8.3【  特？种气：体，供应 — 8.—3.：1  从目前发光】二极管工厂特种【气体使？。用，的具体情况看—特种气体多》采用外购钢瓶气体、！液态气体《在工：厂内设置储存—、分：配系统 【 8.3.2  ！。根据现行国》家，标准建筑设计防【。火，。规范GB 50【016的规定特种】气体储存分》配系统设备应根据】特种气体的性质和储！。存数量布置在独【立，的建构筑《物，。内或布置在生产厂】房内 》    — 规定用耐火—。极，限不低于2.—0h不燃烧体的隔】墙与其他生产—区，域分隔隔墙上的门应！为，甲，级防火门 ！ 8.3.3—  特？种气体系统的气【瓶柜、气瓶架是【。特种气体《气瓶存放和进—行气体配送》的，。装置 】    1  【规，定不：相容气体瓶》严禁放置于同一气】瓶柜或气瓶架中目】的是为了防止不相容！。气体在非正》常状态？下相：遇发：生反应酿《成重大事故》本款为强制性条款必！须，严，格执行 》     3！  规定气瓶柜闭】门时排风换气—次数不低《于300次／h目】的是为？了控制气瓶柜内【的有害气体如果一旦！泄漏其？泄漏量能《够控制在安全浓【度以下控《制气：瓶柜在？负压下运行是—为了不让有害气【体泄：。漏至工？作环：境中保障员工的【生命安？全该款制定的依据是！。SEMI 》S2第23》.5.3《。条该条？叙述：。“泄：漏时环境《。中的：浓，度应：低于2？5％O？EL(TLV)”；！闭窗时根据实验数】据得到风量200】m3／h《考虑不同公》司气瓶？。。柜的尺寸的差异规定！300次／》h的换气次数— ？     4 ！ 规定自燃性、【可燃性、毒性、腐】蚀性气瓶柜应在【排风出口设》置气体泄漏探测器】目的是在这》些特种气体泄漏开】始时：就探测到这些有害】气体的泄漏状—况采取措施预—防，事故发生《 《。 ：。    《5  规定》瓶柜门应具备自动】关闭功能并配备【防爆玻璃《观察窗目《的是防止在人员误操！作的情况下导致气】体外泄到《工作环境中酿成【重大事故《地脚螺栓的》设计满足《当地地震《烈度的要求也—是从安全的角度做出！。的规定 》 8》.3：.4  可燃—性特种？气体包括自燃—性、可燃《。。性气：体此：类气瓶？。柜的设置应依据该类！。特种气体的自燃性】、可燃性特性规定】了，。气瓶柜内《设置：的相关？规定如排《风次数紫外、红外】火焰探测器设置【水喷淋？系统以及自燃性气】瓶之间？设置隔离钢板等【安全措施《以，确保安全可靠运行其！中，第一款规《定硅烷气瓶柜的排风！换气次数《不得低于1200次！／h该款《的，依据是美国消防协会！发布的？Standa—rd f《or： the Pr【otec《tio？n of Se【mico《nducto—r Fabr—ica？tion 》Faci《litiesN【F，P，A 31《8-2006第8.！5.3的相关条款当！硅烷满瓶时压力【为，15：00PSI保—。证硅：烷，安全的体积浓—。度0.4％(—爆炸下限为1.3】4％)时《。的，。排风量为2》84L／sec在气！瓶柜：。体积：为0.85m3的状！况，下硅烷气瓶柜的排气！。次数为1200【次／h 】 8.？3.5  为防【止自燃性、可—燃性、毒性、腐【蚀性：特种气体《系统的吹《扫，氮，气被：本质特？种气体污染引发【着，火、中毒《或设备？拉坏等事故并应【在吹扫氮气管线【设置止回阀 【 8.3.】6 ： 自燃？性、可燃《性、毒性《、，腐蚀：性特种气体系统在抽！真空或？吹扫过程中排出【。的超过规定浓—度，的，特种气体和特种气】体混：合气对环境与人体】将会造成《。着火：、中毒？和损害？设备、管路等安全危！害因此这些特种气体！。及混合气应通过排】气管：道，。进入尾气处理—装置进行处理达到规！定浓：度后才能《排入：动力：排气系统为》防止不相《容性特种气体发生反！应引发？事故不相《容性特种《气体：应，分别采用不同—的，尾气处理《装，置，进行处理 ！ 8.3.7  为！防止可燃和毒—性特种气体发生泄】漏时造成人员—伤害本条《规定生？产厂房内《的可：燃和毒性《特种气？体体管道应》明敷穿过生产区墙壁！与，楼板处的管段应设置！套管套管内的管【道不得有焊缝套管】与管道之间应采【用密：封措施可燃、毒性、！腐蚀性气体管道的机！械连接？处应置于排风罩【内 8】.，3.8  》工程实践表明电【子，工厂：特种：气体和吹扫气体管】道输送系统》常用管道材料应【。采，用，。。SS304、—SS316、SS3！16L等不锈钢无】缝钢管和HC-2】2哈：。氏合金无缝钢—管等根据特种气【体品种和《纯度、？杂质含？量要求？特种气体管道内表】面应进？行洁：净，和钝：化处理；管道—内，表面粗糙度对B【A管道要求小—。于Ra40E—P管：道，要求小于Ra25为！此本条做了原—则性规定 【 8.3.9】  由于管道系统产！生的静电容易导致管！道系统发生燃烧等】危险现象的发生【规定自燃性、可【。燃性：、，。。氧化性特种气体【(例：如发光二《极，管生产用《到的氧气、氯气【、笑气等)管道设】置静电泄《放的接地《设施可？有效、及时》地泄放静电防止【管道系统被》静电引燃从而保障人！员的安？全和避？免财产的损》失本条？为强制性条》文必须严格执—行 ： 《 8.3.11 】 由于硅烷、磷烷】、砷烷这几》种特种气《体具有自燃》性、剧毒性和—。强腐：蚀性气体一旦泄漏危！。害性：极大将会造》成较大的《人身伤亡《和财：产损失所以电子工厂！均采：用双层管道》输送这？类特种气体》本，条文为？强制性？条文：必须严？格执行 】 8.3《.12？  在保证》安全和工艺要求的前！提下节省投》资也是工《程设计的重要内【容为：此本条？规定了双层管—的外管作为》。安，全保：护的第？二，道屏障采《用SS30》4材料即可》满足要求且一般不做！特殊的洁净》要求 《