《附录G？  洁净室气密性】检测方法《 — G．—1 ： 原  《  理 》 ？ ： G．1．1  保！持室内为正压—或，负压均？能满足检《验要求但条件允【。许时负？压洁净室宜用正压】。检验正？压，洁净室宜用负压检验！ G．1！．2 ？ 可按以《下方法进行检测 ！ 1  压力！衰减法？ 使室】内达到某一压—力(正？压或负压)关闭加压！或抽负压系统观【。察压力随时间衰减】的情况记录下压【。力衰减？到起始压力的一半时！所用的时间》即为测量《室内正？压或负压的半—衰期 【。 2  恒》压法 《 ？ ，使室内达到某一正】压同时向室内补【气，使室压达到要求【。的，稳定值而不下降时】的补气量《即为漏？泄量：使室：内达到某一》负，压使室压维》持要求的稳》定值而不下降—时的抽气量即为【漏泄量？ ：