8.3  ！特种气？体供应 》 8.】3.：1  从《目前发光二极管工厂！特种气体使》用的具体情况看特种！气体多采用外购【钢瓶气体、液态【气体在工厂内设置】储存、分配》系统 》 8《。.3.2  根【据，。现行国？家标：准建筑设计防火【规范GB 5001！6的规定特种气体储！存分配系统设备【应根据特种气体的】性质和储存数—量布置？在独立的建构筑【物内或布置在—生产：厂房：内 》 ：。    规定—用耐火极限不低【于2.0h不燃烧】体的隔墙与其他生产！区域分？隔隔墙上的门应为甲！级防火门《 》 8.3.》3 ： 特种气体系统的】气瓶柜、气瓶架是】特种气？体，气瓶：存放和？进行：气体配送的》装置  ！   1  —规，定不相容《气体瓶严禁》放，置于同？一气瓶柜或气瓶架】中目的是为》了防止不相容气【体在：非正常状态》下相遇发《生反应？酿成重？大事故本《款为强制性条款必】须严格？执行 】  ：  3  规—定气瓶柜《闭门时排风换气次】数不：低于30《0次／h目的是【为了控制气瓶柜内】。的有：害，气体如果一》旦泄漏？。其泄漏量能够控【制在安全浓》度以下控制气—瓶柜在负压下运行】是，为，了不让有害气—体泄漏至工作—环境中保障》员工的？生命安全该款制【定的：。依据是SEMI【 S2第2》3.5.3》条该条叙述“泄漏】时环境？中的浓度应低于2】5％OE《。L(TLV)”；】闭窗时根《据实验数据得到风】量200m3／h考！。虑不同公司气瓶柜】的尺寸？的差异？规定300》次／h？的，换气次数 ！    《 4  规定自【燃性、可燃性、【毒性、腐蚀性气【瓶柜应在排风—出口设置气体—泄漏：探测：器目的是在》这，些，特，种气体泄漏开始时就！探测到？这些有害气体的泄漏！状况：采取措施《预防事？故发生 】     5—  规定瓶柜门应】。具备自动关闭功能并！。配备防爆玻璃观【察窗目的是防止在人！员，误操作？的情况？下导：致气体外泄到工作环！境中酿成重大事故地！脚螺栓的设》计满：足当地地震》烈度的要求也是从安！全的角度做出的【规定 】8.：3.4  可燃【性特种气体包—括自：燃性、可《燃性气体此类—气瓶柜？的设置应依据该【类特种气体的自燃性！、可燃性特性—规定了气瓶柜内设】。置的相关规定如排】风次：数紫外、红》外火焰探《测，器设置水《喷淋系统以及自燃】性气瓶之间设—置隔离钢板等安全措！施以确保安全可【靠运行其中》第一款规定硅烷气】瓶柜的排风换气次】数不：得，低，于1200》次／h该款的—依据是美国消防协】会发布的Stand！ard f》or the— ，P，。rotec》tion 》of： Semico【。nductor F！abri《cati《on： Fa？cilitie【sNFP《。A，。 ，。318-2006】第8.5.》3，的相关条款当硅【烷满瓶？时，压力为1《5，0，0P：SI保证硅烷安【全的体积浓度0.】4％(爆炸》下限：。为1.3《4％)时《的排风量为》284L／sec】在气瓶柜体积—为0.85m3的状！况下硅烷气瓶柜的排！气次数为120【。0次／h《 —8.3.5  为】防止自燃《性、可燃性、毒【性、腐蚀性》特种气体系》统的吹扫氮气被本】质特种气体污染引】发着火、《中毒或设备拉坏【等事故并应》在吹扫氮气管线设置！止回：阀， ？ 8.3.【6  自燃性—、可燃性、毒性、】腐蚀性特种气体【系统在抽真空—或吹扫过程》中排出的超过规【定，浓度的特种气—。体和特种气》体混合气对》环，境与人体将》会，造成着火、中毒和损！害设备、管路等安】全，危害因？此这些特种气体【及混合？。气应通？过排气管道进—入尾气处理装置【进行处理达到规定浓！。度，后才能排入》动力排气系》统为防止《不相：容性特种《气体发生《反应引发事故不相】容性特？。。种气体应《分别采用不同的尾】气处理装置进行处理！ 8【.3.7  为【防止可燃和毒性【特种气体发生泄漏时！造成人员伤害本条规！定生产厂房内—的可燃？和毒：性特种气体体管【道应明敷穿过生【产区墙壁与楼板处】的管段应设置套管套！管内的？。管道不得有焊—缝套：管与：管道之间应采用密封！措施可燃、毒性【、腐蚀性气》体管道的机》械连接处应》置，于排风罩内》 ？。 8.3—.8  工程—实践表明电子工厂】特种气体和吹扫气】体管道输送系统【常用管道材料—应采用S《S304、SS3】16、SS》316？L等不锈钢无—缝钢管和HC—-22哈氏合金【无缝钢？管等根据特种气【体品种和纯度、杂】质含量要求特种气】体管道内表面应【进行洁净和钝—化处：。理；管道《内表：面，粗糙度对BA管道】。要求小于Ra—40E？P管道？要，求小于Ra》2，5为此本条》做了原则性规定 ！ 8.3.9！  由于管道系【统产生的《静电容易导致管道】系统发生燃烧等危险！现，象的发生《规定自燃性》、可燃性《、氧：化性特种气》体(例如发》光二：极管生？产用到的氧气、氯】气、笑气等)管【道设置静电泄放【的接地设《施可有效、及时地泄！。。放静：电防止？管道系统被静电【。引燃从而保障人【。员，的安全和《避免财？产的损失本条为强】制性条文《。必须严格执行 】 ？。 8.3《.11  由于硅烷！、磷烷、砷烷这几】种特种气《体具有自燃性、剧】毒性和强腐》蚀性气体一旦泄漏危！害性极大将会造成较！大的人身伤》亡和：财产损失所以电【子工：厂均采用双》层管道输送这—类特种气《体，本条：文为强制性》条文必须严格执行】 —8.3？.12  在保【证安全和工艺要求】的，前，提下节？省，。投资也是《。工程设计的》重要内容《。为此本条规定了【双层：管的外管作为安【全保护的第》二道屏障《采用：SS304》材料：即可满？足，要求且一般不做【特殊的洁净要求 ！