： 4 《 特种气体》。工艺：系统 — ， 4—．1  一般规定】 — 4．1．1  ！特，种气体工艺系统应】设，。置下列主要装置 ！  》   1 》 储存、供气的气瓶！柜、气瓶架、集装】格、卧式气瓶—、长管拖《车； 】 ，   ？2， ， 气体分配用—阀门箱、阀门盘；】 —。    3 —。 辅助氮气吹—扫系统？； 《。 ：。     4  尾！气处：理装置 ！4．：1．2？  特种气体—工艺系统《的设计应满》足电：子，产品生产工艺对特种！气体工艺参数、【污染控制、使用【安全的要求 【 4．1【．3  不》相容的特种气体【的排气管道不—得接入？同一排气系统—。 》 4．1《．4  不相容【的特：种气体的排》风管道？不，得，接入同一排风系统】 ：