。
D.6 】 ,。室内空气温度—和相对湿《度的检测
【。
D.【。6.1 洁净室】。(区)的温、湿度测!试可:分为一般温、湿度】测试和功能温、【湿度测试
!
D.6.2— , 温度测试可—采用玻璃温度计【、电:阻温度?。检测装置、数—字式温度计等—;湿度测试可采【用通风干湿》球温度计、数字式温!湿度计、电容式湿度!计,、毛发式湿度—计等
【
D:.6.3 —温度和相《对湿度测《试应在洁净室(区)!净化空调系统通过】调试:气,流均匀性测试完成】并应在系统连续运行!24h以《上时进?行,
》
D:.6.4 应根】据温度和相对湿度】允许波动范》围采用?。相应适用精度—的仪表进行测定每次!测定时间隔不应大】于30m《。in
?。
D—.6:.,5 室内测点【布置应符合下列原则!
,
:
— 1 送回—风口处
《
:。
2】 恒温工作区具】有代表性《的地点(如沿着工】艺设备?周围布置或等距离布!置)
【
《。 3 《没有恒温要求—。的洁净室《中心
】 4》 , 测点?应布置在距外墙表】面大于0.5m离地!面0.8《m的同一高》度上也可以根据【恒温区的大》小分别布置在离地不!同高度的几个—平面:上
》
,
D.6.6 】温、湿度测点数应】符合表D.6—.6的规《定
》
表D.》6.6 《温、:湿,。度测点数《
》
?
D.6.7!。 , 有恒温恒》湿,要求的?。洁净室(房间—。)应进?行室温波动范围的】检测并应《测定并计算室内各】测点的记录》温,度与控?制点温度的》差值:。分别统计《小于或等于》某一温差的》测,点数占测点总数的】百分:比整理成《温差累积统计曲线当!90%?以上测?点偏差值在室温波动!范围内?应判定?为合格
《。
》D.6.8 【区域温?度应以?各测点中最》低(或最高的)的】一次测试《温度为基准》并应计算各测点【平均温度与》上述基准的偏差值】分别统计小于等于某!一温差的测点—数占测点总数的百分!比整理?成偏差累计统计曲】线90%以上—测点所达到的偏【差值应?为,区域温差
【
?D.6.9 相】对湿度?波动范?围及区域相对—湿度差的《测定可按室温—波动:范,。围及区域《。温差的测定规定【执行
《