： 4．4  【硅烷工艺系统— — 4．4》．1  硅烷—工艺：系，统的设计应根据下】列因素确定 — ：     1 ！ 硅：烷站的规模； 】 ， ？    2 — 硅烷的物理化学】性质； 】  ：   3  当【地，硅烷供应的》充装、运输状—况；  ！   4  用户对！硅烷纯度、压—力和负荷《变化的要求 ！ 4？．4．2《  硅？烷输送系《。统应设有硅烷容【器，、气：体面板、《阀门箱及连接—管道 — 4．4．3 】 硅烷？气体面板应包括【减压过滤、吹扫【、排气、安》全控：制的功能《。 4．4！．4  硅烷系统】。必须采用独》立的惰性《。气源进行吹扫 【。 ：。 4．4．【5  硅烷》。阀门箱设置除应符】合本：标准第4《．，2．6条的规定外】还应配置《惰，。。性，气体：吹扫：装置：、气体泄《漏探测？器和紫外《红外火焰探测器 】。 4—．4．6 》 硅烷系统》的排气装置》。的设：置应符合下列规定】   】  1 《 硅烷？系统的排气管—不得接入排风系统；！ ，   【 ， 2  排气—管应采用惰性气体连！续，吹扫：吹扫气体流》速不得小于0．【3m／s 【 ：。 4．4．7  】硅烷连接管道—钢瓶侧应设置常闭】式紧急？切断：阀硅烷站的》安全出？口应设置手动—紧急切？断按钮至少有一个手！。动紧急切断按钮与输！送装置的《距离不？应，小于：4．6？m 4．！。4．8  硅烷系】统阀门？。、附件的设置应符合！下列规定 》。 》    《1 ： ，硅烷：输送系？统应采用金属材质】的波纹？管阀、隔膜》阀、调压阀；— ？  《   2 》 硅烷输送》系统应根据流量配】置不同直径的限流孔！。板； 》 ：     3— ， ，硅烷系统应配—置过流开关、紧急切！。断阀：调压阀的加热装【置应根据流量—核算确？定 ？