7 — 公用工程》 — ：。 7？.1  通风、空调！与净化 — 7.【1.1  》微波集成组件生产】厂房在生产过程中】涉及粉尘、热排【风、酸性排风不同性！质排风混合后可能】产，生粉尘聚集、—腐蚀等问题因此要按！照，工艺排风《污染物性《质不：。同分别设置排—。风系统 】 7.1.》。2，  ：微波：。。。集成组？件生产厂房含有【粉，尘、电镀排风—中包有有害物—质，。因此要通过工艺排风！管道收集《经过除？尘设备、湿式洗【涤塔：处理降低《其中污？染物：浓度和排《放量减少对大气环】境的影响 】 ：7，.1.3  —由于微？波集成组《件生产工艺包括了多！个不：同，生产工序各工序【对生产环境的洁净度！等级、温《度、相对《湿度：要求不同因此根据】生产工艺要求划分】空气调节与空气【净化系统 》 ， 7.1.4！  为使洁净室在正！常运行？。或空气平《衡暂时受《到破坏时气流始终】从空气洁净度—等级高的区域流向空！气洁净度等级低的】区域保证《洁，净室的洁净度不【受到影响因此—规定了不《同洁净度《等级的洁净区域【之间要保持一定正】压 ？