G.3 !恒 压 法
】
G】.3.1 测试】系统如图G》.3.1所示
!
》
G.3【.2 可按以【下步骤进行检测
!
1 将】所测洁净室》的,温度控制在设计【范围:内并保持稳定记录】测试过程中》室,内温度的变化(【温,度计或温度》传感器的《最小示值不宜大于0!.1℃)
—。
:
2《 关闭所测—洁净室围《护结构上《的门、传递窗—等关闭回风管(或】排风管)上的阀门】如果风?管上无阀或阀不【严应在回《。风口(或排风口)上!用塑:料膜:加肓板的方法封住】风,口
【3 开启送风使室!内压力上升至5【00Pa停止送风关!闭送风阀门
】
?通过围护《结构上?的,孔洞和导《管由送风《机或空气压缩机向】室内补气通》过调节安装》在导管上的调节阀】调整:补气流量以维持洁】净室内?的压力稳定》不下降每隔1mi】n记录?一次:补气:。管路上浮子流—量计读数此数即【。为漏气量测试持续】的时间宜不超过【5min取》平均值
!4 反《之关闭?送风阀开《启排风当室内—压力下降至-500!Pa时关闭排风开】启,真空泵?保,持室:内,压力:记录:真空泵抽《气量此数即漏泄量
!
5 【 测:试结束后慢》慢打开风阀使房【间,压力恢复到正常状】态
【6 如果需要进行!重复测试20mi】n后进行
》
7 【 当不用风机时【也可:用,空气:压缩机或真空—泵
》
G.3》.3 检》测报告应包括以下内!容
》
,
1 检测条件】包括室内温度等
】
《
2 检测—方法包括检测所用仪!器设备?规格型号及精—度,。;室内温度的动态变!化;漏泄量的—动态变化
【
3 检测结!果包括所测洁净【室5:。min内《。的每小时漏泄率【;所测?洁净室围护结—构,严密:性,的评价
》