， 3 》 ，特种气体《站房 】 《。3．1  一—般规：定 ： 》 ：3．：1．：1  在电子工厂设！计中当供应和—储存特种气体—量，较少时为减少气体管！道长：度、保证气体—。质，量，特种气体站房一般布！置在生产厂房内【一层的？特种气体间当—供应和储存特种气体！量较多时为了—安全：需要规？定应：将特种气体站—。。房布置在单》独的建(构)筑物】内利用室外管道输】送特种气体至用【气厂房 《 3．【1．2  布置【在生产厂房内—的特种气体》间用量相《对较小根据目前我】国及欧美、日—本，等世界？发达国家的特种气体！供应情况自》燃性、易《燃性、毒性、腐【蚀性气？体，多采用？。气瓶柜供应》氧，。化性、？惰性气体多采—用气瓶架以》。及，气体集装格等多种形！式供应 — ： 3．1．3  布！。置在单独建(构【)筑物？或区：域内的特种气体站】根据目前我国及欧】美、：日本等世界》发达国家的》特种气体《实际供应情况通常】采用气体集装格【、卧式气《瓶ISO标准—集装瓶组、长管【拖车等供应方—式 3】．1．4 》 本：条规定了生产区特种！气体设备的布—置原则与《最大允？许使用储存量—因为电子工业—。。厂房：的生产区要》使用大？量的特种《气体：这些特种《气体：多具：有自：燃性：、易：燃性、剧毒性、毒性！、腐蚀性、》氧化性的危险性质为！此规定特种气体在】设置气瓶《。柜、：排风装？置生产区设置自动消！。防喷淋系统的情况】下应按照《表3．？1．4的《数量布？置特种？气体这？些数据是我国—半导体？行业多年来运—行经验的总结—与电子工业发达国】家的规定相近惰【。性气体不在列表范围！不受：。上述文件限制—虽然：本条：规定了？特种气体《在生产区《的布置要求但—是一般情况》下除非特种气体【因为性质原因(如低！蒸汽压力气体)或】工艺有特殊要求标准！仍然建？议将生产《区的：。特种气体数量(包括！惰性气？体，)降至最小值尽可能！将特种气体放置在特！种气体间内便于集】中，管理控制这符合行】业惯例与安全—要求 】    美国—消防协会标》准，压缩气体及低温【流体规范NFPA】 55-2016】第，。3．3条(》。一般定义)第—6．2条(控制【区)第？6．3条(用房保护！级别)和国际—防火规范IFC-2！018表27—04．？2．2．1》(每个半导体—。生，产区危？险材料的数量限【制)也做了相关的】规定上述NF—PA 55-20】16和？。IFC-200【8，的相关？内容摘录如下— —    压缩气【体，及低温？流体规范NFPA ！5，5-2016 ！     3】．3 ？ 一般定义 】 ：    《 ，3．3．6．1  ！控，制区建？。筑或：建筑的一部分该【区域内？。允许危险性材料【的储存、《输送：、使用、《或操作危险性材料(！H，。PM)的数量不应】该超过最大量 ！     【6．2  控制区】 ： ，     【6，．2．1 》 建设需求》控制区是按照—表，6．2．1》的要求用防火隔离】相互分开的区—域 ：。 ： 表6．—2．1  控制【区的设计和数—量 ！。  》   注《。释上述表中的—百分比是指表2(】6．3？．1．1)中的最】大允许量(MAQ)！及注释中允许增加数！量的比例 ！     6．3 ！ 用房保护级别 ！ ？。    《 ，。6．：3．1．2  超过！MAQ的数量当【室内相关《控制区储存》和使用低温》流体及压缩气体【的数：量，超过：表，6，．3．？1．2的《数量时？将按照第6章的相关！章节的要求执行 ！ ： 表6《．3：．1．2《  每个控制区危】险材料的最大允许】量(MAQ)— — 【 ：    — 注释 】  ： ，  (1)控—。制区的定义》和使用请《见本规范第6—．，2节 》。     (】2)：未摘录 《   【 ， (3)使用和【储存的总量不应【该超过储存的—量特殊存《放总量不允》。许超过建《筑规范的限制 】     a！．气体测量为标准状！态(20℃》)和(1《0，。1．3kPa) 】    】 b．？除，非储存？和使用在气体房间】。或批准的《气，体柜或密闭排风及】。规范有说明上—述气体不允许储【存和使用《在非：喷淋的建筑》。。。内 【    c.固定或！移动式容器具有压】。力释放装置并直【。接通往室外或排风】罩  】   ？d．当材料酌—情，储存或使用在批准的！柜体气瓶柜密闭排风！气体房时数》。量可以增加1—0，0％注释e》.，。也使用时两个注释的！。数量：可以叠加增加—  【   e《．当整个建筑按照】NFP？A 13设置有自动！喷淋系统时数—量可以增《加100％注释d．！也使用时两》个注释？的数量？可，。以叠加增加 【  》。   f《．移动设备或槽车燃！料储罐内可燃气【体量可以超过M【AQ储存和操作的设！备按照相关规范 ！。 ，    — j．仅仅允许放】。。置在按照NFPA】 13规范设计有自！动，喷淋系统的建—筑内 — ：  ：  ：k．：仅仅允许储》存和使用在气体房】间或批准的气—瓶柜：或密：闭排风？规范有特别说—明，的地方 ！    国际—防火规范《IFC-2018 ！ ，  》   表2704．！2．2？．1每个半》导体生产区危—险材料的数量限制】 ？     【注释 — ，     a—．管道？。内的危险性》材，料不包括在计算【数量内 》    【 b． 《 每：个半导体生产区的】危险材料的数量不应！。。超过表5《003．1．—1(1)和》表500《3．1．1(2)内！每个控制区的—允，许数量(编者—注，与NFPA 5【5-20《16：表6：．，3．1．1》才目同)《    ！ c．符《合ISO8115】包装要求的密集【。打包棉花不包括在上！表的：材料等级内 】  《   d《．可燃气《体、自燃气体、毒】性气体和剧毒性气体！的总量不应该—超过0？．2ft3／—ft2或9000】ft3？。(编者注NFPA ！55-？2016上述气体总！量为56＋92【。＋1．1＋2．8＝！。15：1．：9，m3＝5364ft！3小于I《FC规？定，。的90？00f？。t3的？。允许量) 》 《     e—．在建筑内自燃性气！体的总量不》应该：超过表？5003．8—．2展示《的数据(《编者注为200【0ft？3即57m3与NF！P，A 55-》。2016表6．5相！同) 【     综上所】述电子工厂生产【。厂房的生产区—。内特种气体的数【量限制采《。。用NFPA —55-2016中】每个：控制区危险材料的最！大允许量(》MAQ)《是合：适的 《 3》．1．5  本【条第1款、第2款为！强制：性条款必须严格【执行本条规定—了特种？气体间的设计应满】足的要求特种气【体间应？设置排风系统—房间应运《行在：负压状态是为—。了及时排《除泄漏气体和—防止：气体间泄漏的—。气体进入相邻房间或！通道杜绝《事故扩大；特种气】体间应采《用防火隔《墙，相互隔离是为—了防止特种气体间】的，火灾事故《蔓，延至相邻房间 】   —  同时也规—。定了特？种气体间的设计应符！合现行国《。。家标准建筑设—计防火规范GB 】50：016？的有关规定 】   》  美国消防协会】。标准压缩气体及低】温流体规范NFP】A 5？5-2？016的第6．4】条(：气体室)也》做，了相关的规定上述】NFPA 》55-2016【的相关内容摘—录如下 ！    《6．4  气—体间：因，为气体的特殊供【应需要或材料的其】他需要或第》7章至第1》6章涉及的特—别使用需《要，等，原因气体的》储存和？用，量，超过阈值《(最大允许量—MAQ)时气体间的！使用可？以满足这种要—。求气体？间，的设计应符合第6】。．4．1《条，至第6．4．5条的！规定 》  《   6．4．【1  压《力，控制：气，体间与相关的周边区！域相：比，应是处于负压运【行环：境 《 ，   《  ：6，．4：．2  排风气体】间将提？供排风系统 ！  ？   6．4．3】  建筑工程气体】间的：建设将？满足建筑《规范的？要，求 ？    【 6．4《．4  《分隔气体间将—采，与周边区域用1h的！防火隔离《  【   6《．，4．5  容量的限！制储：存和：使用压缩《气体：、，相，关设备、供应部件的！压缩气体房间的功能！将受到限制 】 3．1．【6  本条为强【制性条文必》须严格执行本条【的编制依据是美国消！防，协会标准压》缩气体及低温流体】规范：NFPA 55【-2016的第【6．5条(独立式】建筑)的相关内【容上述NFPA 5！5-2？01：6的相关内容摘【录如下 】     6．5 ！ 独立式《建筑储存和使用压】缩气体？包括独立式大宗氢】气压缩气体系统【当数量超《过表6．5指—。定的数量《时应设计独》。立式：建筑建筑的》建设应符《合建：筑规范的相》关规定 ！表6．5  材料数！量超出了显示—量需设置独立—。式建筑 《 》 》     N—FPA？。 55-《201？6，规定是当气体间超过！表3中？规定值？时应设置独立的气体！供应站考《。虑目前？电子工业使用特种气！体的具体情况本【条只：规定：。了，自燃气？体，超过57m》3时：应该设置《独立的气体》站表中？不稳定反《应气体？。没，有在电子行业中使用！氢气有专门规范定义！所以：本条未纳入这两种】气，体自燃性《气体的燃《爆危：险性较其他特种【气体：更大把超过》一定数量的自—燃气体布置在独立建！筑可以减少》事故状态下对主生产！厂房：的影：响这在工厂设计中是！非，常必要？的也是？行业内的通用做法 ！ ： ，  ？。。   虽然本—条只对自燃性气体设！。置独立的大宗—气体站的储量—进行：了，。规定但是《当电子工厂的其【他特种气《体危险性较大、储】存量较？多、且气体适合较】。远距离？输送时标准仍然建】议在工厂设置独【立的大宗《特种气体站 — 3．【1．7 《 低：。蒸汽压力《特，种气体供应设施【宜靠近工艺设备【是考虑这些气体的蒸！汽压力较低从气【瓶，柜到工艺设》。备的输？送距离应尽可能【短 ： 3—．1．8  —生产厂房内的特种气！体间集？中布置在一楼或【其他辅助《楼层靠外《墙位置的《主要理由有一是【特，种气体的气瓶架、】气瓶柜、卧》式气瓶？的实瓶运进》和空瓶？运出方便《性；二是按照现行】国家标准《建筑设？计，防火规范GB— 50016的有关！规定：易燃易爆《特种气体间》在建筑设《。计上应设置防爆【措施特种气体—间的外墙可以设计为！泄爆面；三是集【。中，布置便于进行安【全管理；四是集【中布：置有利于特种气体】间，的空调、排放、排气！、G：。MS、GDS的合】理设计？ ：