？。 4．3  吹【扫和排气《系统 ？ ？ 4》．3．1  —特种气体系》统吹扫气体的—设置应？符合下列规》定 ？  》。   1 》。 自燃性《、易燃性、毒—性、腐？蚀性特种气体系【统的：。吹扫气体应与独立】的气：。源，连接不？。得与公用气源或工艺！气源：系统相连； 【     】2  不相容性【特种气？体系统的《吹扫气？体，。不得共用《同，一气源？；   ！  3  吹扫【气体管线应设—置止回阀 ！。 4．3．2 【 ，吹扫氮气的气体面】板应设？有，。。压力调？。节阀、排气管、高低！压截止阀、高低压压！力，指示：装置：、，安全阀 — 4．3—．3  《特种气体系》统的辅助抽真空【装置的设置应—符合：下列规定 》 ，     】1  ？真空：发，生器宜采《用氮气？作为引？射，气源；？。 《 ， ，    2》。  抽真空用—氮气可由公用普【通氮气？供给：；自燃性和》腐蚀性气《。体氮气供应管道应】设，置止回阀和微漏阀 ！ 4．【3．：4  ？。特，种气体排《气与废气处》理的设置应符—合下列规定 【  》   1  特【种气体系统的排气】管应设置氮气稀释】与连续吹扫装置； ！  —   2 》 自燃性、易燃【性、毒性、腐蚀【性特：种气体的排空气【体应经过尾气处理装！置处理处《。理后的？气体应符合现行国家！。废气：排放要求 ！ 4．3．5  特！种气体尾气处理【装置的设置应符合】下列规定 》。 ，    【 ，。1，  ：尾气处理装》置的类型应根据所处！理的排气中》特种气体《。的特：性进行选择不相容】特种气体应分别设置！尾气处？理装置； 》     ！2  尾气处理【装置：应靠近特种》气体柜、《气瓶架等特种气体设！备布：置；：    ！ ，3， ， 特种气体》的尾气处理方—。法宜采用干式吸【附、：湿式洗涤、加热【分解、燃烧、—等离：子分解、稀》释及以上几》种处理方式的—组合 《