附录G【  洁净室气密【性检测方《。法 ： — G．1 【 ，原 ：。   理 》 G．！1，．1  保持室内为！正压或负《压均能满足检验要】。求，但条件允许时负压】。洁净室宜用》正，压检验？正压洁净室宜用负压！检，验 — G．1．》。2  可按以下方法！进行检测 ！ 1：  压？力衰减法 【 使室内达到】某一压力(正—压或：负压)关闭加压或抽！负压系统《观察：压力随时间衰减【的，情况记录下压力衰】减到起始压力的一半！时所用？的时间即为》测量：室内正压或负压【的半衰期 】 2  恒压【法 ： 使室内】达到：某一正压同时—向室内补气使室【。压达到要求的—稳定值而《不下降时的》补气量即为漏泄量使！室内达到某》。一负压使室压—维持：要求：的稳定值而不下【降时：的抽：气量即？为漏泄？量， ：