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2《 术语
【
】 本章所列术语【、定义?是根据本标准—。的范围和特种—气体的特性以及储存!、,输送的实际需要进】。行制定在制定相关】术语时还依据美国消!防,。协会标准压缩气【体及低温流体规范】(Compress!ed ?Gases —an:。d Cr《yog?enic 》Fluids C】ode)NFP【A 55-2—016版、建筑建】设和安全规范(Bu!il:ding Con】struct—ion an—d Safety】。 Code》)NFPA 5【0,0,0-2018版【、美国?国家标准《学,会(ANS》I)标准《硅烷和硅烷混合物的!储,存和输送(》S,t,orage —an:d Ha《n,dling —of S《ila?ne and 【Silane 【Mi:。。x,ture)A—NS:I/:CGA?-1:。3-:。2015版中的有】关,规定如本节第2.0!.16条“生产区】”(fabr—ica?tion ar【e,a)是按照NFPA! 5000》-,2018中的3【.3.35.5“】fabric—ation —a,rea”《制,定的该条的内—容,。摘录如下《
】 3.3.—35.?5 : 半导体《生产设?备,及相关研发》区域在该区域内有】些工艺生产》需要使用危险性生】产,材料(HPM)【。
《
:。。 如本—节第2.0》.22条“ISO】标准集装瓶组”【是按照ANSI/】CGA?-13?。-2015中—。的3.2.4.1】。.2“?。ISO模块”制定的!该条的?内容摘?录如下?
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? 3.2.4.】1.2? 采用集气管将气!体钢瓶?、长管钢瓶或气【瓶集装格相互—连接并安装在专用】金属框架上的—组合集装模块IS】O模块的框》架及其角件都经【过特:殊,设计其尺寸》适合于集装》箱船、高速》公路集装箱半—挂,车和铁路运集装箱】。的多模运输
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《 本章的特种【气,体不包括电子工【业中常用的五种【大,宗气体即氮气、氢】气,、氧气?、氩气和氦气
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