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2 【术语
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《。 本章所列术【语,、定义是《根据本?标准的范围》和特种气体》的特性以及》储存、?输送的实际需要进行!制定在制定相关术语!时还依据美国—消防协会标准压【缩气体及低》。温流体?规范(?Compres【sed G》ase?s and Cry!ogenic F】luid《。s :C,o,de)NF》P,A 55-20【。16版、建》筑建设?和安全规范(Bui!lding —C,onstructi!o,n, ,an:d Safety】 Co?de)NFP—。A 5000-【。2018《版、美国国家标【准学会?(,AN:SI:)标准硅《烷和硅烷混》合,物的:储,存,和,输送(S《torage an!d H?andli》ng of Si】lane《 an?d Silan【e Mixture!)ANSI/CGA!-13-《20:15版中的有—关规定?。。如本节第2》.0.16条“生】。产区”(f》。abrica—tion ar【ea)是按照NF】PA 50》00-2018【中的3?.3.35.5“】fab?rica《tion area!”制定的该条的内】容摘录如下
!。
3【.3.?35.5《 半导体生产【设备及相关研发【区域在该区》域内有?些工艺?生产需要使》用危险性生产材料】(HPM)
】
如】本节第2.0—.22条“ISO】标准集装《瓶组”是《按照ANSI—/CGA《-,13-201—。5中的3.2.4】.1:.2“IS》O模块”制定的该条!。的,内容摘录如》下
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《 3.2.4!.1.2 —采用集?气管将气体钢—瓶、长管钢》瓶或气瓶集装格【相互连接并安—装在专用金属框【。架上的组《合,集装模块ISO【。模块的框架及其角件!。都经过特殊设—计,其尺寸适《合于集?装箱船、高速公路集!装箱半挂车和铁路】运集装箱《的多模运输
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本章的!特种气体不包括电子!。工业中常用的五种大!宗气体即氮气、氢】气、氧气、氩—气和氦?气
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