6  工】艺设计要求 】 《 6.》1  般《。要求 【 ， 6.1.1  ！物料准备区》、装配区、测试【与，调试：区、封盖区、环境试！验区、分析区、【检，验包装？区，。内的：设计应符合》现行国家标准电【子工业洁净厂—房设计规范GB【 504《72的有关规定【。 ？ 6.》1.2  》生产厂房防静电【设计应符合现—行国家？标准电子《工程防静《电，。设计规范GB 【50611》。和洁净厂房设计【规，范GB 50073！的有关规定 — 6—.1.3  防【静电工作区域工作】台、货架《等宜采用间接静【电接地设备》、仪器？宜采用？直接静电《接地 《。。 ， 6.1.【。4  生产车间【空气洁净度等级应根！据具体产《品确定封盖前—的微波？集成组件应在洁【。净度等级8级或优】于8级的洁净环境】中装配 《 》。6.1.5 — 生产车间中—洁净区温度宜为23！℃±3℃《相对湿？度宜为40％～7】0％ 6！.，1.6  生—产车间供电配电应满！足配置设备要—求 》 6.1.7  ！生产：所需气体《应包：括氧气、氮气、氦】气、氩？气、压缩《空气、氮氢混合气等！并应符？合下列规定 —    】。 1 ？ 压缩空气》压力宜为0》.6MPa～0.7！MPa露点》在0.7MPa时宜！。低于－40℃； ！ ，   》  2  高—纯氮气压力宜—为0.4《MPa～0.7MP！a气体纯度宜—为9：9，.999％》； ？     】3  ？纯氮压力宜为0.】4MPa～0—.，7M：Pa气体纯度宜为】99.99％； ！ 《。    4 — 高纯氦气压力【宜为0.4MPa～！0.7MPa气【体纯度宜为99.】9，99％； 】 ：。    5》  高纯氧气压【力宜为0.4MP】a～0.7M—Pa气体《纯度宜为《99.99》9％； 【     6【  高纯氩气压力】宜为0.4MP【a，～0.7MPa【气体纯度宜为9【9.9？。99％； 【  《   7  高纯】氮氢混合《气体气（N2—95％ H2—。5％）压力》宜为0.4MPa～！0.7MP》a气体纯度宜为【99.999％【 6.1！.8  高》纯气体用气点前应】设高效气体过滤【器 6.！1，.9  工艺真空度！宜优于0.0—8MPa ！ 6.1.10【  生产《所需：水路宜包括》给排水、纯》水，。和工艺冷却水工【艺冷却水宜采用循】环系统 ！6.1.11  纯！水的水质、水—量、水压应满足【生，产工艺所需 — 6.1.！12  工艺冷【却水应使《用软化水使用端压】力宜为0.2—MPa？～0.3MP—a 6】.1.13 — 生产过程中发热】量、发尘量大的生】产，。工艺应采取防扩散措！施 ： 6—.1.14  【生产车间应配置【。压差测试仪、温湿度！。记录仪、空气—微尘颗粒记录仪等检！测，设备 《