附录—G  洁净室气密】性检测方法 — 《。 ？ G．1  原】    理 — — G：．1：．1  保持—室内为正压》或负压均能满足【检验要求但》条件允许《时负压洁净》室宜用正《压检：验正压洁净》室宜：用负压检验 — G．1．！2  可按》以，下，方法进？行检测 《 ： 1  压力】衰减法 】 ，使室内达《到某一压力(正【压或负？压)关闭《加压或抽负压系【统，观察压力随时间衰】。减的情况《记录下压力》衰减到起始压力的一！半时所用的时间即为！测量室？。内正压或负压的半衰！期 ：。 》2  恒压法—。 ： 使室内达】到某一正压同—。时向室内补气使室】。压达：到要求的稳定值而不！下降时的补气量即为！漏泄量？使室内达《到某一负压使室压】维持要？。求，的稳定值而不下降】时的抽？。气量即为漏泄量【 ：