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附录G !洁净室气《密,性,。检测方法《
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G.【1 : 原 ? : 理
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G—.1.?1 ?保持室?内为正?。。。压或负压均能满【足检验要求但条【件允许时负压—洁,净室:宜用正压《检验正压洁净室【宜用负压检验
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G.1.2— , 可按以下方法【进行检测
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1 压力衰】减法
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使室内达到—某一:压力(正压》或负压)关闭—。加压或抽负压系【统观察压力随时【间衰减的情况—记录下压力衰—。减到起始压力的【一半时所《。用的时间即为测【量室内正压》或,。负,压的半衰期
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》。2 恒压法
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使室内达》到某:一正压同时向—室,内补气使室》压达到要求的稳【定值而不下》降时的补《气量即为漏泄量使】室内达到某一负压使!室压维持要求—的稳定值而不下降】时的抽气《量即为漏《泄量
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