安全验证
3.2【  特种气》体,站房布置 【 》3.:2.1?  根据特种气体的!物理化学及安全特】性可分为自燃—性、易?燃,性、毒?性、腐?蚀性、氧化性及惰性!气体几乎所有的特种!。。气体都具有两种【以,上的物?理化学性质工—程上按其主要危险性!质进行划《分制定相《关的:防护措施和规定 】 3.2.!2  许多》特,种气体都具有自燃、!。易燃、易爆、—氧化等性《能故本条《规定特种气体站房的!火灾危险性》应符:合现行国家标—准建筑设计防火规范!GB: ,50016中厂【房的有关规定 【 ? 3.2.3  !。对国内电子工厂已】装设的特种气体系统!的,。调查得知中国—大陆:电,子工厂?。不论是国外》独资企业、中外【合资:企业:、国有企《业布置?在生产厂《房内的特种气体【间基本上分为易【燃性:气体间、毒》性气体间/腐蚀性气!体间、氧化性/惰】。性气体间《、剧毒性气体间等】主要是依《据物理化学特性【和相关法规来确定】的 : 3.2.!5 : ,本条为强制》性条:文必须严格执行本条!。规定大宗《硅,烷站:应布置为独立的【开敞式建《。筑物并?规定了?开敞式建筑屋顶、】外墙及它们之间的特!殊设计?和建设方法》如规定外墙与外墙之!间外墙与屋面—结构之间应设置足够!的隔离空间其目的是!。防止因为《。墙体的设置不当影响!硅烷站的自然通风】防止硅烷积聚造【成,安全:事故同时说》明了:硅,烷,容器与?周边障碍物》的距离要求规定【。距离应不《小于障?碍物高度的2倍或通!过设计机械》通风来防《止硅烷积《。聚硅烷属于自燃性】气体自燃《温度为-50—℃燃烧热4》4.370kJ/k!g,(1:kg硅烷相当于10!kgTNT》当量)硅烷按化学当!量与:。空,气,混合时(硅烷占9.!5,1%)局限空间【(定容)环境下硅烷!。的爆:燃产:生的压力是10.2!1a:。tm:而,爆炸情?况,下是19.》81atm如此【强大的?压力冲击波》会对周围的》人员和?建筑:物带来灾难》性的:损,失许:。多大型?电子工?厂硅烷储存量—达到:。12t~1》5t一旦发生—爆炸危险性极大本】条规定是《为,了通:过独立式的开—敞式建筑《及相:关措施通过自然通】风和机械通风的方】法防:止事故状态下—的硅:烷堆积减少事故【发生并在万一发生】。事故时?将事故危害降至最】低程度 》    【 美国国《家标准学会标准【硅烷和硅烷混合物的!储存和操《作ANSI/CGA! G-13》-2015第3【.2.22.2条(!室外)、第6.2.!1条(位置)、第】6.2?。.1.1条(空旷)!、第6.2.1【.1.1条》(减缓措《施)和第7.—2条(室《内储存和《使用)也做了相【。关的规?定上述AN》SI/?CGA? G-13》-2015的相关内!容摘录如《下 : :     3.!2.22.2  】室外位置有两—种情:况,1.建筑的室外;】2.有顶棚遮盖和】。不,多余三面独立的【外墙的场所墙与顶】棚结构之间》、墙与?墙之间有足够的空间!隔离当硅烷》泄漏:时可以减少硅—烷的堆积注》释,可以通?过链式围《栏或相似的不阻挡】空气流?动的开式结构建【设敞开式环境 【 , ,   》。  6.《2.1  除—了按照?第7章要求的—安装非大宗硅—烷系统和按照第1】8章的要求》安装的?大宗硅烷系统—可以放置在》室内硅烷气源—和供应系统应—放置在室外虽—然硅烷?系统允许放置—在室内硅烷的存放和!使用还是最》好在室外目的是为了!减少在火灾》和保证事故时对设】备,和人员造成的危害通!过把硅?烷系:统安装在一个无限制!的空间周围的环【境,能够吸收《无限的热量周围的环!境也允许无》。限的膨胀以便—迅速:释放超高的压力 !    【 ,6.2.1》.1  系统应置】于开敞式环境—。。中并应按照第6.】3条的要求允许空气!自由流动减少硅烷泄!漏时潜在的》堆积详见第3.【2.22.1条非】硅烷系统《的物体或支撑—结构或防火隔离会】影,响,硅烷系统区》域空气的自由流【动这些障碍物与硅烷!储存容器的》最小:。距离应为障碍物【高度的2倍不是大】型障碍物且不影【。响空气流《动,不需要考虑》最小距离比如电话杆!等宽度?较小的物体支—撑结构和防火—隔墙的设计》应允许尽《可能多的空气自【由流动? 》     6.【2.:1.1.1  减缓!措施 ?   【  :不符合第6.2.1!.1条要求的—硅烷气源和系统【。应为硅烷《的使用提供减灾措】。施 》。 ,     例如设】定位于结《。构屋面下的硅烷【瓶一侧?布置的设备高度为1!0ft(《3m)应用上述规】则设备?至屋面结构》的距离?不,应少于20ft(】6,m)如果《不能满足《20ft(6m)】。。的距离要求应—该提供减灾》措施强制空气流动】作减:灾措施是允》许的硅烷使用的减灾!措,施可以?通过容?器阀门连接件和【非焊接的机械—连接上部的空气流】动防止硅烷在结构】内的堆积 — 《    7.2【  用于硅烷储存的!建筑、房间或区【域的建设应》符,合当地消防部门【(AHJ)的要【。。求硅:烷站不应建在地下】室大宗硅烷站不应】建在室内 【 3.2—.6  本条—为强制性条文必须严!。格执行规定硅烷站内!大宗容器之》间以及?容器与工艺气—体盘之间的距离要求!的,目的是为《了在事故状态下保】护操:作人员的安全—同,时,考虑了工厂的实【际情况又规定—单硅烷站内》大宗容器《之间以?及容器?与工艺气体》盘之间的距离小【于9:m时应设置2h以上!的防:火隔断目的是通过】防火隔墙控》制火灾范围保护操】。作人员的安全 【 , ?     美—国国家标准学会【标准硅烷和硅烷【混合物的储》存和操作ANSI】/C:GA ?G-13-201】5第6.4.3【条(大宗硅烷系【统的:布置)也做了—相关的规定上述CG!。A G-13—-2015相关内】容摘:录如下 》 :  ?   6《.4:.,3.:2.1  控制盘】。和硅:烷供应源《。的,分,隔 【    在硅烷【大宗供应源容器和】。控制盘?或工艺气《体,盘之间应设置2【h的:防,火隔墙或者》作为选择在容—器和控制或工艺【气体盘之《间应设置3》。0,英尺:(9m)的隔—断 》   《  6.《4.3.2.2【  控制盘和工艺气!体盘之?间的分隔 — 《    为保护【盘面操作期间硅烷】潜在泄漏对操作者的!伤害控制盘的位置应!离工艺气体盘不【少于15ft—(4.6m)—如果防火《隔墙或其他保护系统!。。用于保?护操作者《控,制盘的距离可以减】。少, 3.】2.7  本—条为强?制性条文必须严【格执:。行,规定:硅烷气瓶《柜内的硅烷》钢瓶应固定在—钢架上?两个钢瓶之间应用6!mm钢板隔离这是为!了防止硅烷泄—漏的火焰破坏—临近钢瓶和设备避免!硅烷泄?漏事故进一步扩大保!护设:备与:工作人员这些措【施是电子工厂多年运!行,。的经验总结 —     !美,国国家标准学会标】准硅:烷和硅?烷混合物的储—存和操?作ANSI》。/CGA G-【13:-2015第6【.4.2条》(气瓶系统的布【置)也做了相关的】规定上述ANS【I/C?G,A G-13-20!1,5相关内容摘录如下!。 ?    — 6.2《.4  为了防止】硅烷泄漏的火焰破坏!临近钢瓶和设备【气瓶柜内的硅烷钢瓶!应,固定在钢架上—且之:间应采用1/4【in(6m》。。m)厚?的,钢,。板隔离钢板应延伸到!阀门出?口中心线以下至少1!8in(460mm!)以及?中心:线以上至少6i【n,(150《mm)来《进行保?护 3】.,2.8  本条规】定非大宗硅烷气【体设备可布置在室内!不得建在地下室【因为:非大宗硅烷用量【不大这也为》硅烷存储设备—水容积不超过—250L的硅—烷供应系统提供另】。。外一种设计选项可以!。减少建设投资—缩短硅烷管道的长】度方便?硅烷:系统的管理同时强调!不得建在地下室也是!为,了进一步防》。控安全风《险 : ,。    【 美国?国家标准《学会标准硅烷和【硅烷混合物的储【存,和操作ANSI/】CGA G-1【3,-20?。15第?7.2条(室—内储存?和使用?)、第7.3条【(,非大宗硅烷系统)也!做了相?关的内?容上述CGA 【G-13《-2015相—。关,内容摘录如下 ! :     7.【2 : 用于硅烷储存的】建筑、?房间或区域的建设应!符合当地消防—部门(A《HJ)的要求硅烷站!不应建?在,。地下:室大宗硅烷站不应建!。在室:内 》    》 7.?3  非大宗硅烷】设备和?系统允许放》置在室内室内储罐】系统与室外储罐【系统的指南是相似的!不同点是《为了防止在硅烷泄】漏时硅烷的堆积需】要对硅?烷储罐?机械连接部分进【行强制?通风第二个不—同点是在火灾和爆】炸事故时控制有限】的,潜在风险 》 ,