6》  工艺《。。设计要？求 【 ， ， 6.1  【。般要求 《 ？ ？ 6.1《.1  物料准备】区、：装配区、测试—与调试区、封盖区】、环境？试验区、分》析区、检《验包装？区内的设《计应符合现行国【家标准？电，子工业洁净厂房设计！规范GB《 50472—的有关规定 【 ？。 6.？1.2  生产厂】房防静电设》计应符合现行—国，家标准？电子：工程防静《电设计规范GB 5！0，611？和洁净厂房》设计规范GB 50！07：3的有关规》定 ？ 6.—1.3  防静电】工作区域工作台、货！架等宜？采用：间，接静电接地设备、仪！器宜：。采用直？接静电接地 【 ： 6.1.4【  生产车间空【气洁净度《。等级应根据具体【产品确？定封盖前的微波集成！组件应在洁》净度等级8级或优于！8，级，的洁：净环境中装配— 6.】1.5  生—产车：。间中洁净区温度宜】为23℃±3℃相】。对湿度宜为》40％～70—％ 【6.1.6  生】产车间供电配电应】满足配置设备要求 ！ 6.1】.7：  生产所需气体】应包括？氧气、氮气》、氦气、氩气、压】缩空气、氮氢—。混合气等并应—符合：下列规定 — ？     1 【 压缩空气》压力宜？。为0.6《MPa～《0.7MPa—露点在0.7—MPa时宜低于【－40？℃； 》    — ，2，  高纯《氮气压力宜为0【.4MPa～—0，.7MPa气体纯度！宜为99.9—99：％； 【    《 3  纯氮压【力宜为0.4—MPa～0》.7MPa》气体：纯度宜为99—.99％；》 ： ？     》4  高纯氦—气，压力：宜为0.4MP【a～0.7》M，Pa：气，体，纯，度宜为99》.999％；— ： ， ？   ？ 5  高纯氧气压！力宜为？0.4M《Pa：。～，0.7MPa气体纯！。度宜为99》.999《％； 】    6  高纯！氩气压？。力，。宜为：。0.4MP》。a，～0.7MPa气体！。。纯度宜为99—.999％》。； 》     7  ！。高纯氮氢《混合气？体，气（N295％ H！25％）压力宜【为，0.4MPa～0】。.7MPa》气体纯度宜》为，99：.，9，99％？ ？ 6.1.【8，。  高纯《气体用气《点，前应设高效气—体过滤？器， 6.1！.9：  工艺《真空度宜优于—0.08M》。Pa ？ ， 《。6.1.《10  生产所【需水路宜《包括：给排水、纯水和工艺！冷却：水，工艺冷却水》宜采用循环系统 ！ 6.1.1！1  纯水的水质、！水量、水压应满【足生产工艺所需 ！ 6.—1.1？2  工艺冷却【水应使用软化水使用！端压力宜为》0.2M《Pa～0.3—MP：a 【6.1.13  】生产过程中发热【量、发尘量大的生】产工艺应采取防扩散！措施 ？ 《。 6.1.》14  生产车【间，应配置压差测—试，仪、温湿度记录仪】、空气微尘颗—粒记：录仪等检测设备 】。 ，