附录G  ！洁净室气密性—检测：方法 ！ G．1  】原    理— 】G．1．1》  保持室》内为正压或负压【均能满足检》验，。要求但条件允许【时负压洁净室宜【用正压检验》正压洁净室宜—用，负压检验 】 G．《。1．2  》可按以？。下方法进行检测 ！ 1  压】力衰减法 —。 ？ 使室？内达到某《一，压力(正《压或负压)关闭【加压或抽负压—系统观？察压力随时间衰【减的：情况：记录下压《力衰减到起》始压力的一半时【所，用的：时间即为测》量室内正压或负【压的半衰期》 》 2  恒压—法 使室！内达到某一正压【同时向室《内补气使室压达到要！求的稳？定值而不下降时【的补气量《即为漏？泄量：使室内达到某一负压！。使室压维持要求的稳！定值而不下降时的】抽气：量即：为漏泄？量 ？