6.3【  工艺要》求 【 6.3》.1：  物？料准备区应符合下列！规定 》     1】 ， 物料准备区—宜分为洁《净，区和非洁净区洁净区！的，洁净：度等级应为8级或优！于8级； —。  》 ，  2  》物料准备《区应：保证：工艺：辅料、耗材和元【。器件的真空、干燥】。、氮气保护》等存储条件》要求：； 【    3  【物，料准备区宜》包括物料检测工作台！、齐套准备工作台】等； 】    4 —。 放置充《氮柜空间应》配置设备《电源接口、氮—气、压缩空气接【口以及防《静电接地接口放置】。除湿柜空间应—配置设备电源—接口、？压缩空气《接口：以及：。防静电接《地接：口；  ！   5 》 放置自动货架空间！应配置设备电源【接口、压缩空气接】口； —。 ，   ？ ， 6  放置真空包！装塑封机空间应【。配置电源接口、【真，空泵及电源接口或】真，。空管道接口 ！ 6.3.2 】 清洗区工》艺应符合下》列规定？ ，   【  1 《 清洗区宜分为洁净！区和：非洁净区洁净区级】别应为8级》或优于8《级，。； 【    2  电】路基片？和组装前零部件【应在：洁净区清洗机—加零件、钎焊接头后！的腔体？等零部件《可在非洁《净区：清洗； ！  ：  3  清—洗用水槽应配备自】来，水、纯水台》。面应：承，受一定重量并—且耐酸碱、耐—老化、耐《高，温； 【     4  清！洗区排？风系统应位于—清洗机上方排风量】宜预留？适当余量； 【    【 5  清洗区【应根据产量和—清洗：物料品种设置纯水】水槽和喷淋槽； 】 ，     6！  排液《系统管道应防酸碱腐！蚀和耐有《机，溶，剂，浸，泡； 《    【。。 7：  清洗废》液应：。集中处理《。； ？ ，     8 ！ 清：洗机：旁应：配置洗眼器》等，安全防护设施—； 《 ：     9—  等？离子清洗机应配置氩！气、氧？气、氮气《等，高纯气体接口 【 ， ， 6.》3.3？。  装配区应—符合下列规》定 —     1—  装配区宜分【。为洁：净区和非洁》净区洁净区级别【宜为：7级：； 》     —2，  在工作区—整，体照明系统基—础上使用显微镜的粘！接、共晶工位宜设置！局部照明《； —     3  装！配显微镜放大倍数】宜为10《。倍～40倍检验【显微镜放大倍数宜】为10倍《～100《倍； 】   ？ 4  钎》。焊，和电装？工序宜布置在非【洁净区域应配—备烟雾净化过—滤系统； 【。 ？    5  各种！焊接炉、《焊接机器《人，宜配备高《纯氮气接口并—宜根：据需要配《置压缩空气》、冷却液和》排，风口等； 》    】 6  《精密返修系统—应配备压缩空—气，接口； 》     7！  ：自动送料机、螺钉】。自动锁紧设备等应】配备压缩空气接口】； —     》8  点胶》设备应配备压缩【空气接口； ！    》 9  手动、半自！动，、自动共晶机宜使用！高，纯氮气或氮氢—混合气使《用氮氢混《合气应？设置工艺排》风，； 》     10 ！ 真空共晶机宜使】用高纯？氮，气若使用甲酸、氮氢！混，合气应有尾气—处理装置； —。 《。     11 】 烘箱和固化炉【宜选择温度》、时间可程序控制的！型号烘箱应配—置排风系统》； 《     12！。  手动、》半自动和自》。动贴片机应》。配备压缩空》气接口、真空接【口； 】  ：  ：13  金丝、硅】。铝丝、粗铝丝键【合机及金带键—合机应配备压缩空气！接，口宜配备《真空接口和氮气【接口； 【  ？   14  倒装！。焊接机应配备真空】。接口、高纯氮气接口！宜配备？压缩：空气接口；》 —    15 【 底部填充设备应配！备压缩空气接口；】 》 ，。   ？ 16  芯片叠】层工序用划片机应】配，备真空接《口、压？缩空气接口； 】 《    17 【 拉力剪切力—。。测，试仪应配备真—空接口、压缩空【气接：口 【6.3.4 — 测试与调》试，区应符合《下列规定 【     1 ！ 测试与调》试区宜分为洁—净区和？非，洁，净区洁净《区级别？宜为7级； ！   《  2  有—芯片的微波集—成组件封盖》前测试？、调试应在》洁净区进行；— ？。。    —。 3  《调试区宜在微波测】试调试？。区中设定相对独立区！域当调试区无单独】指标调整工》位，时，宜在装配区明确相应！的粘接、电装、键合！工位； 》   —  4  芯片组】装前：筛选测试《。可在：试验区搭建芯—片探针台测试 ！ 6《.3.5  —封盖区工艺设—计应符？合下列规《。定 《     【1，  封？盖区宜分为》。洁净区和非洁净区】洁净区级别宜—为7级；《  【  ： 2： ， 封：焊设备主体部分应置！于洁：净区封焊设备辅【助部分可《置于非洁净区—域，；   ！  3 《 激：光，封焊：、平行缝焊等设【备宜配置《手套箱和氮气—干燥装置； —    】 ，。4  手套箱—内应设置监控内部气！氛的装置《 6【。.3.6  涂覆】区应符？合下列规定 ！     —。1  涂《覆区环境温》度宜：为10℃～30℃】。不应超？过涂料允许的操作温！度范：围； 】  ：  2  操—作环境？有，。害物浓度《应符合现行国家职业！。卫生标准工业企业】设计卫生标准—的，有关规定； ！     —3  喷涂柜—或水：幕通风柜风口—风速：宜为0.6m/s】～，0，.8m/s； ！。     【4  干《燥箱、隧道炉、烘】房等烘干设备应有自！动控温功能并应【设置排气 ！ 6.3《.7  环境试【。验区应符合下—列规定 《     ！1  环境试验区】宜为非？洁净：区； 】   ？ 2 ？。 环境试验区应【配置基本环》境试验？设备及微《。波集成组件测试【仪器； ！    3  振动！试，验应单独形成一个】区域并应远》离其他生产区；【。    ！ 4：  环境抽样试验可！使用专用测试台或测！试工：。作站 【 6.3.8  分！析区洁净度等—。级宜为8级》 ：