4  特】种气体工艺》系统 — 4【．1  《一般规？定 【 4．1．1 】 特种气体工—艺系统应设置—。下列主要《。装，置 ：  —   ？1  储存、供气的！气瓶：柜、气瓶架、集装】格、卧式气》瓶、长管拖车—；  】 ，  2？。  气体分》配用阀门箱、阀【。门盘； 《   【。  3  辅助氮】。气吹：扫系统； ！     4 【 尾气处理装置 】 ？ 4？．1．2  特种气！体工艺系统》的设计应满足电子产！品生：产工艺？对特种气体工艺参】数、污？染控制、使用安【全的要求 — ： 4．《1．3？  不相《容的特种气体—的，排，气管道不得接—入同一排《气系统？ 《 4．1．4【。  不相容的特种】气，体的排风管道不得接！入同一排风系统 ！