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2 《 术语
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》 本章所列术语、】定义是根《据本标准《的范围和特种气【体的特性以》及储存、输送的实】际需要进行制定在制!定相关?术语时还依据美国】。消防协会标》准压缩气《体及低?温流体规《范(Compre】s,s,ed: Gas《es:。 ,。。and Cryo】genic F【luids —Code)NFP】A :55-201—。6版:、建筑建《设,和安:全规范?。(Building! Con《struction! and Safe!ty Code)】。NFPA《 ,5,000-2018版!、美国国家标—准学会(ANSI】)标准硅烷和硅烷混!合物:。的储存和输送(St!orage —and 《Handlin【g o?f Si《lane and !Silane M】ix:t,u,r,e)ANSI/CG!A-1?3-2015版中的!有关:规定:如本节第2》.,0,.16条“生产区】”(fab》ric?a,。tion a—rea)是按照NF!PA 500—0-2018中【。的3.3.35.5!“f:abri《。ca:tion ar【ea”制定的—该条的内《容摘录如下
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—。3.3.3》5.5 半—导体生产设备及相】关研发区域在该【区域内有些工艺生产!需要使用《危险性生产材料(】HP:M)
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? ?如本节第2.0.】。2,2条“I《SO标?准集:装瓶组”是按—照ANSI/C【GA-1《3-:。20:1,5中的3.2.4】.1.2“IS【O模块”制定的该条!。的内:容摘录如下》
】 3.2》.4.1.》。2 : 采用集气管将气】体钢瓶、《长管钢瓶《或,气瓶:集,装格相互《连,接并安装在专—用金属框架上—的组合集《装模块?ISO模块的框架】及其角件都经过特】殊设计?其尺寸适《合于集装箱船、高】速,公,路集装箱半挂车【和铁路运《集装箱的《多模运输
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本章!的,特种气体《不包括电子工业【中常用的五种大宗气!体,即氮气、氢》气、氧气、氩气【和氦:气
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