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附录—G, :洁净室气《密,性检测方法》。
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G!.1 《原 》理
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G?.1.1 保持】室内为正《压或负?压均能满足检验要】求,但条件允《许时负压洁净室宜】用正压检验正—压洁净室宜》用负压检验
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:G.1.《。2 可按以—下方:法,。进行检测
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1 压力衰减法!
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使室内达到】某一压力(正压或负!压):关闭加压或抽负压系!统观察压力随时【间衰减?的情况记录》下压力衰减到起始压!力的:一半时所用的—时间即为测量室内正!压或负压的》半衰:期
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2 恒压法
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使室【内达到某一正压同】时向:室内补?气使室压达到—要求的稳定值而不下!降时:的补:气量即为漏泄—。量使室内《达到某一负压使室】压维持要求的稳【定值而不《下降时的抽气量即】为漏泄量
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