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《。3.2 特种气】体站房布置
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3.2】.1 根据—特种气体的物理化学!及安全特性可—分为:自燃性、易燃—性、毒性、腐蚀性】、,氧化性及惰性—气体几乎《所有的?特种气体都具有【两种以上《。的物理化学性质工】程上按其主要危险】性质进行划分—制定相关的防护措】施和规定
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3.2《。.2 许多特种】气体都具有自—燃、:。易,燃、易爆、氧化等性!能故:本条:规定特?种气体站房的火【灾危险性应符—合现行国家标准建筑!设计:防火规范GB— 50016中厂】房的有关规定—
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3.2.【3 ?对国内电《子工厂?已装:设的特种气体系统的!调查:得知中国《大陆电子工厂不【论,是国外独资企业、】中,外合资企《业、国有企》。业布置?在生产厂房内的特】。种气体间基本上分为!易燃性气体间—、毒性气体间—。/腐蚀性气体—间、氧化性》/惰性气体间、剧毒!性气:体间等主要是依【据物理化学特—性和相关法规来确】定,的
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:3,.2.5 —。本条为强制性条【文必须严格执—行本条规定大—。宗硅烷站应布—置为独?立的开敞式建筑物】并规定了《。开敞式建筑屋顶、外!墙,及它们之间的—特殊设计和》建设方法《如规定外墙》与外墙之间外墙与】。屋面结构之间应【设置足够的隔离【空间其目的是防【止因为墙体的设置】不当影响《硅烷站的自然通风防!止硅:烷积聚造成》安全事故同》时说明了硅烷—容器与周边障碍【物的距离要求规定】。距,离应不小《于障碍物《高度的?2,倍或通过《设计机?械通风来防止—硅烷积聚硅烷属于自!燃性气体自燃—温度为-50℃燃】烧,热44.370k】J/k?g(1kg》。硅烷相?当于10kgT【NT当量)硅烷按】化,学,当量与空《气混合时《(硅烷占9.51%!),局限:空间(定容)—环境下?硅烷的爆《。燃产生的压力是【。10.21a—。tm而爆炸情况【下是19.81【a,t,m如此?强,大的压力冲》击波会对《周围的人员和建【。筑物带来灾难性的】损失许多大型电【子工厂硅烷储—存量达到12—t~15t一旦【发生爆炸危》险性:极大本条规定是为】了通过独立式的开】敞式建筑及相关【措施通过自然通风】和机械通风的方【法防止事故状态下的!硅烷堆积《减,少事故发生并在万】一发生事故时将事】故危害降至最低程度!
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!美国国家标准学会】标准硅烷和硅烷【混合物的《储存和操作AN【SI/CG》A G-13-【2015第3.2】.,22.2《条(室外)、第【6.2.1》条(位置)、第【6.2.1.—1条(空《。旷)、第《6.2.1.—1.1条(减缓措施!)和第7.2—条(室内储存和使用!)也做了相关的【规定上述ANSI】/,CGA G-13-!2,。015的相关内【容摘录如下
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《 ? 3.2.》22:.2 室外位置】有,两,种情:况1.建筑的室外】;,2.有顶棚遮盖和不!多余三面独立的【外,墙的场所《墙,与,顶,棚,结构之间、》墙与墙之《间有足够的空间【隔,离当硅烷泄漏时可】以减少?硅烷:的,。堆积注释可》以通过链式》围栏或相似》的不阻挡空》气流动的开式结构建!设,。敞开式环境
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? 6.2.1 ! 除了按《照第7章要求的【安装:非大宗硅烷系统和】按,照第18章的要【求安装的大宗硅烷】系统可以放置—在,室内硅烷气源—和供应?系统应放置在室外虽!然硅烷系统允许放】置在室内硅烷的存放!和使用还是最好在】室外:目的:是为了?减少:在火灾和《保证:。事故时对设备—和,人员造成的》危害通过把硅烷【系统:安装在一个》。无限制的空间—。周围的环境》能够吸收无限的【热,量周围的环境也【允许无?限的膨?胀以便迅速》释放超高的》压力
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【。 6.《2.1.1 — 系统应置》于开敞式环境中【并应按照第6—.3条的要求—允许空气自由流【动减少硅烷泄漏时】潜在的堆积详见【第3.2.2—2.1条非硅烷系统!的物体或支撑结【构或防?。火,隔离会?影响硅?烷系统区域》空气:的自由流动》这些障碍《物与硅烷储存—容器的最小距离【应为:障碍物高度的—2,倍不是大型》障碍物且不影响空】气流动不需要考【虑最小距离比如【电话杆等宽度较小】的物体支《撑结构和防》火隔墙的设计应允许!尽可:能多的空《气自由流动
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—6.2.1.1.1! :减缓措施
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: 不符合第6!.2.1.1条要】求的硅?烷气源和《系统:应,为硅:烷的:使用提供减灾措施】
【 , 例如设》定位于结构屋面下】的硅烷瓶一侧布置】的设备?。高度为1《0,ft(3m)应用】上,。述规则设备至屋【面结构的《距离:不应少?于20ft(6m】)如果不能满—足20?ft(?6m)的距离要求】应该提?供减灾?措施强制空气—流动作?减灾措施是允许的】硅烷使?用的:减灾措施可以通【过容器?阀门连接件和非【焊接的机《械连接上《。部的空气流动防【止硅烷?在结构?内的堆?积
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7—.2 用于硅烷储!存的:建筑、房间或区域】的建设?应符合当地消防【部,门(:AHJ)《的,。要求硅?烷站不应建》在地下室大宗硅烷】站不应建在室内
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3.2.6 【 本条为强制性条文!必须严格《。。执行规定硅烷站内】大宗容器之间—以及容器与工艺【气,体盘之间的距—离要求的目》的是为了在事故【状态下保护操—作人员的安全同时】考虑了工厂的实际情!况又规定单》。硅烷站内大宗容【器之间?以及容器与》工艺气体盘》之间的距离小于9m!时应设置2h以上的!防,火隔断目的是—通过防火隔墙控制火!灾,范围保护操作—人员的安全
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: 美国—国家标准学》会标准硅烷和硅烷混!合物的?储存和操作》ANSI《/CGA G-1】3-2015—第6.4.3—条,(大宗硅烷》。系统:。的布置)也做—了相关的《规定上述CGA【 G:-,13-2015相】关内容摘《录,如下
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》 6.4.3【.2.1 控制】盘和硅烷供应源的分!隔
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在硅【。烷大宗供应源容器】和控制盘或工艺气体!盘之间应设置2h的!防火隔墙或者作为选!择在容器和控制【或工:艺气体?盘之间应设》置30英尺(—9m)的《隔,断,
! 6.4.》3.2.2 【控制盘和工艺气体】盘之间的分》隔,
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】为保护盘面》操,作期间硅烷潜在【泄漏对操《。作者的伤《害控制盘的位—置应离工艺气体【盘不少于1》5ft(4》.6:m)如果防》火隔墙或《其他保护系》统用:于保:。护操作者控制—盘的距离可以—减少
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3.2.7! 本条为强—制,。。性条文?必须严格执》行规:。。定硅烷气瓶柜内【的,硅烷钢瓶应固定在】钢架上两个钢瓶之】间应用6《mm钢板隔离—这,是为了防《止硅烷泄漏的火焰破!坏临近?钢瓶和设备避—免硅烷泄漏》事故进一步扩大保护!设,备,与工作人员》这些措施是电子【工厂多?年运行?的经验总《结
【 美国国家标!准学会标准》硅烷和硅烷混合物】的储存和操作AN】SI/CGA G-!。13-2015【第6.4《.2条(气瓶—系统的布置)也做】了相关?的规定上述A—NSI/《CGA G-1【。3-2015相【关内容摘录》如,下
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》 6.2.4— 为?了防止硅烷泄漏【的火焰?破坏临近钢瓶—和设备气瓶柜内的硅!烷钢瓶应固定在钢】架上且之《间应采用1/—4,in(6mm)厚】的钢板隔离钢—板应:延伸到阀门出口中】心线以下至少—。18in(460m!m)以及中》心线以上至》少6in《。(1:50mm《)来:进行保护
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3.2.》8 ?本,条规定非大宗硅烷】气,体设:备可布置在室内【不得建?在地:下室:因,。为非大宗硅》烷用量?不,大这也为硅烷存储设!。。备水容积不超过【250L的》。硅烷:供应系统提供另外一!种设计选《项可以减少建设【投资缩短硅烷—管道的长度》方便硅烷系统的管理!同时强调不得—建在地下室》也是为?了进一步防控安全】风险
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《 , 美国》国家标准学会标【准硅烷和硅烷—混合物的《储存和操作ANS】I,/C:。GA G-》13-2《015第7.2条(!室内储存《和使:用)、第《7.3条(》。非大:宗硅烷系统)也【做了相关的内容【上述CGA G-1!3-2?015相《关内容摘录如—下,
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7—.2 用于硅烷】储存的建筑、房【间或区域的建—设应符合当地消防】部门(?AHJ)的要—。求硅:烷站不应建》在,地下室?大宗硅烷站不—应建在室内
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? 7.3【 , 非大?宗硅烷设备和系统允!许放置在室内室【内,储罐系?统与室外《储,罐系统的指》南,是,相似的不同点—是为了防止》在硅烷泄漏时硅【。。烷的堆积需》要对硅烷储罐机械】连,接部分?进行强制通》风第二个《不同点是在火灾【和,爆炸事?故时控制《。有限的潜在风险
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