5  工艺！布局 ！ 5.》1  一《般要求 ！ 5.《1.1  微波集成！组件生产厂包括工艺！生产：区，、动力辅助区、【仓储区、办公管理区！工艺生？产功能？区中的生产辅助【区是保证生产正常】运行的辅助服务【。性设施 ！5.：1.4  工艺生】产区厂房《使用面积要根据生产！。规模进？行测算主要》包括动力、工艺设备！及其安装、》操作、检修所需面积！以及配套设施、【生产管理、各种【通道所需面积— 《 5.1.7 】 封：盖，前有裸芯片的微【波集成组件要在洁净！厂，房完成装配、测试和！调试；组件中—无裸芯片的微波【组件在？非洁：净厂房完成装—配、测试和调试【；有芯片《。但已完成封盖—的，微，波集成组件在非洁净！厂房：完成测？试， 》。 5.1.》。8  自《动化程度《高的厂？。房物流通《道满足？智，能物流设《备的要求《。 —。5.1.11  】发热量、发尘量大的！生产工序或生产设备！要采取防扩》散，。措施必要时分—隔房间分《类集中布置 —。 ，