。 4．4  ！硅烷工？艺系统 】。 ： 4：．4．？1  硅烷工艺【系统的设计应根据下！列因素确定 【  》 ，  1 《 硅烷站的》规模； 】  ：   2  硅烷的！物理化学性质； 】。     ！3  当地硅烷【供，。。应的充装、运输【状况；？ ：   —  4？  用户对硅烷纯度！、压力和负荷变化的！要，求 4．！4，．2  硅烷输送系！统应设有硅烷容器】、气体面板》、阀门箱及连接管】道， ？。 ？4．4．3  【硅烷：气体面板应包—括减压过滤、吹扫】、排气、安全控制的！功能 】4．4．4 — 硅烷系《统必须采用独立【的惰性气源进—行吹扫 】 4．4．5  硅！烷阀：门箱设置除应符【合本标？准第4．2．6【条的规？定外还应配置惰性】气体吹扫装置、气体！泄漏探测器和紫【外红外？火焰探测器 ！ 4．4．6【  硅烷《系统：的排：气装置的设置—应符合下列规定 ！    【 ，1  硅烷系统【的排气管不得接【入排风系统； 】 ？    《 2  排气管【应采用？惰性气体连续吹扫】吹扫气体《流速不得《小于0．3m／s ！ 4．4】．7：  ：硅烷：。连接管道钢瓶侧应】设，置常闭式紧》急切断阀硅烷站的】安全出口《应设：置手动？紧急切？断按钮至少有一个手！动紧急切断按钮【与输送装《置的：距离不应小于—4．6m 【 ： 4．4．8 【 硅烷系统阀门【、附件的设置—应符合下列规定 ！。。     1！  硅？烷输送系统》应采用？金属材质《的波纹管《阀、隔膜阀》、调压阀； 【 《    2  【硅烷输送系》统，应，根据流？量配置不《同直径？的限流孔板； 】   —  3 《 硅烷系《统应配置《过流开？关、紧急切断阀【调压：阀，的加：热装置应根据—流量：核算：确，定 ？