G.2 !压,力衰减法
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《
G.2.1 】 测试系统》如图G?.2.1所示
!。
【
:G.2.《2 可按以下步骤!进行:检测
《
1》 将所测洁净【。室,。的温:度控制在设计范围内!并保持稳定记—录,压力衰减测试过【程中室内温》度的变化(温—度计或温度传感器】的最小示值不宜大于!0.1℃)
【。
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2 关闭所【测洁净室围护结构】上的门、传递窗等关!闭回风管(或排风管!)上的?气密阀门不得在风口!上加其?他密封措施并—维,持各:种孔洞?。缝隙的密封现状
】。
》。3 开启送风使室!内,压力上升《至已商定《的测:试压力(压力计量程!至少为测试》压力的1.》5倍最小示值不【宜大于?10Pa)压力稳】定后停止《。送风:关闭送风阀门—
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4 或】反之关闭《送风管上的阀—门如果送风》管上无阀或阀不【严应在送风口—上,用塑料膜加盲板【的方法封住》风口开启排风使室】内压力下《降至已商定的测【试压力压力稳—定后停止排风—关闭排风气密—阀门
?
5 】从停上送(排)【风起记录压力随时间!衰减的数据每—1min记录1次】压差和温度连续记录!至室内压力下降【至初:始压力的《一半:。时,止
6】 测试结束—后慢慢打开风阀使】房间压力恢》复到:正常状态
】。
7 如—果需要进行重复测试!20min》后进:行
《
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8 当不用【风机时也可用—空,。气压缩机或真空【。泵
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G:.,2.:3 检《测报告应包括—以下内容《
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1 检测】条件包括室内—温度等?
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《
2 检测—。方法包括检测所用】仪器设备规格型号及!精度;所测洁净室压!力、温度的动态变】化;检测持》续的时间
【
3 —。检测结?果包:括所测洁净》室压力下降》至初始?压,力的1?/2时的时间—内压:力衰减率;所—测洁:净室围?护结构严密性的评价!
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