？ 4．3  吹扫】和排气系统》 》。 ： 4．3．1 【 特种气体系统吹扫！气体的设置应符合下！列，规定 【     1  】自，燃性、易燃性、毒】性，、腐蚀性《特种气？体系统？的，。吹，扫，气，体应与独立的—气源连？接不得与公用—气源或工艺》气源系统相连； 】 ， ：   《  2 《 ，不，相容性特种气—体系统的吹扫气【体不得共用同—一，气源； 】 ，   ？ 3  吹扫气体管！线应设置止回阀 】 ： ？4．3．《2 ： 吹扫氮气的气体】面，板，应设有压力调节阀】、排：气管、？高，低压截止《阀、：高低压压力指—示装置、安全阀 】 ， ？ 4．3．3—  特种气体系统的！辅助抽真空装置的】设置应符合下列【规定 【   ？  1  真—空发生器宜采用氮气！作为：引射气？源； 【 ，    2》。  抽真空用—氮，气可：由公用普通氮气供给！；自燃？性和腐蚀性气体氮气！供应管道《应设置止回阀—和微漏阀 —。 《4．：。3．4  特种气体！排气与废气处理【的设置？。应符合下列规定【    ！ 1  《特种气体《系统的排《气，管，应设置氮《气稀释与连续吹扫装！置； 【  ：   2  —自燃性、易燃性、】毒性、？腐蚀性特种气—体的排空气体—应经：过尾气处理》装置：处理处理后的气体应！符合现行国家废【气排放要求》 ： 4．3．5！  特种气体尾气处！理装：置的设置应符合【下列：规定 《 ：     —1 ： 尾气处理装置的】类型：应根据所处理的排气！中，特，种气体的特性—进，。。行选择不《相容特？种，气，。体应分别设置尾气】处理装置； 【    【 2  尾》气处理装置应靠近】特种气体《柜、气瓶《架等特种《气体设？备布：置； 【     》3  特种》气，体的尾？气处理方法宜采用】。干式吸附、湿式【洗，。涤、加热分解、燃】烧、等离子》分解、？稀释及以上》几种处理方》式的组合 —