《8.3  》特种气体供应 】 》 8.3.1 【 从目前发光二极管！工，。。厂特种气体》使用的具体情况看】特种气体《多采用外《购钢瓶气体》、液态气《。体，。在，工，厂内设置储存—、分配？系统 】8，.3.2《  根？据现行国家》标准建筑设》计防火规范G—B， 500《16的规定特—种气体储存分配系】统设备应根据特种】气体的性质和—储存数量布置在独】立的建构筑物内【或布置在生》产厂房内 】。 ： ，  ： 规定用耐火—极限不低于》。。。2.0？h，不燃烧？体的隔墙与其他生产！区域分隔《隔墙上？的，。门应为甲级防—火门 【。 8.3《.3 ？ 特种气体系—统的气瓶《柜、气瓶架是特种】气，体，气瓶存放和进—行气体配送》的装置 】     》1 ： 规定不相》容，气，体瓶严禁放置于同】一气瓶柜或》。气瓶：架中目的是》为了防？止不相？容气体在《非，正常状态《下相遇发生反应【酿成重大《事故：本款为强《制性条款必须严【格执行 》 ：     3  ！规定气瓶柜》闭门时排《风换气次数不—低于300次—／h目的是为—了控制气《瓶柜内的《有害气体《如果一旦《泄漏其泄《漏量：能够控制在安全浓】度以下控制气瓶柜在！负压下运行是为【了不让有害气体泄】漏至工？作环境中保》障员工的生》命安全该款制定的依！据是S？EM：I S2第23【.，5.3条该条叙述】“泄漏时《环境中的浓度应低于！2，5％OEL(—TLV)”；闭窗时！根据：实验数据得到风量】200？m3／？h考：。虑不同公司气—瓶柜的尺《寸，的差异规定300】次／h的换气—次数 【 ，    4  规】定自燃性、可燃性】、毒：性、腐？蚀性气瓶柜》应在排风出口设置气！体泄漏探测》器目的是在这些特种！气体泄漏开始时就】探，测到这些有害—气体的泄漏状况采】取措施预防事故【发生 】   ？ 5  规定瓶【柜门：应具备自动关闭【功能并？配备防爆玻璃观察】窗目的是《防止：在人员误操作—的情况下导致气体】外泄到工作》环境中酿成重大【事故地脚螺栓的【设，计满足当地地震烈】度的要？求也是从安全的【角度：做出的规定》 ， 8.3】.4：  可燃性特—种，气体包括《自，。。燃性、？可燃性气体此—类气瓶柜的设—置应依据《该类特种气》体的：自燃性？、可燃性特性—规定了气瓶柜内设置！的，相关规？定如排风次数紫外、！红外火焰探测—器设置水喷淋—系统：以及自？燃性气瓶之间设置】隔离钢板等安全【措施：以确保？。安全可靠运》行其中第《一款规？定硅：烷气瓶柜的》排风换气次数不得低！。于，。12：00：次／h该款的依【据是美国《消防协会发布的St！andard fo！r ：。t，he P《rotectio】n ：of ？Semico—nductor F！abrica—tion《 F：。ac：ili？tiesNF—PA 318-2】006第8.—。5.3的相关条【款当：硅烷满？瓶时：压力为1500PS！I保：证硅烷？安全的体《积浓度0.4％(】爆炸下限为1.3】4，％)：时的：排风量为28—4L：／，sec在气瓶柜【体积为0.》85m3的状况下】硅烷气瓶柜》的排气次数为12】0，0次／h 【 8《.3.5  —为，防止自燃性、可【燃性、毒性、腐蚀性！特种气体系统的吹扫！氮气被本质特种【气体污染引》发着火？。、中毒？或，设备拉坏等事故【并应在吹扫氮气管】线设置止回阀 】 ： ， 8.3《.6  自燃性【、可燃性《、毒性、腐蚀性特】种气体系统在抽【真空或？吹，扫过程中排》出的超过规定浓度】的，特种气体和》。特种气体混合气对环！。境，与人体将会》造成着火、》中毒和损害设备、管！路等安全危》害因此这些特种【气体及混合》气应通？过排气管道》进，入尾：气处理装置进行【处，理达到规定浓度后】才能排入动》力排气系《统为：防止不相容性特种气！体发生？反应引发事故—不，。相容性特种气体【应分别采用不同的尾！气处理装置进—行处理？ 8.3！.7： ， 为防止可燃和毒】性特：种气体发生》泄漏时？造成人员伤害本条规！定生：产厂房内的》可燃：和毒性特种气体体管！道应明？敷穿过生《产区墙壁与楼—。板，处的管？段应设置套》管套管内的管道不得！有，焊缝套？。管与管？道之间应采用密封】措施可燃、毒—性、腐蚀性气体【管道的？机械连接处应置于排！风，罩内 】8.3.8》  ：工程：实践表明电子工厂】特种：气体：和吹扫气体管道【输送系统常用管道】材料应采用SS【304、《SS：316、SS—316L等不锈钢无！缝钢：管和：HC-22哈—氏合金无缝钢管等】。。根据特种气体品种和！纯度、？杂质含？量要求特种气—体，管道内表面应—进行：洁净和钝化处理【；管道内表面粗糙度！对BA管道要—求小于Ra40【。。。EP管道要求小【于Ra25为—此本条做了原—。则性规定 — ？ 8.3.9 【 由于管《道系统产《生的静电容易导致】管道系统发》生燃烧等危险现象的！发生规定自燃—。性，、可燃性、》。氧化性特种气体(】例如：发光二极管生产用】到，的氧气、氯》气、：笑气等)管道—。设，。置静电泄放》的接地设施可有【效、：及时地泄放静电防止！管道系？统被：静电引燃从》而保：障人员的安》全和避免财产—的损失本条》为强：制性条文必须—严格：执行 《 8.3.】11  由》。于硅：。烷，、磷烷、砷》烷这几？种特种气体》具有自燃性、剧毒】性和强腐蚀性气体】一，旦泄漏危害性极大将！会造：成较大的《。人身伤亡和财产损失！所以电子《工厂均？采用：双层管道输送—这类：特种气体本条文为】强制：性条文必须严格【。执行 】8.3.12—  在保证安全和工！艺要求的《前提下节省投—资也是工程》设计的重要内—容为此本条规定【了双层管的外—管作为安全保护【的第二道屏》障采用SS304】材，料即可满足要求且】。一般不？做特殊的洁净—。要求 《