安全验证
? G:.3:  恒? , 压:  法 【 G.3【.1  《。。测,试系统如图G—.3.1《所示 ! 》G.3.2  可按!以,下步骤进行检测 】 : 1  将【所,测洁净室《的温度控制在—设计:范围内并保持稳定记!录测:试过程?中室内温度的—。变化(温度计或温度!传感器的《最小示?值不宜大于0.【1℃)  ! 2 ? 关闭所测》洁净室围护结—构上的门、传递窗等!关闭回风管(—或排风管《。),上的:阀门如果《风管上无阀或阀不】严应在回风口(或】排风口)《上用塑料膜加肓板的!方法封住风口 【 , 3 — 开启送风使—室内压力上升至【500Pa停止送】风关:闭送风阀门 【 通》。过,围护结构上的孔洞和!导管由?。送风机?或,空气压缩机》向室内补气通过【调节安装在导管上的!调节阀调整》补气流量以》。维持洁?净室:内,的压力稳定不下降】每隔1min记【录一次补气管路上浮!子流:量计:读数此?数,即为漏气量测试【持续的时《间宜不超过5mi】n取平均值 】 : 4  反之关闭】送风阀开启》排风当室内压力下】降至-500—Pa时关闭排—风开启真空泵保持室!内压力记录》真空泵抽气量此【数即漏泄量 【。 5  测试!结束后慢慢打开风】阀,使房间压力恢复到】。正常状态 】 6  如果需要!进行重?复测试20mi【n后进行 】 7 《 当不用《风机时也可用空气压!缩,机或:真空泵 》 ? G.3.3—。 , 检测报告应包括以!下内:容 《 1  检测条!件包括室内温度【等 :。 2  】检测方法包括检测所!。用仪器设备规格【型号及精度》;室内温《度的动态变化;漏】泄量的动态变化【 , , ? 3 ? 检:测结果包括所测洁】。。净室5min内的每!小时漏泄率;所【测洁净?室围护结构严—密性的评价 【