4》．2 特种气体输！送系统
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4．【2．1 特种【气体系统的》。气瓶柜、《气瓶架的设置应符合！下列规定
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》。。 1 气瓶柜！与气瓶架《可采用单工艺气【瓶外：置吹扫气源、—双工艺气瓶外置吹】扫气源、双工艺气瓶！内置吹扫气源等多种！结构配置；
！
2 】 不相？容气体瓶不应—。放置于同一气—瓶柜或气瓶架中【。；
】。 ： 3 气瓶柜、】气瓶架应《设置作业用》气体面板；
！
《。 4 《 系：统的供应能力应经过！热力学和流体力【学计：算核：实；
？
！。5 气瓶柜闭门】时应保持不低于10！0Pa负压柜内的】。排风换气次数不得】低于300次／h；！
【 6《 自燃性》。、易燃？性，、毒性、腐蚀性【气瓶柜应在排风出口！设置固？定式气体《。泄漏探测器》；
：
，
》 ？7 气《瓶柜：柜，体外：壳钢板厚度》不应小于2．5mm！并应：有防腐蚀涂层；【
— 8 气瓶！柜门应具备自动【关闭功能并应配备防！爆玻璃观察窗；【气瓶柜的固定螺栓】设，计应满足当地地震】设，防烈度？的，要求；
！。 9 气】。瓶柜、气瓶架应设置！清晰明确的安—全标：识牌；
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？ ， 10 —。 当气瓶柜放置【在有爆炸《和火灾危险》环境时其《设计应符合》现行国家标准爆炸】危险环境电力—装置设？计规范GB 5【0，058的有关规定】
《
4．《2．2？ 特种气体的【气瓶：柜、气瓶《架的：气，体面板？设置应符合下列规定！。
— ： 1 自—燃性：、易：燃性、毒性》、腐蚀？性气体？面板应设有紧急关断！阀门并应为》。常闭气动阀门位置】应靠近气瓶；
！
》 ， 2 《气瓶压力大于—。0．1MP》。a的自？燃性、易燃性、【毒性：、腐蚀性《气体面板应设—有过流开关；—
】。 ，。。 3： ， 自燃性、易燃【性、毒性、腐蚀性】气体：面板应设有惰性气】体吹扫？、辅助抽真空—。。装置真空《管路：应设：止回阀；《
》
《 4：。。 气体面板—应，设置工艺气体排【气口
4！．2．3 —可燃和自燃性特种】。气，体的气瓶柜》应符合下列规—定
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： ， 1 当硅烷】气瓶使用直》径0．25mm【限流孔时气瓶柜【的，排风换气次数不【得低于1200次／！h当使用直》径0：．15m《m限流孔时》。气瓶柜的排风换气次！数不得低于》400次／h且气瓶！。柜，的负：压应连续监控—。；，
《
2 】 自燃性《特种：气，体的气瓶柜应设置紫！外、：红外火焰探测—器；
】 3 易燃！性特种？气体的气瓶柜应【设置水？喷淋系？统；
【
4 【 自燃性特种气【体的：气瓶柜应在》。气瓶之间《设置隔？离钢板
【
：4．2．4 大】宗特种气体系统【应符合？。下，列规定？
《。
，。
？ 1 应设【置独：立气瓶、储》。罐或长管拖车等【的压力指示或—钢瓶称重装置、连接！回型管、《气流控制《的，气体：面板、吹扫》氮，气单：元、：电气控制《柜等装置；
！
，
2 大！宗特种气体系—统，。的功：能配备？应符合本《标准第4．2—．，1条的有《关规定；《
》
？ 3 》液态气？。体瓶应设计钢瓶加热！与保温装《置，；，
【 ？4 减《压降温效应显著的】气体应？在，减压前对气体—进，行，预热
【
4．2．5 】液态特种气体系统的！设置应符《合下列规定
！
，
？ ：1 应设置—。独立：的液体槽罐、—液，体输送柜、》连接回型管》。、驱动气体单元、】吹扫氮气单元、【电气控制柜、—重量：计，量等装？置；
】 ： 2 液态特】种气体？系统宜利用》驱，动气：体压力将液态—。特种气体从槽罐【输送：至液态特《种气体柜《或从液态特》种气体柜直》接，驱动输送《至用气？工艺设备液态特种气！体亦可采用泵送【；
？
《 3 用气！点应设置鼓》泡器或蒸发器—将液态特种气体鼓】泡或直接蒸发以汽化！形式输送至工艺反】应设备；《
？
4 ！ 液态特种气瓶柜】。功能设置《。应符合本标准—第4．2．1—条的有关规》定；
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，
5 具！有自燃性和遇水反应！性的金属有机物前驱！体液体供《应柜应？设置相应灭火—系，。统；底部《应设置收集槽并【应放置？吸附：材料
？
？
4．2．6 ！自燃性？、易：燃性：、毒性、腐蚀性【特种气体系统的【阀门：箱设置应《符，合下列规定
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】 1 《应设置？进气管路隔离阀及压！力指示装《置；
】 《2 气体支路应】设有独立的压力【控制调节阀、过【滤器；
】
？ 3 《 气体支《路，应设有独立的出口隔！离阀；
【
4 】 气体？分支路应设置独【。立的吹扫气体—装置
》
4．2．【7 惰《性及氧化性特种【气体系？统的阀？门盘设置应符合下】列规定
】
1 应！设有进气管》路隔离阀及压力【指示装？置；
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2 ！气体：支，路应设有独》立的压力控》制调：节阀、过《滤器；
《
》 3》 气体支路—应设有独立出口隔】离阀门
【。
4．2．8【 负压气源特种气！体的气？。瓶柜、气《瓶架的设置》应，符合负压气源特种】气体的特性
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