7 — 公用工程
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7《.1 通风、空】调与净化
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《7.1.1》。 , ,微波集?成组件生产厂房【在生产过《程中涉及《粉尘:、热排风、酸性排风!不,同,性质排风混》合后可能产生粉【尘聚集、《腐蚀等问题》因,此,要,。按照工艺排风污【染,物性质不同分别【设置排风系统
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》7.1.《。2, 微波集成组【件生产厂房含—有粉:尘、电镀排》风中包有《有害物质因此要通过!工艺排风管道收【集经过除尘设备、】湿式洗涤塔处理降低!其中:污染物浓度和—排放量?减少对?大气环境的》影响
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7.1》.3 由于—微,波集成组件生产工艺!包括了多个不同【生产工序各工序对生!产环境?的洁净度等级、【温度、相对》湿度:要求不同因此根【据生产?工艺:要求划?。分空气调节与空【气净:化系统
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7《.1.?4 为使洁净室】在正常运行》。或空气平衡暂时受】到破坏时气流—始终从空气洁—净,度等级高的区域流向!空气洁净《度等级低的区域【保证洁?净室的洁净》度,不受:到影响因《此规定了《不同洁净度》等级的?洁净:区域之间《要保持一定正压
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