4》 特种气体工【艺,系统
】
,
4《。.,1 一般规定
!。
,
?
4.1》.1 特》种气体工艺系—统应设置《下列主要装置
【
— 1 —储存、供《气的气瓶柜、气【瓶架、?集装格、《卧式气瓶、》。长,管拖车;《
】 2? 气体分配用【阀门箱、阀门盘;】
— , 3 辅【助,氮气吹扫《系统:;
》
: 4 【尾气处理装置
】
4》.1.?2 特《种气体工艺系统的】设计应满足》电子产品生产工【艺对特种气体工艺参!数、污染控制、使用!安全的要求
】
,
4.1.3 】 不相容的特—种气:体的排?气管:道不:得接入同一》排气系统
】。
4.1.4 !不相:容的特种气体的排】风管:道,不得接入《同,一排风系统
【