4．—2 ？特种气？体输送系统
！
《4．2．1 — 特种气《体系统的《气瓶柜、气瓶架【的设置应符合下列】规定
【
《 ，1 气瓶柜与【气瓶架？。可采用？单工：艺气瓶外置吹扫气】源、双工艺气瓶外】置吹扫气源、—双工：艺气瓶内置吹扫气源！等多种结《构配置；
】。
？ ？2 ： 不相容气》体瓶不？应放置于同一气瓶】柜或气瓶架中；
！。
《 3 气】瓶柜：、气瓶架应设置作】业用气体面板；
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4！ ：系统的供应能力应】经过热力学和流体力！学计算核实；
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《 5 》 气瓶柜闭门时应】保持不低于1—00Pa负压—柜内的排《风换气？次数不得低于30】0次／h；
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，
》6 自《燃性、易《燃性、毒性、腐蚀】性，气瓶柜？应在排？风，出，口，设置固定《式气体泄漏探测器】；
》。
？ 7《 气瓶柜柜体【外壳钢板厚》度不：应小于2．5mm并！应有防腐蚀》涂层；
】
： 8 气瓶柜！。门应具？备自：动关闭功能并—应配备防爆玻—璃观察窗；气瓶柜】的固：定螺栓设计》应满足当地地震设防！烈度的要求；
【
《
9 气！瓶柜、气《瓶架应设《置清晰明确的安【全标识牌；》
— ， 10 — 当气瓶柜放置【在有爆炸《和火灾危险》环境时其设计应符合！现行国家标准爆【炸危险？环，境电力装置设—计规范GB 50】058的有》关规定
！4．2．2 — 特种气体的气【瓶，柜、气瓶架》的气体面板设置【应符合下列规定【。
— 《1 ： 自燃性、易燃性、！毒性、腐蚀性气体面！板应设有紧急关断阀！门并应为常闭气【动阀门位置应—靠近气？。瓶；
？
】 2 气瓶—压力：大于0．《1，MPa的《自燃性、《易燃性、毒》性、腐？蚀性气体面》板应设？有过流开《关；：
？
3 ！ 自燃性、易燃性、！毒，性、腐蚀性气体【面板应设有惰性气】体吹扫、辅助抽真】空装置真空管—路应设止回阀；
！
《 4 气体！面板应设置工—艺气体？排气口
】
4．2．》3 可燃》和自：。燃性特种气体的气瓶！柜，应符：合下列规定
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1 】 当硅烷气瓶使【用，直径0．25—mm限流孔时—。气瓶：柜的排？风换气次数》不得低？。。于1200》次／h当使用直径0！。．15mm限—流孔时气瓶柜的排风！换气次数不》得，低于400次／【h且气瓶柜的负压】应连：续监控？；
【 2 【自燃性特种气—体的气瓶柜应设置紫！外、红外火焰探测器！；，
《
？ ？3 易燃性特种气！体的气瓶《柜，应设：置水喷淋系统；
！。
，
4】 自？燃性特种气体—的气瓶柜应在气瓶之！间设置隔离》钢板
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4？．2：．4 大》宗特种气体》系统应符合下—列，规定
？
！1 应设》置，独立气瓶、储—罐或长？管拖车？等的压力指示或钢】。瓶，称重：装置：。。、连接回型管—。、，气流控制的气体面】板、吹扫氮气单元】、电气控制柜—等装置；
】
《 2？ 大？宗特：种气：体系统的功能配【备，应符合本《标准第？4．2？．1条的《有关规定；》
？
3 ！ 液态？气体瓶应《设计：钢瓶加热《与保温装置；
】
— ：。4 减压降—温，效应显著《的气体应在减压前对！气体进行预》热
4．！2．：5， 液态特种气【体系统的设置—应符合下列规定
！
？
1 应！设置独立的液—体，槽罐、液体输送柜】、连接回《型管、驱动》气体：单元、吹《扫氮气单元、电【气控制柜、重量计】量等装置；
【
— 2 液态【。特种：气体系统宜利—用驱动气体压力将】液态特？种气体从槽罐输送至！液态特种气体柜或从！液态特种气体—柜直接？驱动输送至用—气工：艺设备液态特种气】体亦：可采：用，泵，送，；
》
3 】 用气点应》。。设置鼓泡器或蒸【发器将？液态特种《。气体：鼓泡或直《接蒸发以汽化形式】输送至？工艺反应设备；
】
？
4【 ：液态特种气》瓶柜功能设置应【符合本标准》第4．？2．1？条的有关规定—；
！ 5 具有【自燃性和遇》水反应性的金属有机！物前驱体液体供应柜！。应，设置相？。应灭：火系统；底》部应：设置收集槽并应放置！。吸附材料
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4．2．6！ 自燃性》、易燃？性、毒性《、腐蚀？性特种气体系—统的阀门箱》设置应符合下列规】。定
】 1 应设】。。置进气管路隔离【阀及压力《指示装置；
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】 ，2， 气体支》路应设？有独立的《压力控制调节阀、】过滤器？；
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3！ 气体支路应设有！独立的？出口隔离阀》；
【 4》 气？体分支路应设置【独立的吹扫》气体装置
》
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4．2．7 】。。 惰性？及氧化性特种气体系！统的阀门盘》设，。。置，应符合下列规—定
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1— 应设有进气【。管路隔离阀及压力】指示装置《；
？
》 2 气【体支路应设有独立的！。压力控制《调节阀、过滤—器；：
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？
： 3 》 气体？支路应设《有，独立：出口隔？离阀门
！4，．，2．：8 负《压气源特种气体的气！瓶柜、气瓶架—的设置？应符合？负压气源特种气【体的特？性
？
