7 【公用工程
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7.?1 通风》、空调与净化
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7:。.1.?1, 微波集成组件】。生产厂房在》生产过程中涉—及粉尘?、热排风、酸—性排风?不同性质排》风混合?后可能产生粉尘【聚集、腐蚀》等问题因《此要按照工艺排【风污染?物性质不同》分别设?置排风?系统
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7.?1.2 》微波集?成组件生产厂—房含有粉尘、电镀排!风中包有有》害物质因此》要通过?工艺:排,风管道收集经过除尘!设备、湿式洗涤塔】。处理降低《其中污染物浓度和】排放量?减少对大气》环境:的影响
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7.1.3!。 由于微》波集成组件生产工艺!包括了多个》不同生产工序各工】。序对生?。产环境的洁》净,度等:级、温度、相对湿度!。要求不同《因此根据生产工【艺要求划分空气【调节与空气净化【系,。统
7.!1,.4 为使洁净室!在正常运《行,或空气平衡》暂时受到破》坏时气流始终—。从空气洁净度—等级高的《区域流向空气洁净】度等级?低的区域保证洁【净室的洁《净度不受到影响【因此规定了不同洁】净度等级的》洁净区域之间要【保持一定正压
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