安全验证
? ,4  特种》气体工艺《系统 ? , 《 : 4.《1  一般规定【 4!.1.1 》 特种?。气体工艺系统应【设置下列主要装置】   】  1  储存【、供气的气瓶柜【、气瓶架、集装格、!卧式气瓶、长管拖车!; 《     2】 , 气体分配用阀门】箱、阀?门盘:;  】   3 》 辅:助,氮气吹扫系统; !    【 4:  尾气《处理装置 】 :4.1.2  特】种,气体工艺系统的设】。计应满足《电子产品生产—工艺对特种气体【工艺:参数、污《染控制、《使用:安全的要求 【 4.—1.3 《 不相容《的,特种气?体的排气管道—不得接入同一排气系!统 ? ? 4.1.4—  不相容的特种气!体的排风管道不得接!入同一排风系—统 ?