附录G 】 洁净室气密性检】测，方法 】 G》．，1  原   【 理 》 G．1．！1  保持室内为正！压或：负，压均能满《足检验要求但条【件，允许时负压》。洁净室宜用》。正压检验正压洁净室！。宜用负压检》验 ： ， ？ G：．1．？2  可按以下方法！进行检测 】 ， 1  压力衰减】法 《 使《室内达到某一压力(！正压：或负压)关闭加【压或抽负压系—统观察压力》随，时间衰减的》情况记录《下压：力，衰减到起始压力的一！半时：所用的时间即为测量！室内正压或负—压，的半衰？期 ？ 2》  恒压法 】 ： 使室内达》到某一正压同—时向室？内补气使室》压达到要求的稳定值！而不下降《时的：补气量即为漏泄【量使室内达到某一】负压使室压维持【要求的稳定值而【。不下降时的抽气量】即为漏泄量 — ，