。 ： 附录G》  洁净室气密性】检测方法《 】 G．1 — 原：    理 —。 《 G．1．1 ！ 保持室内为—正压或负压均能满足！检验要求但条—件允许？时负压？洁净室宜用正压【检验正压《洁净室宜用负压检】验 【G．1．2  【。可按以下方》法进行检测 【 ？ 1  《压力：。衰减法 ！使室内达《到某一压力(—正压或负压》)关闭？加压：或抽负压《系统观？察压力随时间衰减】的情：况记：录下压力衰减到【起始压力的一半【时所用的时间—即为测量室内正压】或负压的《半衰期 】 2  恒》压法： —使室内达到某一正压！同时向室内》补气使室压》达到要求《的稳定值而不下【降，时的补？气，。量，即，为漏泄？量使室？内，达到某一负压使【室压维持要求—的稳定值而不下降】时的抽气《量即为？漏泄量 》