？ D：.6  室》内空气？温，度和相？对湿度？的检测 — D.6.！1  洁净室(【区)的温《、湿度测试》可分为一般温、【湿度测试和功能温】、湿度测试》 ： D.6.】2  温度测—试可采用玻璃—温度计、电阻温【度检测装置、数【字，。式温度？计，等；湿度测试—可采用通《风干湿球温》度计、数字式—温湿度？计、电容《式湿度计、毛发式湿！度计等 《 《。 D.6.》3  ？温度和相对》。。湿度测试应在洁【净室(区《)净化空调系统通】。过调试气流均—匀性测试完成并应在！系统连续运行24】h以：上时进行 【 D.》6.4  应根【据温度？和相对湿度允许【波动范围采用—相应适？用精：度的：仪，表进：行测定每次》测定时间隔不应大于！30min 【。 D》.6.？5  室内》测，点布：置应符合下列原则】。    ！ 1：  送回风口—处 —。  ：  ： 2  恒温工作区！具有代表性的—地，点(如沿着工艺【设，备周围布置或等【。距离布置)》。 ，   【 ， 3  没有恒【温要求？的，洁净室？中心 《。     4！  测？点应：布置在距外墙—表，面大于0.5m离】地面0.8》m的同？一高度上也可以【根据恒温区的—大小分别《布置在离地不同【高，度的几个平面—上， D.6！.6 ？ 温、湿《。度测点数应符合【表D.6.6的【规定 表！。D.6.6 温、湿！度测点？数 《 ？ ，。 D—.6.7  有【恒温恒湿要求的洁净！室，(房间)应》。进行室温波动范围的！。检测：并应测定并》计算：室，内各测点的记录温】。度与控？制，点温度？的差值分别统计小于！或，。等于某一温差的测】点数占测点总数的百！分比整理成温差【累积：统计曲线当90【％以上？。测点偏？差值：在室温？波动范围内应判【定为合格 》 《 D.？。6.8  区域温度！应以各测点》中最低(或最—高的)的一次—测试温度为》基，准并应计算各测点】。平均温度与上述基】准的偏差值分别【统计小于等》于某一温差的测点数！占测点总数的百分比！整理成偏差累—计统计曲线90％】。以上测点《所，达，到，的偏差值应为区【。域温差 【 D.《6，。.9  相》对湿度波动范围【及区域相对湿度差的！测定可按室温波动】范围及区域温差【的测定规定执行【 ：