， 8.》3  特种气体供】应 ！8，。.3.1  —从目前发光二—极管工厂《特种气？体使：用的具体《情况看特种气—体多采用外》。购钢瓶气体、液【态气体在工厂内【设置储存、》分配系统 【 ：。 8.？3.2  根据现行！国家标准建筑—设计：防火规范GB— 50016的【规定特种气体储存】分配系？统，设备应根《据特种气体的性【质和储存数》量布置在独立的建】构筑物内或布置在生！。产厂房？内 【   ？ 规：定用耐火极限不低于！2.：0，h不燃烧体的隔【墙与其他生产区域分！隔隔墙上的门—。应为甲级防火门【 《 ， 8.3《.3  《特，种气体系统》的气瓶柜、气—瓶架是特种气体【气瓶存放和进—行，气体配送的装置【 《  ？   1  规【定不：相容：气体瓶严禁放置于同！一气瓶柜《或气瓶架中目的是为！了防止不相容气体】在非正常状态—。下相遇发《生反应酿成重大事故！本款：为强制性《条款：必须严格执行 】 ， ：     3—  规定气》瓶柜闭门时》排风换气次数不低于！300次《／h：目的是为了控—。制气瓶柜内的—。有害：气，体如果一《旦泄：。漏其泄漏量能够控】制在安全浓度以下控！制气：。瓶柜在负压下运行】是为了不让有害气】体泄漏至工》作环境中保障员【工的：生，命安全？该款制定的依据【是SEM《I， S2第23—.5：.3条该条叙述【“泄漏时环境—中的浓度《应低于2《5％：OEL(TLV)】”；闭？窗时：根据实验数据得到风！量200m》3／h考虑不同公】司气瓶柜的尺寸的】差异规定300次／！h的换气次数— 《     —4 ： 规定自燃性、可燃！性、毒性《、腐蚀性气》。瓶柜应在排风出口】设置：气体泄？漏，探测器目的是在【这些特？种气体泄漏开始时】。就探测到这》些，有害气体的泄漏状】况采取措施预防事故！发生 【    《 5  规》定瓶柜门应具备自动！关闭功能并配备【防爆玻璃观察窗【目的是防止在人员误！操作的情况》下导致气体外泄到工！。作环境？中酿成重大事故地脚！螺栓的设计满—足当地地震烈度的】要求也是从安—全的角度做出—的规定 【 8.3》.4  可》燃性特种气体包【括，自燃：性、可燃性气体此类！气瓶柜？。的设置？应依据该类》特种气体的》自燃性、《可燃：性特性规《定了气瓶《柜内设置的相关规定！如排风次数紫外、】红，外，火焰探测器设置水喷！淋系统以及自—燃性气瓶《之，间设置隔《。离，钢板等安全措施【以确保安全可靠运行！其中第？一款规定《硅烷气瓶柜的排风】换气次数不得低【于1：200？。次／h该款的—。依据是美国消防协】会发布的《Stan《da：rd for th！e Pr《ot：ecti《。on of S【emico》nductor F！abricatio！n Facil【itiesN—FPA 《318-200【6，。第8.5《.3的？。相，关，条款当？硅烷满瓶时压—力为1500PS】I保证硅烷安—全的体积浓度0.】4％：(爆炸下限为1.3！4％)时《的排风量为28【4L／sec在气瓶！。柜体积为0.8【5m3的状况下【硅烷气瓶柜的—排气次数为1—。200次／h 】。 8.3.5！  为防《止自：。燃性、可《燃性、毒性、腐【蚀，性特：种气体系《统，。的吹：扫氮气被本质特【种气体污染引发【着火、？中毒：或设备拉坏等事故】并应在？吹扫氮气管线—设置止回阀 — 8—.3.6  自【燃性、可燃性、【毒，性，。、腐蚀性特种气【体系统在抽真空或吹！扫过程中排出的【。超过规定《浓度的特种气体和特！种气体混合》气对：环，境与人体将会—造成着火、中毒和损！害设：备、：。管路等安《全危害因此》这些特种气体及混】合气应通过排气【管道进？入尾气处理》装，置进：行处理？达到规定《浓度后才能排入动】力排气？系统为防《止不：相容性特《种，气体发生反应—。引发事故不相容性特！种气体？应分别采用不同的尾！气处：理装置进行》处理 ？ 8.【。3.7  为—防止可燃《和毒性特种气—体发生泄漏时—造成：人员伤害本》。条规定生产》厂房：。内的可燃和毒性特种！。气体体管道应明【敷穿过生产区—墙壁与楼板处的管】段应设置《套管套管内》的管：道不：。得有焊缝套》管与管？道之间应采用密封】措施可燃、毒性、腐！。蚀性气体管道的机】械连接？处应置于排风罩内】 ， ， 8.3.8！  工程《实践表明电子工厂特！种气体？和吹扫气体管道输】送系统常用管道【材料应采用S—S304、SS【3，16：、SS？316L等不锈钢】。无缝钢？管，和HC-2》2哈氏？合金无？缝钢管等《根据特种《气体品种和纯—度、杂？质，含量要求特种气【体管道内《表面应？进行洁净和钝—化处理；管道内【表面粗糙度对—BA管道《要求：小，于Ra4《。0，EP管道要》。求小于？Ra25为此本【条，做了原则性规定 】 8.3】。。.9  由于管【道系统产生的—静电容？易导致管《道系统发生燃烧【等危险现象》的发生规定》。自燃性？、可燃性、氧—化性特种气》体(例如发》光二：极管：生产用到的氧气、】氯气、笑《气，等)管道设置静电】。泄放的接地设施【可有效、及时地泄放！静，电防止管《道系统被静电引燃从！而，保障人员的》安全和避《免财产的损失本条为！强制性条文》必须严？格执行 — 8.3.1】1  ？。由于硅烷、磷烷、砷！烷这几种特种气体】。具，有自燃性、剧毒性和！强，腐蚀性气体一旦泄】漏，危害性极大将会【造成较大的人身【伤亡和财产》损失所以电子—工厂均？采用双层管道输送】这类特种气》体本：。。条文为强制性条【文必：。须严格执行》 ， ？ ：8，。.3.12》  在保《。。证安全和工艺—要求：的，前提下？。节省投资《也是工程设计的重要！内容为此本条规定】了双层管的外管作为！安全保护的第二道】屏障采用SS3【04材？料即可满足要求【且一般不《做特殊的洁》净要：求 ？