： 附录G  【洁净室气密性—检测方法 】 ：。。 G．1  ！原    理 【 《 G．1—．1  保》持室内为正压—或负压？。均能满足检验要【求但条件《允许时？负，压洁：净室宜用正》压检验正压洁净【室宜：用负压检验 】。。 ， G．1．2【  可？按以下方法进行【检测 《 ， ， 1  压力【衰减法？ 使室】内达：。到，某一压力(正—压或：负压：)关闭加压或抽负】压系：统观察？压力随时间衰减的情！况，记录下压力衰减【到起始压力的一半】时所用的时》间即为？测量：室内：正压或负压的半【衰期 ？ 》2  恒压》法 【使室内达到某一【正，压同时向室内补气使！室压达？到要求的稳》。。定值而不《下降时？的补气量即为漏泄】。量使：室内达到某》一负压？使室：压维持要《。求的稳？定值而不下降时的】抽气量即为漏泄量 ！ ，