2》  术语 ！  《   本章》。所列术语、定义是根！据本标？准的范围和》特种气体的特性以】及储存、输送—的实际需要进行制】定在制定《相关术语时还依据美！国消防？协会标准压缩气体及！。低温流体规范(【Comp《ress《。ed Ga》ses and【 Cryoge【nic 《。Fl：uid？s， ，Code《)NF？PA 55-—2016版》、建筑建设和安全】规范(Buil【ding Cons！t，ruction 】and Saf【ety Code)！NFPA 5—000-20—18版、美》国国家标准学会(】ANSI)标准硅烷！和硅烷混合物—的储存和输送(St！or：ag：e， and Hand！ling 》of Silan】e and Sil！。ane Mix【t，ure)ANSI／！CGA-1》3-2015版【中的有关规定—如本：节第2？．0．？16：条，“生产区”(fa】。brica》tion area！)是按照NFPA】 5000-201！8中的3．3—．35．5》“fa？brication！ a：rea”制定的该条！的内容摘《录如下？ ？ ，     3．3！．35．5  半导！体生产设《备及相关研发区域】在该区域内有些【工艺生产需要—使用危险性生产材】。料(HPM) 】 ， ？。   ？ 如本节《第2：．，0．22条》“ISO标准集【装瓶组”是按照A】NSI／CGA-】13-201—5中的？3．2？。．4．1．2“I】SO模？块”制定的》。该条的内《容摘：录如下 》 ，  《   3《．2：．4．？1．2  采用集】气管将气《体钢瓶、《长，管，钢瓶或气瓶》集，装格相互连接并【安装在专用》金属框架上的—组，合集装模块ISO】模块的框架及—其，角件都？经过特殊设计—其尺寸适《合于集装《箱船、高《速公路集装箱—半挂车和铁路—运集装？箱的多模运输 ！ ？ ，   本章的特【种气体不包》括电子工业》中常用的五种—大，宗气体即氮》气、氢气、氧气、】氩，气和氦气 —