附录—。G  洁净室气密性！检测：方法 ？ ：。 — G．1  原【 ，   ？理 】。 G．1．》1  保持室—内为正压或负压均】能满足检验要求但】条件允许时》负压洁净室宜用【正压检验《正压洁净室宜—用负压？检验 《 ： G？．，1．2  可按以下！方法：。进行检测《 1 】 压力衰减法 【 》使室内达到某一压】力(正？压或负？压)关闭加压或【抽负压系统观察【压力随？时间衰减的》情况记录下压力衰减！到起：始压力的一半时所】用，。的时间即为》测量室？内正压或负》压的：半衰期 》。 2 — 恒压法 】 使室内达到某】一正压同时向室【内补气？使室压达到要—求的稳定值而不【下降时的补气量即】为漏：泄量使？室内达到某一负压】使室压维持要—求的：稳定值？而不下降时的—抽气：量即：为，漏泄：。量， ：