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6 工】艺设计要求
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!6.1 《 般要求
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?6.1.2》 静电防护—系统是厂房》基,本工艺条件配置【微波集成组》。件对于?。。静电放?电比其他工厂更【。为,敏,感微小的静电放电电!。压都可?能对组件中的E【SD敏感《器件造成损伤—当组件内管芯静【电敏感等《级为:0级静电《敏感电压<250】V工作区的防静电】等级要达《到一级
! 虽然金属腔!、薄膜、《。厚膜电路的清洗可】不考虑?。静电防护但为产【品安全清洗区—要考虑?静电防护《
】 同样金属腔【、薄膜?、厚膜电路的准备】和齐套?可不考虑静电防【护但为?。产品安?全物料准备区要考虑!静电防护
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6.1.5— 生产车间—的非洁净区一般【无湿度的具》体要求温度一—般要求是10℃【~,30℃?
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