6》 :工艺设计要求—
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6.1 般要求!
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6.1.2】 静电防护系统】是厂房基本工艺【条件配置微》波集成组件对于静】电放电比其他工厂更!为敏感?微,小的静电放电—电压都可能对组件】中的ESD敏感器】件造:成损伤当组件内【管芯静电敏感等级】为0级静电敏感电】压<25《0V工作区的防静电!等级要?达到一级
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》 :虽,然金属腔、薄膜【、厚:膜电路的清洗可不考!。虑静电防《护但:。为产品安《全,清洗区要考虑—静电:防护
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— 同《样,金属腔?、薄膜?、厚膜电路的准【备和:齐套可不考虑静【电,防护但为产品安【全物:料准备区《要考虑静电防—护
【6.1.5 【生产车间的非洁【净区:一般无湿度的具体】要求温度一般要【求是10℃~30℃!
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