G.3 !恒 压《 法
【
,
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G.3.1 【 测:试系统?如图:G.3.1所示
】
《
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G.【3.2? 可按以》下步骤进行》检测
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:1 : 将所测《洁,净室的温度控制在设!计范围内并》保,持稳定记录测—试过程中室内温度的!变化(温度计—或温度传感器—的最小示值》不宜大于《0.1℃)
】
,
2《 关?闭所测洁净室围护】结构上的《门、传递《窗等关?闭,回风管(或排—风管)上的阀门如】果,风,管上无?阀或阀不严应在回风!口(或排风》口)上用塑》料膜加?肓板的方法封住风】口,
3 】 开启送风》使室内压《力上升至500P】a停止送风关闭送风!。阀门
通!过围护结构》上的孔洞《和导管?由,送风机或空》气压缩机向室内补】气通过调节安装在】导管上的调节阀调整!补气:流量以维持洁净【室内的?压力稳定《。。不下:。降每隔1m》in记录一》次补气管路上浮子流!量计读数此数即【为漏:气,。量测试?持续:的时间宜不超过5】min?取平均值
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4 反【之关闭送风阀—开启排风《当室内压力下降至】-500P》a时关闭排风开启】真空泵保持室内压】力记录真空泵抽气】量此数即漏》泄量
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:5 ?测试结束后慢—慢打开风阀使房【间压:力恢复到正常状态】
6 】。 如果需要进—行重复测试》20min后进行】
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7 当不!用风:机时也可用空气【压缩机或《真空泵
《。
G.3】.3 检测报【告应包括《以下内?容
【1 检测》条,件包括室内温度等】
—2 检《测方:法包括?检测:。所用:仪器设备规》格型号及精》度;室内温度的动态!变化;漏泄》量的:动,态变化?
3 !检测:结果包括所测洁净室!5min内的每【小时漏泄率;所测洁!净室围?护结构严《密性的评价》
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