G．3 】 恒 ？ 压  法》 ？ ， G．3．1！。  测试系统—如图G．3》．1：所，示 ？ 》 G．【3．2  可—按以下步骤》进行检测 【 1  将所】测洁净室的温度控】制，在设计范围内并【保持稳定《记录测试过程中室】内温度？的变化(温度—计或温度传》。。感，器的最？小示值不宜》大于0．1℃)  ！ ，。 ， 2  —关闭所测洁净室【围，护结构上《的门、传递窗等关闭！。。回风管(或排风【。管)上？的阀门如果风管【上无：阀或阀不严应—在回风口(》或排风？口)上用塑料膜【加，肓板的方法》封住风口《 》 3  《开启送风《使，室内压力上升—至500Pa—停止送风关闭送风】。阀门 《 ， 通过围护【结构：上，的孔洞和《导管由送风》机或空气压缩机向室！内补气通过调节安】装在导管上的—调节阀调《整补气流量以维持洁！净，室内的压力稳定【不下降每隔1m【in记录一次补气】管路上浮子流量计读！数此数即为漏气量测！试持：续的时？间宜不超过》5min取平均值】 —4  ？反之关？闭送风阀开启排【风当室内压》力下降至-50【0，Pa时关闭》排风开启《真空泵保持室内压】。。力记录真空》泵抽气量此》数即漏？泄，量 》 5  测试【结，束后慢慢打》开风阀使《房，间压力恢复到正【常状态 — ？6  如果需要进】行重复测试20【min后进行— ， 7 【 当不用《风机时也《可用空气《压缩机或真空—泵 《 ？G．3．3  检测！报告应？包括以下内容 ！ 1  检测】条件包括室内温度】等 ： ， 2》  检测方法包括】。检，测，所用仪器设》备规格型号及精度】；室内？温度的动《态变：。化；漏？泄量的动态》变化 — 3  检—测结果包《括所测洁净室5【。min内的》每小时漏《泄率；所测洁净【室围护结《构严密性的》评价 《