6  【工艺设计要》求 《 ， 6.1！  般要求 】 6—.1.？2  静电防护系统！是厂房基本工艺条】件配置微《波集成组件》。。对于静电放电—。比其他？工厂更为《敏感微小的静—电放电电压都可能对！。。组件中的E》SD：敏，感器件造成损伤当组！件内管芯静》电敏感？等级为0级静电敏感！电压＜250—V工作区的》防静电等级要达到一！级 ？    【 ，虽然：金，属，腔、薄膜、》厚，膜电路的《清洗可不考虑静电】防护但为产》品安全清洗区—要考虑静电》防护 《    【 同样金属腔、【薄膜、？。厚膜电？路的：准备和？齐套可？不考虑？静电防护但为产【品安全物料准备区要！考虑：。静电防护 ！ 6.？1.5？  生？产车：间的非？洁净区一《般，无湿：度的具体要求温度】一般要？求是10℃～30】℃ ： ，