3  特】种气体站房 】 ： 3．1】 ， 一般规定》 ， 》 3．1．1【  在？电，子工厂？设计中当供应和【储，存特种气体量较【少时为减少气体【管道：长度、？保证气体质》。量特种气体站房一】般布：置在生产厂房内一层！的特种气体间当【供应和储存特种【气体：。量较多时为了—安全需？要规定应将》特种气体站房布置】在单独的建(构)筑！物内利用室》外管道输送特种【。气体至用气厂房 ！。 《3．1．2》  布置在》生产厂房内的特种】气体间？用量相对较》小根据目前我国及】欧美、日本等世界】发达国家的特种【气体供应情况自燃性！、，易燃：性，、毒性、腐蚀性【气体多采用气瓶柜供！应氧化性《。、惰：性气体多采用—气瓶架以及气体集】装格等多种》形，式供应 】 3．1．》3  布置》在单：独建：(构)筑物》或，区域内的特种气体】站根据目前我国及欧！。美、日本等世界发】达国家的特种—气体实际供应情【况通常采用气体【集装格、卧式气瓶I！S，O标准集装》瓶组、长管拖车【。等供应方式 】 3．1．4 ！ 本条？规定了生产区特种】气体设备《的，布置原则与最大【允许使用储存量因】为电子工《业厂房的生》产区要使用》大量的特《。种气体这些》特种气？体多具有自燃性【。、易燃？。性、剧？毒性、？毒性、腐蚀性—、氧化性的危险性质！为此规定特种气体在！。设置气？瓶柜、排《风装置生产区设置自！动消：防喷淋系统》的情况下应按照表3！．1．4的数量【布置特种气体这些】数据是我国半导体】行业多年来运—行经：验的总结与》电子工业发达—。国，家的规定《相近惰性气体—不在列表范围不【受上述？文件限制《虽然本条规》定了特种气体在【生，产区的布《。置要求但是一般情况！下除非特种气体【因为性质《原因(如《低蒸汽压力气—体)：或工艺有特殊要求标！准仍然？建议将生产区的【。特种气体数量(【包括惰性气体)降】至最小值尽可—能将特种气体放置在！特种气体间内—便于集中管理控【制这符合行》业惯：例与安全要求 ！ ， ，   ？  美？国消防协会标准压缩！气体及低温流体规范！NFPA 55【-2016第3．3！条(一般定义—)第6．2》条(控制区》)第6．3条—(用房？保护级别《)，和国际防火》规，范I：FC-2《0，18表2《70：4，．2．2．1(每】个半导体生产区危险！材料的数《量限制)也》做了相关的规定上述！NFPA 55【-2016和I【FC-200—。8的相关《内，容摘录？如下 】    压缩—气体及低《温流体规《范NFP《A 55-2016！ ： ？     3．3】  ：一般定义《 ？ ？    3》．3．6《．1  《控制区建《。筑，或建筑的《一部分该区域内允】。许危险性材》料的储？存、输送、》使用、？或操作危险性材【料，(HPM)的数量】不应该超过最大量】 》 ， ， ，  ：6．2  控制区 ！   【  6．2．1 】 建设需求控制区是！按，照，表6．2．1的要】求用防？火隔离相互》分开的区《。域 ： 《 表6？．2：．，1  控制区的设计！和数量？ — 《     注释】。。上述表中的百分比是！指，表2：(，6．3．《1．1)中的最大允！许量(MAQ)【及注释？中允：许增：加数：量的比例《  【   6．3— ， 用房保护级别 ！ ？。     6．【3．1．2  超过！MAQ的数量当室】内相关控制》。区储：存和使用低温流【体及压缩气体—的数量超过表6【．3．1．2—的数量时将按照【第6章的《相关章节的要—求执行 《 表6．】3．1．2 — 每个控制区危险材！料的最大允许量(】MAQ) ！。 ？ ？  】 ，  注释 】。 ：    (1)控】制区的定《义和使用请》见本规范第6．【2节 ？ ？   《 ， ，(2：)未摘？录，。 ？     (】3)：使，用和储存的》总量不应该超过【储存的量特殊—存放总量不允许【超过建筑规范—的，限制 【   ？。  ：a．气体测量为【标准状？。态(20℃)和【(101．3k【Pa) ！    b．除非储！存和使用在气体房】间，或批：准的气体柜或密闭】排风及？。规范：有说明？上述气体不允—许储存和《使用在非喷》淋的建筑内 —     ！c.固定或移动【式容器具《有，压力释放装置—并直接通往》。室外或排《风罩 《 ：  ？   d．当材【料酌情储《存或使？用，在批准的柜体—气瓶柜密闭排风【。气体房时数》量可以增加1—0，。0％注释《e.也使用时—。两个注？释，的数量可以叠—加增加 《 《     e．当整！个建筑按照NF【P，A 13设置—有，自动喷淋系》统时：数量：可以增加《1，00％注释d—．也使用时》两个注释《的数量可以叠—加增加 】    《 f．？。移动设备或槽车燃料！储罐内可燃》气体量可以超—过MAQ储》存和操作的设备按】照相关规范 】   》  j．仅仅允许】放置在？按照NFPA 【1，3规范？设计有自《动喷淋？。。系统：的建筑内 》 》    k．仅仅】允，许储存和使》用在气？体房间或《批准的气瓶柜—或密闭？。排风规范有特—别说明的地》方 【    国际防火】规范IFC》-2018 ！ ，     表2【704．2．2．】1每个半导体生产】区危险？材料的数量限制 】 ？ ，  ：  ： 注释 》 ，。    — a：．管道内《的危险性《材料不？包括：在计算数量内 】  》   b．  每】个半导？体，生，产区的危险材料的数！量不应超《过表5003．1】．1(1)和表5】003？．1．1(》2)内每个控制区的！允许数量(》编者注？与NF？PA 55-—2，0，16表6．3．1】．1才目同) 【 ：    — c．符合ISO8！115？包装要求的密集打】包棉花？不包括在上表—的材料等级内 【   【 ，。 d．可《燃气体、自》燃气体、毒性—气体和剧《毒性：气体的？总量不应该超—过0．2ft3【／ft2《或90？00ft《3(：编者注NFPA 】55-201—6上述气体》总量为56＋—92＋1．1—＋2．？8＝151．—9m：3＝：5364《ft3小于》IFC规定的—9000ft3的】允许量) ！     e．在建！筑内自？燃性气体的总量【不应该？超过表5003【．，8．2展示的数【据(编？。者注为？2000ft3即】57m3与NFPA！。 5：5-201》6表6．《5相同)《 ？     综】上所述电《。子工厂生产厂—房的：生产区内特种气【体的数量限制采用N！FPA？。 55-2016】中每个控制区危【险材料的最大允许量！(MAQ)是合适的！。 —3．1？．5 ？ 本：条第1款、第2款为！强，制性条款必》须严：格执行本条》规定了特种》气体间的设计—应，满足的要求特种【气体间应设置排【风系：统房间应《运行在负压状态【是为了及时排除泄】。漏气：体和防止气体间【泄漏的气《体进入相邻房间或】通道杜？绝，。事故扩？大；特种《气，体间应采用防火隔】墙相互隔离》是，为了防止《特种气体间的火【灾事：故蔓延至相邻房【间  】  ： 同时也规》定了：特种气体间的设【计应符合现》行国家标准建筑设】计防火规《。。范GB 50016！的有：。关规定 — ，     美国消！防协会标准压缩气】体及低温流体规【范NF？PA： 55-《。2，016的第6．4条！(气体室)也做【了，相，关的规定上述N【。FPA 《55-2016【。的相关内《容摘录如下》 》     》6．4？  气体间因为气】体的特殊供》应，需要或材料》的其他？需要：。。或，第7章？至第16章》涉及的特别使用【需要等原因气—体的储？存和用量超过阈【值(最大《。允许：量MAQ)时气体】。间的使用可以—满足这种《要求气体间》的设计应《符，合第6．《4．1条至第—6．4？．5条的规定 ！     【6．4．1》。  压力控》制气体间与相—。关的：周，边区域相比应—是，处于负压运行环【境，   】  6．4．—2  排风气体【间将提供排》风系统 ！    《6，。．4．3  —建筑工？程气：体间的建设将—满足建筑《规范的要求 【 ？     6．4．！4  分隔气—体间将采《与周边区域用1h的！防火隔离 —    【。 6．？4．5  容量的】限制储存《和，。使用压？缩气体、相》关设：备、供？应，。部件的压缩气体房间！的功能将受到限【制 3】．1．6  本【条为强制性条文必】须，。严格执行《本条：的编制？依据是美《国消：防协会标《准，压缩气体及低温流】体规范NFP—A ：55-20》16：的第：6，．5条(《独立式建筑)的【相关：内容上述NFPA ！5，5-2016的相】关内容摘《录如下 】     》6．5？。。  独立式建—筑储存和使》用压缩气体包括独立！式大宗氢气》压，缩气体系统当数【量超：过表6．5指定的】数，量时应设《计独立式建筑建【筑的建设应符合建筑！规范的相关》。。规，定 — 表：6．5  材料【数，量超出了显示量需设！置独立式建筑 】 》     ！NFPA 》55-2016规】定是当气体间超【过表3？中规定值时应—设置独立的气—体供应站考虑目【前电子工业使用特种！气体的？具体：情况本条只规定【了自燃气体超—过57m3时应该设！。置，独立的气体站表【。中不稳？。定反应气体没有在电！。子行业？中使用？氢，气有专门规范定【义所以？本，条未纳？入这两种气体—自燃性气体的燃爆】危，险性较其他特种【。气体更大把超过一定！。数量：。的自燃气体布置在】独立：建筑可以《减少事故状态下【对主生产厂房的【影响这在工》厂设计？中是：非常必要《的，也是行业内》的，通用做法 ！。     》虽然本条只对自燃】性气体设置》独立的大宗气体站的！储量：进行了规《定但是当电》子工厂的其》他特种？气体危险《性较大？、储存？量较多、且》。。气体适合较》远距离输送时标准仍！。然建议在工厂设置】独立的大宗特—种，。气体站 》 ， ？3．1．7  【。低蒸汽压力特种气体！供应设？施，宜靠近工艺设—备是：考虑这些气体—的蒸汽压力较低从】气瓶柜到工》艺设备的输送距离应！尽可能短《。 3【．1．8  生产】厂房内的《特种：气体间集中布置在一！楼或其他辅助楼层靠！外墙位？置的主？。要理：由，有一是特种气体的】气瓶：架、气瓶《柜、：卧式气？瓶的实瓶运进和空】瓶运出方便》性；：二是按？照现行国家》标准建筑《设计防？火规范GB —5，0，016的有关规定】易，燃易爆特种气—体间在建筑设—计上应设置》防，爆，措施特种气体间的外！墙可以？设计为泄爆面；三是！集，中布置便于进行安全！管，理；四是集中—布置有利于特种气】体间的空调、排放、！排气、GMS、【GDS的合理设计】 ：