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6 》工艺:。。设计:要,求
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6.!1 般要求—
】6.1.《2 静电防护系统!是厂房基本工艺【条件:配置微波集成组件】对于:。静电放电比其—他工厂更为敏感【微小的静电放电【电压都可能对组件中!的ESD敏感—器件造成损》伤当组件内管芯静】电敏感等级为0【级静电敏感电压【<25?。0V:工作区的防静电等】级要达到一》级
】 虽然金属腔】、薄膜、厚膜电路】的清洗?可不考虑静电—。防护但为产品安全】清,洗区要考虑静电防护!
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? 同样《金属腔、薄膜、厚】膜电路的准备和齐套!可,不考虑静《电,防护:。但为产品安全—物料准备区》要考:虑静电防《护
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6.1.!5 生产车—间的:非洁净?区一般无《湿度的具体要求【温度一般《要求是10℃~【30℃
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