。 《附录G  》洁净室气密性—检测方法《 《 —G．1？ ， 原    —理 ？ G．】1．1？  保持室内为正】压或：负压均能满足—检验要？。求但条件允许时【负压洁净室宜用正压！检验正压洁》净室宜用负压检验】 G．】1．2  》可按以下方法进【行检测 — 1 》 压力衰减》法 ： 使—室内达到《。某一压力(正压或】负压：)关闭加压或抽负压！系统：。观察压？力随时间衰减的情】。况记录下《压力衰减到起—始压力的一半—。时所用的时》间，即为：。测量室内正压或【负压的半衰期 ！。 ， ，。 2  恒压法 】 ： 使室》内达到某一正压同时！向室内补气使室压】达到要求的稳定【值而不下降时的补】。气，量即为漏《泄，量使：。室，内达到某一负压使室！。压维持要求的—稳定值而不下降时的！抽气：量即为漏泄量— ：