《。6.3 工艺要求!
【
6.3《.1 物料准备区!应符合下列规定【
【 1 》 物料准备区宜【分为洁?净区和?非洁净区洁净区的】洁净度等级应为8】级或优于8级;
!。
?
? , 2 《物,料准备区应保证工艺!辅料、?。。。耗,材和元器件的真空、!干燥、氮气保护【等存储条件要—求;
《
》。 3 》 物料准备区—宜包括物料》检,测工作台《、齐套准《备工作台《等;
! ?4,。 放置充氮—柜空间应配置设备电!源接口、《氮,气、压缩空气接口以!及防:静电接地接口放【置除湿柜空间应【配置设?备电源接口、压缩空!气接口以及防静电接!地接口;《
— 5 放】置自动货架空间【应配置设《备电源接口、压缩】空气接口;
】。
6】 :放置真空包装塑【封机:空间:应,配置电?源接口、真空泵及】电源接口或真空管】道接口
】
6.3.2 【 清洗区《工艺应符合下列【规定
】 ? 1 《。清洗区宜分》。为洁净区和非洁净区!洁净区级《别应为8级或优于8!级;
【
,。 2》 :电路基片和组装前零!部件应?在洁净区清洗机【加零件、钎焊接头后!的腔体等零部—件,可在非?洁净:区清洗;
【
3 ! 清洗用水槽—应,配备自来水、纯水台!面应承受一定—重量并?且耐酸碱、耐老化】、耐高温;
】
— 4 清》洗,区排风系统》应位于?清洗机上《方排风量宜预—留适当余量;
】
】5 清洗区应根】据产量和清洗—物料品种设置纯水水!槽和喷淋槽》;
》
: 6 — 排液系统管道应】防酸碱腐《蚀和耐有机》溶,剂浸泡;
!。
: 7《 清洗废》液应集中处》理;
《
《 《。8 :。。 清洗机旁应配置洗!眼器等安全》防护设施;》
《
—9 等离》子清洗机应配置氩】气,、,氧气、氮气等高纯】气体接?口
【6.3?.3: 装?配区应?符合下列《规,定
:
】 1 装配区【宜分为洁净区和非洁!净区洁净区级—别宜:为7级;
【。
2】 在工作区整体照!明,系统基础《上使用显微镜的粘】接、共晶工》位宜设置局》部照明;
!
》。3 装配显微【镜放:大,倍数宜为10倍~】40倍检验显微【镜放大倍数宜为10!倍~100倍;【
:
4! 钎焊和电装【工序:宜布:置,。。在非洁净区域应配】备烟雾净化过滤系统!;
:
:。
5】 :各种焊接炉、—焊接机器人宜—配备高纯氮气接【口并宜根据需要配】置压缩空气、冷却液!和排风口等;
【。
【 , 6 《精密返修系统应【配备压?缩空气接口;—
,
!7 自《动,送料机、螺钉自【动,锁紧设备《等应:配备压缩空气接口;!
【 8 》 点胶设备应配备】。压缩空气《接口;
! 9》 :手动、半自动—、自动共晶》机,宜使用高《纯氮气或氮氢—混合气使用》。氮氢混合气应设置】。。工,艺排:风;
》
1】0 真空》共晶机宜使用高纯】氮气若使《用甲酸、氮氢混合】气应有尾气处理装置!;
》
,
《 11 烘箱和固!化炉宜选《择温度、时间可程序!控制的型号烘箱【应配置排风系统;
!
:。
1】2 ?手,动,、半自动和自动贴片!机应配备压缩空【气接:口,、,真空接口;》
《
? : 13 金丝【。、硅:。铝丝、?粗铝丝键合机及金带!。。键合机应配备—压缩空气接》。。。口,宜配备真空接—口和氮气接口—;
》
14 ! 倒装焊接》机应配备真空接口】、高纯氮气接口宜】配,备压缩空气接口【。;,
—。 ? 15 底—部填:充设:备应配备《压缩:空气接口;
!
1【6 芯片叠层工】序用:划片机应配备真空】接口、?压缩空气接口;
!
:。
: 17 【 ,拉,力剪切力测试仪应】配备真空接》口、压缩空》气接口
》
6》.3.4 —测试与调试区应符】合下列规《定
《
》 1? , 测试与调试区宜分!为洁净区和非洁【净区洁净区级别宜】为7级;
—
?
? :2 有芯》片的微波集成组件】封,盖前测试《、调试应在洁净【区进行?;
—
》3 调试》区宜在微波测—试调试区中设定相】对独立区域当调试区!无单独指标调整工位!时宜在装配区明确相!。应的粘接、电装、】键合工位;》
【 , 4 芯—片组装前筛选—测试可在试验—区搭建芯片探针【台测试
》
,
6.》。3.5 封盖区工!艺设计应符》合,下列规定
》
— 1 封盖】区宜分为《洁净区和非》洁净:区洁净区级别—宜,为7级;
】
,
2 封!。焊设:备主体部分应置于】洁净区封焊》设备辅助部分—可置于?非,洁净区域;
!
3 !激光封?焊、平行缝焊等设备!宜配:置手套箱和氮—气干燥装置;—
】 , 4 手套—箱内应?设置:监控内?部气氛的装置
【。
《
,6,。.3.6 》 涂覆?区应符合下列规【定,
《
1 !。涂覆区环境温度【宜为10℃》~30?℃不应超过涂料允】许的操作温度范围;!
》
, 2 操作!。环境有害物浓—度应符合现行国家】职业卫生标准—工业企业《设计:卫生标准的有关规】定;
—
,
3 喷!涂柜或水幕通风【柜风口风速》宜为0.6m/s】~,。0.8m/s;
】
【 4? 干燥箱》、隧道炉、烘房【等烘干设备应有【自动:控温功能并应设【置排气
!。6,.3.7 环境】。试验区应符》合下:列规定
【
1【。 环?境试验区宜为非【洁净区?;
—
《 2 环境试【验区应配置基本环】境试验设备及微【波集成组件测—试仪器;
》
:
— 3 ? 振:动试验应单独—形成一个区》域并应远离》其,他生产区;》
! 4 《环,境抽样试验可使【用专用测试台或测试!工作站
】
6.3.8— :分析区?洁净度等级宜为【8,级
?