安全验证
, 6《.3 ? ,工艺:要求 】 , 6.?3.1?  物?料准备?区应符合下》列规定? ,     !1  物料准备【区宜分为洁净区和非!洁净区洁净区的洁净!度等级应为8级【或优于8级;— 《     2【  物料准》备区应保《证工艺辅料》、耗材和元》器件的真空、干燥、!氮气保护等存储条】件要求; —。     3!  物料准备区宜】包括物料检测工作台!、齐套准备工作【台等; —   》  4  》放置充氮柜空间应】配置设备电》源接:。口、氮气、》压缩空气接口以及】防静电接地接—口放置除湿柜—空间应配置设—备电源接口、压缩】空气接口以及—。防静电接地接—口; 《 , ?。 ,   ?5  放置自动货】架空间应配置设备电!源接口、压》缩空气接口;—   】  :6  放置真—空包装?塑封机空《间应配置电》源接口、真》空泵及电源接—口或真空《管道接口《 ,。 《 6.3《.2  清》洗区工艺应符合下列!规定  !   1  清洗区!宜分为洁净区和【非洁净区洁净区级】别应为8级或优【于8级?; 【    2  电路!基片和组装前—零部件应在洁净【区清洗机加》零件、钎焊接头后的!腔体等零部件—可在:非洁净区清洗;【 —  :  3  清洗用】水槽应?配备自来水、纯水】台面应承受一定重】量并且耐酸》碱、:耐,老,化,、,耐高温; —  》   ?4  清洗区—排风系统应位于清】洗机上方《排风:量宜预留《适当余量; 】 :     5 【 清洗区应根据产量!和清洗物料》品种设置《纯水水槽和喷—淋槽; 【     —6  排液系统管道!应防酸碱腐》。蚀和:耐有机溶剂浸—泡; 《    【 7  清洗—废,液应集中处理;【。 《     8【  清洗机》旁应配置洗眼器【等安全防护》设,施,; 《 :。     9 【 等离子清》洗机应配《置氩气、氧气、氮】气等高纯气体接口 ! ? 6.3》.3  装配区应】符合下列规定 】 ? ,    1  【装配区宜分》为,洁净区和非》洁,净区洁净区级别宜为!7级; !。    2 —。 在工作区整体【照明系统基础—上,。。使用显微镜的—粘接、共晶工位宜设!置局部?照明;? ? :     》3  装配》显微:。镜放大倍数宜—为10?倍~40倍检验【显,微镜:放大倍数宜为1【0倍:~100《倍; 】    4 — ,钎焊和?电装:工序宜布《置在:非,洁净区?域应配备烟雾—。。净化过滤系统; 】 :     5】  各种焊接炉、】焊接机器人宜—配备高纯氮》气接口并宜》根据需要配》置压缩空气、冷却液!和排风口等; ! :。     6  精!密返修系《统应配备压》缩空气接口》; :     !7  ?自动送?料机、螺《钉,自动锁?紧设备?等应配备压缩空气】接口;?  【   8  点胶设!。备应:配备压缩空气接口】;  】   9 》 手:动、:半自动?、自动共晶》机宜使用高纯氮气或!氮氢混合《气使用氮氢混—合,气应设置工艺排【风; 》     10!  真?空,共晶机宜《使用高纯氮气若【使用甲酸、氮氢混】合气应有尾气处【理装置; !    《 1:1  烘箱和—固化炉宜选》择温度、时间—可程序控制的型号烘!箱应配置《排风系统; !  ?   12  【手动、半自动—和自动贴《片机应配备压—。缩空气?接口、真《空接口; — , ,     13 ! 金:丝、硅铝《丝、粗铝丝键—合,机及金带键合机【应配备压缩空—气接口?。宜配备真空接—口和氮气接口; 】。。 ?  ?   ?14  倒装—焊接机应配备真空】接口、高纯氮—气接口宜配》备压缩空《气,。接,口; 】    1》5 : 底部填充设备应】配备压缩空气接口】;   !  16  —芯片叠层工序用【划片机应配》备真空接口、—压缩空气接口;【 —。    1》7  拉《力剪切力测试仪应】配备真空接口、压缩!空气接口 》 ? :6.3.《4  测试与调【试区应符合》。下列规?定 —     1 【 测试与调试—区宜分为洁净区和非!洁净区洁净》区级别宜为7级【; 【  :  :2  有芯片的【微波集成组件—封盖前测《试、调试应在洁净】区进行; 》 ,。 ,  《   ?3  调试区—宜在微波测试—调试区?中,设定相对《独立区域当调试区】无单独指标调—整工位时宜在装配】区明确相应的粘接】、电装、键合工【位; 【 ,    4  芯片!组装:前筛选测《试,可在:。试验区搭建芯片【探针台测试 ! 6.3.5  !封盖区工艺设计应符!合下列规《定  】   1  封【盖区宜分为洁净区】和非洁?净,区洁净区级别宜为7!级;: : ?   ?  :2  ?封焊设备主体—部分应?置于洁净区封—焊设:。备辅助部分可置于非!洁净区域; !     3  !激光封焊《、平行缝焊》等设备宜配置—手套箱和氮气—干,燥装置?; ?     】4  手套箱内应设!置监控?内部气氛《的装置 《 6—.3:.6  涂》覆区应?符合下列规》定 》   《  1  涂覆区】环境温度宜》为10℃~》30℃?不应超过涂料允许】的操作温度范—围; 】    2  操】作环境有害物浓度】应符合现行国—家职业卫生标准工】业企业设计卫—。生标准的有关规定;!    ! 3  喷涂柜或水!幕通:。风,柜,风口风速宜为0.】6m/s~0—.8m?/s:;   !  4  干燥箱】、隧道炉、烘房等】烘干设备应有自【动控温功《能并应设置排气 】 : 6.3—.7  环》境试验区应》。符合下列《规定  ! ,  1  环境试】。验区宜?为非洁净区》; 》 : ,   2  —环境试验《区应配置《基本环境试验设【备及微?波集:成组:件测试仪《器; ?  —  : ,3 : 振动试《验应单独形成一个区!域并应远离其他生】产,区; ?     !4  ?环境:抽,样试验可使》用专用测试台或测试!工作站 》 6.3.8! , 分:析,区洁净度等级宜为】8级:。。 , ,