4.4 !硅烷工艺系》统
《
:
,。
4?.4.1 》 硅烷?工艺系统的设计【。应根据下列因素确】定,
》
1— 硅烷站的规模;!
— 2 硅烷!的物理化学》性质;
】
《 3 当地硅烷】供应的充装》、运输状况;
!
:
4 【 用户对硅烷纯度、!压力:和负荷变化的要求
!
》4.4.2 硅】烷输送系统应设有】硅,烷容器、气体—面板、阀门箱—及连接管道》
:
4.4.3! 硅烷气体面板】应包括减压过滤【、吹扫、排》气,。、安全控《制的功能
—。
4.4【.4 硅烷系【统必须采用独立的惰!性气源进《行吹扫
《
4.4】.5 硅烷阀【门箱设置除应符【合本标准第4.【。2.6条的规定外还!应配置惰性》气体吹扫装置、气体!泄漏探测《。。器和紫外红外—火焰探测器
【
4.4.6! , 硅烷系统的排【气装置的设》置应符合下列规定
!。
【 1 硅烷【。系统的排气管不得】接入:排风系?统;
】。 : :2 排气管应采用!惰性:气体连?续吹扫吹《扫,气体流速不得小于0!。.3m?/s
】4.4.7》 硅烷连接—管道钢瓶侧应设【。置常闭式《紧急切断阀硅—烷站的安全》出口应设《置手:动紧急切断》按钮至少《有一:个,手动紧急切断按钮】与输送装置的距离不!应小于4.6m【
4【.4.8 硅【烷系统阀门、附件的!设置应符合》下列规定《
:
】1 ?硅烷输送系统—应采用金《属材质的波纹管阀】、隔膜阀、调—压,阀;
—
2 !硅,烷输送系《统应根据流量配【置不同?直径的限《流孔板;
!
3— 硅烷系统—应,配置过流开关—、紧急切断阀调压】阀的加热装》置应根据流》量核算确定
【