G.2【 压力《衰,减法
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G.—2.1? 测试《系统如图《G.2.1所示
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—G.2.2 可】。按以下步骤进行检】测
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1 将所!测洁净室的温度控制!在设计范围内—并保持稳定记录压力!。衰减测试《。过程中室内温度的】变化(温《。度计或温度传感器】的最小示值不宜【大于0.《1℃) 《
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2 关闭所测】洁净室围《护结构上的门、传递!窗,等关闭回风管(【或排:风管)上的气密【阀门不得《在风口上加其他【密封措施《并维持各种孔洞【缝隙的?密封:。现状
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3 开启送风】使室内压力上升至已!商定的测试压—力(压力《计量程至少为测试】压力:的1.5倍最小示】值不:宜大于10》Pa:)压力?稳定:后,停止送风关》闭送风阀《门
【4 或反之关闭送!风管上的《阀门如果送风—管上无阀《或阀:不严应在送风口上用!塑料膜加盲板的方】。。法封:住风口开启》排风使室内压力下】降至已商《定的测?试,压力压力稳定后【停止排风关闭排【风气密阀门
【
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5 从停】。。上送(排)风—起记:录压力随时间衰减的!数据:每1m?in记录1次压差和!温度连续《。记录至室内》压力下降至初始压力!的一:半时止
【
6 测试【结束后慢慢打开风】阀使房间压力—恢复到正常状—态
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7 如果需!要,进行重复测试—20m?in后进行
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8 【 当不用风机时也可!用空气压缩机或【真空:泵,
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G.2《.3 《检测报?告应包括以下—内容
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1 检测条件!包括室内温度等
】
《
2 《。检测方法包》括检测所用仪器设】备规格型号及—。精度;所测洁—净室压力、》温度的动态》变化;检测持—续的时间
》
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3 ? 检:测结果包括所—测洁净室《压力下降至初—。始压力的1》。/2时的《时,间内压力衰减率;】所测洁净室围护结】构严密性的评—价,
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