安全验证
,。 G.3— , 恒  压  【法 — : G.?3.1?  测?试系统如图G.3.!1所示 《 , : : G.3!.2  《可按以?下步骤进行检测【 1  !将所:测洁净?室的温度控》制在:设计范?围,内,并保持?稳定记录测》试过程中室内温度】的,变化(温度计或【温,度,传感器的最小示值不!宜大于0.1℃)】  ?。 2》  关闭所测—洁净室围护结构上的!门、传?递窗等关《闭回风?管(或排风管—)上的阀门如果风】。管上无阀或阀不严】应在回风口(或【排风口)《上用塑料膜》加肓板的方法封住风!口 3 ! 开:启送风使室内压力】上升至500P【a停止送《风关闭?送风阀门 】 通过围》护结构上《的孔洞和导管由送】风机或空气压缩【机向室内补》气通:过调:节安装?在导管上的调节阀调!整补气?流量以?维持洁净室》内的压?力稳定不下降每【隔,。1min记录一次补!气管路上浮子流量计!读数:此数即为漏气—量测试持《续,的时间?宜不超过5m—i,n取平?均值: 4 】 反之关闭送风阀开!启排风?当,室内压力《下降至-500Pa!时关:。闭,排,风开启真空》泵保持室内压力记】。录真空?泵抽气量此》。数即漏泄《量 ? 5  测】试,结,束后慢慢打开风【阀使:房间压力恢复到正常!状态 】6,  如果需要进【行重复?测试20《m,in:后进行 — :。 7  《当不用?风机时也可用—空,气压缩机或真空泵 ! G—.,3.3  检—。测报告应包括以下】内容 ? , : :1  检测条件包括!。室内温度等 】 : 2 ? ,。。检测方法包括检【测所用仪《器设备?规格:型,号及精度;室内温】度的动态变》化;漏泄量的动态变!化 3 ! 检测结果包括所测!洁净室5m》。in内的每小时漏泄!率,;所测洁《净室:围护结构《严,。密性的评《价 ?