3》。  特种气体站房 ！ 】 3：。．1  一般—规定 【 3．1—．1  在电子工厂！设，计中当供应和储存】特种气体量较—少时为减少气—体管道长《度、保证气体质量】特种气体站房一般布！置，在生产厂《房内一？。层的特种气体间当供！应和储存《特种气体量较多时】为了安？。全需要规定》。。应，将特种气《体站房布置》在单独的建(构)】筑物内？利用室外管道输送】特种气体《至用气厂房 【 3．—1．2  布置在生！产厂房？内的：特种气体间用量相】对较小根据目前我】国及欧美、日本等世！界发达国家的—特，种气：体供应情况自燃性】、易：燃，性、毒性、腐蚀【性气体多采》用气瓶柜供应氧【化性：、惰性气体多采用】气瓶架以及气—体集装格等》多，种形式供应》 ： 《3．1．3》  布置在单—独建(构)》筑物或区《域内的特种》。气体站？根据目前我国及【。欧，美、：日本：等，。世，。界发达国家》的，特，种气体实际供应【情况通常采用气【体集装格、卧式气】瓶ISO标准集装瓶！组、长？管拖车等供应方式 ！ 3．1】．4  本条—规定了生产》区特：种气体设备的布置】原则与最大允—许，使用储存量因—为电子工业厂房的生！产区要使用大量【的，特种气？体这些特《种，气，体多具有自燃性、易！。燃性：、剧毒性、毒性、腐！蚀性、氧化》性的：危险性质为此—规定：特种气体在设—置气瓶柜、》。排风装置生产区设置！自动消防《喷淋系统的》情况下应按照—表3．1．4的【数量布置特种—气，体这些数据》是我国半导体—行业多年《来运行经验的总结】与电子工业》发，达国家的《规，定相近惰性》气，体不在？列表范围不受上述文！件限制虽然本—。。条规定了特种气体在！生产区的布置要【求但是一般情—况下除非特》种气体因为性质原因！(如低蒸汽压力气】体)或工艺有—特殊：要求标？准仍然建议将生产】区的特种气体—数量(包括惰性【气体)降至最—小值尽可能将特【种，气体：放置在特种气体间内！便于集中《管，理控制这符合行业惯！例与安全《要求 【 ，    美》。国消防协《会标准压《缩气体及低温—流体规范《NFPA 55-】2016第3—．3条(一般定义)！。第6．2条(控制】区)第6．》3条(用房保护【级别)和国际防火规！范，IFC-201【8表2？704．2．2．】1(每个《。半导体生产区危险材！料的数量限制)也】做了相？关的规定上述NF】PA 5《5-20《16和IFC-2】008？的相关内《容摘录如下》。 — ，   压缩》气，体及低温流》体规范N《FPA 《。55-2016【 》  ：   3．3 【 一般定义 【     】3，．3．？6．1？  控制区建筑【或建筑的一部分【该区域内允许危险】。性材料的储存、输送！、使用、或操作【危险：性材料(HP—M)的数量不—应该超过最大—量   ！  ：6．2  》控制区 》 ， ？    6．2．1！  ：建设需？求控：制区是按照表6．】2．1的要求—用防：火隔离相互分开的区！域 表】6．2．1  【控制区的《设计和数量 【 ， 》     注！释上：。述表中的百》分比是指表》2(6．3．1【．1)中的最—大允许量(MAQ)！及注释中允许—增加数？量的比？例 》     6．】3  用房保护【级别 《    【 ，。。6．3？．1．2  超过】MAQ的数》量当室内相关控制】区，储存和使《用，低温流体及》压缩气体的数量超】过表：6．：3．：1．2的数》量时将按《。照第6章的相—关章节的要求执【行，。 表6．！3．1．《2  每个控—制区危险材料的最大！允许量(M》AQ) ！ ！ ？    注释 】 《    (》。1)控制区》的定义和《使用请见本规—范第6．2节 】    【 (2)《未摘录？    ！。 (3)《使用：和储存的总量不应】该超过储存的量【特殊存？放，总量不允许超过【。建筑规范的限制【。 —    a．—气，体，测量为标准状—态(20℃)—和(101．3kP！a)  ！   b．除非储】存，和，使用：。在气体？房间：或批准的气体柜【或密闭排风及规【范有说明上述气体不！允许储存和使—用在非？喷淋：的建筑？内，    ！ c.固《定或：移动式容器具有压】力，释，放装置并直接通往】室，外或：排，风罩 ？    】 d．？当材料酌《情储存？。或使：用在批准的柜体【气瓶柜密《闭排风气体》房时数量可以增加】100％注释e.】也使：用，时两个注释》的数量可《以叠加增加 — ？     e．】当整个建《筑按照？NFPA 13设】置有：自动喷淋系》统，时数量可以增—加100《％注释d．也使【用时两个注释的【数量可以叠加增【。加   ！  f．移动设备或！槽，车燃料储罐内—可燃气体《量可以超过MAQ】储存：和操作？的设备按照相关规范！ 《    》 j．仅仅允许放】置在按照NFPA】 13？。规，。范设计？有自动喷淋系统【的建筑内 》 《   ？  k．仅仅允许】储存和使用在气【体房间或批》准的气瓶柜或—密闭排风规范有特】别说：明的地方 —  》   国《。际防火规范I—FC-20》18 】    表2704！。．2．2．》。1每个半导》体生产区《危险材料的数量限制！    ！ 注释 ！    a．管【道内的危险性材料不！包括在计《算，。数量内 》 ？    《。 b：．  每个》半导体生产区—。的危险材《。料的数量不应超过】。表5003．1．1！(1)和表50【03．？1．1(2)内每个！控制区的允》许数：量(：编者注与N》F，。PA 5《5-2？0，。16表6．》3．1？．1才目同) 】     c！．符合IS》O，8115包装—要求：的，密，集打包棉花不包括在！上表的材料等级内 ！ ？。 ，     d．可燃！气体、自燃气—体、毒性《气体：和剧毒性气》体的总量《不应：该超过0．2—ft3／ft2或9！00：0ft3(编者【注，NFPA 5—5-2016上述气！体总量为《56＋92＋1．1！＋，2．8＝151．9！m3：＝5364ft3小！于IF？C，规定的9《000f《t3的允许量—) ？    【 e．在建》筑，。内自燃性气》体的总量不应该超】过表：500？3，．8．2《。。展示的数据》(编者注为2—00：0ft3即57【m3与NFPA 】55-201—6表6．5相同)】。。 ？     【综上：所述电子工厂生产】。厂，。房的生产区内特种】气体的数量限制【采用：NFPA 55-2！016中每》个控：制区危险材料的【最大允许量(—MAQ)《是合适的 ！ 3．1．5—  本条第1款、】第2款为强制性条】款必：须严格执行本条【。规定了特种气体间】。的设计？应满足的要》求特种气体间—应设置排风》系统：房间应运行在负【压状态是为了—及时排除泄漏—气体和？防止气？体间泄漏的气体进】入相邻房间或通道】杜，绝事故扩《大；特种气体间【应，采用防火隔》墙相互？隔离：。是为了防《止特种？气体间的火灾事故蔓！延至相邻房间— ：     同！。时也规定了特种气体！间，的设计应符合现【行国家标准》建筑设计防火规【范GB？ 50016的有】关规定 【    》 美国？消防：协会标准压》缩气体及《低温：流体规范NFPA ！55-2016的】第6．？4条(气体室)也】做了相关的规—定上述NFPA 】55：-，2016的相关【内容摘录如下— ？     【6．4  气体【间因为气体》的特殊供应需要或材！料的其他需要—。或第7？章至第？16章涉及的特【别使用需要等原【因气体的《储存和用量》超过阈值(最大【允，许量MA《Q)时？气体间的使用可【以满：足这种要求气体【间的设？计应符合第6．4】．1条至第6．【4．5条的规定 】 》    《6．4．1》  压力控制气【体间与相关的—。周边区域相比应是】处于负压运行环境】 《 ，  ：   6．4．2 ！ 排风气体》间将：提供排风系统 【    】 6．？4．3  建筑工程！气，体间的建设将—满足建筑规》范的要求 》 ？    》 6．4．4 【 ，分隔气体间》将采与周《边区域用1h的防火！隔离  ！   ？6．4．5》。  容量的限制储存！。和使用压缩》气，体、相？关设备、供应部【件的压？缩气体房间的功能将！受到限制 ！。 3．？1．6  》本，条为强制性条文必】。须严格执行本条的编！制依据？是美国消《防协会？标准压缩气体—及，低温：流体规范NFPA ！。55-2016的第！。6．5条《(独立式《建筑)？的相关内容上述NF！PA 55》-2016的相【关内容摘录如—下   ！  6．5 — 独：立式：建筑储存和使用【。压缩：气体包括独立式大】宗氢气压缩气—体系统当数量—超过表6．》。。5指定的数》量时：应设计独立》式建筑建《筑的建设应》符合建筑《规范的相关规定 ！ 表6．5】  材料数量超出】了显示量需设置【。独立式建《筑， ？ ：  】   NFP—。A 55《-2016规—定是当气体间超过】表3：中规：定值时应设置独立】的气体供应站考【虑目前电子工—业使用特《种，气体的具体情况本】条只规定《了自燃气体》超过57《。m3时应该设置独立！的气体站《表，中不稳定反应气体没！有在电子行业中使】用氢气？。有专门规范定义所】以本条未纳入这两】。种气体自燃性气体】的，燃爆危险性较其他】特种气体更》大把超过一定数【量的自燃气体布置在！。。独立建筑可以—。减少事？故，状态：。下对主生产厂—房的影响这在工【厂设计中是非常必要！。的也是行业内的【。通用做法《 ， 》   ？ 虽：然本条只对自燃性】。气体设置独立的大】宗气体站的储量【进行了规定但—是当电子《工厂的其他特种【。气体：危险性较《大、储存量较—多、且气体适合较远！。距离输送时标—准仍：然建议在工厂设【置独立？的大宗特种气体站 ！ 《 3．1．7—  低蒸汽压力【特，种，气体：供，应设施？。。宜靠近工艺设备【是考虑这些》气体的蒸汽压力【较低从气瓶柜—到工艺设《备的：输送距离应尽可能】短 3】．，1．8？  生产厂房内的特！种气体间集中—布置在一楼或—其，。他辅助楼层》。靠外墙位置的主要】理由有一是特种气体！的气瓶？架、气瓶柜》、卧：。式，。气瓶的实瓶运—进和空瓶运》出方便性；二—是按照现行国家标】准建筑设计防—火规范GB —500？16的？有关规定易燃易【爆特：种气体间在建—筑设计上应设置【。防爆措施《特种气体间的外【墙可以设计为泄爆】面；三？是集中布置便—。于进行安全管理；四！是集中布置有利于】。特种气体间》的，空调、排放》、排：气、G？MS、G《DS的合理设—计 ？