？ ，4  特种》气体工艺《系统 ？ ， 《 ： 4．《1  一般规定【 4！．1．1 》 特种？。气体工艺系统应【设置下列主要装置】   】  1  储存【、供气的气瓶柜【、气瓶架、集装格、！卧式气瓶、长管拖车！； 《     2】 ， 气体分配用阀门】箱、阀？门盘：；  】   3 》 辅：助，氮气吹扫系统； ！    【 4：  尾气《处理装置 】 ：4．1．2  特】种，气体工艺系统的设】。计应满足《电子产品生产—工艺对特种气体【工艺：参数、污《染控制、《使用：安全的要求 【 4．—1．3 《 不相容《的，特种气？体的排气管道—不得接入同一排气系！统 ？ ？ 4．1．4—  不相容的特种气！体的排风管道不得接！入同一排风系—统 ？