。 ， ： 4  特种气【体工艺系统 ！。 4．】1  一般规定【 ， ？。 4》．1．1 》 特：种，气体工艺《系统应设置下—列主要装置 】 ：     1 【 储存、供气的气】瓶柜、气瓶架—。、集装格、卧式【气，瓶、长管《拖车； 《。 ： ：     2—  气体分》配用阀门箱、—阀，门，盘；：  【   3  辅助氮！气吹扫系统； 【    】 ，。4  ？。尾气处理装置 ！ ？4．1．2  特种！气体：。。工艺系统的设计应满！足电：子产：品生产工艺对特【。种气体？。工艺参数、》污染控制、使—用安全的《要求 — 4．1．3 】 不相容《的特种气体的排气管！道不得接入同一【排气系统 》 4．1．！4  不《。相容的特种气体的排！风管道不得接—入同一排风系—统， ：