6 工艺!设计:要求
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6.1【 , 般要求
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6》.1.2 —。静电防护系统是厂】房基本工艺》条件:配置微波集成组件对!于静电放《电比其他《工厂更?为敏感微小》。的静电放电电压都】可,能对组件中的ESD!敏感器件造成损伤】。当组件内管芯静电】敏感等级为》0级静电敏感电压<!。2,。50V工《作区的防静电—等级要达到一—级
】 虽然金属【。腔、薄膜、厚—膜电路的清洗可不考!虑静电防护但为产品!安全清洗《区要考虑静电防【护
! 同样金属腔、】薄膜、厚膜电—路的准备和齐套可不!考虑静电《防护但为产》品安全物料准备区要!考虑静?电防护
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6.1.5! 生产《车间:的非洁净区一—般无:湿,度的具体要求温度一!。般要求是10℃【~30℃
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