4．—3，  吹扫和排气系】统 ？ ： 4．3【．1  特种气体系！统吹扫气体的—设置应符《合下列规《定， 《     1【  自？燃性：、易燃性、毒性【、腐蚀？性特种气体系统的】吹扫气体应》与独立的气源连【接不得与公用气源或！工艺气？源系统相连； 【 《。     》2  不相》容性特种气体—系统的吹扫气体不得！。共用同一气》。源； ？   【  3  吹—扫，气体：管线应设置止—回阀 4！。．3．2 》。 吹扫氮气》的气：体面板？应，设有压力调节阀【、排气管、》高低压？截止阀、高低压压】力指示？装置、安《全阀 《。 4．3．】3 ： 特种气《体系统的《辅助：抽真空装置的设【置应：符合下？列规定 — ？    1  真】空，。。发生器宜采用—。氮气作为引》射气源； 【     2】  抽真空》用，氮气可由公用普通】氮气供给；自燃性】和腐蚀性《。气体氮气供应管道】应设置止回阀和微】漏阀 4！．3：．，4  特种气体【。排气与废气》处理的？设置应符合下列规定！ 《     —1  特种气体【系统的？排气：管应设置氮气稀释】与连：续吹扫？装置：； 《 ： ，    2  【自燃性、易燃性、毒！性、：腐蚀性？特种气体的》排空气体应》经过尾气处理装置处！理处理后的气体应】符合现行国家废气排！放要求 《。 ？ 4？．3．5  特种】气体：。尾气处理装》置的设置应符—合下列规定 【   —  1  尾—。气处：理装置的《类型应根据所处【理的排气《中特种气体的—特性进行选择不【相容特种气体应分别！设置尾气处》理装置； 》。    】 2  尾气处【理，。。装置应靠近特种【气，体柜、气《瓶架等特种》气体设备布》。置；  ！   3  —特种气体《。的尾气？处理方法宜》采用：干式吸附、湿式洗】涤、加热分》解、燃烧、等—离子分解、》稀释及以《上几种处理方—式的组合 —