4  特】。种气体工艺》系统： ， 【 4？．，1 ： 一般规定 】 ： 4．1—．，1  特种气体工艺！系统应？设置下列《。主要装置 ！     1 【 储存、供气—的气瓶？柜、气瓶架、集装】格、：卧式气瓶、长管拖车！； 《 ：     2  气！体分配？用阀门箱、阀门盘】；  】   ？3  ？。辅助氮气吹扫系【统，； ？。   — ， 4  尾气处理装！置 》 4．《1．2  特种气体！工，艺系统的设计应满足！电子产品生产—工艺对特《种气体？工艺参数、污染【控，制、使用安全的要】求 》 4．《1．3  不相容的！特种气？。体的排气管道不得】接入同一排气—系统 【 4．1．4  】不相容的特种气【。体的：排风管道《不得接入《同一排风系统 】