。 ？ 6  工》艺设计？要求 《。。 6！.1：  ：般，要求： ： 6.】1.1  》物料准备区、装【。配区、测试与调试】区，。、封盖区、环—境试验区《、分析区、检—验包装区《内的设计应》符合现行国家标【准电子？工业洁净厂》房设计规范G—B 50472的】有，关规定？。 ？ ？6，.1.2  生产厂！房防静？电设计应符合现【行国家标准》电子：。工程防？静电设计规范—GB： 50611—和洁净厂《。房设计规范》。GB 5《0073的有关【。规定 】6.1.3  防静！电工作区域》工作台、货架等【。宜采用间接静电接】地设备、仪器宜【采用直接静电—接地 》 ： 6.？1，.4  生产车间】空气：洁净度等级应根据】具体产品《确定封盖《前的微波集成组件】应在洁净度等级【。8级或优于8—级的洁净环境中装】配 》。 6.1.5  ！生产：车间中洁净区温度】宜为：23℃？±3℃相对湿度宜为！40％～7》0％ 《 ？ 6.？1.：6  生《产车间供电配电应】满足配？置设备要求 ！ 6.1》。.7  生产所需】气体应包括氧气【、氮气、氦气、【。氩气、压缩》空气、氮《氢混合？气等并应符合—下列规定 》 ， ：     1【  压缩空气压【力宜为0《。.6M？Pa～0《.7MPa露点【在0.7MPa时】宜低于－40℃； ！ 《  ：   2 》 高纯氮气压力【宜为0.4MPa～！0.7MPa气【体纯度宜为》。99.？999％； —。     ！3 ： 纯氮压力宜为0.！4MPa～0.【。7MPa气体纯【。度宜为9《9.99％； 【 《     》4  高纯氦气压】力宜为0.4M【Pa～？0.7MPa—气体纯度宜为—99.999％；】 ：。 ？     5—。  高纯氧》气压力宜为0—.4MPa》～，。0，.7MPa气体【纯度宜为99.99！9％；？ ？     6】 ， 高纯？氩气压力宜》为0.4MPa【～0.7MP—a气体纯度宜为99！.999％；— 《  ？。   7 》 高纯氮氢混合气】体气（N《295％ H25】％）压？力宜：为，0.4MPa—～0.7MPa气】体纯：度宜为？99.？999％ 】 6.1.—8 ： 高：纯气体用气点前应设！高效气体过滤器【 6.1！.9  工艺真【空度宜优于0.【。08：。MPa 》。 ， 6.1.1】0 ： 生：产所需水《路宜包括给排水、】纯水和？。。工艺冷却水工艺冷】却，水宜：采用循环系统— 6.】1.11 》 纯水？的水质、水》。量、水压《应满足生产工艺【所需 》 6.1.1】2  工《艺冷却水《应使用软化水使用端！压力宜为0.2MP！a～0.《3MPa 》 ？ 6.《1.13 》 生产过《程中：发热量？、，发尘：量大的？生产工艺应》采取防扩散措施 】 《。 6.1.14 】 生产车间应—配置压差《。测试仪、温湿—。度，记，录仪、？空气微尘颗》粒记：录仪等检测》设备 《