：。 7  公用工程！ ，。 【 7.1  【通风、空调》与净化 》 《 ：7.1.1  微】波集成组件》生产厂房在生产过程！中涉及粉尘、热排】风、酸？性排风不同性质排风！混合后？可能产？生粉尘？聚集、？腐蚀等问《题因此要《按照工艺排风污染】物性质不同分别设】置排风系统 — 7—.1.2《  微？波集：成组件？生，产厂房含有粉—尘、电镀排风—中包有有《害物质因此要通【过工艺？排风管道《收集经过除》尘设备、湿式洗【涤，塔处理降低》其中：污染物浓度和排【放，量减少对大气环境的！影响 《 ？ 7.1.3  由！于微波？集成：组，件生产？工艺包？括了多个不同生【产工序各工序对【生产环境的》洁，净度等？级、温？。度、相？对，湿度要？求，。不同：因此根据生产工艺要！求划分空《气，。调节与空气》净化系统 【 7.》1，.4  为使洁【净，室在正常运行—或空气平衡暂—时受到破坏时气流始！终从：空气：洁净度等级》高的区域流向空气洁！净度等级低的区域保！证，洁净室的洁净度【不受：到影响因此规定了】不同洁净度等级【的，洁净：。区域：之间要保持一定【正压 《