？ 6.3  工艺要！求 ： 6】.3.1  物【料准备区应符合下】列规定 】 ，    1  【物料准备区宜分【为洁净区和非—洁净区？洁净区的洁净度等】。级，应为8级《或优于8级； ！   》  2？  ：物料准备区应保【证工艺辅《。料、耗材和》元器件的真》空、干燥、氮气保】护等存储条件要求；！ ：  》   3《  ：物料准备区》宜包括物料》检测工作台、齐【套准备？工作台等； —  —   4 》 放置充氮柜空【间应配置《设备电源接口、氮】气、压缩空气接口】以，及防：静电接地接口放置除！湿柜空间《应配置设备电源【接口、压缩空气接口！。以及防静电》接地接口； 【 《    《5  放置自动货】架，空间应配置设备电源！接口、压缩空气接】口； 【  ：   6  放置】真空包装塑封机空间！应配置电源接—口、真空泵》及电源？接口或真《空，管道接口 】 ， 6.3.2 【 清洗区工》艺应符合下列规【定 ？     】1  清洗区宜分为！洁净区？和非洁净区洁净区级！别应：为8级或优于8级】； 》 ， ，    2  电路！基，片和组装前零部件应！在洁净区清洗—机加零件、钎焊接】。头后的腔体等—零部件可在非—洁净区？清洗； 【     3  ！清洗：用水槽应配备自来水！、纯水台面》应承：受一：定重量并且耐酸【碱、耐老化、耐【高温； 【    》 4  清》洗区：排风系统应》位于清洗机上方排】风量宜？预留适当余量—； 》    》 5：  清洗区应—根据产量和清洗物料！品，种，设置纯水水槽—和喷淋槽； ！   《  6  排—液系统管道应—防酸碱腐蚀和—耐，有机：溶剂浸泡；》 ？     7】  清洗废液应集】中，处理； 】   ？ ， 8  清洗机【旁应配置洗》眼，器等安全防护设【施； 》   》  9  等—离子清洗机应—配，置氩气？、氧：气、氮气《等，高纯气体《接口 — 6.3.3【  装配区应符合】下，列规：定 》     1【  装配区》。。宜分为洁净区—和非洁？。净区洁净区级别宜】为7级； —     2！  ：在工作区整体照【明，系统基础《上使用显《微，镜的粘接、共晶工】位宜设？置局部照明；— ， ：     3】  装配显》微镜放？大倍数宜《为10倍～40【倍，检，验显微镜放大—。。。倍数宜为10—倍～100倍；【 ？ ，    》 ，4， ， 钎焊和电》装工序宜布置在【非洁净区域应配备烟！雾，净，化过滤系《统；：  【   5  各种焊！接炉、焊接》机器人宜配备高纯氮！气接口并《宜根据需《要，配置压？缩空气、冷却液和排！。风口等； —  》   6  精密返！修，系统应配备压缩空气！接口：； —     7  自！动送：料，机、螺钉《。自动锁？紧设备等应配—备压缩空气接口【；， 《    》 8  《点胶设备应配备压】缩空气接《口；：    ！ 9  《手动、半《自，动，、，自动共晶机》宜使用高纯》氮气或氮《氢混合气《使用氮？氢，混合气应设置工艺】排风； 》 ：     10 ！ 真空共晶》机宜使用高》纯氮气？若，使用甲酸、氮氢混合！气应有？尾气处理装置； 】  —   11》  烘箱和固化炉】宜选：择温：。度、时间可》程序控制的型号烘】。箱应配置排风—系统； 《 》    《12  手动、【半自动和自动贴【。片机应配备》压缩空气《接口、真空接口【； —     13  ！金丝、硅铝丝、【粗铝：丝键合机及金带键】合，机应配备压缩空气接！口宜配备《。真空接口和氮气接】口； 》 ：   ？  14  —倒装焊接机应—配备真空接口、【高纯氮气接口—宜配备？压缩空气接口； ！ ：   《  15  底部填！充设备应配备—压缩：空气接口；》 《     16 ！ 芯片叠层工序用】划片：机应配备真空接【口、压缩空》气接口； 】     —1，7  拉力剪切【力测试仪应配备真】空接口、压缩空气接！口 ？。。 ？ 6.3.4—  测试《与调试区应符合下列！规定 《 ？。     1  测！试与调试区宜分【为洁净区和非洁净区！洁，净区级别宜为7【级； 》 ：  ：   2  —有芯片？的微波集《成组件封盖前—测试、？调，。试应：在洁：净区：进行； 【    》 ，3  调试区宜在】微波测试调试区【中设定相对独立区】域当：调试：区无单独指标调整】工位时宜在装配区】明确相应的粘接、】电装、键《合工位； —     】4，  芯？。。片组：装前筛选测试—可在试验区搭建芯】片探：针台测试《 6.3！。.5  封》盖区工艺《设计应符合下—列规定 —     1】  ：封盖区？宜分：为洁净区和非—洁净区洁净区级【别宜为7级； 】     2！。。。  封焊设备主体部！分应置于《洁净区封焊设备【辅助部？分可置于《非，洁净区域； 【   —  3  》。激，。光封焊、平行缝焊等！设备宜配置手—套箱和氮《气干燥装置》。； ：    】 ，4  手《套箱内应设》置监控内部》气氛的装置 ！ 6.3.—6  涂《覆区：应符合下列规定 ！。 ？    《。 1  涂覆区环境！温，度宜为10℃～【30℃？不应超过《涂，料允许的操》作温度范围； 】     】2  操作环境有】害，物浓度应符合—现行国家职业卫【生标：准工业？企业设计卫生—标准：的，有关规定； 【   —  ：3  喷涂柜或水】幕通风柜风口—风速宜？为0.6m/s～0！.8m/s； 【   【  4  干燥箱、！隧道炉、烘房等烘干！设备应有自动控温】功能并应设》置排：气 —。 ，6.3.7  环】境试验区应符合下】。。列规定 ！    1 — 环境试验区宜为非！洁净区？； 》   《  2  环境试验！区，应配置基《。本环境试验》设备及微波集—成组件测试仪器； ！ 》    3  【振动试验应单独【。形成一个《区域并？应远离其《他生产区； 【 《    4》  环境抽样试验可！。使用：专用测试台或测试】工作站 ！6.3.8 — ，分析区洁净》度等级宜为8级【 ：