附录—G 洁净》室气密性检测方法】
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G.1 — 原 —理
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G.【1.1 》保持室内为》正压:或负压均能》。满足:检验要?求但条件允》许,时,负压洁?净室宜用正压检验】正压洁净室宜用【负,。压,检,验
G.!。1,.2 可》按以下方《法进行检《测
1】 压力衰减法
!
使室内【达到某一压力—(正压或负压)关】闭加压或《抽,负压系统观察压【力随时间《衰减的情况记录【下压力衰减》到起始压力的一半】。时所用的时间即为测!量室内?正压或负压的—。半衰:期
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,2 恒压法
】
使》室内达到某一正压】同时向室内补气【使室压达到要—求的:稳定值?而不下降《时的补气量即—为漏:泄量使室内达到某一!负压:。。使室压维《持要求的稳》定值:而不下降时》的抽气量即》。为漏泄量
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