8》.3 ？ ，特种气体《供应 《 8.】3.：。1  从目前发光】二极：管工厂特种气—体使：用的具体情》况看特种气》体多采用外》购钢瓶气《体、：液态：气体在工厂内—设置储存、分—配，系统 — 8.3.2  ！根据现行国家标【准建筑设计防火规范！。GB 50》016？的规定特种气—体储存分配系统设】备应根？据特种气体的性【质，和储存数量布置在】独立的建构筑物内】或布置？在，生产厂房内 【 ， ：   ？。  规定用耐—火极限？不低于2.》0h不燃烧体的隔墙！。与其他？生产区？。。域分隔隔《。墙上的门应》为甲：级防火门 】 8？.3.3《  特种《气体系统《的气瓶？柜、气瓶架是特种气！体气瓶存《放和进行气体配送的！装置  ！   1  规定不！相，容气体瓶严禁放【置于同一气瓶柜【或，气瓶：架中目的是》为，了防止不《相容气？。体在非正常状态下相！遇发生反应酿—成重：。大事故本款为强制性！条，款必须严格执行 ！   —  3  规定气】瓶柜闭门时排风换】气次数不低于—300次／》h目的是为了—控制气瓶柜内的有害！。气体如果一旦—泄漏：其泄漏量能够控【制在安全浓度以下控！制气瓶？柜在负压下》运行是为了不让【有害气体《泄漏至工作》环境中保障员工【的生命？安全该款制定—的，依据是SEMI【 S2第2》3.5？.3条该条叙—述“：泄，漏时环境中的浓度】应低于25％O【EL：(TLV《)”；闭《窗时：根据实验数据得到风！量200m3／h】。。考虑不？同公司气瓶柜—。的尺寸的差异规【定，300次／》h的：换气次？数 《     4 ！ 规定自燃》性、：可，燃性、毒性、—腐蚀：性气瓶柜应在—排风出口设》置气体泄漏探测【器目的是在这些特】种气体？泄漏开始时》就探测到这些有害气！体的泄？漏状况采《。取措：施预防事《故发生 】  ：   5  规【定瓶柜门《应具备自动关闭【功能并配备防—爆玻璃？观察：窗，目的：是防止在人员误操】。作，的情：况下导致气体外泄到！工，作环：境中酿成重大—事故地脚螺栓—的设计满足》当地地震烈》度的：要求也是从安全的】角度做出的规—定， 8.3！.4  可燃性【特种气体包》括自燃性《、可燃？性气体此类气—瓶柜的设置应依【据该类特种气体的】自，燃性、？可，燃性特性规定了【气瓶柜内设》置的相关规定如排】风次数紫外》、红外火焰探测器】设置水喷《淋，系统以？及自燃性气瓶—之间设置隔离钢【板等安全措施以【。确保安全可》靠运行其中第一【。款规定硅烷气瓶柜】的排风？换气次数不得—低于1200次／】h该款的依》据是美国《。消防：协会发布的St【andard fo！r the Pr】otectio【n of Se【micond—u，c，。tor Fabri！cation F】acil《itiesN—FPA 318-】2，006第8.5【.，3，的相关条款》。当硅烷满《瓶时：压力为150—0PSI保证硅烷安！全的体积浓度—0.：4％(爆炸下限为】1.3？4％：)时：的排风量为284】L／sec在—气瓶柜体积为0【.85？。m3的状况》。下硅烷气瓶柜—的排气？次数为120—0次／h《 》 8.3.5— ， 为防止自燃性【、可燃？性、毒？性、腐蚀性特种气体！系统：的吹扫氮气被本质特！种气体污染引发【着火、中《毒或设备拉坏等事】故并应在吹扫氮气管！线设置止回阀 【 》8.3？.6  自燃性、】。可燃性、毒》性、腐蚀性特种气】体系统在抽真空或】吹扫过程中排出的超！过规定浓度的特种】。气，体和特种气体—混合气？对环境与人体将【会造成着火》、中毒和损害—设备、管《路等安全危害因此】这些特种气体及混】合气应通过》排气管道进入尾气】处理装置进》行处理达《到规：定浓度？后才能排入动力排】气系统为防止不相】。容性：特种气体《发生反应《引发事故不相容性】特种气体应分别【采用不同的尾—气处理装置》进行：处理： 》 8.3.7 【 为防止可燃和毒】性特种气体发—生泄漏时造成—人员伤害本条规定】。生产厂房内》的可燃和毒性—。特种：气体体管道应明【敷穿：过生：产区墙壁与》。楼板处的《管段应设置套管套】管内的管道不得有焊！缝套管与管道之间】应采用密封》措施可燃、毒性【、腐蚀性气体—。管道的机械连接处】应置于排风罩—内 ？ 8.—3.8？  工程实践表明电！子工厂特种气体【和吹：扫气：体管道输《送系统常用管道材料！。应采用SS304、！SS316、SS3！16：L等不锈钢无—缝钢管？和HC-22哈【氏合金无缝钢管【等根据特种气体【品种和纯度》、杂：质含量要求特种气体！管道：内表面应进行洁净】和钝化处理；管【道内表？面粗糙度对BA【管道要求小于—Ra40《EP管道要求—小于Ra25为此】本，条做了原则性规定】 8.】3.9  由于管道！系统产生的》静电容？易，导致管道系统—发生燃？。烧等危险现》象的发生规定自燃】性、可？燃性、氧化》。性特种气体》(例如发光》二极：管生产用《到的氧气、氯气、】笑气等)管道设置静！电泄放的接地设施】可有效、《及时地泄放》静电防止管道系【。统被静电引燃从而】保障人员的》安全和避免财—产的损失本条为强制！性条文必须》严格执行 】 8.3.11】。  由于硅烷、磷烷！、，砷，烷这几？种，特种气体具有自燃性！、剧毒性和》。强腐蚀性《气体一旦泄》漏危害性极大将【会，造成较大的人身伤亡！和财：产损失所以电子【工厂均采用双层【管，道输送？这类特种气体本条文！为强制性条文必【须严格执行 ！ ：8.3.《12：  ：在保证安《全和工艺要》求的前提下节—。省投资也《是工程设《计的重要内容—为此本条规定了双层！管的：外管作为安》全保护的第二道屏障！采用SS《30：4，材料即可《满足要？求且一般不做特殊】的洁净要《求 ？