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G.2 【压力衰减法
!
G.—2.1 测试系统!如图G.2》.1所示
》
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G—.2.?2, 可按《以,下步骤进行检—测
1】 , 将所?测洁净室的温度【控制在设计范围内】并,。保持稳定《记录压力衰减测试】过程中室内温度的变!化,(温:度计或温《度传感器的最小【示值不宜大于0【.1℃?)
《
2》 关闭所测洁净室!围护结?构,上的门、《传递窗等关闭回风管!(或排?风管:)上的气密阀—门不得在风口上【加,其他密封措施并维】持,各种孔洞缝隙的【密封:现状
】3 开启送风使室!内压力上升至—已商定的测》。试压力(《压,力计量程至少为【测试压力的1.5】倍最小示值不宜【大于10Pa)压】力稳定后停止送风关!闭送风阀《门
【4, 或反之关闭【送风管上的阀门如果!送风管?上无阀或阀不严应在!送风口上用塑—料膜加盲板》的方法封住风口【开启排风《使室内压《力下:降至已商定的测试压!力压力稳《定,后停止?排风关闭排风气密阀!门
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5 从停—上,送(排)风起记录压!力随时间《衰减的数据》。每1:mi:。n记录1《次,压差和温度》连续记?录至室内压》力下降至初始压力的!一半时止
!
6 测》试结束后慢》慢打开风阀使房间压!力,恢复到正常》状态:
,
7—。 如果《需要:进行重?。复测试20min后!进行
8! 当?不用风机时也可用】空,气压:缩机或真空泵
】
G》.2.?3 检测报—告应包括以下内【容
【。1 检测条件包括!室内:温度等?
:。
2 检】测方:。法包括检测所用仪器!设备规格型号—及精度;《所测洁净室压力【、,温度的动《。态变:化;检?。测持续的时间
【
3 】检,。测结果包《括所测洁净室压力】下降至初始压—力的:1/2?。时的时?间内:压力衰减率;所测】洁净:室围护结《构严密性《的评价?
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