4》  特种《气体工艺系统 【 — 4《．1  一般规【定， ？ 4．1．！1  特种》气体工？艺系统应设置下列】主要：装置 》   》  1  储存、】供气的？气瓶柜、气瓶架【、集装？格、卧式气》瓶、长管拖车； ！ ：   《  2  》气体分配用阀门箱】、阀门盘； — 《     》3  辅《助氮气？吹扫系统； ！     4 】 ，尾气处理装置 ！ 4．1．2 ！ 特种气体工艺系】统的设计《。应满足？电，子产品生产工艺对】特种气体工艺—参数、？污染控制、使用安】全，的要求 】 4．1．3  不！相容的特种气体【的排：。气管：。道不得接入同一排气！系，统 【4．：。1，．4  不相容的】特种气体的排风管】道不得？接入同一排》风系统 》