《4．3  吹—扫和：排气系统《 ： ？ ？4．：3．1  特种气】体系统？吹扫气体《的设置应符合下列规！定 ： ，  》。   1  —自燃性、易燃性、】毒性、腐蚀性特【种气体系统的吹【扫气体应与独立【的气源连接不得与】公，。用气源或工》艺气源系统》相，连；  ！   2  —不相容性特种气【体系统的吹扫气体不！得共用同一气源；】。 ，。 ， ？。  ：   3 》 吹扫气《体管线应《设置：止回阀 【 4．《3．2  吹—扫氮：气的气体面板应设有！压力调？节，阀、排气管、高【低压：截止阀、高低压压】力指示装置》、安全阀 — 4》．3．3《  ：特种气体系统的辅】助抽真空装置—的，设置应符《合下列规定 —。 ？     —1  真空发生器】。宜，采用氮？气作为引射气源【； 》    》 ，2 ： 抽：真空用氮气》可由公？用普通氮气》供给；自燃性和腐】蚀性气？体氮：气供应管道》应设置止回》。阀和微漏阀 【。 4》．3．4 》 特种气《体排气与废气处【理，的设：置应符合下列—规定 《     1！  特种气体系【统的：排气管？应设置氮气稀释与】连续吹扫装置； 】 ，     】。2  ？自燃：性、易燃性、—毒性、腐蚀性—特种：气体的？。。排空气体应经—过尾气处理装置处理！处理后？的气体应符合现行】国家废气排放要求】 ，。 4—．3．5 》 特种？气体尾气处》理装置的设置—应符合下列》规定 —  ？   1  尾气处！理装置的类型应【根据：所处理的《排气中？特种气体的特性进行！选择不相容特—。种，气体应分《别设置尾气》处，理装置； 】。   《  ：2 ： 尾气处《理装置应靠近—特种气体《柜、：气瓶：架等特种气体—设，备布置； 》 ：     【3  ？特种气体《的尾气处理方—法，宜采用干《式吸附、湿式洗【涤、加热分解、燃】烧、等离子分—解、稀释及以上几种！处理方式的组合 ！