安全验证
: G.2》  压?力衰减法 【 G—.2.1 》。 测试系统如图G.!2.1所《示 【 》 G.?2.2  可按以】下步骤进行检测【 : 1》  将所测》。洁净室的《温度:控制在设《计,范围内并保持稳定记!录压力衰减测试【过程中室内温度【的变:。化(温度计或温度传!。感器的最小示—值不宜大于0.【1,℃)  !2  关闭所测【洁净室围护结构【上的门、传递窗等关!闭回风管(或—排风:管,)上的?气密阀门不得在风口!上加其他密封措施】并维持各《种,孔洞缝隙的密—封现状 】 3:  开启送风使室内!压力:上升至已商》定的测试压力(压力!计量程?至,少为测试压力—的1.5倍最小示】。值不宜大于》10Pa)》压力稳定后停止送风!关闭送?风阀门 》 , 4  或反之!关闭送风管上的阀】。门如果?送风管上《。。无阀或?阀不严应在送风口】上用塑?料膜加盲板的方法】封,住风:口开启排风》使室内压力下降【至已商定的测试【压,力压力稳定后停止排!。。风关闭排风气密【阀门 》 5  从【停上送?。(排)?风起记录压力随时间!衰减的数据每1【min?。记录:1次压差和温度【连续记录至室内压】力下降至初始压【力的一半时止 】 6 — ,测试:结束后?慢,慢打开风阀使房间压!力恢复到正常状态】 —7  如果》需要进行重》复测试20min后!进行 ? : : 8  当不用【风机时也《。可用空?气压缩机《或真空泵《 ?。 G.2—.3 ? ,检,测报告?应包括以下内容 ! 1  【。检,测条件?包括室内温》度等 【 ,2  检测方—法包括检测所用仪器!设备规格型》号及精度;所测洁】。净室压力、温度的】动态变化;检测持】续,的时间 】。。 3  检测结【果包括所《测洁净室压》力下降至初始—压,力的1/《2时的?时间内?压力衰减《率;所测洁》净室围护《结构严密性的评价】 :