1 总】则
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1.0.1 ! 本条是本标准的】。宗旨鉴于电子—。工厂大部分的特【。种气体具有》自燃、?易燃、毒《。性、腐蚀性》、氧化性的特点同时!许多特种气》体都具有窒息性密闭!性,好的电子工厂厂房内!窒息性?气体对人《员的危害性不可忽】视所以电子工厂中特!种气:。体站房的设计、【建造对于确保—财产安全、》生命安全都十分【重要随着国内电子】工厂特别是半导体器!件、集成电路—、光电器件》类,电子工厂如大规【模和超大规》模集成电路工厂【。。、薄膜晶体管—液晶显示器(TF】T-:LC:D)工厂《、太阳能电池工厂、!电,子材料工厂等建【设的日益增》。多特种气体系—统的应用《越来越广因此—特种气?体站房及其系统的设!计、施工和验—收要采取相应的防火!、防毒、防腐蚀【和防窒息等安全【措施正确贯彻实【施国家?有关环境保护、节约!能源等各种》法律法规同时系统的!设计:要具有先进性—和经济性
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1.0.2、!1.0.3 本】标准适用范围是从】外购特种《气体与其附属设备】在工厂内的站房开始!。到工艺?设备之间《的,系统工程的设—计、施工《和验:收不包含特种气体】的制取、提纯、罐装!系,统的设计《、,施工和?验收本?标准:主要适应于》电子工厂《的工程设计、施【工和验收科研院【校的实验室、小型车!间的:特种气体系统可【参考执行
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1:。.0.4 鉴【于特:种气:体具有易燃易爆、】毒性大、腐蚀性【强的特点结》合国家倡导的绿【色环保、《以人为本理》。念特种气体》系统的设《计和施?工应符?合国家相关》政策要求与本标准】有关的国《家现行标准、规范】。主要有建筑设计防】火规范GB 50】016?、爆炸危险》环境电?力装置?。设计规范GB 【50058、氢气站!设计规范GB 【501?77、工业金—属,管道设计规范GB !50316》、自动喷水灭—。火系统设计规—。范GB? 50084、工】业企业?设计卫生标准等
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