《6.3？  ：工艺要求《 ： 6【.3.1  物料】准备区应符合下列规！定 【    1》  物料准备区宜】分为洁净区》和非洁净区洁净区的！。洁净度？等级：应为：8级或？优，于，8级； 】   ？  2  》物料准备区应保【证，工艺辅料、耗材和元！器件的真空、—干燥、氮气保护【等存储条件》要求：； 》  ？   3  物【料准备区《。宜包：括物料检测工作台】。、齐套准备工作台等！； 《  《   ？。。4  放置》充氮柜空间应配置】设备：电源：接口、氮气、压【缩空气接口以及【。防静电接地》。接口放置《除湿柜空间》。应配置设备电源【接口、压《缩空：气接：口，。以及防静《电接地接口》；   ！  5 《 放置自动货架【空间应配置》。。设备电？源，接口、？压缩空气接口—； —     》6 ： 放置真《空，包装塑？封机空间应配置【电源接口《。、真空泵及电源【接，。口或：真空管？道接口 】 6.3.2  清！洗区工艺《应符合下《列规定 】     1—  清？洗区宜？分为洁净区和非洁】净区洁净区》级，别，应，为8级或优于8【级；：  【   ？2  电路基片和】组，装前零部《件应在洁净区清【。洗机加零件、钎【焊接头？后的腔？体等零部件可在非洁！净区清洗《； 【。    3 — 清洗？用水槽应配备自来】水，、纯水台《面应承受一定—。重量并且耐》酸碱、耐老化、耐高！温； ？   【  ：4 ： 清洗区排风—系统应位于清洗【机上方？。排风：量宜预留适当余量；！ ， ：  《   ？5  清洗区应根据！产量和清洗物料品】种设置纯水水—槽和喷淋槽； 】 ： ， ，    6  排液！系，统管道应防酸—碱腐蚀？和耐：有，机溶：剂浸泡； ！     7 【 ，清洗：废，液应集中《处理； 《 《  ：   8《  清洗《。机旁应配置洗眼器等！安全：防护设施； 【  》   9 》 等离子清洗机【应配：。置氩气、氧气、氮】气等高？纯气体接口 【 6.3.】3  装配区应符】合下列？规定 】    《1  装配》区宜分为洁》净区和非洁净区洁净！区级别宜《为7级； 》 ，。 《    2  在】工作区整体照明系统！基，础上使用显微镜的粘！接、共晶工位宜设】置局部照明》； 》 ，    《 ，3 ： 装配显微镜放大】倍数：宜为10倍～—4，0倍检验显》微镜放大倍数宜为1！。0倍～？100倍； —     ！4 ： 钎焊和《电装工序宜布置在】非洁净区域应—。配备烟雾净化过滤系！统； —   《  5  各种焊接！炉、焊接《机器人宜配备高纯】氮气：接口：并宜根据需要—配置压缩空》气、冷却液和—排风：口等：； ？    【 6  精密—返修系？统应配备压缩—空，。气接：口； 】    《7  自《动送料机《、螺钉自《动锁紧设备等应【配备压？缩空气接口》； 》    》 8：  点？胶设备应配备压【缩空气接口；—    ！ 9  手动、【半自动、《自动共晶机宜—使用高？纯氮气或氮》。。氢混合气使》用氮氢混合气应设】置工艺排风；—   】。  10  真空】共晶机？宜使用高纯氮气若】使用甲酸、氮氢【混合气应有尾—气处理装置；—  【 ， ，。 11  》烘箱和固化炉宜选择！。温度、时间可程序】控制的型号烘—。。箱应配？置排风系统； ！  《   12 — 手动、半自动和】自动贴片机应配备】压缩空气接口、真空！接口； ！    13 【 金丝、《硅铝：丝、粗铝丝键合【机及金带键合机应配！备压缩空气》接口宜配备真空【接口和氮气接—口； 【    《 1：4  倒装焊接【机应配备真空接【口、高纯氮气—接口宜配备压缩【空气接口； ！    》 15  底部【填充设备应配—备压缩空气接口； ！  —   ？16  芯片—叠层工？。序用划片机》应配备真空》接口、压缩空气【接口；？ ？。  《   17  拉力！剪切力测试仪应【配备真空接口、压缩！空，气接口 》 ？ 6：.3.4 》 测试与调试区【应符合？下列规？定 ？ ？   ？  ：1  测试与调【试区：宜分为洁《。。净区：。和非：洁净区洁《净区级别宜为7【级； 】    2 — 有芯？片的微波集成组件封！。盖前测？试、调？试应在洁《净区进行； 】     【。3  调试区—宜在微波测》试调试区《中，设定相对《。独，立区域？当调试区无单独指标！调整：工位时宜在装配区明！确相应的粘接、【电装：、键合工位； 【 》    4  芯】片组：装前筛选测试可在试！验，区搭建芯片探针台】测试 《 6》.3.？5  封盖区—工艺设计应符—合下列规定 ！    》 1  封盖—区宜分为洁净区和非！洁净区洁净区级别宜！为7级； ！     》2  封焊》设，备，主体部分应置—。于洁净区封焊设备辅！助部分可置于—非洁：净区域； 】     3  ！激光封焊《、平行缝《焊等设备宜配置手】套箱和氮气干燥装置！。； ： 》    《。4  手《套箱内应设置—监控内部气氛的装】置 》。 ：6.3.6  【涂覆区应符》合下列规定》 《   《  1？  涂覆区环境温度！宜为1？0℃～？3，。0℃不应超过—涂料允许的操作温度！范围； 】   ？  2？  操作环境有害物！。浓度应符合》。现行国家职业卫生】标准工业企业设【计卫生标准的有【关规定； 】  ？ ，  3  》喷涂柜或水幕通风】柜风口风《速宜为0.6m/s！～0.8m/—s； —。   《  ：4  ？。干燥箱、隧道炉【、烘房？等烘干设备》应有自动《控，温功能并应》设置排气 【 6.3.7 ！ 环境试验》区应符合下列—规定 —     1【 ， 环境试验区—宜为非洁净区； 】。     ！2  ？环境试验区应配置基！本环境试验设备及】微波集成组件测【试，仪器；？   】。  3  振动试】验应单独《形成一个《区域并应《远离其他生产—区； 》   》  4  环境抽样！试验：可使：用专用测试台—或测试工作站 ！ 6.3—.8  分析区【洁净：度等级宜为8级 ！