《3  特种气体【站房 《 》 ： 3：．，1 ： 一般规定》 ？ ： 3《．1．1 》 在：电子工厂设计—中当：供应和储存》特，种气体量较少时【为减少气体管道长度！、保证气《体质量特种气—体站房一般布置在生！产，厂房内一层的特种】气体：间当供应和储存特种！气体量较多时—为了安全需要—规，定应将特种气体站】房，布置在？单独：。的建(构)筑物内】利用室外管道—输送特种《气体至？用气厂房 ！ 3．1．2—  布置在生—产厂：房内的特种》气体间用《量相：。对较小根据目前【我国：及欧：。美、日本《等世界发达国家的特！种气体供《应情况？自燃性、易燃性、】毒性、腐蚀性气体】多采用？气瓶柜供应氧—。化性、？惰性气体多》采用气瓶架》以及气？体集装格等》。。多种：形，式供应 【 3．1》。．3  布置在单】独建(构)筑物【或区域？内的特种气体站【根据目？前我国？及欧美、日本—等世界发达》国，家的：特种气？体实际供《应，情况通？常采：用气体集装格、卧式！气瓶ISO标准集装！瓶组：、长管拖车等供应方！式 ： 3．【1．4？  本条规定—了，生，产区特种气体设备的！。布置原？则，与最大允许使用【储存量因为》电子工业《厂房的生产区—要使用大量的特种气！体这些特种气—体，多，具有自燃性》、易燃性、》剧毒性、毒》性、腐蚀性、—。氧化性的危险性质】为，此，。规，定，特种气体在设置【气，瓶柜、？排风装置生产区设置！自动消防喷淋系统】的情：况下：应按照表《3，．，1．4的数》量布置？特种：气体这？些数据是《我国半导《体行业多年来运【行经验的总结与电子！工业发达国家的规】定，相近惰性气体不【在，列表范围不受上【述文件？限制虽然本条—规定了特《种气体在生产—区的布置要求—但是一般情》况下除非《特种气体因为性质原！因，(如低蒸汽压力气】体)或工艺有特殊要！求标准仍然》建议将生产区的特种！气体数？量(包括惰》性气体)降》至最小？值尽可能将特—种，气体放置在特种气体！间内便于集中管理控！。制，这符：合行业？惯例与安全要—求 《  《 ，  ：美国消防协会标准压！缩气体？及低温流体规—范NFP《。A ：55-2《016第3．—3条(一般定—义)第6．2条(控！制区)第6．—3条：(用房保《护级别)和》国际：防火规范IFC【-2018》。表，270？4．2．《2．1(每》个半导体生》产，区危险材料的数量】限制)？也做了相关》的，规定：。。。上述NFPA 5】5-2016和I】FC-2008的】相关内容摘》录如下 ！    压》缩气体？及低：温，流体规范NF—。PA： 55？-2016 【  》   3．3—。  一般定义—。 《 ：    3．3．】6．1  控制【区建筑或《建筑的一部分该区】域内允许《危险性材料的—储存、输送、使【用、或操作危险【性材料？(HPM《)的数量不》应该超过最大量 】  —   ？6．2  》控制区 【     6【．2．1  建【。设需求控制区—是按照表6．2．1！的要：求用防火隔离相【互分开的《区域 ？ 表6．】。2．1  控制【区的设计和数量 】 ， 》     ！注释上述表中—的百分比是指表2】(6．3．1．1)！中，的最大？允许量(MAQ【)及注释中》允许增加数量的比例！ —    《6．3  用房保】护级：别 》  ？   6．3．【1．2？  超过MAQ的数！量当室内相关控制区！储存：和使用低温流体及压！。缩气体的数量超【过表：6．3．1．—2的数量时将按照第！。6章的相《关章节的要》求执行 》 表6．3．！1．2  每个控制！区，危险材料的最大允】许量(MA》Q)： 【 《 《 ？。 ， ，  注释 ！    《 (1？)控制区的》定义和使用请见本规！。范，第6．2节 —   【  (2)未摘录 ！    】 (3)使用—和储存的总量不应该！超过储存的量特殊】存放总量不》允许超？过，建筑规？范的：。限制 ？   【  a．气》体测量为标准—状态(？20℃)和(101！．，3kPa) ！     b．除！非储存和使》用在气体房》间或：批准的气体柜或【密闭排风及规范有说！明上述气体不允【许储存和使用在非】喷淋：的建筑内《。 《  ？   c.固定或移！动，式容器具有压力释放！装置并？直接：通往室外或排—风罩 ？ ：。 ：     d．当材！料酌情储存或使【用，在批准的柜体气【瓶柜：密闭排风气体房时】数量可以增加1【0，。0％注释e.也使】用时：两个注释的数量【可以：叠加增？加 》     e．】当整个建筑按照NF！P，A 13设置—有，自动喷淋系统—时数量？可以增加100【％注释d．也—使用时两《个注释的数》量可以叠加》增加 ？。 ：     f】．移动设备或—槽车燃料储罐内可燃！气体量？可以超过M》AQ储存和》操作的设备按—照相：关规范 《     ！j．仅仅允》许放：。置在按照NF—P，A ：13规范设计有自动！喷淋系统的》建筑内 【   《  k．仅仅允【许储：存和使用在》气体房间或批准的气！瓶柜或密闭》排风规范有特—别说明的地方 ！   》  国？际防火规范IF【C-2？018？。  【。   表2》704．2．2【．1每个半导体生】产区危险材料的数】。量，限制 【     注—释 【    a》．管道内《的危：险，性材料不《包括：在计算数量》内   ！  b． 》 每个半导体—生产区的危》险材料的数量—不，。应超过表500【3．1．1(1)】和表500》3，．1．1(2)内】每个控制区的允【许数量(编者—注，与N：FP：A 55-》2016表6—．3．1《。．1才目同) 【  —  ：。 c．符合》ISO8115包】装要求？的，密集打？包棉花不包括在上】。表，的，材料等？级内 】    《d．：可燃气体《、自燃气《体、毒性气体和【剧，毒性气体的总量不应！该超过0．》。2ft3／ft2】或9000ft3】(，编者注？N，。FPA 55—-2016上述气】体总量为56＋【92＋1《．1：＋2．8＝151】．9m？3＝536》。4f：t3小于IF—C规定的9》000ft》3的允许量)—。  【   e．》在建筑？内自燃？性气体的总量不【。。应，该超过表50—03．8．2展示的！数据(编者注为2】0，00：f，t3即57m—3与NFPA— 55-2016表！6．5相同) ！ ？ ，  ： 综上？所述电子工厂—。生产厂房的生产区内！。特种气体的数量【限制采用《N，F，PA 55》-201《6中每个控制区危】。险，材料的？最大允许量(M【。AQ)？是合适的 ！ 3．1．》5  本条第1【款，、第2款为》强制性？条款必须严格执【行，本条规？定了特？种气体间的设—计应满足的要—求特种气体》间，应设置排《风系统房间应运行】在负压状《态是为了及时排除】泄漏：气体和？防止气体间泄漏【的气体？进入相邻房间—或通道杜绝事故扩大！；特种气体》间应采？用防火隔《墙相：互，。隔离是？为了防止特种气体间！的火灾事故蔓延至相！邻房间 》 ？     同—时也规定了》特，种，气体间的设计应【符，合现行国家标准建】筑设计？。防火规范G》B 500》16的有关规定 ！ ：  ？ ，  美国消防—协会标准《压缩气体及》低温流体规范—NFPA 5—5-2016—的第6．4条(气体！室)也做了相关【的规定上述N—FP：A 55-2016！的相关内容》摘录如下 ！   ？  6．4  气体！间因为气体的—特殊供应需要或【材料的其他需要或第！7章至第16章涉】及的特别使用需要】等原：因气：体的储存和用量【超过阈值《(，最大允许量MAQ】。)时气体间》的使用可《以满足这种要求气体！间的设？计，应符合第6．4．】1条至第6．4．5！条的规？定   ！  6？．4：．1  压力控制气！体间与相关的—周边区域相比—应是处于负压运行】环境 》     6】．4．2  排风】气体间将提供—排风系统 ！。 ，    6．4．】3  建筑工程气】体间的建设将满足建！筑规范的《要求 》     6．！4．4 《 分隔气体间—。将采与周《边区域用1h的【防火隔离 — 《  ：  6．4．—5  容量的限制】储存和使用压缩【气体、相关设—备、供应部件的压缩！气体房间的功能将受！到限制 ！3．1？．6  《。本，条为：强制性条《文必须严格执—行本条的编制依据是！美国消防协会—标准压缩气》体及低温流体规范N！FPA 55-20！16的？第6．5条》(，独立式？建筑)的相关内【容上述？。NFPA 55-2！016？的相：关内容摘录如下【 ，。 ：   》  6．5  独立！式建筑储存和使用压！缩，气体包括独立式大宗！氢气压缩气体系统当！数，量，超过表6．》5指定？的数量时应设计独立！式建筑？建筑的？建设应符《合建筑规范的相【关规定 — 表《6．5  材料数量！超出了显示量需设】置独立式建筑—。 — 《    》 NFPA 55-！201？6规定是当气体间】超过表3中规定值时！应设置独立的—。气体供应站考—虑目前电子工业使】。用特种气体的具体情！况本条只规定了自】燃气体超过57【m3时应该设置独立！的气体站表》中不稳定反》。应气体没有在电子】行业：。中使用氢气有专门】规范定义《所以本？条未纳入这两种气体！自燃性气体的—燃爆：危险性较其他—特种气体更大把超】过一定数量的自燃】气体布？置在独？立建：筑可以减少事故状态！下对主生《产厂房的《影，响这在工厂设—。计，中是非常必》要的也是《行业内的通用—。做法： ？   》  虽然本条只对自！燃性气体设置独【立的大宗气体站的】储量进？行了规定但是当【电子工厂的其他特】种气体危险性较【大、储存量》较多、且气体—。适合较远距离—输送时？标准：仍然建议在工—厂设置独立的大宗特！种气：体站 】3．1．7》  低蒸汽压—力特种气体供应【设施宜靠近工艺设备！是考：虑这些气《体的蒸汽《压力较低从气瓶柜到！工艺设备的输送距离！应尽可能短 — 3．【1．8  生—产，厂房内？的，特种气体间集—中，布置：在一楼或其他辅助楼！层靠外墙位置的主要！理由有一《是特种气体》的气瓶架、》气瓶柜、《卧式气？瓶的实瓶运进和空】瓶运出？方便性；二》是按：照现行国家标准建】筑设计防《火规范GB》 5：0016的有关规】定易燃易爆》特种气体间》在建筑设计》上应设置防》爆措施特种气—体间：的外墙可《以设计为《泄爆面；三是集【中，。布置便于进行安全管！理；四是《集中布置有利于【特种气体《间的空调、排放【、，排气、？。GM：S、GD《S的合理设计 】