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D.7 —气,流流型的检测
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D.》。7.1 气流流型!。的检测宜采用气流目!测和气流流向的【方法气流目测宜【采用示踪线法、【发烟(?雾)法和《采,用图像?处理技术《等方法气流》流向的?测,试宜采用示踪—线法、发烟》(雾)法和三维法】测量气流速度等【方法:
D【.7.2《。 采用《示踪线法时》可采用棉线、薄膜带!等轻质纤维放—置在测试杆的末端或!装在气流中细丝格栅!。上直接观察出气流的!方向和因干扰引起的!波,动然:后,标在记?录的送风平》面的气流流型—图上每台高》效空气过滤器至少】应对:。应一个观察》点
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D.《7.3 《 ,采用发烟(雾—)法:时可采用去离子水用!固态二氧化》碳(干冰)或超声波!雾化器等生》成直径为0.5μ】m~50μm的【水雾;采用四—氯化钛(TiCl】4)作示踪》粒子时?应确保洁净室、【。室内设备以及操【作人员?不受四?氯,化钛产?生的酸?伤害
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D.7【.,4 采用图像处】理技术?进行气流目测时可】根据按本规范第D.!7.1条得到—的粒子图像数据利用!二维空气《。。流速度矢量提供量】化的气流特性
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D.7.【5 采用三维法测!量气流速度》、采用热风速计或3!维超声波《风速仪?时检测点应》选择在关键》工作区及《其工作面高度根据建!设方要?求需进行洁净室【(区)的气流方向】的均匀分布》测试时应进行—多,点测试?。
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