。 6.2  ！设备配置 】 《6.2.1》  ：设备选型及配置应】根据产品种类和产能！规，划确定 》。 ？。。。 ，6.2.2  物】料准备区《设备配置应》符合下列规定 】     1！  物？料准备区宜配—置操：作类设备《、存储类设备—。和检测？类设备； ！   ？  2 《 操：作类设备应》配置防静电工—作台、放大镜、显微！镜宜配置《编码机、真空包装】机或热熔封口机等；！    ！ ，3  ？元器件及耗材外观复！验宜采用带照明灯】的放大镜显微镜【应配独立光源；芯】。片外观检查应配双目！低倍立？体光学显微镜放大倍！数宜为10倍—～60倍；芯片【细节检查应配—高倍立体《光学显微《镜放大？倍数宜为100【倍～：1000倍》。；  】 ，  4 《。 库房分选芯片【等，静电敏感器件的【区域应配置离子风】机； 《 ，    — 5 ？ 存储类设备应配置！货架、充氮》柜、干？燥柜； 》。 《    6  检测！类设备宜《配置数？字式显微镜、—自动光学检查仪【、激光？膜厚：测试仪、微波—探针测试台、电子】秤、卡尺等； 【 ， ： ： ，  ： 7  物料种类】。多、信息化程度较高！的厂房宜配置物料】编码机控制软件宜嵌！。入微波集成组—件，生产：厂房的信息》系，统中 ？ ？ 6.2.3【 ， ，清洗区设备配置应】符合下？列规：定 ？ ，     【1，  清？。洗区设备应满足【。微波集？成组件生产过程中对！耗材、基板、外【壳等：的清洁要求； 】 《 ，。   2《  清？洗区应配置湿—法，清洗设备《应配置？通风：橱，、，清洗操作台、—。超声波清洗机、烘箱！宜配置气相清洗机、！加热台； 【    — 3：  烘箱、加热台】应单独隔离放置； ！    】。 ，4  清洗区应配】置专用的清洗—溶剂存放柜； 】 ，     5 ！ 清：洗，区应配置《氮气枪？ ： 6.2.】4 ： 装配区设备—配置应符合下—列规定 【 ：  ：  1  装配区】应包括钎焊、电装、！钳装、贴片、键合】、倒装、芯片—。叠层、检测工序【宜配置物料转运箱、！等离子清洗机、防】静，电工作台、显—微镜：等； 》 ？    2  钎焊！工序宜配置》。自动送料机、热台、！链式炉、烘》箱、真空焊接炉【、钎焊炉、氦质谱】检漏仪等； ！   《。。  3  电—装工序宜配置热台】、焊接？机器：人、自动剥线机【、精：。密返修系统、焊膏】印刷机、回流炉等；！ 》 ，    4  钳装！工，序宜配置自》动送料机、螺钉自】动锁紧设备等； 】    】 5 ？ 共晶贴片工序宜】配置镊子共晶—机、自动摩擦共晶机！、真空共晶炉、链式！共晶炉、汽相焊机、！热台等？； ： ：     【。。6  粘《接贴片？工序应？配置手动点胶机或】自动点胶机、烘箱】或固化炉宜配置自动！贴，片机等；《  【 ，  7  键合工序！宜配置手动》、自动键《合机及微间》隙焊机等； 【    【 8  倒装—工序应配置倒装焊】机、底部《填充设备等； 【    】。 9  芯片—叠层工序的微—波集成？组，件生产厂宜配—置划片机、叠层装片！机等； ！    10  检！测工序宜配》置拉力剪《。切力测试仪、X射】线检测仪、》自动：光学检测仪 【。 ？ 6.2.》5  测试与—调试区？。设备：配置应符合下列规】定， 》   ？ ， 1  测试—与调试区应》配置防静《电工作？台、显？微，镜、直流《电源、信号源—、网络分析仪、【频谱测试仪》、噪声测试仪—、高低？温调：试台、高低》温工作箱、专用测】试工装等； — 《     》2  测试》。与调试区《宜配置自动测试设备！、微波探针测—试台； 《    】。 3  测》试与调试区应配置专！用测试工《装、测试电缆、【调试：工具、测试备—件等物？品存放柜； 【 ： 6？.，2，.6  封盖—区设备配置应符【合，下列规定 —     1！  封盖区》宜根据产品配置【平行：缝焊设备《、激光焊接设备、】储，能焊机、电》子束焊？接及、真空钎—焊炉、低温回流焊机！、汽相？焊接机、激光—打标机等； 【     2！  封盖区应配备粗！检和细检《检漏：手段对有气密—要求微波《集成：。组件：。分级检漏宜配置氦质！谱检漏仪、》氟油检？漏仪、光学》检漏仪等检》测设备？ 6.】2.7  涂覆区】设备配置应符合下】列规定 】     1  外！部，涂覆宜配置自动【喷涂设备、喷—漆柜或带水幕—的抽风柜、涂—料搅拌器、清洗机】、烘干机等； 】 《    2 — 内部涂覆宜—配置真空气相沉积设！。备； 》 ？ ，   3  —产品标识《用，油墨打标机或—丝网漏？印设备 ！6.：2.8  环境【试验：区应配置高低温箱】、振动台 》 6—。.2.9  分析区！宜配置最大放大【倍，数100《0倍光学显微镜、】热成像分析仪、【浸润角测试仪、拉】力剪：切力测试仪、颗【粒碰撞噪声》测试仪、X射线检测！仪、扫描电子—显微镜等《 —6.2.10—  检？。验包装区《应根据产品特点配】置，相应的？检验及包装设—备 ？