4．1．1  特种气体工艺系统应设置下列主要装置：

    1  储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格、卧式气瓶、长管拖车；

    2  气体分配用阀门箱、阀门盘；

    3  辅助氮气吹扫系统；

    4  尾气处理装置。

4．1．2  特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。

4．1．3  不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。

4．1．4  不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。