,
7 》 公用工程
】
—
,7.1 》通风、空调与净化】
—
,
7:.1.1 微【。。波,集,成,组件生产厂房在生】产过程中涉及粉【尘、热?排风、酸性排风不同!性质排风混合后可能!产生粉尘聚集、腐】蚀等问题因此要【按照工艺排风污【染物性质不同—。分别设置排风系统
!
《
,7.1.《2 ?微波集成组件生产厂!房含有粉尘、—电镀排风中》包有有害物质因【此要通过工艺—排风管?。道收集经过除尘【设备、湿式洗涤塔】处理降低其中—污染物浓度和排放量!减少对大气环境的影!响
【7.1.3 — ,由于微波集成—组件生?产工艺包括了—多个不同生产工【序各工序对》生产环境《的洁净度等级、温度!、相:对湿度要求不同因】此根:据生产工艺要求【。。划,分空气调节》与空气净《化系统
《
7.【1.4 为使洁净!室在正常运行或【空气平?衡暂时受到》破坏时?气流始终《从空气洁净度等级】高的区域流向空气】。洁净度等《级低的?区域保证洁净室的洁!净度不受到影响因】此规定了不同洁净度!等,级的洁净《区域之?间要保持一》定正压
》