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G.2 — ,。压力衰?减,法
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G.2】.,1, 测试系》统如图G《。.,2.:1所示
《
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G《.2.2 可【按以下步骤进行检】测
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1 将所测洁】净室的温《度控制在设计范【围,内并保持《稳定记录压》力衰减测试过程中室!内温度的《变,化(温度《计或温?度传感器的最—小,示值不宜大于0.】1℃)
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》2 关闭》所,测洁净室围》护结构上《的门:、传递窗《等关闭回风管(或排!风管)上的》气,密阀门不得在风口】上加其他密》封措:施并维?持各:种孔洞缝隙的密封】现状
】3 开启》送风使室内压力上升!至已商定《的测:试压力(《压力计量程至少为】测试压力的1.5】倍最小示值不—宜大于10》Pa)压《。力稳定后停止送【风关:闭送风阀门
】
4 或反之!关闭:送风管上的阀—门如果送风管上无阀!或阀:不严:应,在送风口《上用塑?料膜加盲《板的方法封》住,。风口开启排风—。使室内压力下—。降至已商定的测试】压力压力稳》定后停止《。排,风关闭排《风气密?阀,门
【5 ?从停上送(排)风起!记录压力随时间衰减!的数据每1min】记录1?次,压差和?温度连?续记录至室内压力】下降:至初始压力》的一半时《止
6 ! 测试结束》后慢慢打开风—阀,使房间压力恢—。复到正常状态
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7 如果】需要:进行重复测》试20min后进】行
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8 当不【用风机时也可用【空气压缩机或真【空泵
】G.2?.3 检测报【告应包括《以下内容
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,1 检《测条件包《。括室内?温度等
】
2 检测—方法包括检测所【用仪器设备规格型】。号及精度;所—测洁净室压力、温度!。的动态变化;检测】持续的时间
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3 》检测结?果包括所测洁—净室压力下降至初】始压力的1/2时的!时,间内压?。力衰减率;》所测:洁净室围护结构严密!性的评价
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