4》  特种气体工【艺，系统 】 ， 4《。．，1  一般规定 ！。 ， ？ 4．1》．1  特》种气体工艺系—统应设置《下列主要装置 【  —   1  —储存、供《气的气瓶柜、气【瓶架、？集装格、《卧式气瓶、》。长，管拖车；《   】  2？  气体分配用【阀门箱、阀门盘；】 — ，   3  辅【助，氮气吹扫《系统：； 》 ：    4  【尾气处理装置 】 4》．1．？2  特《种气体工艺系统的】设计应满足》电子产品生产工【艺对特种气体工艺参！数、污染控制、使用！安全的要求 】 ， 4．1．3 】 不相容的特—种气：体的排？气管：道不：得接入同一》排气系统 】。 4．1．4  ！不相：容的特种气体的排】风管：道，不得接入《同，一排风系统 【