， 4 》 特种气《体，工艺系统 【 ： ： ？。4．1 《 一般规定 【 ： 4．1．1！ ， 特种气《体工艺系统应—设置下列主要—装置 【     1 【 ，储存、供气的气瓶】柜、：气瓶架、集装格【、，卧，式气瓶、长管拖【车，； ？ ：     2 】 气体分配用阀门箱！、阀门？盘； —    》 3  辅助氮【气，吹扫：系统； 》 ，     4 ！ 尾气？处理装置 — 《4．1．2 — 特种？气体：工艺系统的设计应】满足电子产品—生产工艺对》特种气体《工艺参数、污染控制！、，使，。用，安全的要求 ！ 4．1．3【  ：。不相容的特种气体的！排，气管道不得接入同一！排，气系：统 》 4．《1．4  》不相容的《特种气体《的排风？管道不？。得接入同一》排风系统 —