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2 术语
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— 本章所列【术语、定义是—。根据本标准》的,范围和特种》气,体的特性以及储存】、输送的实际—需要进行制定在制】定相关术语时还依据!美国消防《协会:标准压缩气体及低】。温流体?规范(Compr】esse《d Gases【 and《 Cry《ogenic F】luids —Code)NFPA! 55-《2016《版、建筑建设—和安:全规范(《Buil《ding Con】。。s,truct》ion and 】Sa:。fety Code!)NFPA 50】00-2018版、!美国国家《标准学会(AN【SI:)标准硅烷》。和硅烷混合》物的储存和》输送(Storag!e,。 and Han】dl:ing 《of: Silane a!。n,。d Silan【e Mixtur】e)ANSI/CG!A-13《-2:015版中的有关规!定如本节第2.0】.16?条,“生:产,。区”(fabri】catio》n area)是按!照NFPA》。。 50?00-?2018《中的3.3.35】.,5“:fab?ric?ation are!a”制定的该条的】内容摘录如》下
】 3.3—.35.5 【。半导体生产设备及相!关研:发区域在该区域内有!些工艺生产需要使用!危险性生产材料(H!PM)
《
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如【本节第2.0—.22?条“:ISO标准集装【。瓶,组”是?按照:ANSI/CGA-!13:-2015中的3】.2.4.1.【2“ISO模块”】制定的该条的—内容摘录如下
】
【 3.2.4—.,1.2 采用集气!。。管将气体钢瓶、【长管:钢瓶或气瓶集—装格相互《。连接并安装在专用】金属:。框架上的组合—。集装模块IS—。O模块的框架—及其角件都经过特】殊设计其《尺寸适合于集装箱】船、高速公》路集:装,箱半挂车和铁—路运集装箱》的多模运输
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— 本章的特【种气体不包括电子工!业中:常用的?五种大?宗气:体即:氮气、氢气、氧气】、氩气和氦》气
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