附录—G  洁净室气密性！检测方法 】 ： G．1【  原    【理 — G．1．1】  保持《室内为正压或—负压均能满足检验】要求：但条件允许时—负压洁净《室宜用正压检验正】压洁净室宜用负压检！验 G．！。1．2 《。 可按以下方法进行！检测 】1  压力》衰减法 【 使室内》达到：某一压力《(正：压或负压)关—。闭加压或抽》。负压系统《观察：压力随时间》衰减的情况记录下压！力衰减？到起始压力的一半】时所：用的时间即为测量室！内正压或负压的半衰！。期 — 2  恒压法 】 使室内】达到某一正压同【时向室？内补气使室压达到要！求的稳定值而不下】降时的补《气量即为漏泄—量使室内达到某一负！。压使：室压维持要求—的稳定值而不下降】时的抽？气，量即为漏泄量 【 ，