《D.6  室—内空气温度和—相对湿度的检测【 【 D.6.1—  洁净室(区)的！温、湿度测试可【分为一般温》。、湿：。度测：试和：功能温、湿》度测试 】。 D.6.2  】温度测试《可采用？玻璃温度计》、电阻温度检测【装置、数字式温度】计等；湿度测试【可采用？通风干湿《球温度计、数字式】温湿度？。计、电容《式湿度计、毛—发，式湿度计等 — ， ？ D.6.》3  温度和—相对湿度测试应【在洁净室(区)净化！空调系统通》过调试气《流均：匀性测？试完成并应在系【统连续运行24h以！。上时进行 ！ ，D.6.4》  应根据温—度和相对湿度—允许波动范围采用】相应适用精度的【仪表进？行测定？每次测定时间隔【不应大于30m【in D！.6.5《  ：室内测点布置应符】合下列原则》 —。   ？ ，1  送《回，风口处 ！。  ：  ：2  恒温工作区具！有代表性的地点(如！沿着工艺设备周围布！置或：等距离？布，置) 】   ？ 3  《没有恒温要求—的洁净室中心 】 ？     4 【 测点应布置在距】外墙表？面大：于0.5m离地面】0.8m的》同一高度上也可【以根据恒温区的【大小分？别布置在离地—不同高度的几—个平面上 】 D.6》.6 ？ 温、？湿度测点数应符合】表D.6.》6的规定 】 ， 表D.《6.6 《温、湿度《测点数 ！ D.】6.7 《。 有恒温《恒湿要求的》。。洁净室(房间)【应，进行室温波动范【围的检？测并：应测定并计》算室内各测点的【记录：温度：与控制？点温：度的差值分》别统计小于或等于】某一：温差：。的测点数占测点【。总数的百分比整【理成温差累积统计曲！线当90％以上【测点偏差值在—室温波动范》围内应？判定为合格 ！ D？.6.8  区域温！度应以各测》点中最低(或最高】的)的一次测试【温，度为：基准并应计算—各测：点平均温度与上述】基准的偏差》值，分别：。统计小于等于某一】。温差的？测点数占测》点总数的百分比整】理成：偏差累计统计曲线】90％以上》测点所达到的—偏差值应为区—域温差 《 ？ D？.6.9  相【。对湿度？波，动范围及区域—相对湿度《差的测定《可按室温波动范围】及区域温差》的测：定规定执《行 ？