6 工艺设计要求
6.1 —般要求
6.1.2 静电防护系统是厂房基本工艺条件配置。微波集成组件对于静电放电比其他工厂更为敏感,微小的静电放电电压都可能对组件中的ESD敏感器件造成损伤。当组件内管芯静电敏感等级为0级,静电敏感电压<250V,工作区的防静电等级要达到一级。
虽然金属腔、薄膜、厚膜电路的清洗可不考虑静电防护,但为产品安全,清洗区要考虑静电防护。
同样,金属腔、薄膜、厚膜电路的准备和齐套可不考虑静电防护,但为产品安全,物料准备区要考虑静电防护。
6.1.5 生产车间的非洁净区一般无湿度的具体要求,温度一般要求是10℃~30℃。