5  工艺！布局 ？ ， ， — 5.1  一【般要求 》 ，。 5.1】.1  《微波集成组件生产厂！包括工艺生产区【、动力辅《助，区、仓储《区、：。办公管理区工艺生】产功能区中的生【产辅助区《。是保证生产正—常运行？的辅助服务性设施】 》 5.1.4 【 工艺生产区厂房】使用面积要根据生】。产规模进行测算主要！包括动力、工艺设】备及其安装、操作】、检：修所：需，。面，积以及配套设施、生！产管理、《各种通？道所需面积》。 —5.1？.7  《封盖前有裸》芯片的微波集成【组件：要在：洁净厂房完成—装配、测《试和：。调试；组件中无【裸芯片的微波组件在！非洁净厂房完成【装配、测试和调试】；有芯？。片但已完成封盖的微！波集成组件在非【洁净厂？。房完成测试 】 5.》。1.8 《 自：动化程度高的厂房物！流通道？。满，足智能物《流设备的《要求 5！.1.11  发热！。。量、发？尘量大的生产工序或！。生产设备要》采取防扩散》措施必？要时分隔《房间分类集中—布置 《