： 1？  总则 — ？。 1《．0．？1  本条是本标】准，的宗旨鉴于电—子工厂大部分的特种！气体具有自燃、易】燃、毒性、》腐蚀：性、氧化性的特点】同时许多《特种气体《都具有窒息性—密闭性？好的电子《工厂：厂，房内：窒息性气体对—人员的危害性不可】忽视所以电子工厂】中特种气体》站房的设计、—。建造对于确保财【产安全、生命安【。全都十分重》要随着国《内电子工厂》特别是？半导体器件、集成电！路、光电器件—类电子工《厂如大规模和—超大规模集成—电路工？厂、薄？膜晶体管液》。晶，显示器(TFT-】。LCD？)工厂、太》阳能电池工厂、电子！材料工？厂等建设的日益增】多特种气《体系统的应用越【。来，。越广因此《特，种气体站房及其系】统的设计、施工【和验收要采取相应】的防火、《防毒、防腐蚀和防】窒息等安全措施正】确贯彻？实，施国家有关环—境保护、节》约能源等《各种法律法规同时】系，统的设计要具有【先进性和经济性 】 1．0】．2、1．0．【3  本标准—适用范围是》从外购特种气体【与其附属设备在工厂！内的站房《开始到？工艺设备《之间的系统工程【的设计、《施工：。和验收不包含—特种气体《的制：取、提纯、罐装系统！的，设计：、施工和验收本【标准主要适应于电】子工厂的工》程设计、施工和验收！科研院校的实—验室：、小型车间的特【种气体系统可参【考执行？ 1．】0，．，4， ， 鉴于特种气—体具有易燃易爆、】毒性：大、腐蚀《性强的特《点结合国家倡导【的绿：色环保、《以人为本《理念特种《气体系统的设—计和施工《应符合国家相—关政：策要求与《本，标准：有关的国家》现行标准、规—范主要有建筑设计防！火规范GB 500！16、爆炸危险环境！电力装？置设计规范GB 】。500？58、氢气站设计规！范，。GB 5《017？7、工业金属—管道：设，计规范G《B 50316【、自：动喷水灭火系统设】计规范G《B 50《084、工业企业设！计卫生？标准等 《 ，