？ 附录G  洁净】室气密性检测方法 ！ — G．1 【 原：  ：  理 ！ G．1．1【 ，。 保持室内为正压或！负压均能满足检【验，要求但条件允许【时负压？洁净室宜用正压检验！正压：洁净：室宜用负压检验【。 《 G？．1．2  可按以！下方：法进行？检，测 《 ， 1  压力衰】减法 ？ 使室内达！到某一压力》(正压？或负压)关闭—加压或抽负压系统观！。察压力随《时间衰减的情况记】录下压力衰》。。减到起始压力的【一半时所用的时【间，即为测量室内正压或！负压的半衰》期， ： 2  【恒压法 ！使室内？达，到某一正压同时向】室内补气使室压【达到要求的稳定值】而不下降时》。的补气？量即为漏《。泄量使室内达到【某一负压使室压【维持要求的稳定值】而不下降时的抽气】量，即为漏？泄量 ？ ，