？ 3  特种气体站！房 — 3．1】  ：一，般规定 — 3．1．！1  在电子—工厂设计中》当供应和储存特种】气体量较少时—为减少气体管道长度！、，保证气体质》量特种气体站房一般！布置在生产》厂房内一《层的特种《气体间当《供应和储存特种气】体量较多时》为了安？全需要规定应将特种！气体站房布》置在单独的建(构】)筑物内利用室外管！。道输送特种气—体至用气厂房 【 》3，．1．2  布置】在生产？厂房内的特》种气体间用量相对较！小根据目前我国【及，欧美、日本等世界】发达国家的》特种气体供应情况自！燃性、易燃》性、毒？性、腐蚀性气—体多采用气》。瓶柜供应氧》化性、惰性气—体多采用气》瓶架：以及气体集装格等】多种形式供应 】 3》．，1．3 《 布置在单独建【(构)筑物》或区域内的特—种气体？站根据？目前：我国及欧美》、日：本等世界发达国家】。的特种气体实—际供应情况通常【采用气体集装—格、卧式气瓶—ISO标准集—装瓶：组、长管《拖车等供应方—式 3．！1．4 《 本条？规定：了生产区特种—气体设？备的布置《原则：与最：大允许使《用储存量《因为电子工业厂房的！生产区要使用大【量的特种气体—这些特种气体多【具有自燃性、易燃性！、剧毒性、毒性【、腐蚀？。性、氧化性的危险】性质为此《规定：特种气体《在设：置气瓶柜《、排风装置生—产区设置自动消防喷！淋系：统的情况下应按照表！。3．1．4的数量布！置特种气体这些数据！是我国半《导体：行业多年来》运行经验的总结【。与电子工业》发达国家的规定相】近惰性？气体不在列表范围】不，受上述文件限制虽然！。本条规定了特种气】体在生产区的布置】要求但？。。是一般情况下—除非特种气体因为】性质：原因：(如低蒸汽压—力，气体)或工艺—有特殊要求标准仍然！建，议将生产区的特【。种气体数《量，(包括？惰性：气体)降至》最小值尽《可能将特种》气体放置《。在特种气体间内便于！集中管理控制这符合！行业：惯例与安全》要求 【     美国消防！协会标？准压：缩气体及《低温流体《规范NFP》A ：55-2016第】3．：3条：(一：般定义)第6．【2条(控制区)【第6．3条(用房】。保护级别)和国际防！火规范IFC-【2018表2704！．2．2．1(每】个半导体生产区危】险材料的数量限制】)也做了相关的【规定上述NFP【A 55-20【16和IF》C-2？008？的相关内容摘录如】下   ！。  压缩气体及【低温流体规》范NFPA 5【5-201》6 —     3．3】  一？般定义 》   — ， 3．3．6．【1  控制》区建筑或建筑的一部！。。分该区域内允许【危险性材料的储【存、输送、使用【、或操作《危，险性：材料(HPM)的数！量不应该《超过最大量 —    】 6：．2  控》制区 》     6】．，2．：1  建《设需求控制区是按照！表，6．2．《1的要求用防—。火隔：离，相互：分开的区域》 ， ： 表6．—。2．1？  控制区的设【计和数量 — 【     【注释上述表》中的百分比是—指表2(《6．3．1．1【)中的最大允许量】(MAQ)及注释】中，。允许增加数量—的比例 《 ：     6】．3  用房—保护级别 》     ！6．3？．1．2 》 超过MAQ的【数量当室内》相关控制《区储存和使用低【温流体及《压缩气体的数—量超：过表6．3．—。1．2的数量时【将按照第6章的【相关章节的》要求执行《 《 表6．3．1】．2  每个控制】区，危险材料的》最大允许量(—。M，AQ)？ — 《  ！   注释》  【   (1)控制区！的定义和使用—请见本规《范第6．2节—  【   (2)未【摘录 【。 ，  ：  (3)使用和储！。。存，的，总量不应该超过【。储存的？量特殊存《放总：量不允许超过建筑规！范的限制《    ！ a．气体》。测量：为标：准状态(《20℃？)和(101．3】kPa) ！     b．【除非储存和使用在气！体房间或批准的气】体柜或？。密闭排风及规—。。范有说明上述气体】不允许储存和使【用在非？喷淋的建筑内 【 》 ，   c《.固定或移动—式容器具有压力释】。放装置并直》接通往室外》或，排风罩 》 ？     d．【当材料酌《情储存或使用—在批准的柜体气瓶柜！密闭排风气体—房时数量《可以增加1》00％？注释e.也使—用时：两个注？释的：数，量，可以叠加增加 】 ， ，。  ？   e．当—整个建筑按》照NFPA》 13设置有—自动喷淋《系统时？数量可以增》加100％注—释d．也《使用时两《个注释的数量可【以叠：加增加 【 ：    f．—移，动设备或槽车燃料】储罐内？可燃气体量可以【超过M？AQ储存和》操作的？设备按？照相关规范 【  》 ，  j．仅仅允许放！置在按？照NFP《A 13规范设计有！自动喷淋系统的建筑！内 《   》  k．仅仅允【许储存和使用在气体！房间或批准的气瓶】柜，或密闭排风规范【有特：别说明的地》方，   】。  国际防火规范I！FC-2018 】     ！表2704》。．2．2．》。。1每个半导体生【产区危险《材料的数量限—制  】  ： ，注释 】 ，  ： a．管《道，内，的危险性《材料不包《括在计？算数量内 【。 ：     b．【  每个半导体生产！。。区的：危险：材料的数量不应【超过：表500《3．1．1(1)】和表500》3．1．1》(2)内每个控制区！的允许数量(编者】注与NF《PA 55-20】1，。6表6．3．1．】1才目同) ！     —c．符合IS—O8：115包装要—求的密集打包棉花不！。包括在上表的材料等！级内 —     —d．可燃《气体、自燃》气，体、毒性气》体和剧毒性气体【的总量不应该超【。。过0．2ft—3／：ft2或《。。9000ft—。3(编者注》NFPA 5—5-201》6上述？气体总量为5—6＋92＋》1．1？＋2．？8＝151．9m】。3＝5364—f，t3小于IF—C规定？的，9，00：。0ft3的允—。许量：) 《     e．！在，。建筑内自《燃性气体的总量不】应该超过《表5003．8．】2展示的《数据(编者注为2】000ft3—。即5：。7m：3与NF《PA 55》。。。-2：016？表6．5相》同，) —    《 综上所述电—子工厂生产》。厂，。房的生？产区内特种》气体的数量限制【采，用NFPA 5【5-2？01：6中：每个控制区危险【材料的最大允许量(！MAQ)《是合适的《 ， 3．1．！。5  本《条第1？款、第2款为强制】性条款必须严—格执行本条规定【。了特种气体间—。。的，设计应满《。足的要求《特种气体间应设置排！风系：统房间应运行在负】压状态是为了及【时排除？泄漏气体和防止气】体间：泄漏的气《体进入相《邻房间或通道杜绝】事故扩大；》特，种气：体间应采用防火【隔墙相？。互隔离是为了防【止特种气体间的火灾！事故蔓延《至，相邻房间 》     ！同时也？规定了特种气体【间的设？计应符合《。现行国家标准建【筑设计防火》规范GB 50【。01：6的有？关规定 】  ：   美《。国消防协会标准【。压缩：气体及低温流体【规范NFP》。A 55《-2：016的第》6．4条《(气：体室：)也做了相关的规定！上述N？F，。PA 55-20】16的相关内容摘】。录如下 ！ ，   6《．4  气体间因为！气体的特殊供应需】要或材料《的其他需要或第7章！至第16章涉—及的特别使用需要】等原因？气体的储存和用【量超过阈《值(最大《允许量MAQ)时】。。气体间的使用可以】满，足这种要《求气体间的设计应符！合第6．4．1条至！第6．4．5条的】规定 《     】6．4．1  压力！控制气体间与相【关的周边《区域相比应》是处于负《压运行环境 】 ：    《 6．4．2  排！风气：体间将提供》排风系统 ！  ： ，  6．《4．：3  建筑工—程气体？间的建设将》满足建筑规范的要求！  【   6．4．4 ！ 分隔气体间将采】与周边区《域用1h的防火隔离！ ： ？     6．4．！5  容《量的限制储存和使用！。。压缩气体、相—关设备、供》应部件的压缩气体房！间，。的功能？将受：到限制 ！。3．：1．6  》本条：为强：。制性条文必须严【格执行本条的—编制依据是美—国，消防协？会标准压缩气—体及：低温流体规》。。范NFPA 55-！2016的第6．5！条(独立式建—筑，)的相关内》容上述？。NFPA 55-2！0，16的相关》内容摘？录如下 【 ：   ？ 6：．5：。  独立式建—筑储存和使用压缩】气体包括《独立式大《宗氢气压缩》气体：系统当数量超过表】6．5指定》的数量时应设—计独：立式建？筑建筑的建设—应符合建《筑规范的相关规【。定 》 表6．5  材！料数：。量超出了显示量【。需设置独《立式建筑 【 ： 》。     N【FPA 55-【。2016《规定是？当气体间超过表3】。中规定值时》应设置独立的—气体供应站考虑【目前电子工》业使用特种》气体的？具体情况本条只【规定了自燃气体【超过57m3—时应该设置独立的】气，体站表中不稳—定反应？气体没有在电子【行业中使用氢气【有专：门，规范：。定义：所以本条未》。纳，入，这，两种气体自燃性气】体的燃爆危》险性较其他》特，种气体更《大把：超过一定数量的自】燃气体布《置在独立建筑—可以减少事故状态下！对，主生产？厂房的影响这在工厂！设计中？是非常必要的也是】行业：内的通用做法 ！  《   虽然》本条只对自燃—性气体设置独—立，的大宗？气体站的储量进行了！规定但是《当电子工厂的其他】特，种气：体危险性较大—、储存量《较多、且气》体适合较《远距离输送》时标准？仍然建议在工—厂设置独立的大宗】特种：气体站 》 ， 3．1—．7：  ：低蒸汽压力特种【气体供应设施宜靠】近工艺设备》是考虑这些气体的】蒸，汽压力较低从气瓶柜！到工：。艺设备的输》送距离应尽》可能短 》 3》．1．8 》 生产厂房内的【特种：气体间集中》布置在一楼或—其他辅助楼》。层靠外墙位》置的主要理由有【一，是特种气《体的气瓶架、—气瓶柜、卧式气【瓶的实瓶运》进和空瓶运出—。方便性；二是按照现！行国家标《准建：筑设计防火规范GB！ 50？016？的有关规《定易燃易爆》特种气？体间在建筑》设计上应设置防【爆措：。施特种气体间—的外墙可以设计为】泄爆面；三是集中布！置便于进行安全管理！。；四是集中布置有】利于特种气体间的空！调、排放、排—气、GMS、G【DS的合理设计 】 ，