。 ： 4  特种气】体工艺系《统 — 4．1】  一？般规定 《 【4．1．1  特】种气：体工：艺系统应《设置下列主要装【置 ？    【 1  储》存、：供气的？气瓶柜、气瓶架、】集装格、《卧，式气瓶、长管拖【车； 】    《2  气体分配用】阀门箱、《阀门盘； 》  —   3  辅助氮！气吹扫系《统，； —。     》。4  ？尾气处理装》置 4】。．1．2《  特种《气体工艺系统—的设：计应满足电》子产品生产工艺对特！种气体？工艺参数、》污染控？制、使用安全的要】。求 《 4．1．【3  不相容—的特种气体》的排气管道不得接入！同一排气《。系统 4！．1．4  不【相容的特《种气体的排风管道】不得接入同一排风】系统 《