， 6 》 工艺？设，计要求 — 》 6.1  般要！求 — ： 6.1.1  物！料准备区《、装配区、测—试与：调试区、封盖区、】环境试验区、分【析区、检验包装区内！的设计应《符合现行国家标准电！子工业洁净厂—房设计规《范GB 50472！的有关规《定 6】.1.2  生产】厂房防？静电设计《应符合现行国—家标准电子工程防】静电设计规》范，GB 5《0611和洁净厂房！设计：规范GB 》500？。。。73的有关规定【 ， 《 6.1.》3  防静电工作】区域：工作台、货架等宜采！用，间，。接静电接地设备、仪！器宜采用《直，接静电？接地 6！.1.4  —。生产车间空气—洁净度等级应根【据具体产《品确定封盖前的【微，波集成组件应在洁】净，。度，等级8级或》优于8级《的洁净？环境中装配 【 6》.1.5  生【产车间中洁净区温】度宜为？2，3℃±3《℃相对湿度宜为40！％～70《％ 》 6.1.—6  生产车间供】电配：电应满？足配置设备要—求 6】.，。1，。.7  生产—所需气体《应包括氧气、—氮气：、氦气、氩气—、压：缩空气、氮氢—混合：气等并？应符合下列》规定 【     1—  压缩空》气压力宜为0.【6MPa《～0.7M》Pa：露点在0.7—MPa时宜低于【－4：0℃； 《  —   2  —。高，纯氮气压力》宜为0.4》MPa～0.7M】Pa：气体：纯度宜为99.99！。9％； 《 《     3 【 纯：氮压力宜为0.4】MPa～《0，。.7MPa》气，体纯度宜为9—9.99％； 】     】4  高纯氦气压力！宜为0？.4MP《a～0.7MPa】气，体纯度宜为9—9.99《9％：；  】   5  —高纯氧气压力宜为0！.4MPa～0【.7MPa》气，。体纯度宜为99【.999％； 【。。 》    6  【高纯：氩，。气，压力宜为0.4【MPa～0.7【MPa气《体纯度宜为99【.999％；— ：。    【 7： ， ，。高纯氮氢混合气体气！（，N295％ —H25％《）压力宜为0.【4MPa～》0.7MPa气【体纯度宜为99【.999％》 ： ：。 6？.1.8  高【纯，气体用气点》前应设？高，效气体过滤器— ： 《6.1.9  【工艺真空《度宜优于0.08】。MPa 》 ， ？6.1.10  】生产所需水路宜包括！给排水？。、纯水和工艺冷却水！工艺冷却水宜—采用循环系统 】 6.1.】11 ？ ，纯水的水质、水量、！水压应满足生产【工艺所？需 ： 6—.1.1《2  工《艺冷却？水应使用《软化水使用端压力宜！为，0.2MP》a～0.《3，MPa 》 6.1.1！3  生产过—程中：发热量、发尘量【大的生产工艺应【采取防扩《散措：施 ？ 《6.1.14  】生产车间应》配置压差测试仪、】温湿：度，记录仪、空气—微尘颗粒记录仪等】检测：设，备， ：