安全验证
。 附录—G,  :洁净室气《密,性检测方法》。 ,。 , G!.1  《原    》理 : 》 G?.1.1  保持】室内为正《压或负?压均能满足检验要】求,但条件允《许时负压洁净室宜】用正压检验正—压洁净室宜》用负压检验 ! :G.1.《。2  可按以—下方:法,。进行检测 — ? 1  压力衰减法! ?。 使室内达到】某一压力(正压或负!压):关闭加压或抽负压系!统观察压力随时【间衰减?的情况记录》下压力衰减到起始压!力的:一半时所用的—时间即为测量室内正!压或负压的》半衰:期 — 2  恒压法 】 使室【内达到某一正压同】时向:室内补?气使室压达到—要求的稳定值而不下!降时:的补:气量即为漏泄—。量使室内《达到某一负压使室】压维持要求的稳【定值而不《下降时的抽气量即】为漏泄量 —