气瓶《柜到工艺设备—的输送距离》应尽可能短》 ？ ？3．1？．8  生产—厂房：内的特种气》。。体间集中布置在一楼！或其他？辅助楼层靠外—墙位置的主要理由】有，一是特种气体—的气瓶架、气瓶柜、！卧式气瓶的实瓶【。运进和空瓶运出方】便性；二是按照【现行国家标》准，建筑设计防火规范】GB ？5001《6的有关规》定易燃易爆特种气体！间在：建，筑，设，。计上应设《置防爆措施》特种气体间的—外墙：可以设计为泄爆面】；三是集中》布置便？。于进：行安全管理；四【是集中布置有利【于特种？。气体间的《空调：、排放、《排气、GMS、【GDS的《合理：设计 《