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7 公用工程】
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7.《1 通《风、空调与》净,化
!7.1?.1 《。微波集?成组件生《。产厂房在生》产过程中涉及粉【。尘、热排风、—酸,性排:风不同性质排风混合!后可:能产生粉尘聚—。集、腐蚀等问题因】此要按照工》艺排风?污染物性质不同分别!设置排风系统—
7.】1,.2 微波—集成组件生产—厂房含有《粉尘:、电镀排风中包【有有害物《质因此要《通过工艺排》。风管道收集经过【除尘设备、湿式洗】。涤塔处?理降低其中污—染,物浓度和排放量减】少对大?气环境?的影响
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7.1.3! :由于微波集成组【件,生产工艺包括了多个!。不同生产工》序各工序《对生产环境的—洁净度等级、温度、!相对:湿,度要求?不同因此根》据生产?工艺要求《划分空气调节与【。空气净化系统
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7.【1.4? 为使洁净—。。室在正常《。运,行或空?气平衡暂《时受到破坏时—气流始终从空—气洁净度等级高的区!域流向空气洁—。净度等级低的区域保!证洁净室的洁净度】不受到影响因此规】定了不同洁》净度等级《的,洁净:。区域之间要保持一】定正压
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