3  特种！气体站房 】 3【．1  一》般规定 ！ 3．1．—1  ？在电子？工厂设计中》当供应和《。储存特种气体量较】少时为减少气体管道！长度、保证气体质】量特种气《体站房一般布—置在生产厂房内一层！的特种气体间—。。当供应和储存特种气！体量较？多时为了安全—需要规定应将特种】气体站房布置在单独！的建(？构)筑物内》利用室外管道—输送特种《气体：至用气厂房 ！ 3．1》．2 ？。 布置在生产厂【房内的特种气体间】用量相对较小根据目！前我：国及欧美、》日本等世《界，发达国？家的特种气体供应情！。况自燃性、易燃性、！毒性、？腐蚀：性气体多采用气瓶】柜供应氧化性、【惰性：气体多采用气瓶【架，以及气体集装格等多！种形式供应 】 3．1．3 ！ 布置在单》独建：(构)筑物或区域】内的特种气体—站根据目前》我，国及欧美、日—本等世界发达国家的！特种：气体实际《供应情况《通常采用《气体集装格、卧式】。气瓶ISO标—准集装瓶组、—长管拖车等供—应，方式 》 3．1．4 ！ 本条规定了—生产区？特种气体设》备的布置原则与最大！允许使用储》存，量因为电子工—业厂房的生产区要使！用，大量的特种》气体这些特种气体】多具有自燃性—、易燃性、》剧，毒，性、毒性、》腐，蚀性、氧化性—。的危险？性质为此《规定特？种气体在设置—气瓶柜、排》风装置生《产区设置自动消防】喷淋系统《的情况下应按照【。表3．1．4—的，。数量布置《特种气体这些数据】是我：国半：导体行业多年—来运行经验的总结与！。电子工业《发达国家《的规定相近惰性【气体不在列表范【围不受上述文件【限制虽然本条—规定了特种气体在】生产区的布置要求但！是一般情况下—除非特种气体因为】性，质原因(如》低蒸汽压力气体)或！。工，艺有特殊《要求：标准仍然建议—将生产区的特种气体！数量(包《括惰性气体)—降至最小值尽—可能将特种气体放】置在特种气体间内】便于集中管》理控制这《符合行业惯例与【安，全要求 —     美】国消防协会标准压缩！气体及低温流体规】范N：FPA 55—-2016》第3．3条(一般】定义)第6．—2条(控制区—)第6．3条(用房！保护级别)和国际防！火规范IFC—-2018表270！4．2．2．1【(每个半导体生产区！危险材料的数量限制！)，也，做了相关的规定上述！NF：PA ？。55-20》16和IFC—-200《8的相？关内容摘录如下【 》     压缩气】体，及低温？流体规范NFPA】 55-20—16：  【   3．3  一！般定：义 ？ ？    《 3：．3．6．1  】控制区建筑》或建筑的一部分【。该区域内允许危险】性材料的储存、【输送、使用、或操作！危险性材料(HPM！)的数量不应该超过！最大量 《 ：     6】．2  控制区 】 ：     6】．2．？1 ： 建设需求控制【区是：按照表6．2．1】的要求？用防火隔离相互分】开的区域《 》。 表6．2．1  ！控制区的设计和【数量 ！     ！注释上述表中的【百分比是指表2【(6．3．1．【1)中的《。最大允许量》(MAQ《)及注释中允许增】加数量的比》例 —     6—．3  用房保护】级别 —     6．3！．1．2  超【。。过MAQ的数量当】室内相关控制区储存！和使用低温流体及压！缩气体的数》量超过表6．3．1！．2的数量》时，将按照第6章—的相关章节的要求执！行 表6！．，3．：。1．2  每个控】制区危险材料的最大！允许量(MAQ) ！。 ： — 》 ？     注释 】  —   ？(1)控制》区的定义和使—。用请见本规》。范第6．2节—    ！ (2)未摘录【 《。 ，     (3【。)使用？和储存的总量不【应，该超过储存》的量特殊存放总量】。不允许超过建—筑规范？的限制 》  》   a．气体【测量为标准状—态(20℃)和(】101．3k—Pa) —。   》  b．除非—储存和使用在气体房！间或：批准的气体》。柜或密？闭排风及规》范有说明上》述气体不允许—储存：。和使用？在非喷淋的建筑【。内 【 ，   c.固定或】移动式容器具—有压力释《放装置并《直接通往室外或排风！罩 》     d【。。．当材料酌情储存或！使，用在批？准的柜体气瓶柜密】闭，。排风：气体房时数量—可以增加100％注！释e.？也，使用时两个》注释的数量》可以叠？加增加 《  —。 ，  e．当整个【建筑按照N》FPA 13设置有！自动喷淋系统时【数量可以增》加100％注释d．！也使用时两》。个注释的数量可以叠！加增：加 —     》。f，．，移动设备《。或槽：车燃：料储罐内可燃—气体量可以》超过：MAQ储存和操作】的设备按照相关【规范 】    j．—仅仅允许放置—在按照NFP—A 1？3规范？。设计有自动喷淋【系统的建筑内 ！  《   k．仅仅允许！储存和使用》在，气，体房间或批》准的气？瓶柜或？密，闭，。排风规范有特别说明！的地方？ ？     国际！防火规？。范I：F，C-20《18 ？  —   表2》704．2．2【．，1每个半导体生产区！危险材料的数量限】制 ？     】注释 —     —a，．管道内的危险性】材料不包括在—计算数量内》 ，  —   ？b．  每个半导】体生产区的危—险材料的数量不应】超过表？5003《。．1．1(1)和】表5003．1【．1(2)》内每：个控制区的允—许数量？(编者？。注与NFPA 5】5-2？016表6》．3．1．1才【目同) 《    】 c．符合ISO8！11：5包装要求的—密集打包棉花不包括！在上表的《材料等级《内 《     d】．，可燃气体、自—燃气体、毒性气【体和剧毒性气体【的总量不应该—超过0．2f—t3／f《t2或90》00ft3》。(编：者注NF《PA 55-20】16上？述气体？总量为56＋—92＋1．1＋【2．8＝1》51．？9m3＝53—64f？t3小于I》。FC规定的900】0ft3的允许【量) 】    《e．在建筑》内自燃性气体的总量！不应该超过表500！3．8．2展示的】数据(编者注为20！00ft3即—。57m3与N—FPA 55-2】016表《6．5相同) 】   —  综上所述—电子工厂生》产厂：房的生产区内特【种气体的数》量限制采用》NFPA 55-2！016中每个控制区！危险材料的》最大允许量(MA】。Q)：是合适的 ！ ，3．1．5  本】条第1款《、第2款为》强制性条款》必须严格执行本条规！。定了特种气体间的】设计：应满足的要求特种】气体间应设》置排风系统房—间应：运行在？负压状态是为了及】时排除泄漏气体和】防止气体间泄漏【的气体进入》相，邻房间或通道杜绝】事故扩大；特种气】体间应采用防—。。火隔墙相互隔离是】为了防止特》种气：体间的火灾事故蔓】延至相邻房间 ！     同时！也规定了特种—气体间的设计应符合！现行国家标准建【筑设计防火规范G】B 50016的】有关规定 【   》 ， 美：国消防协会》标准压缩气体及低】温流体规范NFP】A 55《-2016的第【6．4条(气—体，室)也？做了：。。相关的规定上述N】FPA？ 55-2016】的相关？。内容摘录《如下 】    《6．4  气体【。间因为气体的—特，殊供应需要或材料】的其：他，需要或第7章—至第16章涉及的】特别使？用需要等《。原因气？体的储存和用—量超：过阈值(最大—允许量MAQ)时气！。体间：的使：用可以？满足这种要求气【体间：。的设计应符合第【6．4．1条至第6！．，4．5？。条的规？定 【   ？ 6．4．1  压！。力控制？气体：间与相关的周边区】域相比应是处—于负压运行环境 ！ ，   》。  ：6．4．2  排风！气体间将提供排【风系统 ！    6．—4，．，3 ： 建筑工《。程气：体间的建设》。。将满足建筑规范【的要求 》 《    6．4．4！ ， 分隔气体间将采】与周边区域用—1h的防火》隔离 》 ， ，   ？  ：6．4．5  容量！的限制储存和使用】压缩：。。气体、相关设—备、供？应部件的《压缩：气体房？间的功能将受到【限制： 3．1！．，6  本条为强制】性条文必须严格执行！本条的编制依据【是，美国消？防协会标准压缩气体！及低温？流体规范N》FP：A ：55-2016的第！6．5条(独立式建！筑)的相关内容【上述N？FPA 55-【2016《的相关内容》摘录如下 】  ？   6．5  独！立，式建筑储《存，。和，使用压缩气体包括】独立式大宗氢气【压缩气体系》统当数量《超过：表6．5指定的【数量时应设计独【立式：建筑建筑的建设【应符合建筑规范的】相关规定 — 表6．5】。  材料数量超【出了显？示量需设置独立式建！筑 《 》。。。     N！FPA 55-20！16规定是当气【体间超过表3中规】定值时应设置独【立的气体供应站考】虑目前电子工业使用！特种气体的具体情况！本条只规定了自燃气！体超过5《7m3时应该设【置独立的气体—站表中不稳定反应气！体没有在《电子：行业中使用氢气【。。有专门规《范定：义所以本条未纳【。入这两种气》。体自燃性气》体的燃爆危》。。险性较其他特种气体！更大把超过一定【数量的自燃气体布】。置在独立建筑可以减！。少事故状态下对主生！产厂房的影响这【在工厂设计中是【非常必要的》也是行业内》的通用做法 】     虽】然本：条只对自燃性气【体设置？独立的大宗气体站】的，储，量进行？。了，规定但是《当电子工厂》的其他特种气—体危险性较大、储】存量较？多、且气体适合较】远距离输《送时标准仍然—建议在？工，厂设置独立的大宗】特种气体站 】 3．1．7 ！ 低：蒸汽压力特》种气体供应设施【宜靠近工艺设备【是考虑这些气体的】蒸汽压力较》低从气瓶《。柜到工艺《设备的输《送距离应尽可—能短 ？ 《 3：．，1．：8  ？生产厂房《内的特种气体间【集中布置在一楼或其！他辅助楼层靠外墙】位置的？主要理？由有一是《。特种气体的气瓶【。架、气？。瓶柜：、卧式？。气瓶的实瓶运进和空！瓶运：出方便性；》二是按照现行国家】标，准建筑设《计防：火规范GB 50】016的有关—规，定易燃易爆特种气体！。间在建筑设计上应设！置防爆措《施特种气体间的外墙！可以设计为泄—爆面：；三是集《中布置便于进行安全！管理；四是集中【布，置有利于特种气体】间，的空调、排放、排】气、：GM：S、GDS的—合，理设计 《。 ，