5 工艺布局
5.1 一般要求
5.1.1 微波集成组件生产厂包括工艺生产区、动力辅助区、仓储区、办公管理区。工艺生产功能区中的生产辅助区是保证生产正常运行的辅助服务性设施。
5.1.4 工艺生产区厂房使用面积要根据生产规模进行测算,主要包括动力、工艺设备及其安装、操作、检修所需面积,以及配套设施、生产管理、各种通道所需面积。
5.1.7 封盖前有裸芯片的微波集成组件要在洁净厂房完成装配、测试和调试;组件中无裸芯片的微波组件在非洁净厂房完成装配、测试和调试;有芯片但已完成封盖的微波集成组件在非洁净厂房完成测试。
5.1.8 自动化程度高的厂房,物流通道满足智能物流设备的要求。
5.1.11 发热量、发尘量大的生产工序或生产设备,要采取防扩散措施,必要时分隔房间分类集中布置。