？ 附录G  洁净】室，气，密性检测方法 ！ ， 《 G．1  原】    理》 ： —G．：1，．1：  保持室内为【正压或负压均能满】足检验？要求但条件》允许时负压洁净室宜！用正压？检，验正压洁净》室宜用负压检验【 《。 G．1．2  ！可按以？下方法？。。进行检测 【 1  压力衰！减法 《 ： 使室内达到【某，一压力(正压—或负压)关》闭加压或抽负压系】。统，。观察压力随时间【衰减的情《况记录下压力衰减】到起始压力的一半】时所用的时间即为测！量室内正压或负压的！半衰期 ！2  恒《压法 》 使室内达到某！一正压同时向室内】补气使室压》达到要？求的稳定值而不下】降，时的补气量即为【漏，。泄量使室内达到【。某一负压使室压维】持要求的稳》定值而不《下降时的抽气—量即为漏泄量 】