安全验证
。 ? 6.3  工【艺要求 》 》 6.3.1  】物料:准备:区应符合下列规【。定 :     !1  物料准—备区宜分为洁—。净,。区和非洁净区洁【净区的洁净度等级】。。应为8级《或优于8级; 】   —。  2  物料准备!区应保证工艺辅【料,、,耗,材和元器《件的真?空、干燥、氮气保护!。等存储条件》要求; 【    》 3:  物?料准备区宜包—括物:料检测工作台、【。。。齐套准备《工作台等《; 【  : , 4:  放置《充氮柜?空间应配《置设备电《源接口、氮》气、压缩空》气,接口以及《防静电接地接—。口,。放置除湿柜》空间应配置设—备电源接口、压缩】。空气接口以及—防,静电:接地接口; —    】 5 ? ,放置自动货架空【间应:配置设备《电源接口、压缩空】气接口; 》  —   6《。  放置真空包装】。塑封机空间应配置电!。。源接口、《真空泵及电源—。接口:或真空管《道接口 【 6.3.2【  清洗区》工,艺应符合下列规【定 《  《 ,  1?  清洗区宜分为】洁净区和非洁—。净区洁净区》级别应为《。8,级或优于8级;【 , ,    【 2  电》路基片和组装前【零部:件应在洁净区清洗机!加零:。件、钎焊接头—后的腔体等》零部件可在非洁净】区清洗; —     3!。  清洗用水槽应配!备,。自来水、纯水—台面应承受》一定重量并》且耐酸碱、》耐老化、耐高温; ! ?   《  4?  清洗区》排风系统《应位于清洗机上方】排风量宜《预留适当《。余量; !    5 — 清洗区《应根据产量和清洗】物料品种设》置纯水水槽和喷淋槽!;   !  6  》排液系统管道—应防酸碱腐蚀和耐有!机溶剂浸泡;—   】  7  清洗废】液应集?中处理; 【     8】  清洗机》。旁应配?置洗眼?器等安全《防护设施;》 ,  —  : 9 ? ,等离子清《洗机应配置氩—气、氧气、》氮气等?高纯气体接》口, 》 6.3.3  装!配区应符合下列规定! 》  :   ?1 : ,装,配区宜分为洁净区和!非洁净区洁净—区级别宜为7级;】。 》。     》2  在工作区【整体照明系统基础上!使用显微镜的粘【。。接、共晶工位—宜设置?局部照明《; 【    3 — 装:配显微镜放大倍数】宜为10倍》~40倍检验显微】。镜放大倍数》。宜为10倍~—100?倍; 《     】4  ?钎焊:和电装工序宜—布,置在:非洁:净区域应配备—烟雾净化过》滤系统; 】 ,     5  】。各种焊接炉、焊接机!器人宜配备高纯氮气!接口并宜根》据需要配置压—缩空气、冷》却,液和排风口等; !  》   6《  精密返修系【统应配备压》缩,空气接口《; 》 :    7  自】动,送料机、螺钉自【动锁紧设《备,等应配备压》缩空气接口;— ?    —。 8  点胶设备】应配备压缩空气接】口; ?   【  9  手动、半!自动、自动共晶机宜!使用高纯氮》气或氮氢《混合气使用氮氢【混合气应设》置工艺排风; !   》  10  真空】共晶机宜使》用高纯氮气》若使用甲《酸、氮氢混合气应有!尾气处?理装置; —    【 11  》烘箱和固化炉宜【选择温度、时—。间可程序控制的【型号烘?。箱应配置排风—系统; —   》  :12  手》动、半自动和自动贴!片机应配备》压缩空气接口—、真:空接口; —     】13  《金丝、硅铝丝、【粗铝丝键合机及金带!键合机应配备压【缩空气接口宜—。配备:真空接?口和:氮气:接口; !    14 【 倒装焊接机—应配:备真空接口、高【纯氮气接口宜配备】压缩空气接》口,;, :。   —  15  底部】填充设备应配备压缩!空气接口; 【 :  ?   1《6  芯片》叠层工?序用划片机应配备真!空接:口、压缩空气接【。口;  !   17  拉】力剪切力测试仪【应配备真空接口、】。压缩空气接口— 6【.3.?。4  测试与调试】区应符合下列规【定  】   1  测试】与调试区宜分为洁净!区和非洁净区洁净】。。区级别宜《为,7级;?   】  2  有芯片】的微波集成组件封盖!。前测试、调试应在洁!净区进行《; —     3  】调试区宜在微波测】试调试区中设定相对!独立:区域当调试区—无单独指标调整工位!时宜在装配》区明确?相应的粘接、电装】、,键合工位; 【 ,   》  4 《 芯片组装前—筛选测试可》在试验区搭建芯片探!针,台测试 !6.3?.5  《封盖区工艺》设计应符合》下列规?定 《 ,   《  :1,  封盖区宜分为洁!净区和非洁净区【洁净区级别宜为7】级; 》     2 ! 封焊设备主体部分!应置于洁净》区,封焊设备辅》。助部分可置于非洁净!区域;? 》     3  激!光封焊、平行缝焊等!设备:宜配置?手套箱和氮》气干燥装置; 】 , :     4  手!套箱内应设置监控】。内,部气:氛的:装置: —6.3.6  涂】覆区应符《合下列规定》 : :     1 】 涂覆?区环境温度宜为1】0℃~30》℃不应超过》涂料允许的》操,作温度范《围; 《 ,。     2 ! 操作环境有害物】浓度应符合》现行国家职》。。业卫生标准》工业企业设》计,卫生标准的有关规】。定; 】    3  喷】涂柜或?水幕通风柜风口【风速宜为0.—6m:/s~0《.8m/s; 【 》   ? ,4 :。 干燥箱、》隧道炉、《烘房等烘干设备【。应有自?。动控温功能并应【设置排气 》 6.【。3.:7  ?环境试验区应—符合下列规定 【  —   1  环【境试验区宜为非洁净!区;  ! ,  2 《 环境试验区应配】置基本环境》试验设备及微波集成!组,件测试仪器; 】     】3  振动试验应】。单独形成一个—区域并应远》离其他生产区—;  】   4 》 环境抽样》。试验可使用》专用:测试台或测》试工:作,。站 》 , 6.3.8  】分,析区洁?净度等级宜为8级 ! ,