4.—3 吹《扫和排气系统
】
,
?
4.3.1【 特种气体系【统吹扫气体的设置】应符合下《列规定
》
— 1 《 自燃性《、易燃?性、毒性、腐蚀【性特种气体系—统的:吹扫气体应》与独立的气源连接】不得与公用》气源或工艺气源系】统,相连:;
【 ? 2 ? 不:相容性特种气体系统!的,吹,扫气体不得》。共用同一气源;【
:
,
? 3 吹】扫气体管《线应:设,置,止回阀?
?
?4.3.2 【吹扫:氮气的气体面板应】设有压力调节阀、】排气管、高低压【截止:阀、高低《压压:力指:示装置、安全阀
】
?
4.《3.:。3 特种气体【。系统的辅助》抽真空装置的设【置应符合下列规【定
?
1! 真空发》生器宜采用氮—气,作为:引射气源《;
【 2 抽】真空用?氮气可由公用普【通氮气供《给;自燃《性和腐蚀性气体氮】气供应管道应设置止!。回,阀和微漏阀》
《
,
4.3.4 】特种气体排气—与废:气处理的设置应符】合下列规定
!
1 】 特种气体系—统,的排气管应设置氮】气稀释与连续—吹,扫装置;
》
?
—2 自燃性、易燃!性、毒?性,、腐蚀性特种—气体的排空气—体应经过尾》气处理?装置处理《处理后的气体—应符合现行国家废气!排放要求《
?
4.3.5 ! 特种气体》尾气处?。理装置的设置—应符合下列》。规定
—
1 】 尾气处理装—置的类型应根—据所处理的排气【中特种气体的特【性进:行选择不相容—特种:气体应分别设置尾气!处理:装,置,;,
【 2 尾气】处理装置应》靠近特种气体柜、气!瓶架等特《种气体设备布置;】
】 3 特种【气体的尾《。气处理?方法宜?采用干式吸》附、湿式洗涤、加热!。分解、燃烧、等离】子分解、稀释及以】上几种处理方式的组!合
?