3  特】种气体站《。房 — ， ： 3．1 — 一般？。规定 【。 3．1—．1：  在电子工厂设计！中当供应《和储存特《种，气体量？较少：。。时为减少气》体管道？长度、保证气体【质量特种气体站房】一般：布置在生产厂—房内一？层的特？种气体间《当供应和储存特种气！体量较多《。时为了安《全，需要规定应将特种】气，体站房布置在单【独的建(构)筑物内！利用室外管道输【送特种？气体至用气厂房 ！ 3》．1．2  布【置在生产厂房—内的：。特种气体《。间用量相对较小【根据目前我国—及欧：。美、日本等世界发】。达国：。家的特？种气体供应情况自】燃性、易燃性、毒性！、腐蚀性气体—多采用？气瓶柜供应氧化性、！惰性气体多采—用气瓶架以及气体】集装格等多》种形式供应 — 3．1】．3  布置在单】独建(构)》筑物或？区域内的《特种气体《站根据目前》我国及欧美、—日，本等世界发达国家的！特种气体实际—供，应情况通常》采，用，气体集？装格、卧式》气瓶ISO标准【集装瓶组、长—管拖车等《供，应方式 《 3．1】．4  本条规定】了生产区特种气体】设备的布置原则与】。。。。最大允许使用储存量！因为电子工业厂房的！。生产区要使用—大量：的特种气体这—些特种气《体多具有《自燃：性、易燃性、剧毒】性、毒性《、腐：蚀性、氧化性的危险！性质：为此规定《特，种气：体在设置气瓶柜【、排风装《。置生产？区设置自动消防喷】淋，系，统的情况《下应按照《表3．1．4的数量！布置特种气体这【些数据是我》国半导体行》业多年来《运行经验《的总结与电子—工，。业发达国家的规【定，相近惰性气体不在列！表范围不受上述文件！限制虽然《本条规定了特种气体！在，生产区的布》置要求但是一般情】况下除非特种气体因！为性质原因(如低】蒸汽压力气》体)或工艺》有特殊？要求标准仍然—建议将生产区—的特：种气体数量》。(包括惰性气—体，)降至最小值尽【可能将特种气体放】置，在特种气体间内【便于集中管理—控制这符合行—业惯例与安全要求 ！  —   美《国消防协会标准压缩！气体及低温流—体规范NFPA【 5：5-2016第【。3．3？条(一般定义)【。第，6，．2：条(控？制区：)第6．3条—(用房保护级别)和！国际防？火规范？IFC-2018】表2704．2．2！．，1(每个半导体生】产区危险材料—的数量限《制)也做了相关的】规定上述NFPA ！55：-2016和IF】C，-2008的相关】内容：摘录：如下  ！   ？压缩气体及低温流体！规范：NFPA 55【-20？16 —    》 3：．3  一》般定义 》     】3．3．《6．1  控制区建！筑或建筑《的一部分该区—域内允许《危险性材料的储存】、输：送、：。使用、或操作—危险性？材，。料(H？PM)的《数量不应该超过【最大量 【    》 6．2 》 ，控制区 】     6．2．！1  ？建设需求控制区是按！照表：6．2．《1，。的要求用防火隔【离相：互分开的区域— —表6：．2．1  控【。制区的设计和数量 ！ 《 —   ？  ：注释上述表》。中的：百分：比是指表2(6．3！．1．1)中的最】大，允许量(《MAQ)及注释中允！许增加数量的比例】   】  6．3  【用房保护级别 ！ ？。    6》．3．1．2—  超过M》AQ的？。数量当室内相关【控制：区储存和使》用低温流体及压【缩气体的数量超过表！6．3．1．2【的数量时将按照第】6章的？相关：章节的要《求执行？ ， ： ： 表6．3．—1．2  每个控】制区危险材料的【。。最大允许《量(：MAQ) 【 ， 】 《     注释 ！  —   (1)控制】区的定义和使—用请见本《规范第？6．2节 ！   ？  ：(2)未摘》录 ？  》   (《3)：使用：。和储存的总量不应】该，超过储存《的量特殊存》放总量不允许—超过建筑规》范的限制 —    【 a：．气体测量为标准】状态(20》℃)和(1》01．3kPa) ！    】 b．除非储存和使！用，在气体房间或—批准的？。。气体柜或密闭排风及！规范有说明上—述气体不允许储【存，和使用在《非喷淋的建筑内 】。  —   ？c.：固定或？移动式容器具有压】力释放装置并直【接通往室《外或排？风罩 —     —d．：当材料酌情储存【或使用在《。批，准的柜体《气瓶柜密闭排—风气体房时数量可】以增加？100？％注释？e.也使用时—两个：注释的数量可以叠】。加增：加 ：。 ， ？   ？。  e．当整个建】筑按照NF》PA 13设置有自！动喷淋系《统时数量可以增加1！00％注释》d．也使用时两【个注释的数量可【以叠加增《加 》  ？   f《．移动？设备或槽车》燃料储罐内》。可燃气体量可以超】过M：A，Q储：。存和操作《的设备按照相—。关，规范 《 ：     —j．仅仅允》许放置？在，按照：NF：PA： 13规范设计有自！动喷淋系统的建筑内！。 —    《k，。．仅仅允许储—存和使用在气体房间！或批准的气瓶柜或】密闭排？风规范有特别说【明的地方《 》     国—际防：火规：范IFC-2018！ ：。。 《    表270】4．2．2．1每个！半导体？生产区危险》材料的？数，量限：制， ？。 ： ，    注释— —    a．管道内！的，危险性材料不包括】在计算数量内 ！ ：    《 b．  》每个半导体生产【区的危险材料的【数量不应《超过表5003．1！．1(1)和—表5003．1．1！(2)？内，每个：控制区的允许数量(！编，者，注与NF《。。PA ？55-2016表6！．3．1．1才目】同)  ！   ？c．符合ISO【8115包》装要：求的密集《打包：棉花不包括在上表的！材料等级内 ！ ： ，。   ？d．可燃气体、自】燃气体、毒性—气体和剧毒性气体的！。总量：不应该超过0．2f！t3／ft》2或9000—f，t3(编者注NFP！。A， ，。55-2016上述！气，体总量为5》6＋92＋1．1】＋2．8＝15【1．9m3＝536！。4f：。t3小于IFC【规定：的9000》ft3的允许量) ！  —   e．在建【。。筑内自燃性气体的总！量，不应该超过表—50：03．8．》2展示的数》。据(编者注为20】00ft《3即5？7m：3与NFPA 5】5-20《16表6．5相【同) ？。 ？  ？   综上所述【电子工？厂生产？厂房的？生，产区：内特种气体的—数量限制采》用N：FPA 55-【2016中每—。个控制区危险材料】的最大允许量(M】。AQ)是合适的 】。 3．1．！5  本《条第1款、第2款】为强制性《条款必须严》格执行本条》。规定了？特种气体间》的设计应满足的要】求特种？气体间应设置—排风系统房间应运行！在负压状态是为了】及时排除《泄漏气体和》防止气？。体间泄漏的气体【进入相邻房间或【通道杜绝事故—扩大；特种气体间应！采用防火《隔墙相互隔离—是为了防止特种气体！间的火？灾事：故，蔓延至？相邻房间 》 ？     同【时也规定了》特种气体间的设【计应符合《现行国家标准—建筑设计防》火规范GB 50】0，16的有关规定【 ？     美国！消防协会标准—压缩气？体及：低温流体规范NFP！A ：55-2016的】第6：．4条(《气体室)《也做了相关的规定】上述N？F，PA ？。55-2016的相！关，内容摘录《如下： ？     6】。。．4  《气体间因为气—。体，的特殊供《应需要或材料的【其他需要或第7章至！第16章涉》及的特别使用需要】等原因气体的储存和！用量超过《阈值(最大允许【量MA？。Q)时？。。气体间？的使用可以满足这种！要求气体间的设计应！。符合第6．》4．1条《至第6．《4．5条《的规定 《  —   ？6．4．《1  压力控制气体！间与相关《的周边区《域相比应是处于负压！运行环境 —     6！．4．2  —排风气体间将提供排！风，系统 《 《    《6．4．3  建筑！工程气体间的建设将！满足建筑《规范的要求 【  》   6．4．【4  分隔气体间】将采与周边区域用】1h的防《火隔：离   ！  6．4．5  ！。容量的限制储存和使！用压缩气体、相关设！备、：供应部件的压—缩气体房间的—。。功能将受到》。限制 3！．1．6 》 本条为强制性条文！必须严格执行本条】的编制依据是—美，国消防协会标准【压，缩气体及低温流体】规范NFPA 55！-201《6的第6《。．5条(独》立式建筑)的相关内！容上述NFPA【 55-2016的！相关内容摘录如【下 【    6》。．5  独立—式建筑储《存和使用压》缩气体包括独立式】大宗氢气压缩—。气体系统《当数：量超过表6》．5指？定的数？量时应设计独立式建！筑建筑的建设应符】。合建筑规范的相关】规定 【 表6．5  【。材料数量超出了【。显示：量需设？。置独立式《建筑 — 】   ？ N：FPA 55-20！16规定是当气【体间超？过表3？中规定值时应设置独！。立的：气，体供应站《考虑目前电子工业使！。用，特种气？体的具体情况本条】只规定？了自燃气体超—。过57m3》时，应该设置独》立，的气体站表中不稳定！反，应气体没有在—。电子行业中》使用氢气有专门【规范定？义所以？本，条未：纳入这两种气体【自燃性气体的—燃爆：危险性？较其他特种气体【更大把超过一定数量！。的自燃气体布置在独！立建筑可以减少事】故状态下对主生产】厂房的影响这在【工厂设？计中是非常必要【的也是行业内的通用！做法 》     【虽然本条《只对自燃性气体设置！独立的大《宗气体？。站的储量进行了【规定但是当电子工】厂，的其他特种气体危险！性较大、储》存量较多、且—气体：适合较远《距离：输送时标准仍然建】议在工厂设置独【立的大？宗特种气体站 【 ： 3．》1，．7  低》蒸汽压力特》种气体供应设—。施宜靠近工艺—设备是？考虑这些气体—的蒸汽？压力较低从气—瓶柜到工《艺设备的输送距【离应尽可能》短 【3．1？．8 ？ 生产厂房内的特种！气体间集中布置【在，。一楼或其他辅助楼】。层靠外？墙，位置的？主要理由有一是特】种气体的《气瓶架、气》瓶柜、卧式气瓶的实！。。瓶运进和空瓶运出方！便性；二是按—。照现行国家标—准建筑设计防火规】范GB 《50016的有【关规定？易燃易爆《特种气？体，间在建筑设计上【应设置？防，爆措施特种气体间的！外墙可以设计—为泄爆面；三是【集中布置便于进行安！全管理；四》是集中布置有利【于特种气体》间的空调、排—放、：排气、GMS、【。G，DS的合《理设：计 ： ，