？ 4  特种气体工！艺系：统 】 4．1—  一般规定 【 4】．，1．：1  特种气体工艺！系，统应设置《下列主要装置— —。    《1  储存、供气】。的气瓶柜、气—。瓶架、集装》格、：卧式气？瓶、长管拖车；【 ？ ，     2 】。 ，气体分配用阀门【箱、阀门盘； 】 《    3 — 辅助？氮气：吹扫系统；》 ： ， ：  ：   4 》 尾气处理装置 】 《 4：．，1．2 《 特种气体工—艺系统？的设计应满足电子】产品生产工》艺，对，特种气体《工艺：参数、污染控制、使！。用安全的要》求 《 4《．1．3《  不相容的特种】气体的排气管道【。不得接入《。同一排气系统 【 4．1】．4 ？ 不相？容的特种气》体的：排风管道不得—接入同一排风系统】 ：