，。 8.3 【。 特种气体供应【 【 8.3.》1，。  从目前发—光二极管工》厂特种气《体使用的具体—情况看特种气体【。。多采：用外购钢瓶气—体、液态气体在工】厂内设置储存—、分：配系：统 ？。 8.—3.2 《 根据现行国家标】准建筑设计防火规范！GB 500—16的规定特—种气体？储存：分，。配系统设《。备应根据特》种气体的性质和储存！数量布置《在独立？的建构筑物内—或布置在《生产厂房内 ！     —规定用耐火极—限不：低于2？.0h不燃》烧体的隔墙与其【他生产区域分—。隔隔墙上的门—应为甲？级，防火门 ！8.3.3  特种！气体系统的气瓶【柜、气瓶架是特【种气体？气瓶存？放和进行气体配送】的装置 》 《   ？ 1：  规？定不相？容气体瓶严》禁放置？。于同一气瓶》柜或气？瓶，架中目的是》。为了防止不相容【气体：在非正常状态—下相遇？发生反应《酿，成重：大事：。故本款为强制—性条款必须严格【执行 】    3  规定！。气瓶柜闭《门时：排风换气次数不低】于300次》／，h目的是《为，了控制气瓶柜内的有！害气体如果一—旦泄漏？其泄：漏量能够控制在安】全浓度以下控制【气瓶：柜在负压下运行【是，为了不让有害—气体泄漏《至工作环境中保障】员，工，的生命安全该款【。制定的？依据是SEMI 】S，2第23.》5.3？条该条叙《述“泄漏时环—境中的浓《度应低于《25％？OEL(T》LV)”；闭窗时根！据实验数据得到【风量200m3【／h考虑不同公【司气瓶柜的尺寸的差！。异规定300次／h！的换气次数 】    — 4 ？。 规定自燃性—、可燃性《。、毒性、《腐蚀性气瓶柜应在排！。风出口？。设置气体泄漏探测】器目的是在这些特】种气体泄漏开始【时，就探测到《这些有害气体—。的泄漏状况采取措施！预防事故发生 【 《     5  规！定瓶柜门应具备自动！关闭功能并配备防】爆玻璃观《察窗：目的：。是防止？在人员误操作的情况！下导致气《体外泄到工作环【境中：酿成重？。大事故地脚螺栓【的设：计满：足当地地震烈—度的要求《也是从安全的角度做！出的规定 》 8—.，3.4？  可燃性》特种气体包括—自，燃性、可燃性—气体：。此类气瓶柜的设置应！依，据，该类特？种气体的自燃性【、可燃性《特性：规，定了：气瓶柜内设置的【相关规定《如排风次数》。紫外、红外火焰探】测器设？置水喷淋系统—以及自燃性》气瓶之间设置—隔离钢？板，等安全措《施以确？保安全可《靠运行其中第一款】规定硅烷气瓶柜的排！风换：气次数不得低于【1200《次／h该款的依据是！美国消防协会—。发布的S《t，andard f】or th》e Pro》。tection o！f S？emi？。。cond《uctor —Fabri》。catio》n F？。acilities！。NFPA 》31：8，-2006第—8.5.3的—相关条款当硅烷【满瓶时？压力为1《500P《SI保证硅烷—安全的体积浓度【0.：4％(爆炸下—限为1.34％【。)时的排《风量：为2：84L／sec【在气瓶柜体》积为0.8》5m3？。的，状况下？硅烷气瓶柜的排气】次数为1200【次／h？ 8.】3.5  为防【止自燃性《、可燃性《、毒性、腐蚀性特种！气体系统的》吹扫氮气被》本，。质，特种气体污染引发】着火、中毒或设备】拉坏等事故并应【在吹扫氮气》管线设置止回阀 】 8.【3.：6  自燃性、【可燃性、毒性、腐】蚀性特种气体系统在！抽真空或《吹扫过程中排—出的：。超过：规定浓？度的特种气》体，和特：。种气：体混合气对环境【。与人体将会造成着火！、中毒和损》害设备、管路等【安，全危害？因此：。这，些特种气体及混合】气应通过《。排气管？道进入尾气处理装置！进行处理达到规【。定浓度后《才能排？入动力排气系统为】防止不相容》性特种气体发生反应！引发事故不相容【性特种气体应分别】采用：不同的尾《气处理装《置，进行处理 》。 《 8.3.7  为！。防止可燃和毒性特种！。气体发生泄漏时【造成人员伤害本【条规定生产厂房内的！可，燃和毒性特》种气体体管道应明敷！穿过生产《区墙壁与楼板处的】管段应设置套管套】管内的管道不—得有：焊缝：套管与管道之—间应：采用密封措》施可燃、《毒性、腐蚀性—气体管道的机械连】接，处应置于排风—罩内 】8.：3，.8 ？ 工程？实践表明电子工【厂，特种气体和吹—。扫气体管道输—送系统常用管道材】料应采？用，SS：3，。。04：、SS316、S】S316L等不锈钢！无，缝，钢管和HC-22】哈氏：。合金：无缝钢管等根据特】种气体品种和纯度、！。杂质含量要》求特种气体管道【。内表面应进行洁净】和钝：化处：理；管道内》表面粗糙度对—BA管道要求—小于Ra40EP】管道要求小于R【a25为此本条【做了原则性规定【 8【.，3.9  由于【管道系统产生的静】。电容易？。导致管道系》统发生？燃烧等？。危险：现象的发生》规定自燃性、—可燃性、《氧化性特种气体(例！如发：。光二极管生产用到的！氧气：、氯气、笑气—等)管道《设置静电泄放的接地！设施可有效、及【时地泄放静》电防止管道系统被静！。电引燃从而保—障人员？的安全和《避免财产《。的损：失本条？为强制？性条文必须严—格执行 《 ： ， 8.《3.11  由于】硅烷、磷《烷、：砷烷这？几种特种气体具有自！燃性、剧毒性—和强腐蚀性气—体一旦泄漏》。危害性极大将会【造成较？大的人身伤亡和【财产损失所以电【子工厂均《。采用双？层管：道输送这类特种气体！本条：。文为强？制性条？文必：须严格执行 ！ 8.3.12 ！。。 在：保证安？全和工艺要求的【前提下节《省投资也是工程设计！的重要内容为此本】条规定了《双层管的《外管：作为：安全保护的》第二道屏障采用S】S304材料即可满！足要：求且一般《不做特殊的》洁净要求 》。 ，