《G,.2 压》力衰:。减法
】
G.2.1【 测试系》统如:图G.2.1所示
!。
【
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G.2.2 【 可按以下步骤进】行检测
!1 将《所测洁净室的温度控!制在设?计范围内《。并保持稳定记—录压力衰减测试【过程中室内》温度的变化》(,温度计或温度—传感器的最小示值】不宜大于0.1℃】)
》
2 关闭】所,测洁:净室围护结构上的】门、传递窗等关【闭回风管(》或排风管)上的气】密阀门?不得在风《口上加其他密—封,措施并维持》各种孔洞缝隙的密封!现状
】。。3 开启送风使室!内压力上升至已商】定,的测试压力(压【力计量程至少为【测试:压,力的1.5倍最【小示值不《宜大于10Pa【)压力稳《。定后停止送风关【闭送风阀门
!
,
4 或反之关】闭送风管上的阀【门如果送风管—。上无阀或阀不严应在!送风口上《用塑料膜《。加盲板?。的,方法封住风》口开启排风使室【内压:力下降至《已商定的测试—压力压力稳定后停】止排风关《闭排风气《密,阀门
】5 从停上送【。(排)风起记录压】力随时间衰减—的数据每1min记!录1次压差》和温度?连续记录至室内压力!下,降至初始压力的一】半时止
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6 》 测试结《束后:慢慢打开风阀使房】间压力?恢复到正常状态
】。
7— 如果《需要进行重复测【试20min后【进行
【
8 当》不用风机时也—可用空气《压缩机或《真空泵
!G,.2.3 》 检测报告》应包:括以下内容
【
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,1 检测条—件包括室内温度等】
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2 检测方!法包括检测所用仪】器,设,备规:格,型号及精度》。;所:。测洁净室压力—、温度?的动态变化;检测持!续的时间《
3 】 检测结果包—。括所测洁净室压力下!降至初?始压:力的1/2时的时间!内压力衰减》率,;所测洁《净室围护结构严【密性的评价》
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