安全验证
附录—G  洁净室气密】性检测方法 — 《。 ? G.1  原】    理 — — G:.1:.1  保持—室内为正压》或负压均能满足【检验要求但》条件允许《时负压洁净》室宜用正《压检:验正压洁净》室宜:用负压检验 — G.1.!2  可按》以,下,方法进?行检测 《 : 1  压力】衰减法 】 ,使室内达《到某一压力(正【压或负?压)关闭《加压或抽负压系【统,观察压力随时间衰】。减的情况《记录下压力》衰减到起始压力的一!半时所用的时间即为!测量室?。内正压或负压的半衰!期 :。 》2  恒压法—。 : 使室内达】到某一正压同—。时向室内补气使室】。压达:到要求的稳定值而不!下降时的补气量即为!漏泄量?使室内达《到某一负压使室压】维持要?。求,的稳定值而不下降】时的抽?。气量即为漏泄量【 :