2  【术语 》   【。  本章所列术语、！定义是根据本标准的！范围和特种》气体的？特性以及储存、输】送的实际需要进行制！定在制定相关—术语时？还依：据美国消防协会标】准压缩气体》及低温流体规范【(Compress！。ed ？Gases and！ Cryo》。g，enic F—lu：ids 《Code《)NFPA 55】-2：01：6版、建《筑建设和安全规范(！Bui？lding Co】nstruc—tio？n， an？。d， S：afet《y Code—)NFPA》。 ，5000-2—018版、美国国】家标准学会(AN】SI)标准硅烷【和硅烷混合物的【。储存和输送(St】orage》 a：nd Han—dlin《。g of Si【lane 》and 《Silane 【。Mixtu》re)AN》SI／CGA-【13-2015版中！的有关规《定，如本：节第2．0．—16条“生产—区”(fabric！a，tion a—。rea？)是按照N》FPA 5》0，00-2018【中的3．3．—35．5“fabr！icati》on ar》ea”？制，定的该条的内容摘】录如下 》。     】。3．3．3》5．5  》半导体生产设—备及相关《研发区域《。。在该区？域，内有：些工艺生产需—要使用危险》性，。。生产材料(H—PM) 】 ，   ？ 如本节第2．0．！22条“I》SO标准集装—瓶组”是按照A【NSI／CGA-】13-2015【中的3．《。2，．4．1．2—“，ISO模块”制定】的，该条的？内容摘录如下—。 《    》 ，3．2．4．—1．：2  采《用集：。气管将气《。体钢瓶、《长管钢瓶《或气瓶集《装格相？互连接并安》装在专用金属框架上！的组合？集装模块ISO【模块的框架及其角件！都经过特殊》设计其尺寸适合于集！装箱船、高速公【路集装箱半挂车和】铁路运集装箱的【多模运输 ！。     本章的特！种气体不包括电【子工业中常用的五种！大宗气？体即氮气、》氢，气、氧气《。、氩气和氦气—。 ：