安全验证
。 6.—3,。  工艺要》求 《 》6.3.1  物料!准备区应符合下列】。规定  !。   ?1  物料》准备区宜分为洁【净区和非洁净区【洁净:区的洁净度等级应为!8级或优于》8级; 《 ?。 ,     2  物!料准备区应保证工】艺辅料、耗》材和元器件的真空】、干燥、《氮气保护《等存储条件要求; ! :     【3, , 物料准备区—宜包括?物,料检测工作台、【齐套准备工作台【等; 》     4 ! 放置?充,氮柜空间《应配置设备电—源接口、氮气—、压缩空气接口以】及防静电接地接口】放置除湿柜空—间应配置《设备电源接》。口、压缩空气接口】以及防静电接地接】口; 】    5  放置!自动货架空》间应:配置:。设备电源接口—、,压缩空气《接口; 】     6 【 ,放置真空包装塑封】机,空间应配置电源接】口、真空《泵及电源接口—或真空管道》接口: 6.3!.2  清》。洗区工艺应符合下列!规定 —  ? ,  1  清洗【区宜分为洁净区和非!洁净区洁净区级别】。应为8级《或优:于8级; !   ?  2?  电路基片—和组装前零部件应】在洁净区清洗机加零!件、钎焊《接头后的腔体等【零部件可在非洁净区!清洗; 】     3  】清洗:用水槽应配备自【来水、纯《水台面应承受一【定重量并且耐酸【。碱,、耐老化、耐高温】。; 【    4  清】洗区排?风系统应位于清【。洗机上方排风量宜】预留适当余量; 】。 :    — 5:  清洗《区应根据《产量和清《洗物:料品种设置》纯水水槽和喷淋【槽,; —     6—。  排液系》统管道应防酸碱腐蚀!和耐有机溶剂—浸,泡; 【     7  清!洗废液应集中处理】; 《。     8 ! 清洗机旁应—配置:洗眼器?等安全防《。护设施; !     》9  等离子—清洗机应配置氩气、!氧,气、氮?气等高纯《气体:接口 》 6《.3.3  装【配区:应,符合:下列规定 !     1  】装配区宜分》为,。洁净:区和非洁净区洁净区!级别宜为7级—; —   ?  2  在工作区!。整体照明系统—基础:上使用显微镜的【粘接、共晶工—位宜:设,置局部照明; ! :     》3,  装配《显微镜放大倍—数宜为10》倍~40倍检—。验显微镜放大—倍,数宜为10倍~【100倍; !     —4  钎焊和—电,。。装,。工序宜?布置:在,非洁净?区域应配备烟雾净化!过滤系?。统,; —  :   5 》 各种焊接炉、焊接!机器:人宜配备高纯—氮气:接口并宜根据需要配!置压缩空气、冷【却液和排风口等;】 《     6  !精密返修系统—应配备?压缩:空气:接口; 》     7!  自?动送:料机、?螺钉自动锁》紧,设备等应配备—压缩空气《接,口; 【     8 【 ,点,胶设:备,应配备压缩》空气接口《;   !  9  手动、】半,自,动、自动共》晶机宜?使用高?纯氮气或氮氢混【合气使用《氮氢:混合气应设置—工,艺排风?;   !  10  真空共!晶机宜使用高纯氮】气若使用甲酸、氮】。。氢混合气应有尾气】处理装置; 【 ,。     11!  烘箱《。和固化炉宜选择温】度、时间可》程序控制的型号【烘箱应配置》排风系统;》 ?  《  : 12 《 手动、《半,自动和?自动贴?。片机应配备压缩空】气接口、真》空,接口; !。   ? 13  金丝、】硅铝丝、粗铝丝【键合机及金带键【合机:应配备?压,。缩空气接口宜配【备真空接口和—氮气接口; 】     【1,4  倒装焊接【机应配备真》空接口、《高纯氮气接口宜配】备压缩空气接口; !    】 15  底—部填充?设备应配备压缩【。空气接口;》 》     16【  芯片《叠层工序用划—。片机应配备真空接口!、压:。缩,空气接口; ! , ,。    17 【 拉力剪《切,力测试仪《应配:备真空接口、—压缩空气接口— —6.3.4 — 测试与调试区应符!合下列规定 —    】 1  测》试与调试区宜分为洁!净区和非洁》净区:洁净:区级别宜为7—级; 》     【2 : 有:芯片的微波》集成组件封盖前测】试、调试应》。在洁净区进行;【 《     3【  调试区宜—在微:波测试调试区—中设定?相对独?立,区域当调试》区无单独指标—调整:。。工位时宜《在装配区明确相应的!粘接、电装、键合】工位; 】     4  】芯片组装前筛选测】试可在试《。验区搭建芯片—探针台测试 】 6.3.5】  :封盖区工艺》设计应符《合下列规定 】   》  1  封盖区宜!分为洁?净区和非洁净区洁净!区,级别宜为7级; ! ,     2】。  封焊设备主【。体部分应置》于洁:净区封焊设备辅【。助部分可置》。于非洁净区》域; 《 : :   ? 3  激光—。封焊、平行缝焊【等设备宜配置—手套箱和氮气干【燥装置; 】     4  !手套箱内应设置【监控内部气氛的装置!。 6.3!.6  涂》覆区应符合下—列规定 》 ?   ?  1  涂覆区环!境,温度宜?。为10℃~30℃】。不应超过涂料允许】的操:作温:度范:围; 》 ?    2  【操作环境有害—。物,浓度应符合》现,行国:家职业?卫生:标准工业企》业设:计卫生?标准的有关规定; ! :     3】  喷涂柜或水幕通!风柜风口风速—宜为0.6m—/,s~0.8》m,/s; 【     —4  ?干燥箱、隧道炉、烘!房等:烘干设备应》有自动控温功—能,并应设置《排气 ? 《 6:.3.7 》 环境试验区应符合!下列:。规定 【     1  环!境试验区《宜为:。。非洁净?区;  !   2  环境试!验,区应配置基》本环:境试验设备及微波】集成组件测试—仪器; 》。     3! ,。。 振动试验应—单独:形成一?个区域并应远—离其他生产区—;,  【 ,  4  环境【。抽样试?验可:使用专用测》试台或测试工作站 ! 6.3】.8  分析区【洁净度等级宜—为8:级, :