3》。 特种气体站房
!
】
3:。.1 一般—规定
【
3.1—.1 在电子工厂!设,计中当供应和储存】特种气体量较—少时为减少气—体管道长《度、保证气体质量】特种气体站房一般布!置,在生产厂《房内一?。层的特种气体间当供!应和储存《特种气体量较多时】为了安?。全需要规定》。。应,将特种气《体站房布置》在单独的建(构)】筑物内?利用室外管道输送】特种气体《至用气厂房
【
3.—1.2 布置在生!产厂房?内的:特种气体间用量相】对较小根据目前我】国及欧美、日本等世!界发达国家的—特,种气:体供应情况自燃性】、易:燃,性、毒性、腐蚀【性气体多采》用气瓶柜供应氧【化性:、惰性气体多采用】气瓶架以及气—体集装格等》多,种形式供应》
:
《3.1.3》 布置在单—独建(构)》筑物或区《域内的特种》。气体站?根据目前我国及【。欧,美、:日本:等,。世,。界发达国家》的,特,种气体实际供应【情况通常采用气【体集装格、卧式气】瓶ISO标准集装瓶!组、长?管拖车等供应方式
!
3.1】.4 本条—规定了生产》区特:种气体设备的布置】原则与最大允—许,使用储存量因—为电子工业厂房的生!产区要使用大量【的,特种气?体这些特《种,气,体多具有自燃性、易!。燃性:、剧毒性、毒性、腐!蚀性、氧化》性的:危险性质为此—规定:特种气体在设—置气瓶柜、》。排风装置生产区设置!自动消防《喷淋系统的》情况下应按照—表3.1.4的【数量布置特种—气,体这些数据》是我国半导体—行业多年《来运行经验的总结】与电子工业》发,达国家的《规,定相近惰性》气,体不在?列表范围不受上述文!件限制虽然本—。。条规定了特种气体在!生产区的布置要【求但是一般情—况下除非特》种气体因为性质原因!(如低蒸汽压力气】体)或工艺有—特殊:要求标?准仍然建议将生产】区的特种气体—数量(包括惰性【气体)降至最—小值尽可能将特【种,气体:放置在特种气体间内!便于集中《管,理控制这符合行业惯!例与安全《要求
【
, 美》。国消防协《会标准压《缩气体及低温—流体规范《NFPA 55-】2016第3—.3条(一般定义)!。第6.2条(控制】区)第6.》3条(用房保护【级别)和国际防火规!范,IFC-201【8表2?704.2.2.】1(每个《。半导体生产区危险材!料的数量限制)也】做了相?关的规定上述NF】PA 5《5-20《16和IFC-2】008?的相关内《容摘录如下》。
— , 压缩》气,体及低温流》体规范N《FPA 《。55-2016【
》
: 3.3 【 一般定义
【
】3,.3.?6.1? 控制区建筑【或建筑的一部分【该区域内允许危险】。性材料的储存、输送!、使用、或操作【危险:性材料(HP—M)的数量不—应该超过最大—量
! :6.2 》控制区
》
,
? 6.2.1! :建设需?求控:制区是按照表6.】2.1的要求—用防:火隔离相互分开的区!域
表】6.2.1 【控制区的《设计和数量
【
,
》
注!释上:。述表中的百》分比是指表》2(6.3.1【.1)中的最—大允许量(MAQ)!及注释中允许—增加数?量的比?例
》
6.】3 用房保护【级别
《
【 ,。。6.3?.1.2 超过】MAQ的数》量当室内相关控制】区,储存和使《用,低温流体及》压缩气体的数量超】过表:6.:3.:1.2的数》量时将按《。照第6章的相—关章节的要求执【行,。
表6.!3.1.《2 每个控—制区危险材料的最大!允许量(M》AQ)
!
!
? 注释
】
《 (》。1)控制区》的定义和《使用请见本规—范第6.2节
】
【 (2)《未摘录?
!。 (3)《使用:和储存的总量不应】该超过储存的量【特殊存?放,总量不允许超过【。建筑规范的限制【。
— a.—气,体,测量为标准状—态(20℃)—和(101.3kP!a)
! b.除非储】存,和,使用:。在气体?房间:或批准的气体柜【或密闭排风及规【范有说明上述气体不!允许储存和使—用在非?喷淋:的建筑?内,
! c.固《定或:移动式容器具有压】力,释,放装置并直接通往】室,外或:排,风罩
?
】 d.?当材料酌《情储存?。或使:用在批准的柜体【气瓶柜密《闭排风气体》房时数量可以增加】100%注释e.】也使:用,时两个注释》的数量可《以叠加增加
—
?
e.】当整个建《筑按照?NFPA 13设】置有:自动喷淋系》统,时数量可以增—加100《%注释d.也使【用时两个注释的【数量可以叠加增【。加
! f.移动设备或!槽,车燃料储罐内—可燃气体《量可以超过MAQ】储存:和操作?的设备按照相关规范!
《
》 j.仅仅允许放】置在按照NFPA】 13?。规,。范设计?有自动喷淋系统【的建筑内
》
《
? k.仅仅允许】储存和使用在气【体房间或批》准的气瓶柜或—密闭排风规范有特】别说:明的地方
—
》 国《。际防火规范I—FC-20》18
】 表2704!。.2.2.》。1每个半导》体生产区《危险材料的数量限制!
! 注释
! a.管【道内的危险性材料不!包括在计《算,。数量内
》
?
《。 b:. 每个》半导体生产区—。的危险材《。料的数量不应超过】。表5003.1.1!(1)和表50【03.?1.1(2)内每个!控制区的允》许数:量(:编者注与N》F,。PA 5《5-2?0,。16表6.》3.1?.1才目同)
】
c!.符合IS》O,8115包装—要求:的,密,集打包棉花不包括在!上表的材料等级内
!
?。
,
d.可燃!气体、自燃气—体、毒性《气体:和剧毒性气》体的总量《不应:该超过0.2—ft3/ft2或9!00:0ft3(编者【注,NFPA 5—5-2016上述气!体总量为《56+92+1.1!+,2.8=151.9!m3:=5364ft3小!于IF?C,规定的9《000f《t3的允许量—)
?
【 e.在建》筑,。内自燃性气》体的总量不应该超】过表:500?3,.8.2《。。展示的数据》(编者注为2—00:0ft3即57【m3与NFPA 】55-201—6表6.5相同)】。。
?
【综上:所述电子工厂生产】。厂,。房的生产区内特种】气体的数量限制【采用:NFPA 55-2!016中每》个控:制区危险材料的【最大允许量(—MAQ)《是合适的
!
3.1.5— 本条第1款、】第2款为强制性条】款必:须严格执行本条【。规定了特种气体间】。的设计?应满足的要》求特种气体间—应设置排风》系统:房间应运行在负【压状态是为了—及时排除泄漏—气体和?防止气?体间泄漏的气体进】入相邻房间或通道】杜,绝事故扩《大;特种气体间【应,采用防火隔》墙相互?隔离:。是为了防《止特种?气体间的火灾事故蔓!延至相邻房间—
:
同!。时也规定了特种气体!间,的设计应符合现【行国家标准》建筑设计防火规【范GB? 50016的有】关规定
【
》 美国?消防:协会标准压》缩气体及《低温:流体规范NFPA !55-2016的】第6.?4条(气体室)也】做了相关的规—定上述NFPA 】55:-,2016的相关【内容摘录如下—
?
【6.4 气体【间因为气体》的特殊供应需要或材!料的其他需要—。或第7?章至第?16章涉及的特【别使用需要等原【因气体的《储存和用量》超过阈值(最大【允,许量MA《Q)时?气体间的使用可【以满:足这种要求气体【间的设?计应符合第6.4】.1条至第6.【4.5条的规定
】
》 《6.4.1》 压力控制气【体间与相关的—。周边区域相比应是】处于负压运行环境】
《
,
: 6.4.2 ! 排风气体》间将:提供排风系统
【
】 6.?4.3 建筑工程!气,体间的建设将—满足建筑规》范的要求
》
?
》 6.4.4 【 ,分隔气体间》将采与周《边区域用1h的防火!隔离
! ?6.4.5》。 容量的限制储存!。和使用压缩》气,体、相?关设备、供应部【件的压?缩气体房间的功能将!受到限制
!。
3.?1.6 》本,条为强制性条文必】。须严格执行本条的编!制依据?是美国消《防协会?标准压缩气体—及,低温:流体规范NFPA !。55-2016的第!。6.5条《(独立式《建筑)?的相关内容上述NF!PA 55》-2016的相【关内容摘录如—下
! 6.5 — 独:立式:建筑储存和使用【。压缩:气体包括独立式大】宗氢气压缩气—体系统当数量—超过表6.》。。5指定的数》量时:应设计独立》式建筑建《筑的建设应》符合建筑《规范的相关规定
!
表6.5】 材料数量超出】了显示量需设置【。独立式建《筑,
?
:
】 NFP—。A 55《-2016规—定是当气体间超过】表3:中规:定值时应设置独立】的气体供应站考【虑目前电子工—业使用特《种,气体的具体情况本】条只规定《了自燃气体》超过57《。m3时应该设置独立!的气体站《表,中不稳定反应气体没!有在电子行业中使】用氢气?。有专门规范定义所】以本条未纳入这两】。种气体自燃性气体】的,燃爆危险性较其他】特种气体更》大把超过一定数【量的自燃气体布置在!。。独立建筑可以—。减少事?故,状态:。下对主生产厂—房的影响这在工【厂设计中是非常必要!。的也是行业内的【。通用做法《
,
》 ? 虽:然本条只对自燃性】。气体设置独立的大】宗气体站的储量【进行了规定但—是当电子《工厂的其他特种【。气体:危险性较《大、储存量较—多、且气体适合较远!。距离输送时标—准仍:然建议在工厂设【置独立?的大宗特种气体站
!
《
3.1.7— 低蒸汽压力【特,种,气体:供,应设施?。。宜靠近工艺设备【是考虑这些》气体的蒸汽压力【较低从气瓶柜—到工艺设《备的:输送距离应尽可能】短
3】.,1.8? 生产厂房内的特!种气体间集中—布置在一楼或—其,。他辅助楼层》。靠外墙位置的主要】理由有一是特种气体!的气瓶?架、气瓶柜》、卧:。式,。气瓶的实瓶运—进和空瓶运》出方便性;二—是按照现行国家标】准建筑设计防—火规范GB —500?16的?有关规定易燃易【爆特:种气体间在建—筑设计上应设置【。防爆措施《特种气体间的外【墙可以设计为泄爆】面;三?是集中布置便—。于进行安全管理;四!是集中布置有利于】。特种气体间》的,空调、排放》、排:气、G?MS、G《DS的合理设—计
?