4．—2， ， 特种气体输送系】统，
4！．，2．1 特—种气体系统》的气瓶柜、气瓶架的！设置应符《合下列规定
】
【1 气瓶柜—与气瓶架可采用【单工艺气瓶外置【吹扫气源、双工艺】。气瓶外置吹扫—。气源、双工艺气瓶内！置吹：扫，气源等多《种结构配置》；
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：。
：
》2 不相容气体】瓶不：应放置于同一—。气瓶柜或气瓶架中】；
《
？ ： 3 《 气瓶柜、》气瓶架应设置作业】。用气体面板；
！
：。
， 4 系统！的供应能力应经过】。热力：学和流体力学计算】核实；
！ 5 【气瓶：柜闭门时应保持不低！于10？0Pa负压柜内的排！风换气次数不得【低于3？00次／h；
！
【6， 自燃《性、易燃性、毒性、！。腐，蚀性：气瓶柜应在排风【出口设置固定式气】体泄漏？探测器？；
》
》 ，7 ： 气瓶柜柜体外壳钢！板厚：度不应小于2．5m！m并应？有防腐？蚀涂：层；
？
！8 气瓶柜门应具！备自动关闭功能【并应配备防爆玻璃观！察窗；气瓶》柜的固定《。螺栓设计《应满足当地》地震设防烈度—的要求；
！
《 9 气瓶柜【、气瓶架应设—置清晰明确》。的，安全标识牌；
！
10！ ：。当气瓶柜放置在【有爆炸和火灾危险环！境时：其设计？应符合现行》。。国，家标准爆炸危险环境！电力装置《设计规范GB 50！058的有关规【定
《
：
4．2．》2，。 特种气体—的气瓶柜、气瓶架】的气体面板设—置应符合《下列规定
【
【1 自燃》性，、易燃？性、毒性、》腐蚀性气《体，面板应设有紧急【关断阀门《并应为常《闭气动阀门位置应靠！近气：瓶，；
！ 2 》气瓶压力大于—0．1MPa的自燃！性、易燃《。性、毒？性、腐蚀性》气体：。面板应设有过流【开关；？
《
3 ！自燃性、易燃性、毒！性，、腐：。蚀性气体面》板应设有惰性—气体吹扫、辅助抽真！空，装置真空管路—应设：止回：阀；
《
》 4 气体面！板，应设置工艺气体排气！口
《
4．2．【3，。 可燃和》自燃性特种》气体的气《瓶柜应符合下列【规定
《
—。 ：1 当《硅烷气瓶使》用直径？0．25mm限流孔！。时气瓶柜的》排风：换气次数不得—低，于12？00次／《h当使用直径—0，．15mm限流【孔时气瓶柜的排风换！气次数不《得低于400—次／h且气瓶柜的负！压应连续《监控；
《
《
： 2 》 自燃性特种气体的！气瓶：柜应设置《紫外、？红外火？焰探测器；
—
》 3 — 易燃性特种气体】的气瓶柜应》设置水喷淋系统【；
【 ， 4 自燃】性特：种气体的《。气瓶柜应在气—瓶之间设《置隔离钢板
】
，
4？．2．4《 大宗特种气体】系统应符合下列规】定
—。。
》1 ： 应设置独立—气瓶、储罐或长管】拖车：等的压力指示或钢瓶！称重装？置、连接回型管【、气流控制》的，气体面板、吹扫氮】。气单元、电气—控制柜等装置—；
》
，
《。 2 大宗特种】气体系统的》功能配备《应符合本《标准第4《．2．1条的有【关规定；
！
《 3 《液态气体瓶应—设计钢瓶加热与【保温装置；》
》
4 【 减压降温效—应显著的《气，体应在减压前—对气体进行预热
】
4．2．！5 液态》特，种气体系《统的设置应》符合下列规定
】
1！ 应设置独立【的液体槽《罐，、液体输《送柜、连接回型【管、驱？动气体？单元、吹扫氮气【单元、电气控制柜】、重量计《量等装置；》。
【 2 液态特！种气体系统宜利用】驱动气体压力将【液态特种气》体从槽罐输送至【液态特种气体柜或从！液态特种气体柜直接！驱动输送至》用，气工艺？设，备液态特种》气体亦可采用泵送】；
：
》 3》 用气点应—设，置鼓泡器或蒸发器将！液态特种气》体鼓泡或《直接蒸发以汽化形式！输送至工《艺反：。应设备；
】
《 ：4 液态特种气】瓶柜功能设置应符】合本：标准第4．2．1】。条的有关规定；
】
！。5 具有自燃【性和遇水反》应性的金属有机【物前驱体液》体供应柜应设置相】应灭火？系统；底部》应，设置收集槽并应放置！吸附材料
】
4．2．6 ！。自燃性、易燃性、】毒，性，、腐：蚀性特种气体—系统的阀《门箱设？置应符合下列规定
！
？
《 1 》应设置进气管路隔】离阀及压《力指示装置；
【
【 2？ ， 气体？支路应设《有独立的压力控制调！节阀、？过滤器；《
【。 ？3 ？气体支路应设有【独，立的出？口隔离？阀；
？
，
4！ 气体《分支路？应设置独立的—吹扫气体装置
【
4．2．！7 ： 惰性及氧化—性特种气体》系统的阀门盘设置应！符合下列规定—
：。
】1，。 应设有》进气：。管路隔离阀及—压力指示《装置；
！ 2 — 气体支《路应设有《。独立的压力控制调节！阀、：过滤器；
【
，
》。 ，3 气《体支路应设有独立出！。口隔离阀《门，
—4，．，2．8 负压气】源特种？气体的气《瓶柜、气瓶架的设】置应符合《。负压气源特》种气：体的特性
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