4．4  ！硅烷工艺系统 ！ 4．【4．1  硅烷【工艺：系统的设《计应根据下列因素确！定 ？ ？     1 【 硅烷？站的规？模； 】 ， ，  2 《。 硅烷的《物理化学性质—； ：   【。  3？  当地硅烷—供应的充装、运输】状况：； ？。   —  4 《 用户对《硅烷纯度、压力和负！荷变化的要求— ， 4．【4．2？  硅烷输送系统应！设有硅烷《容器、气体面板、】。阀门箱及《。连接管道 — 4》．4：．3  硅烷气体面！板应包括《减压过滤、》吹扫、排气、—安全控制的功—能 ： 4．4】．4 ？ 硅烷系《统必：须采用独立的惰性气！源进行吹扫 — ， 4．4．】5  硅烷阀门箱设！置，除应符合本标准第】4．2．6条—的规定外还应配置惰！性气体？吹扫装置《、气体泄漏探—测器和紫外红—外火焰探《测器 【 4．4．》6  硅烷》系统的排气》装置的设置应—符合下列规定 【  —   ？1  硅烷系统【的排气管《不得接入排风系统；！   】  2  排气【管应采用《。惰，性气体连续》吹扫吹扫气体—流，速不得小于0．3m！／s 【 4．4．7—  硅烷连接管道】钢瓶侧应设》置常闭式紧急切断】阀硅烷站的安全出】口应设置手》动紧急？切断按钮至少—有一：个手动紧急切断按】钮与：输送装置的距离【不，应小于4．6m 】 ， 4．—4．8？  硅烷系统—阀门、附件的设【置应符合下》列规定 》     1！  硅烷输送—系统应采用金属材质！的，波纹管阀《、隔膜阀《、调压阀；》   】  2  硅烷【输送系统应根据【流量配置《不同直径的限流【孔板； — ，     —3  硅烷系统应配！置过流开关、—紧急切断阀调压阀】的，加热装？置应根据流量—核算确定《 ：