， 6《.3 ？ ，工艺：要求 】 ， 6.？3.1？  物？料准备？区应符合下》列规定？ ，     ！1  物料准备【区宜分为洁净区和非！洁净区洁净区的洁净！度等级应为8级【或优于8级；— 《     2【  物料准》备区应保《证工艺辅料》、耗材和元》器件的真空、干燥、！氮气保护等存储条】件要求； —。     3！  物料准备区宜】包括物料检测工作台！、齐套准备工作【台等； —   》  4  》放置充氮柜空间应】配置设备电》源接：。口、氮气、》压缩空气接口以及】防静电接地接—口放置除湿柜—空间应配置设—备电源接口、压缩】空气接口以及—。防静电接地接—口； 《 ， ？。 ，   ？5  放置自动货】架空间应配置设备电！源接口、压》缩空气接口；—   】  ：6  放置真—空包装？塑封机空《间应配置电》源接口、真》空泵及电源接—口或真空《管道接口《 ，。 《 6.3《.2  清》洗区工艺应符合下列！规定  ！   1  清洗区！宜分为洁净区和【非洁净区洁净区级】别应为8级或优【于8级？； 【    2  电路！基片和组装前—零部件应在洁净【区清洗机加》零件、钎焊接头后的！腔体等零部件—可在：非洁净区清洗；【 —  ：  3  清洗用】水槽应？配备自来水、纯水】台面应承受一定重】量并且耐酸》碱、：耐，老，化，、，耐高温； —  》   ？4  清洗区—排风系统应位于清】洗机上方《排风：量宜预留《适当余量； 】 ：     5 【 清洗区应根据产量！和清洗物料》品种设置《纯水水槽和喷—淋槽； 【     —6  排液系统管道！应防酸碱腐》。蚀和：耐有机溶剂浸—泡； 《    【 7  清洗—废，液应集中处理；【。 《     8【  清洗机》旁应配置洗眼器【等安全防护》设，施，； 《 ：。     9 【 等离子清》洗机应配《置氩气、氧气、氮】气等高纯气体接口 ！ ？ 6.3》.3  装配区应】符合下列规定 】 ？ ，    1  【装配区宜分》为，洁净区和非》洁，净区洁净区级别宜为！7级； ！。    2 —。 在工作区整体【照明系统基础—上，。。使用显微镜的—粘接、共晶工位宜设！置局部？照明；？ ？ ：     》3  装配》显微：。镜放大倍数宜—为10？倍～40倍检验【显，微镜：放大倍数宜为1【0倍：～100《倍； 】    4 — ，钎焊和？电装：工序宜布《置在：非，洁净区？域应配备烟雾—。。净化过滤系统； 】 ：     5】  各种焊接炉、】焊接机器人宜—配备高纯氮》气接口并宜》根据需要配》置压缩空气、冷却液！和排风口等； ！ ：。     6  精！密返修系《统应配备压》缩空气接口》； ：     ！7  ？自动送？料机、螺《钉，自动锁？紧设备？等应配备压缩空气】接口；？  【   8  点胶设！。备应：配备压缩空气接口】；  】   9 》 手：动、：半自动？、自动共晶》机宜使用高纯氮气或！氮氢混合《气使用氮氢混—合，气应设置工艺排【风； 》     10！  真？空，共晶机宜《使用高纯氮气若【使用甲酸、氮氢混】合气应有尾气处【理装置； ！    《 1：1  烘箱和—固化炉宜选》择温度、时间—可程序控制的型号烘！箱应配置《排风系统； ！  ？   12  【手动、半自动—和自动贴《片机应配备压—。缩空气？接口、真《空接口； — ， ，     13 ！ 金：丝、硅铝《丝、粗铝丝键—合，机及金带键合机【应配备压缩空—气接口？。宜配备真空接—口和氮气接口； 】。。 ？  ？   ？14  倒装—焊接机应配备真空】接口、高纯氮—气接口宜配》备压缩空《气，。接，口； 】    1》5 ： 底部填充设备应】配备压缩空气接口】；   ！  16  —芯片叠层工序用【划片机应配》备真空接口、—压缩空气接口；【 —。    1》7  拉《力剪切力测试仪应】配备真空接口、压缩！空气接口 》 ？ ：6.3.《4  测试与调【试区应符合》。下列规？定 —     1 【 测试与调试—区宜分为洁净区和非！洁净区洁净》区级别宜为7级【； 【  ：  ：2  有芯片的【微波集成组件—封盖前测《试、调试应在洁净】区进行； 》 ，。 ，  《   ？3  调试区—宜在微波测试—调试区？中，设定相对《独立区域当调试区】无单独指标调—整工位时宜在装配】区明确相应的粘接】、电装、键合工【位； 【 ，    4  芯片！组装：前筛选测《试，可在：。试验区搭建芯片【探针台测试 ！ 6.3.5  ！封盖区工艺设计应符！合下列规《定  】   1  封【盖区宜分为洁净区】和非洁？净，区洁净区级别宜为7！级；： ： ？   ？  ：2  ？封焊设备主体—部分应？置于洁净区封—焊设：。备辅助部分可置于非！洁净区域； ！     3  ！激光封焊《、平行缝焊》等设备宜配置—手套箱和氮气—干，燥装置？； ？     】4  手套箱内应设！置监控？内部气氛《的装置 《 6—.3：.6  涂》覆区应？符合下列规》定 》   《  1  涂覆区】环境温度宜》为10℃～》30℃？不应超过涂料允许】的操作温度范—围； 】    2  操】作环境有害物浓度】应符合现行国—家职业卫生标准工】业企业设计卫—。生标准的有关规定；！    ！ 3  喷涂柜或水！幕通：。风，柜，风口风速宜为0.】6m/s～0—.8m？/s：；   ！  4  干燥箱】、隧道炉、烘房等】烘干设备应有自【动控温功《能并应设置排气 】 ： 6.3—.7  环》境试验区应》。符合下列《规定  ！ ，  1  环境试】。验区宜？为非洁净区》； 》 ： ，   2  —环境试验《区应配置《基本环境试验设【备及微？波集：成组：件测试仪《器； ？  —  ： ，3 ： 振动试《验应单独形成一个区！域并应远离其他生】产，区； ？     ！4  ？环境：抽，样试验可使》用专用测试台或测试！工作站 》 6.3.8！ ， 分：析，区洁净度等级宜为】8级：。。 ， ，