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5》 工艺布局
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5!.1: 一般《要求
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【5.1.《1 微波集成组】件生产厂包括工艺】生产区、动力辅助区!、仓储区、办公管理!区工艺生产功能【区中的生产辅助区是!。保,证生:产正常运行的辅助服!务性设施
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5.1.!4 工《艺生产区厂房使用】面积:要根据生产规模进】行测算主要》包括动力、》工艺:设,备,。及其:安装、操作、检【修所需面积以—及配套设施、生产管!理、各种通》道所需面《积
【5.1.7 封盖!前有裸芯片》的微:波集成?组件要在洁》净厂:房,完成装配、测试和】调试;组件中—无裸芯片的微波组】。。件在非洁《净厂房完《成装配、《测试和?调,试;有芯片但—已完成封盖的微【波集成组件》。在非洁净厂房完【成测试
!。5.1.8 — 自:动化程度高的厂【房物流通道》满足:智能物?流设备的要求
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5.1.》11 《发热量?、发尘?量大:的生产工序》或生产设备要采取】防扩散措施必—要,。时分隔房间分类集中!布置
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