《1 总则
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1.0.1!。 :。本条是本《标准的宗《。旨鉴于电子工—厂,大部:分的特种气体具【有自燃、易燃—、毒性、《腐蚀性、氧化性的】。。特点同?时许多特《种气体都具有窒息】性密闭性《好的电子工厂厂房内!窒息:。性,气体对人员》的危:害性不可忽视所以电!子工厂中特种—气,体站房的设计、【建造对于确保财【产安全、生命安全都!十分重要随着—。国,内,电子工厂《特别是半导体—器件、集成电路、】光电:器件类电子工厂如大!规,模和超大规模—集成电路工厂、【薄膜晶体管》液晶显?。示器(T《FT-LCD)【工厂、?太阳能电《池工厂、电》子材料工厂等建设的!。。日益增多特种—。气,体系统的《应,用越来越《广因此特《种气体站《房及其?系统的设计》、施工和验收要【采取相应的防火、防!毒、防?腐蚀和防窒息—等安全措施正确贯彻!实施国家有》关环境保护、—节约能源等》各种法律法》规同时系《统的设计要具有【先进性和经济—性
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》1.:0.:2、1.《0.3 本标准适!用范围是从外购特】种气体?与,。其附属设备在—。工厂内的站》房,开始到?工,艺设备之间的系【统工程的设计、施】工和验收不》包含特种气体—的制取?、提:纯、罐装系统的设】计、施?工和验收本标—准主要适应于电子】工厂的工程设计、】施工和验收科研院】校的实验室、小【型车间的特种气体系!统可参考《执行
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1.0.4 鉴!于特种气体具有【易燃易爆、》毒性:大、腐蚀性强的特点!结合国家倡导的绿色!环保、以人》为本理念特种—气体系统的设计和施!工应符?合国家相关政策【要求:与本标?。准有关的国家现行】标,准、规范《主要有建筑设计防】火规范GB 5【0016、爆炸危】。险环境?。电力装置设计规【范GB 50058!、氢气站设》计规范GB —5,0177、工业金属!管道设计规范—G,B 5031—6,、自动喷水灭火【系统设计规》范GB? 50084、工】业企业设计卫生标准!等
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