， 4《  特种气体—工艺系统 》 《 ， 4．1  ！一般规定《。 【。 4．1．》1  特种气体【工艺系统应》设，置下列主要》装置 ？ ：。     1 ！ 储存、供气的气瓶！柜、气瓶《架，。、集：装格、卧《式气瓶、长管拖车】； —     2—  气体分配用【阀门箱、阀门盘【； —     》3 ：。 辅助氮气吹扫【系统；？ 《     —4  尾气处理【装置 ？ 4．【。1．2  》特种：。气体：工艺系统的设—计，应满足电子产品生】产工：艺对特？种，气体工艺参数、污】染控制、使用安全的！要求 — 4？．1．3  —不相容？的特种气体的排气管！道不：得接入？同一排气系统 【 ：。 ？4．1．4  不相！容的特种气》体的排风《管道不得《接，入同一排风系统 ！