4》．4：。  硅烷工艺系统 ！ 4】．4．？1  硅烷工艺系】统的设计应根据【下列因素确》定 》     —1  硅烷站—的规：模；  ！   2  硅烷】的物理化学性质；】 ： 《    3  当】地硅：。烷供应的充装、运】输状况； 】     4 】 ，用户对？硅烷纯度、压力【和负荷变化的—要求 4！．4：．2：  硅烷输送系统应！设有硅烷容器、气】体面板、阀门箱及连！。接管道 — ： 4．4．3  】硅烷：气体：面板应包括减压过】滤、吹扫、》排气、安全》控制的功能 ！ 4．4．—4  硅烷系统【必须采用《独立的惰性气—源进行吹扫 【 4．4．】5  硅烷阀门【箱设置除《应符：合，本标准？第4．2．6—条的规？定外：还应配置惰性气【体吹扫装《置、气体泄》漏探：测器和紫外红外【火焰探？测器 ？ 4—．4．6  硅烷】系统：的排气装置的设置】应符：合下列规定 — ？ ，     1—  硅烷《系统的排气》管不得？接入排风系统； ！ ，  《   2  排气】管，应采用惰性气体连】。续吹扫吹扫》气体流速不得小【于0．3m／—s — 4．4．7—  硅烷《连接管？道钢瓶侧应设置常闭！式，紧急切断阀硅烷站】的安全出口应—设置手动紧急—切断按钮至少有【一个：手动紧急切》断按钮与输送装置的！距离不应小于4．6！m ： 4．【4．8  》硅烷：系统阀？门、附？件的设置应符—合下列规定 【    【 1：  硅？。烷输送？系统应采用》金属材质《的波纹？管阀、隔膜阀—、调压阀； 】    —。 ，2  硅烷》输送系统《应根据流量配置不】同直径的限流—孔，板； ？     ！3  硅烷系统【应配置过流开关【、，紧急切？断阀：调压阀的加》热装置应根据—流量核？算确：定 ？