， ， 4  特种【气体工艺系统 ！ 【4．1  一般【规定 — ， 4．1—．，1  ？特种气？体工艺？系统应设置》下列主要装置 】  》   1 》 储存？、供气的《气瓶柜、气瓶架【、，集装格、卧式气瓶】、长管拖车；— 》     2—  ：气体分配用阀门箱、！阀门盘；《 —    3  辅助！。氮气吹扫《系统； 】     4—  ：尾气处理装置 ！ 4．》1．2  》特种气体工艺系统的！设计：应满足电子产品生产！工艺对？特种：。。气体工艺参数、污染！控制、使《。用安全的要求 ！ 4．1．3 ！ 不相？容的特种气》体的排气管道不得接！入同一排气》系统 ？ ？ 4．《1．：4 ： 不相容《的特种气体的排【风管：道不得接《入同一排风系统【 ， ，