微波集成组件生产工厂工艺设计标准 [附条文说明] GB51385-2019 建标库

6  工艺设计要求

6.1  —般要求

6.1.2  静电防护系统是厂房基本工艺条件配置。微波集成组件对于静电放电比其他工厂更为敏感,微小的静电放电电压都可能对组件中的ESD敏感器件造成损伤。当组件内管芯静电敏感等级为0级,静电敏感电压<250V,工作区的防静电等级要达到一级。

    虽然金属腔、薄膜、厚膜电路的清洗可不考虑静电防护,但为产品安全,清洗区要考虑静电防护。

    同样,金属腔、薄膜、厚膜电路的准备和齐套可不考虑静电防护,但为产品安全,物料准备区要考虑静电防护。

6.1.5  生产车间的非洁净区一般无湿度的具体要求,温度一般要求是10℃~30℃。