《4．3  吹—扫和排气《系统 《 4．】。3．1  特—种气：体系统吹扫气体的】设置应符合下列规】定 —。。     1 【 ，自燃性、易燃—性、毒？性、腐蚀性特—种气体系《统，的吹扫气《体应与独立的气【源，连，接不得与公用气源】。或，工艺气源系》统相连；《。  【   2  —不相容性《特种气体《系统的吹扫气体不得！共用：同，一气源；《    ！ 3  《吹，扫气体管《线应设置止》回阀 ？ ， ？ 4．3．2  吹！。扫氮气的《气体面板应设有【压力调节阀、—排气管、高低压截】止阀、？高低压压力指示装】置、安全阀 ！ 4．3．3【  特种气》体系统？的辅助抽真》空装置的设置应符】合下列规定 ！ ，     1  】真空发生器宜采用】氮，气作为引射气源； ！ 》    2》  抽真空用氮【气可由公用普通氮气！供给；自燃》性和腐蚀性气体氮】气供应管道应—。。设置止回阀和微漏阀！ ， 4．【3．4  特种气体！排气与废气》。处，。理的设置应符合【下列规？定   ！  1？  特种气体—系统的排气》管应：设置氮气稀释—与连续吹扫装置；】   】 ， 2  自》燃性、易燃性、毒性！、腐蚀性特种—气体的排空气体【应经：过尾：气处理装置处理【处理后？的气：体应符合《现，行国家废气排放要】求， ？ 4．3．【5  特种气体尾气！处理装置的》设置应符合下列规】定 ？。    【 1  尾气处【。理，装置的类型》应，根据所处理的—排气中特种气体的特！性进行选择不相容特！种气体应分》别设置？尾气处理装置；【    ！ 2  尾》气处理装置》。应靠近？特种气体《柜、气瓶《架等特种气体设【备布置； 】     3【  特种气体的尾气！处理方法宜采—用干式吸附》、湿式洗《涤、加热分解、【燃烧、等离子分解、！稀释及以上几种处理！方式的组合 — ，