8.3 】 特：种气体供应 ！ 8.—3.1  从目前】发光二极管工厂【特种气体使用的具】体情：况看特种气体多【。采用：外购：钢瓶气？体、液？态气体在工厂内【设置储？存、分配系统 ！ ： 8.3.》2  根据现行国】家标：。准建筑设计防火规范！GB 500—16的规定》。特种气？体储：存分配系统设—备应根据特种—气体：的性质和储》存数量布置》在独立的建构筑【。物内或？布置在生产厂房内 ！ 《     规定用】耐火极限《不低：于2.0h不燃【烧体的隔墙与其【他生产？区域分隔隔墙上的门！应为甲级防火—门 ： ，。。 8.3.3！ ， 特种气体系统的气！瓶柜、？气瓶架是特种气体气！瓶存放和进行气【体配：送的装？置，  【   ？1  规定》不相容气体瓶—严，禁放置于同一气【瓶柜或气瓶架—中目的是为了防【止不相容气》体在：非正常状《态下相？遇发生反应》酿成重大《。事故本款为强—制性条款必》须严格？执行 》     【3  规定气瓶柜】闭门时排风换气【次数：不低：于300次》／h目的是为了【。控制气瓶柜内—的，有害气体如果一【旦泄漏？。其泄漏量能够—控制：。在，安全浓度以下—。控制气瓶柜在—负压下运行是—为了：不让有害气体泄漏】至工作环境中保【障员工的生命安全】该款制定的依—据是SEMI— S2？第23.5.3【条该条叙述“泄漏】时环境中的浓—度应低于《25％O《EL(TLV—)”；闭窗》时根：。据，实验数？据，得到风？量200m3—／h考虑不同公司气！瓶柜的尺寸》的差异规定30【0次／h的换气次数！ ？     【4  ？规定自？燃性、可燃性、毒性！、腐蚀性气瓶柜应在！排风出口《设置气体泄漏—探测器目的是在这些！特种气体《。泄漏开始时就探测到！这些有？害气体的泄》漏状况采取措施预】防事故发《生 ？     】5  规定》瓶柜门？应具备自动关闭功能！并配备防《。爆玻璃观察窗目的是！。防止在人员误操作的！情况下？导致气体外泄到工作！环境中？酿成重大事故地脚螺！栓的设？计满足？。当地地震烈度的要求！也是从？安全的角度做出的规！。定 ？ 8.3.4！  可燃性特—种气体包括自燃性、！可燃性气体此类【气瓶柜的设置—。应依：。据该类特种气体的】自燃性、可燃性【特性规？定了气瓶柜内设置的！相关规？定，。如排风？次数紫外、红外火焰！探测器设置水喷淋】系统以及自燃性【气瓶之？间设：置隔离钢板等安全措！施以确保安全—可靠运行《其中第？。一，款规定硅烷气瓶【柜的排风换气次数不！得低于？12：00次／h该款的】依据是？。美国消防协会发布】的Standar】d f？o，r the P【rotection！ of Se—。m，icondu—ctor F—abri《cation— ，Fa：ciliti—。esNF《PA： 318-2—。006第8.5.3！。的相关条款》当硅烷满《瓶时压力为1—500PSI保证硅！烷安全的体》。积浓度0《.4％(《爆炸下限《为1.34》％)：时的：排，。风量为284L【。／sec在气瓶【柜体积为0.8【5m：3的状况下硅烷【。气瓶柜的排气次数】为1200次／h】 《 8.3.5  ！为防止自《燃性、？可燃性？、毒性、腐蚀性【特种气体系统—的吹扫氮气被本【质特种气体污染引发！着火、中毒或设备拉！坏等事故并应在吹】扫氮气管线设置止】回阀 【 ，。8，.3.6  自燃性！、可燃性、毒性【、，腐蚀：性特种气体系统在抽！真空或？吹扫过程中排出的超！过，规定浓度的特—种气：体和特种《气体混合《气对环境与人体将会！造成着火、中毒和】损，害设备、管路等安全！危害因此这些特【种气体及混》合，。气，应通过排气管道【。进入尾气处理—装置进行处理达【到规定浓度后才【能排入？动力排？气系统？为，。防止不相容性特种】气体发生反应引【发事故不相》容性：。特种气体应分别采】用不同的尾》气处理装置进行处理！。 8.3！.7：  为防止可—燃，和毒性？特，种气体发生泄漏【时，造成人员伤害本【条规定生产厂房内】的，可，。燃和毒性特种气体体！管道应明敷穿过生产！区墙：壁与楼板处的—管段应设《置套管套《管，内的管道不得有焊缝！套管与管道之—间应采用密封措施】可燃、毒《性、：腐蚀性气体》管道的机械连接【处应置？于排风罩内》 ， ， ， 8.3—。。.8  工程实践】。表明电子工厂特种气！体和：吹扫气体管》。道输：送系统常用》管道材料《。应采用SS304】、SS316、S】S316L等不【锈钢无缝钢管—和HC-22哈氏合！金无缝？钢管等？。根据特种气体品种】和，纯度、？杂质含量《要求：特种气体管道内表】面应进行洁净和钝】化处理？；管道内《表面粗糙度》对BA管道要—求小于Ra40【EP管道要求小于R！a25为此》本条做了原则性规定！ 8.3！.，9 ： 由于管道系统【产生：的静电容易导致管道！系，统发生燃烧等危【。险现象？的发生规《定自燃性《、可燃性、氧—化性特种气体(例如！发光二极管生产【用到的氧气》、氯气、笑气等【)管道设置静电【。泄放的接地设施可】有效、及时地泄放静！电防止管道系—统被静？电引燃从而保障人】。员的安全《和，避免财产的损—失本条为强制—性条文必须严格执行！ —。8.：3.11  由于硅！烷、磷烷、砷烷这】几种特种气》体具有自燃性、【剧毒性和强腐—蚀，性，气体一旦泄漏—危害性？极大将？。会造成较大的人【身伤亡和《财，产损失？所以电子工厂—。均采用双层管道输】。送这类特种气体本条！文为强制性条文【必须严格执行 ！ ： 8.3.12【  在保《证安全和工艺—要求的前提下节【省投资也是工程【设计的重要》内，。容为此本条规定【了双层？管，的外管作为安全【保，护的：第二道屏障采用【。SS304》材料即可满足要求且！一，般不做特殊》的洁净？要求 ？。 ，