安全验证
G.2【  压力衰减法 】 — G.2.1 【 测试系统如图【G.2.1所示 】 《 ? G.2.2!  可?按,以下步骤进行检测 ! 1  将!所测洁?净,室的:温度控制在设—计范围内并保持稳】定记录压力》衰减测试过程—中室内温度的—变化(温《度,计,或温度传《感器:的最小?示值不宜大于0【.1℃?)  — 2  关闭所】测洁净室围护结【构,上的门、传递窗等】关闭回风管(或【排风管)上的气密】阀门不得在》。。风口上加其他密封措!。施,并维:持各种孔洞缝隙【的密封现状 】 3  开启】送风使?室内压力上》升至已商《定的测试压力(【压力计量程至—。少为测试压力的【1.5倍最小—。示值不?宜大于10Pa【)压力稳定》后停止?送风关闭《送风阀门 》 4 【 或反之关闭送风管!上的阀?门如果送《风管上?无阀或阀不严应【。在送风口上用—塑料膜?加盲板的方法—封住风口开》启排风使室内压【力下降至已》商定的测试压—力压力稳《定后:停止排?风关闭?排风气密阀》门 5 ! 从停上送(排【)风:起记录压力》随时间衰减的数据每!1min记录1次】。压差和温度》连续记录至室内压】力下降至《。。初始压力的一半【时止 — 6 《 测:试结:束后慢慢打开风阀】使房:间压力恢《。复到正?常状态 !7, ,。 如果?需,。要进行重复》。测试20《mi:n后进行 【 8 》 当不用风机时【也可用空气》压缩机?或真空?泵 — G:.2:.,3,  :检测报告应》包括以下内容 】 , , 1?  :检测条件《。包括室内温度等 】 》2  检测方—法包括检测所用仪】。器设备规《格型号及精度;所测!洁净室压力》、温度的动态变化】;检测持《续的时?间 ? 3 — 检测结果包括所】。。测洁净室压力—下降至初始压力【的1/2时的时间】内压力衰减》率;所测洁净—室围:护结构严密性的评】价, :