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D.6 !室内空气温度和相】对湿度的检测—
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D.6.1 ! 洁净室(区—)的温、湿度测试可!分为一般温、湿度】测试和功能》温、湿度《测试
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D.6.2 !温,。度测试可采用—玻,璃温度计、电阻【温,。度检测装《置、数字式温—度计等;湿度测试】可,采用通风干》湿球温度《计、数字式温湿度】计、电容式湿—度计:、毛发式《湿度计等
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D.6.3 温!度和相对湿度—测,试应在?洁净室(区》)净化空调系—统,通过调试气流—。均,匀性测试完成并应在!系统:连续运行《2,4h以上时进行
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》D,.6.4 应根】据温度和相对湿度允!许,波动范围采》用相应适用精—。度的仪表进行—测定:每次测定时间隔不应!大于30m》in
D!.6.5 》 室内测点布置应】符合下?列原则
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》 1 ? 送回风口处—
】 2 恒温工】作区具有代》。。表,。性的地点(如沿着】工艺设备周》围布置或《等距离布《置)
! 3 没【有恒温要求的洁净】室中心
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4】 :测点:应布置?在距外?墙表面大于》0.5m《。离地面0.8—m,的同:。一高:度上也可以根据恒】温区的?。大小分别布置在离】地不同高度的几【个,平面上
【
D?.6:.6 温、湿度测!点,数应符?合表D.6》.6:的,规定
【
表D.《6.6 温》、,湿度测点数
【
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《
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D.6.7 】 ,。有,恒温恒?湿要求的洁净室【(房间)应进行室温!波动范围的检测并】应测定并计算室【内,各测点的记录温【度与控制点温度的差!值,分别统计《小于或等于》某一:温差的测点数—占,测点总?数的百分比》整理成?温,。差累积统计曲线【当90?%以上?测点:偏,差值在室温波—。动范围?内,应判定为《合格
D!.6:.8 区域—温度应以各测—。点中最?低(或最高》的)的?。一次测?试温:度为基准并应计算】各测:点平均温度与上述基!准的偏?差值分别统计小于等!于某:一温差的测》点数占测点》总数的百分比整【理成偏差累计统计曲!。线90%以上—测,点所:达到的偏差值应【。为区域温差》
D.】6.:9 相对湿度【波动范围及区域【相对湿度差》的测定可按》室温:波,动范围及区域温差】的测定规定》执行
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