附录—G, 洁净室》气,。密性检测方法
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G!.1 原 】 ,理
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【G.1.1 — 保持室内为正压】或负压均能满—足检验要求》但条件允《许时负压洁》净室:宜用正?压检验正压洁—净室宜用负压检验
!
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G.1—.2 可按以下】方法进?行检测
!1 压《力,衰减:法
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使室内《达到某一压力(【正,压或负压)关—闭,加压或抽负压系统观!察压力随时间衰减的!。情况:记录下压力衰—减到起始《压力的一半》时所:用的时间即为—测量:室内正?压或负压的半衰期
!
》2 恒压》法,
》
使室内达到某一】正压同时向室内【补,气使室压达到要求】的稳定值《而不下降《时的补气量即—为漏泄量使室内达】。到某一?负压使室压维持【要求的稳定值—而不下降《时的抽气量即为漏】。泄量
《