。 ？ 4．4  硅【烷工艺系统》 【 4．4．》1  硅烷》工艺系？。统的设计应根据【下列因？素确定 — ，   《  1  硅烷站】的规模； —    【 2  硅烷的【物理化学性》质；  ！  ： 3  当地—硅烷供应的》充装、？运输状况； ！     —4  用户》对硅：烷纯度、压力和负】荷变化的要求 ！ ， 4．《4．2  硅烷【输送系统应设有硅】烷容器、气体—面板、阀门箱及连】接管道 》 ： 4．4》．3  硅烷气体面！板应包括减》压过滤、吹扫、【排气、安全控制【的功能 】 4．4．》4，  硅烷系统必须采！用独立的惰性气源】进行吹扫《。 《 ：4，。．，4．5 《 硅烷阀门箱设【置除应符《合本标准第4—．，。2．：6条的规定》。外还应配置惰—性气体吹扫装置、气！体泄漏探测器和紫】外红外？火焰探测器 【 4．4．6！ ， 硅烷系《统，的排气装置的—设置应符《合下列规定》    ！ 1  硅烷—系统的排气管不【得接入排风系统；】  【   2  排【气管应采用惰性气】体连续吹扫吹扫【气体流速《不得小于0．3m】／s： —4．4．7  【硅，。烷，连接管道钢》瓶侧应设《置常闭式紧急切断】阀硅：烷，站的安全出口—应设：置手动紧急切—断按：钮至少有一个—。手动紧急《切断按钮与输送装置！。。的距离不《应小于4．6—m 》 4．4》．，8  硅烷系—统阀门、附件的设】置应符合《下列：规定 《    【 1  硅》烷输送系统应采【用金属材质的—波纹：管阀、隔膜阀—、调压阀； —     ！2  硅烷输送系统！应根据流量配置不】同直径的限流孔【板； 【  ：   ？3 ： 硅烷系《统，应配置过流开—。关、紧急切断阀【调压阀的《加热装置应根据流】量核算确《定 ？