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D.6》 , 室内空《气温度和相对湿【度的检?测
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D.6《.,1 洁净》室,(区)的温、—湿度测试《可分:。为一般温、湿度测试!和功能温、湿度测试!
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D.6】.2 温度—测试可?采用玻璃温度计、】电阻温度检》。测装置、数字式温度!计等;湿度测试可】。采用通风干湿—球温度计、数—字,式,温湿度计、电容【式湿度计、毛发式】湿度计?等
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D.6.—3 温度和相对湿!。度,测试应在《洁净室(区》)净化?空调系统通过调试气!流均匀性测试完成并!应在系统连续运行】。2,4h以上时进行【
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D.6.【4 ?应根据温度和—相对湿度允许波【动范围采用相应适】用精度的仪表进【行测定每次》测定时?间隔不应大于30】min
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D.6.5 ! 室内测点布置应】符合下列原则
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? 《1 送回风口处】。
! 2 恒温工【作区具?。。有代表性的地—点,(如沿着工艺设备】周围布置《或等距离布置—。),
【 3 没有恒!温要求的洁净室中心!
?
《 4 测点】。应,布置在距外》墙表面大于》0.5m离地面【0.:。8m的同一》高度上也可以根据恒!温区的大小》分别布置在离地【不同高?度的几个平》面上
》。
D.6.6 ! ,温、湿度测点数应符!合表D.6.6的规!定
【表D:.6.6 温、湿度!测点数
》。
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D!.6:.7 有恒温【恒湿要求的洁净【室(:房间)应进行室温波!动范围的《检测并应测》定并计算室》内各测?点的记录温度与【控制点温度》的差值分《别统计小于或等于某!。一温差的测点数占测!点总数的《百分比整理成温【差累积统计曲—。线,。当90%以》。上测点偏差值在室】温波动范围内应【判定为合格
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D?.6.8 —区域温度应以—。各测点中最》低(或最高》的):的一次测试温度为】基准并应计算各测点!平均温?度与上述基准的偏】差值分别统计小【于等于某一》温差:的测点数占测点【。总,数的百?分比整理《成偏差累计统计【。曲线90%以上测】点所达到的偏差值】应为区域温差
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D.6.9】 相对湿度波动范!围,及区域相对湿度差】的测定可按室温【波动范围及区—域温差的测定规定】执行
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