3  特】种气：体站房 《。 ： ： 》3．1  一般规】定 — 3《．1．1  在电】子工厂设计中当供】应和储存特种气体】量较少时为减少气体！管道长？。度、保证气体质量】特种气体《站房一般布》置在生？产厂房内一层的特种！。气体间当供应和储存！特种气体量》较多时？为了：安全需要《规定应将特种气体】站房布置在单独的】。建(构)筑物—内利用室外管道输】送特种气《体至用气厂房 ！ 3．1—．2：  布置在生产厂房！内的特种气体间用】量，相对较小《根据目前《我国及欧《美、日本《等世：。界发达国《家的特种气体供应】。情况自燃性、易燃性！、毒性、《腐蚀性气体多采用】。气瓶柜供《应氧化性、惰性气】体多采用《气瓶架以及气体集】装格等？多种形式供应 ！ 3．1—。．3  布置在【单独建(构)筑【。物或区域内》的特种气体站根【。据目前？我国及欧美、日本等！世界：。发，。达国家？。的特种气体实际供应！情况通常采》用气体集装》格、卧式气瓶—ISO标准》集装瓶组、长管拖】车等供？应方式 《 3．1．！4  ？本条：规定了生产区—特种气？体设备的布》置原则与最》大允许使用储存量】因为电子工业厂房的！。生，。产区要使用大—量的特种气体—这些特？种气体多具有自燃性！、易燃性《、剧毒性、毒性、腐！。蚀性、氧化性的危险！性质为此规定特种】气体在设置气瓶柜】、排风？装置生产区设置自】动消防喷淋系统【的情况下《应按照表3．1．4！的数量布置特种气】体这：些数据是我国—半导体？行业多年来运行经】验的总结与电子【工业发？达国家的规定相【近惰性气体不—在列表？范，围不受上述文—件限制虽然本条规】定了特？种气体？在，生，产区的布置要求但】是一：般情况？下除：非，特种气体因为—性质：原因(如低》蒸汽压力气体)【或工艺？有特殊要求标—。。准仍然？建议将生产区的特】种气体数量(包括惰！性气体)降至—最小值尽可能—将特种气体放—置在：特种气体间内—便于：集中管？理控制？这符合行业惯例与安！全要求 【    》 美：国消防？协会：标准压缩气体—及低温流《体规范NFP—A，。 55-2》。016第3．3【条(一般定义)【第6．2条》(控制区《)第6．3条(用】。房保护？级别)和国际—防火规范IF—C-201》。8表2？704．2．2【．，1(每个半导体【生产区危险材—料的数量限制)也】做了相关的》规定上述N》FPA 55-2】016和IFC-2！008？的相关？内，容摘录如下 ！ ：    压》缩气体及低温流【体，规范NF《PA 55-20】16 ？ ？     3．3！  一般定义 ！     3．！。3．6．1  控】制区建筑或建筑的】一，部分该区域内允许危！险性材料的储—存、：输送：、使用、或》操作危险性材料(H！PM)的数》。量不应该超过最大】量 【    6．2 】 控制区 — 《    6．—。2．1？  建？设需求控《制区是按照》表6．2．》1的要求用》防火隔离相互—分开的区域》 ： 表6—．2．1  —。控制区的设计和数】量 ： 【   —。  注释上述—表中的百《分比是指表2(6】．3．？。1，．1)中的》最大允许量(MAQ！)及注释中允—许增加数《量的比例 】  ？   6．》3 ： 用房保护级别 ！   —  6．3．1．】2  超过》MAQ的数》量当室内相关—控制：区储：存和使用低温—流体及？压，缩气体的数量超过表！6．3．1》．2的数量时将按】照第6章的相关章节！的要求执行 【 表6．【3，．，1．2  每个【控制区危险材料的最！。大允许量(MAQ】) 【 ： ， 】     》注释 】 ，   (1)控制】区，的定义和使用—请见本规《范第6．2节 【 《     (2)未！摘录 【 ，。    (3)【使用和储《存的总量不应该超】过储存的量》特，殊，存放总量不》允许超过建筑规【。范的限制 ！     a—．气体测量为标【准状：态(20℃)和(】10：1．3kPa) ！    【。 b：．除非？储存和使用在气【体房间或批准的【气体柜或《密闭排风《及规范有《说明上述气体不允许！储存：和，使，用在非喷淋》的建筑内 【。     c.！固，定或移动式容器具有！压力释放装》置并：直接：通往室外或》排，风罩 — ，     》d．当材料酌情储存！或使用在《批，准的柜体气瓶柜密闭！排风气体房时数量】可，以增加100％注】释e.也使用—时两个注释的数量】可以叠加《增加 【  ：。   e．当整个建！筑按照？。N，FPA 13设置有！自动喷？淋系统时数量—可以增加《1，00％注释d—．也使用时两个【。注释的数量可以叠】加增加 —     【f．移动设》备或槽车燃》料，储罐内可燃气体【量可以超过》M，AQ储存和》。操作的？。设备按照《。相关：规范  ！   j．仅仅允许！放置在按照》N，FPA 13规范】设计有自动喷淋系统！的建筑内 —     】k，．仅仅允《许储：存和：使用在气体》。房间或批准的气【瓶柜或密闭排风规】范有特？别说明的地方 】     国！际防火规《范，。IFC？-20？。18 —     表2】704．《2．2？．1每个半导体【。生产区危险》材料的？数量限？制 》 ：。    注释— ，    】。 a．管道内的危】险性材？料，不包括在计算数量】内 》。 ，     b．【 ， 每个半导体生产区！的危：险材料的《数量不应超》过，表5003．1．】1(1)和》表，。50：0，3，．1．1(》2)内每《个控制？区的允许数量(【编者注与NFPA】 5：5-201》6表6．3》．1．1才目同【) —     c—。．符合I《SO8？115包装要求【的密：集打包棉《花不包括《在上表的材料—等级内 【     —d，．可燃气体、自【燃气体、毒性气体】。和剧毒性气体的总】量，不应该超过0．【2ft3／f—t2或9000f】t3(编者》注NFPA 55-！2016上述气【体总量为56＋92！＋1：．1＋2．8＝1】51．9m3＝【5，364ft3—小于IFC规定的】9000ft—3，的允许量《) ： 》   ？。 e．在建筑内自】。燃性气？体的总量不应—该超过表5》003．8》．2展？示的数据《(编者？注为2000—ft3即《57m3与N—FPA 55-20！。16表6．5相【同) 】    综上所述】电，子工厂生产厂—房的生？产区内特种》。气体的数量限制采】用NFP《A ：55-2016中】每个控制区危险【材，料的最大《允许量(MAQ【)是合适的》 ： 3．1【．5  本条第1】款、第？2款为强制性—条款必？须严：格执行本条规定了特！种气体？间的设计《应满足的《要求特种气体间应】设置：排风系？统房间应运》行在负压状态是【为了及时排除泄漏】气体和防止气体间】泄漏的？气体进入相》邻，房间或通道杜绝事】。故扩大；特》种气体间应采用防】火隔：墙相互隔离是为了】防止特？种气体间的火灾【事故蔓延至相邻【房，间   ！  同时也规—定，了，特种气体间的设计】应，符合现行国家标【准，建筑设计防》火规范GB —5，00：16的有关规定 】。 ，   — ， 美国消防协会【。标准压缩气体及低温！流体规？范，N，FPA？ 55-《2016的第6【．4：条(气体室》)也做了《相关的规定》上述NFPA 5】5，-2016的—相关：内容摘录《如下：。 ，   【  6．4》 ， 气体间因为气【体的特殊供应需【要或材料的其他需要！或第7章至第16章！涉及的特别》使，用需要等《原因气体的储—存和用量超》过阈值(最大允【许量MAQ)—时气体间的使用【可以满足这种要【求气体间的设计应】符合第6．4．【1条至第《6．4．5条的【规定 【。     6．4】．，1  压力控—。制气体间与相关的】周边区域相比应是处！于负压运行环—境 —     》6．4．2  排风！气体间将提》。供排风系统 ！   《  6．4．3 】 建筑工程》气体间？的建：设将满？足建筑规范的要求】 —    6．4【．4  分隔气体间！将采与周边区域用】1h的防火隔离 】 ， 《    6．4．】5  ？容量的限制储—存和使用压缩气【体、：相关设？备、供应部件的【压缩气体房间—的功能将受到限制 ！。 3．【。。1．6  本条为】强制性条文》必须严格执行本条的！编制依据是美—国消防协会标准压缩！气体及低温流体【规范NFPA 【55：-2016的第6．！5条：(独立？式，建筑)的《相关内容上述NF】PA 5《5，-2：016的相关内【容摘：录如下 【    》 6．5  独立】式建：筑储存和使用压缩气！体包：括独立？式大宗氢气压—缩气：体系统当数量超【过表6．5指定的数！量时应设计》独立式建筑建—筑的：建设应？符合建筑规范的相关！规，定 表】6．：5  材料数量超出！。了显示量《需设：置独立式建筑 ！。 ： 》     NF】PA 5《5-2？016规定》是当气体间超—过表：3中规定值》时应设？置独立的气》。体供：应站考虑目前电子工！业使用特《种气体的具体—。情况本条《只规定了《自燃气体超过57m！3时应该设置独【立的气体站表中【不稳定反应气体没有！。在电子行业中使用氢！气有：专门：。规范定义所以本条】未，纳入这？两种：气体自燃性气体的燃！爆，危险性较其他—特种气体更大—把超过一《定，数量的自燃气体布置！在独：立建：筑可以？减，少事故状态下对主】生产厂房的影响这】在工厂设计中是非常！必要的也是行业内】的通用做法 】     虽】然本：。条只对自燃性气体设！置独立的大宗气【体站的储量进行了规！定但是？当电子工厂》的其他特种》气体危险性较大、】储存量较多》。、且：气体适合较远—距离输？送时标准《。仍然：建，。议在工？厂设置独立的大【宗特：种气体站 ！ 3．1．》7 ： 低蒸汽压力—特种气？体供应设施宜—。靠，。近工艺设《备是考虑《这，些气体的蒸汽—压，力较低？从气瓶柜到》工艺设备的输送距离！应尽可能短 【。 ， 3．》1．8  》生产厂房内的特种气！体间集中布置在一楼！或其他辅助楼—层靠外墙位置的主要！理由有一是特—种气体的气瓶架、】气瓶柜、卧式—气瓶的实瓶运进和】空瓶运出方便性【；二是按《照，。。现行国家《标准建筑设》计防：火规范GB 500！16的有关规定易】燃易爆特种》气体间在建筑—设计上应设》置防爆措施特—种气体间的外墙可】以设计为《泄爆面；三是集【中布：置便于进行安—全管理；四是集【中，布置有？利于：特种气体间的—空调、排放、—排气、G《MS、GD》S的：合理设计 —