3  特】种，。气，体站房 《 ！3．1 《 一：般，。规定 《 3．1！．1  在电子工】厂设：计中当供应和储【存特种气体量—较少时？为减少气体》管道：长度、保证气体【质量特种气》体站房一般布置【在生产厂房内一层的！特种气体间当供【应和储存《特种气体《量较多时为了安【全需要？规定应将特种气【体站房布置》在单独？的建(构)筑物内利！用室：外管道输送》特种气体至》用气：厂房 — 3．1．—2  布置在生产】厂，房内的特种气体间用！量相对较小根—。据目前？我国及欧美》。、日本等《世界发达国家的特】。种气体供应情况自燃！性、易？燃性：、毒：性、：腐蚀性气体多采【。用，气瓶柜？供应氧化性、—。惰，性，气体多采用》气瓶架以及气—体集装格等多—种形式供《应 【3．：1．3  布—置在单独建》(构)筑物或区域内！的特种气体站根【据目前我国及欧【美，、日本等世界发【达国家的特种气体实！际供应情况通常【采用气体集装—格、：卧式气瓶《ISO标准集装瓶组！、长管拖车等供应方！式 ？ 3．1．】4，。  本条规定了【生产区特种气体设备！的布置原则与最大】允许使用储》存，量因为？电子工业厂房的生产！区要使用大量的特】种气体这些特种气体！多具有自燃性、易】燃，性、剧毒《性、毒性、腐—。蚀性、？氧，化，性的危险《性质为此规定特种气！体在设置气瓶—柜、排风装》置，生产区设《置自动消防喷淋系】统的情？况下应按照》。表3：。．1：．4的数量布置【特种气体这些—数据是我国》半导体行业》多年来运行经—验的总结与电子【工业发达《国，家的规定《相近惰性气》体不在列表范围【不受上述文件限制】虽，然本条规定了特种气！体在生产区的布置】要求但？是一般情况下除非特！种，。气体因为性质原因】(如低蒸汽压力【气体)或工艺有特】殊要求标准仍然建】议将生产《区的特种气》体数量(包括—惰性气体《。)，降至最小值》尽可能？将特种气体放—置在特种气体间内】便于集中管理—。控制这符《合行业惯例与安全】。要求 ？  —   美国消—防协会标准压缩气体！。及低温流《体规范NFPA 】55-2016【第3．3条(一般定！义)第6．》。。2条(控制》区)第6．3条(用！房保：护，级别)和《国际防火规范IF】C-2018表【。。。27：04．2《。．2．1(每个半】导体：生，。产区危险《材料的数量限制)】也做了？相关的规《定上述NFPA 5！5-2016和【IFC？-，2008的相关内】容摘录如下 【 《    压》缩气体及低温流【体规范NFP—A 55-2016！。 ，。 ？   《  3．3 — ，一，般定义 —     3】。．3：．6．？1 ： 控制区建筑或建】筑的：一，部分该区域内允【许危险性材料—的储存、《输送、使用、—或操作危险性—材料(HPM—)的数量不应—该，超过最大量 】     6．！2  控制区— ， ：  《  ： 6．2《．1 ？ 建设需《求控制区是按照表6！．2．1的要求用】防火隔离相互分开】的区域 — ？表6．？2．1  控制【区的设计和数—量 》 】    《。注释上述表中的百分！比是指表2(6．3！．1．1)》中的最？大允许量(MAQ】。)，及注：释中允？许增加数量》的比例？ ，  —   6．3 【 用房保护》。级别 ？ ？     6【．3．1．2  】。超过MAQ的数量】当室内相关控制区储！存和使？用低：温，流体及？压，缩气体的数量超过表！6．3．1．2的数！。量时将按照第6【章的相关章节—的要求执行 】。 表6．—3．1．2》  每个控制区危险！材料的最大允—许，量(：。。MAQ？) 《 —。 》    【 注释 — ？ ， ，  (1)控—制区的定义和使用请！见，本规范第6．2节 ！ ，。    【 (2)未摘录【。 ？  《   (《3)使用和储—存的总量不》应该超过储存的量】特殊存放总量—不允许超过建筑规】范的限制《 《     a【．气体测量》为标准状态》(20℃)和(10！1．3kPa)【 》     b．除非！储存和使用》。在气体房间或批【准的气？体柜：或密闭排风及—规范有说明上述气】体不允许储存—和使用在非喷淋的建！筑内 】    c.固定或！移动式容器具有【压力释？放装置并直接通往室！外或排风罩 】  《  ： d．当材料酌【情储存或使用—在批准的柜体气瓶柜！密闭排风气体房时】数，量可：以增加100％注】释e.也使用时两个！注，释的数量可以叠加】增加 《  》 ，  e．当整个建筑！按照N？FPA 《13：设置有自《动喷淋系统时—数量可以增加100！％注释d．也—。使用时两个注释【的数量可以叠—加增加 ！    f》．移动设备或槽车燃！料储罐内可燃气【体，量，可以超过《MAQ储存和操作】的，设备按？照相：关，规范 —。   《  j．仅仅允许】放置在按照NFPA！ 13规《。范设计有自动喷【淋系统的《建，筑内 】    k．仅仅】允许储存和》使用在？气，体房间或《批准：的气瓶柜或》密闭排风规》范有特别说明的【地方 】   ？ 国际防火规范I】FC-201—8 ： ，     】。表27？04．2．》2．1？每个半导体生产区】危险材料的数量【限制：  【  ： 注释 ！    a．管【。道内：的危险性材料不包括！。在，计算数量内 】    —。 b：．  每个半导体】生产区的危险材料的！数量不应超过表50！03．1．1—(1)和表5—003．1．1【(2)内每》个控制？区的允？许，数量(编者注与N】FPA 55—-2016表6【．3．1．》。1才目？同)  ！   c．符合【。I，SO8？115包装》要求的密集打包棉花！不包括在《上表的材《料等级内 》 ？     d【．可燃气体、自【燃，。气体、毒性气体和剧！毒性：气体的总量不应该】。。超过0？．2ft3／ft】2或9000f【。t3：(编者注NFPA ！55-2《。0，1，6上：述气体总量为—56＋92＋1．1！＋2．8＝1—5，1，．9m3＝》5364ft3小】于IFC规定的9】00：。0ft3的》允，许，量) 《    【 e．在建》筑，内，自燃性气体的总量】不应该？超过表5003．】8．2展示》的数据(编者注为2！000ft3即57！。m3与NFPA 5！5-2016表6．！5相同) ！    《 ，综上所述电子工厂】生产厂？房的生？产区：内特种气体的—数量限制采用NF】P，。A 55-201】6中每？个控制？区危险材料的最大允！许量(MAQ)【。是合适的 】 3．1．5【  本条第1—款、第2款为—强制性条《款必须？严格：执行本条规定了特】种气体？间的设计应满足【的要求？。特种气体间应设置排！风系统房间应—运，行在：负压状态是为—了及时排除泄漏气体！和防止气《。体，间，泄漏的气体进入相】邻房间或通道杜绝】事故扩大；特种【气体间应采用防火隔！墙相互？隔，离是为？了防止特《。种气体间的火灾事故！蔓延至相邻房间 】     ！。同时也？规定：了特种？气体间的设》。计应符合现行国家】标准建筑设计防火规！范GB 50016！的有关规定》    ！ 美国消防》协会标准压缩气体】及低温流《体规范NFPA 】55-201—6的第6．4条【(气体？室)也做了》相关的规定上—述NFPA 55】-2016的—相关内容摘录如下 ！    】 6．4  气体间！因为气体《的特殊供应需要或材！料，的其他需要》或第7章至第16】章涉及的特别使【用需要等《原因：。气体的储存和—用量超过阈值(最】大允许量MAQ)时！气体间？的使用？可以满足《这种：要，求气：体间：的设计应符合第6．！4，．，1条至第6．4．5！条的：规定 【     6．【4．1  压—力控制？气，。体间与？相关的？周边区域《相比应？是，。处于负压运行—环境 ？ ，    【 6．4《．2：  排风气体间【将提供排风系统 】。  —   6《．4．3  建筑工！。程气体间《的建设将满足—建筑规范《的要求 —     6】．4．4  分【隔气：。体间将采与周边区域！用1h的防火隔离】 ，。。 ，。 ：   《  6．4》．5  容量的限制！储存：和使用压《缩气体、相》关设备、供应部【件，的压缩气《体房间的《功能将受到限制 】 《 ，3，。．1：．6  本条—为强制？性条文必须严—格执行？本条的编制依据是美！国消防协会标准【压缩气体及》低温流体规范—NFPA 55-2！016的第6．5条！(独立式建筑)【的相关内容》上述NFPA 55！-2016的相【关内容摘《录，如下 —     —6．5  独—立，式建筑储《存和使用压缩气【体包括独立》式大宗氢气压缩气】体系统当数量超过】表6．？5，指定的数《量时应设计独立式建！筑建筑的建设应【符合建筑规范的相】关规定 【 表6．5  】材料数量超出了显】示量需设《置独立式建筑— 《 — ：    NF—PA 55-201！6规定？是当气？体间超过《表3中规定值时【应设：置，独立的气体供应【站考虑目前电子工业！使用特种气体的【具体情况本条只规】定了自燃气》体超过57》m3时应该设置独立！的气体站表中不【稳定反应气体没有在！电子行业中使用【氢气有专门规范定】义所以本条》未纳入这两》种气体自燃性—。气体的燃爆危险【性，较，其他特种气体更大把！超过一定数量—。的自燃？气体布置在独立【建筑可以减少—。事故状？态下对主生产厂房的！影，响，这在工厂《设，计，中是非常必要—的，也是行？业内的通《用，做法  ！   ？虽然：本条只对自燃性气】体，设置独立《的大宗气体站的储】量进行了规定—但，是当电子工厂的【。其他特种气体危险性！较大、储存量—较，多、且？气体适合较远距离】输送时标准》仍，然建议在《工厂：。设置独立的大宗【特，种气体站 》 3．1】．7  低蒸—汽压力特种》气体供应设施—宜靠近工艺设备【是考虑这些气体的蒸！汽压力？较低：从气瓶柜到工—艺设备的输》送距：离应尽可能短 【 3—．1．8  生产】厂房内的特种气体间！集中布置在一楼或】其他辅助楼层靠外】。墙位置的主要理由】有一是特种气—体的气瓶架、气瓶柜！、卧：式气瓶的实》瓶运：进和空瓶运出方【便性：。。；二是按照现行国家！标准：建，筑，设，计防火规范GB【 50016的有关！规定易燃易》爆特种气体间在建筑！设计：上应设置防爆措施特！种气：体间的？外墙可以设计为【泄爆面？；，三是集中布置便于进！行安全管理》；，四是集中布置有【利，于特种气体间—的空调？。、排放、排气、GM！S、GDS》的合理设计 — ，