《附录G  》洁净室气《密性检测方法— 】 G．《1  原   【 理： 》 ？G．1．1  【保持室内《为正压或负压均能满！足检验要《求但条件允》许时负压洁净—室，宜用：。。正压检验正》压洁净室宜用—负，压检验 ！G．1？。．，2  可按》以下：方法：进行检测《 》 1  压力衰【减法 ？ 使室内】达到某一压力—(，正压或负压)—关闭加压或抽负压】系统观察压力—。随时间？。衰减的情况记录下】压力衰？减到：起始压力的一—半时：所用：。的时间？即，为测：量室内？正压或负《压的半衰期 】 2《  恒压法》 ： 使室内【达到：某一：。正压：同时向室内补气使】室压：达到要求的稳—定值而不下》降时的补气量—即为漏泄量使室内达！到某一负压》使室压维持》要求的稳《定值而？。不下：降时的抽气》量即为？漏泄量 》