？ 8.3  特【种气体供《应 《 《 8.？3.1？。  从目前》发光二？极管工厂特种气体】使，用的具体《情况看特种气—体多：采用：外，购钢：瓶气体、液态—气体：在工厂内设置—储存、分《配，系统： —8.3.2  根】据现行国家标准建】筑设：计，防火规范G》B ：5，。。。0016的规—。定特种气体储存【分配系统设备应根据！特种气？体的性质《。和储存数量布置在独！立，的建构筑物内—。或布：置在生产厂》房内  ！  ： 规：定用耐？。火极限不低于2.0！h不燃？烧体的隔墙与其他】生产区域分隔—隔，墙上的门应为甲级】防火门 》 8》。.3.3  特种】气体系统的气瓶柜、！。气瓶架是特种气【体，气瓶存放《和进行气体》配送的装置》 ， ？ ：  ：  1  规定【不相容气体瓶—严禁放置于》。同一气瓶柜或—气瓶架中目》的是为了防止—不相：容气：体在非正常状态下相！遇发生？反应酿成重大事故本！款，。为强制性条款—必，须严格执行 ！     3  ！规定气瓶柜闭门时排！风换气？次数不低于300】次／h？目，的是为了控制气瓶柜！。内的有害气体如果一！旦泄漏其泄漏量能够！控制在安全浓度以】。下控制气《瓶，柜在负压下运行是】。为了不让有害气体】泄，漏至工作环境—中保障？员工的生命安—全该款制《定的：依据是SEMI S！2第：23.5.3条【该条叙述“泄漏时环！境中的浓度应—低，于25％OE—。L(TLV)”【；闭窗？时根据实验》数，据得到风《量200m3／h考！虑不同？公司气？瓶柜的尺《寸的差异规》定300次／h的换！气次数 【     —4  规定自燃性】、可：燃性、毒性、腐蚀】性气瓶柜应在排【风出口设《置气体泄漏探测器目！的是在？这些特种气体泄漏开！始时就探测到这些有！害气体的泄漏状况】采取措？施预防事《故发生 【   《  5  》规定瓶柜门应—具备：自动关？闭功能并配备防爆玻！璃观察？窗目的是防止在人】。员误操作的情—况下导致气体外泄】到工作环境中酿成重！大事故地《脚，螺栓的设《计满足当地地震烈】度的：要求也是从安全【的角度做出的—规定 【 8.3.》。。4  可燃性特种】气，体，包，括自：燃，性、可燃性气体【此类气瓶柜》的设：置应依据该类特【种气体的自燃—性、可燃《性特性规定了气【瓶柜内设置的相【关规：定如：。排风次数《紫外、红外火焰【探测器设置水喷【淋系统以及》。自燃性气瓶之间设】。置隔离钢板等安全】措施以确保安全可】。靠运行其中第一【。款规定硅烷气—瓶柜的排风换气【次，数不得？低于120》0次／h该款的【。依，据是美国消防协【。会发布的Sta【nd：。ard f》or： the Pr【otecti—on of S【。emiconduc！tor F》abrica—tio？n Facil【it：iesN《FPA 318-】20：0，6第8？.5.3《。。的相关条《款当硅烷满》。瓶时压力为》1，50：。0，。PS：I保证？。硅烷安全的》体积浓度《0.4％《(爆炸下限为—1.：34：％，。)时的排风量为【284L／》。sec？在气瓶？。。柜体积为0.85】m3的状况下硅烷】。气瓶柜的《排气次数为》1200次／h【 ： 8.—。3.：5 ： 为防止自》燃性、可燃》。性、毒性、腐蚀性】特种气体《系统的吹《扫氮气被本质特种气！体污染引发着火【、中毒或设备拉【坏等事故并应在吹扫！氮气管？线设置止回阀— 8.3！.，6  ？。自燃：性、可燃性、毒性、！腐蚀性特种》气体系统在抽—真，。空，或，吹扫过？。程中排出的超过规】定浓度的特种气【体和特？种气体？混合气对环境与人】体将会造《成着火、《中毒和损害设备、管！路等安全危害—因此这些特》种气体及混合气应通！过排气管道进入尾气！处，理装置进行处—理达到？规定浓度后才—能排入？动，力排气系统》为防：止，不相容？性特：种气体发生反应【引发事故不相容性特！种气体应分别采【用不同的尾》气处理装置》进，行处理 《 《 8.3.7  为！防止可燃《和毒性？特种气体发》生，泄漏时造《成人员伤《害，本条规定生产厂房内！的，可燃和毒性特种气体！体管道应《明敷穿过生产区【。墙壁：与楼板处的管段【应设置套管套管内】的管道？不得有焊缝》套管与管道之—。间应采用密》封，措施可燃、毒性、腐！蚀性气体管》道的机械《连接处应置于—排风罩？内， 8.3！.8  工程实践表！明电子工厂特种气】体和：吹，。扫气体管《道输送系统常用【。管，道，材料应采用SS30！。4、SS31—。6，、SS316L等】不锈钢无缝》钢管和HC-—22哈氏合金无【缝钢管等根据特种气！体品种和纯度—、杂：质含量要求特—种气体管道内表面】应进行？洁净和？钝化处？理；管？。道内表面粗糙—度对BA管道要求】。小于Ra40EP管！。道要：。求小：于Ra25》。为此本条做了原【。则性规定 】 ， 8.？3.9  由于【。管道系统产生的静电！。容易导致管道系【统发生燃烧等—危险现象的发生规定！自燃性、可燃性、氧！化性特种气体—(例：如发：光二极管生产—用到：的氧气？、氯气、笑气等【)管道设置静—电，泄放的？接地设施可有效、及！时地泄放《静电防？止管道系统被静电】。引燃从而保障—人员的安全和避【免，财产的损失本—。条为强制性条—文必须严格执行 ！ 8.3.1！1  由于硅烷【、，磷烷：。、砷烷？这几种？特种气？体具有自燃》性、剧毒《性和强腐蚀性气【体一旦泄漏危害性】极大将会《造成较大的人身【伤亡和财产损失【所以电子工厂—均采用双层管道输】送这类特种气体本】条文为强制性条【文必须？严格执行 — 8.—3.12  在保证！安全和工艺要—求的前提下节省投资！也是工程设计的重要！内容为此本条规定了！双层管？的外管？作为安全保护—的第二道屏障采用S！S304材料即可满！足要求？且一般不做特—殊的：洁净要求 》 ，