？ 6.3  工【艺要求 ！ 6.3.1  ！物料准备区应符【合下列规《定， —    1  物】料准备？区宜分为洁》净区和非洁净—区洁净区的洁净【度等级应《为8级或优》于8：。。级；  ！。 ，  ：2  物料》准备区应保证工【艺辅料、耗》材和元器件的—真空、干燥、氮气】保护等存储条件【要，求，。；， ，  —   3 》 物料准备区宜包】括物料检《测工作？台、：。齐套准？备，工作：台等； ！。 ， ，  4 《 放：置充氮柜空间—应配置？设备电源接口—、氮气、压缩—空气接口以及防静】电接地接《口，放置：除湿：柜空间？应，配置设备电源—接口、压《缩空气接《口以及防静电接【地接口？； 《   》 ， 5  放置自动货！架空间应配置设【备电源接口、压缩】空气接口； —    】 6  放置真空包！装塑封机空间应【配置电源接口、真空！泵及电源接口或真空！管道接口 》 6—.3.2《  清洗区》工艺应符《合下列规定》 》     1  】清洗区宜《分为洁净《区和非？洁，净区洁？净区级别应为—8级：。。或优于？8级； 】     2 【 电路基片》和组装前零部—件应在洁净区—清洗机加零》件、钎焊接头后的腔！体等零部件》可在非洁《净区清洗； 【   —  3  清洗【用水槽应配备自【。来水、纯《水台：面应承受一定重【量并且耐酸》碱、耐老化、耐高】温； — ，     4  】清洗区排风系统应】位于清洗机上方排】风量宜预留适当余】量；  ！  ：。 5  清》。洗区应根据产—量和清洗物料—品种设置纯水水【槽和喷淋槽》；  】  ： 6 ？ 排液系统管道应】。防酸碱腐蚀和耐有机！溶剂浸泡；》    ！。 7  清洗废【液，应集中处理； 【   【  ：8  清洗机—旁，应配置洗眼器等安全！防护设施； 【 ，  《  ： 9  等离子清洗！机应配置氩气、氧】气、氮气等高纯【气体接口 】 6.3.3【  ：装配区应符合下列规！定   ！  1？ ，。。 ，装配：区宜：分为洁净区和非洁净！区洁净区级别宜为】7级； 》     2！。  ：在工作区整体照明】系，统基础上使用—显，微镜：。的粘接？、共晶工《位，宜设置局部照明； ！ 《  ：   ？3  装配显微镜】放大倍数《宜为10倍～—。40：倍检验显微镜—放大倍数宜为—10倍～100倍；！ —    4》 ， 钎焊和电装—工序宜布置》在非洁净区域应配备！烟雾净化《过，。滤，系统：； 《     5 ！ ，各种焊接炉、—。焊接机器人宜—配备高纯氮》气接：口并宜根据》需要配置《压缩：空气：、冷却液和排—风口等； 【     【6  精《密返修系统应配备】压缩：空气接口； 】 ：   ？  7 《 自：动，送料机、螺》钉自动锁紧》设备等应《配备压缩空气—接，口；  ！  ： ，8  点胶设备【应，配备压缩空气接口】； ？   —  9  手动【、半自动、自—动共晶？机宜使用高纯氮【气或氮？。氢混合气《使用氮氢《混合气？应设置工艺》排风； ！    10 【 真空共《晶机宜使用高—纯氮气若使用甲酸、！氮，氢混合气应有尾气处！理装置； ！     11  ！烘箱和固化炉宜【。选，择温度、《时间：可程序控制的型号】烘，箱应配置排风—系统：。； 》   《  12  手动】、半自动《和自动贴片机应【。配备压缩空气—接口、真《空接口； 》     ！13  《金丝、硅铝丝、粗】铝丝键合机及金【带键：。合机应配《备压缩空气接口宜】配备真空接口—和氮气？接口；？    ！ 14  倒装【焊，接机应配备真空接】口、高纯氮气—接口宜配备压—缩空气接口》；， ，    】 1：5  ？底部：填充设备《应配备压缩空气接】。。口； ？   【  16 》 芯片？叠层工序用划—片机应配《。备真空接口》、压缩空气接口；】 ：     1！7  拉《力剪切力测试仪【。应配备真空》接口、？压缩空气接口 ！。 6.3.【4 ：。 测试与调试区【应，符合下列《规定 《 ？     1—  测试与调—。试区宜分为》洁净区？和非洁净《区洁净区级别宜为7！级； 《 《    2  有芯！片的微波集成组【。件封盖？前测试？、，调试：应在洁净区进行【； ？   —  3  调试【区宜在微《波测试调试区中设】定相对独立区域【。当调试？区无单？。独指标调整工位【。时宜在装配》区明确相应》。的粘接、电装、键】合工位？； 【   ？ 4  芯》片组装？前筛选测试可在试验！区搭建芯片》探针台测《试 ？ 6》.3.5  —封盖区工艺》设计应符合下列规定！  【   ？1，  封盖区宜分【为洁净区和非洁净区！洁净区级别宜为【7级； 】     2 【 封焊设备主体部分！应置于洁净区封焊】设备辅助部分可置于！。非洁：净区域； ！   ？  ：3  ？激光封焊、平行缝】焊等设？备宜配置手套箱【和，氮气干燥装置； ！  》   4  手【套箱内应设置监【控内部气《氛的装？置， ？ ， ：。6.3.《6  涂《覆区应符合下—列规定 【    》 1 ？ 涂覆区环》境温度宜为10【℃～：3，0℃不应《超过涂料允许的操作！温度范？围； 《。。 ， ：     2  操！作环境有害物—浓度：应符合现行国家职】业卫生标准工业【企业设计卫生标【准的有关规定； 】 《     3  喷！涂柜或水幕》通风柜？风口风速宜为—0.6？m/s～0.8【m/s； 》     ！4  干燥箱—、隧道炉、烘房等】烘干：设备应有自动—控温功能并应—。设置排？气 》 6.《3.7  环境试验！区应符合下》列规定 》 ？  ：   1《  环？境试验区宜为非洁净！。区，； 》     2【  环境试》验区应配置基—本环境试验设备及微！波集成组件测试仪器！；， ？。  《   3  —振动试验应单独【形成一个区域—并应远？离其他生《产区； 】 ，    4  【环境抽样试》验可使用专用—测试台或测试工作站！ ？ 6.3.【8  ？分析区洁净度等【级，宜为：。8级 《