6》  工艺设计要【求 ： 《 《 6：.1  般要求【 —。。 6.1.—2  ？静电防护系统是厂】房基本工艺》条件配？置微波集成组件【对于静电放电—比其他工厂》更为敏？感，微小的静《电，放电电压都可—能，对组件中《的ESD《敏感器？件造成损《伤当组件内》管芯静电敏感—等，级为0级静电—敏感电压《＜250V》工作区的防静电等级！要达到一级 【 ，     【。虽，然金：属腔、薄膜》、厚膜电路的清洗可！不考虑静电防护但为！产，品安全清洗区要考虑！静电：防护 —    》 同样金属腔—、薄膜、《厚膜：电路的？准备：和齐套可不考—虑静电？。防，。护但为产品安全物料！准备区要考虑静电防！护 ：。 ？ 6.1.5 】 生产车间的非洁净！区一般无湿度的具体！要求温？度一般要求》是10℃～3—0℃ 《